JP5135192B2

JP5135192B2 - 光受信モジュール及び光受信モジュールの製造方法

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Publication number: JP5135192B2
Application number: JP2008315422A
Authority: JP
Inventors: 尚司高松; 道秀笹田
Original assignee: 日本オクラロ株式会社
Priority date: 2008-12-11
Filing date: 2008-12-11
Publication date: 2013-01-30
Anticipated expiration: 2028-12-11
Also published as: US20100148041A1; US8378289B2; JP2010141089A

Description

本発明は、光受信モジュール及び光受信モジュールの製造方法に関する。

接続される光ファイバを通って入射する光を受け付ける光受信モジュールが存在する。このような光受信モジュールは、一般的に、レンズと受光素子とを備えており、光ファイバを通って入射する光が、レンズを経由して受光素子に入射して、受光素子がこの光に対応する光信号を電気信号に変換する。

従来の光受信モジュールでは、受光素子への入射光が受光面で反射して、この反射光が光ファイバに入射することがあった。このような光ファイバへの入射光はノイズの原因となることがある。一般的に、高速な信号の伝送（例えば、数Ｇｂｉｔ／ｓ以上）を行う高速・広帯域な光受信モジュールにおいては、入射端での反射減衰量を所定値以下にすることが要請されている。具体的には、例えば、ＩＴＵ−Ｔ（国際標準規格）では、入射端での反射減衰量を、−２７ｄＢ以下とすることが要請されている。

そのため、光ファイバに入射する反射戻り光の量を抑制する様々な方策が従来行われてきた。例えば、特許文献１には、サブマウントを光軸に対して傾けて配置することによって、光ファイバに入射する反射戻り光の量を抑制する技術が開示されている。また、例えば、特許文献２には、サブマウントの受光素子搭載面を光軸に対して傾けることで光ファイバに入射する反射戻り光の量を抑制する技術が開示されている。また、例えば、特許文献３には、受光素子の受光面を光軸に対して傾斜するよう加工することで光ファイバに入射する反射戻り光の量を抑制する技術が開示されている。また、光ファイバ、レンズ、及び、受光素子を、光受信モジュールの中心軸からずらして光受信モジュールを構成することで、光ファイバに入射する反射戻り光の量を抑制する技術も存在する。
特開平０８−１８６３２１号公報特開平０８−０９４８８７号公報特開平０５−１５２５９９号公報

上述のようにして、反射戻り光の光ファイバへの入射量を抑制するよう設計しても、製造時に発生する可能性がある、受光素子や受光素子を搭載するサブマウントを組み立てる際の角度の公差によって、設計時における想定よりも多い量の反射戻り光が光ファイバに入射する光受信モジュールが製造される可能性がある。そのため、上述のような設計では、組立て歩留りが低下する可能性がある。一方で、受光素子への光の入射方向の光ファイバの光軸方向に対する角度が大きくなるに従って、受光面からはみ出す入射光が増加するので、受光効率が低下してしまう。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、受光効率を確保しつつ、製造時の角度の公差に伴う光ファイバに入射する反射戻り光の量の増加を抑制することができる光受信モジュール及び光受信モジュールの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係る光受信モジュールは、接続される光ファイバを通って入射する光を受け付ける光受信モジュールであって、受光素子と、前記受光素子を支持する支持部材と、を備え、前記受光素子が、前記光ファイバの光軸上の位置からずらして配置されており、前記受光素子の前記支持部材側の面に含まれる複数の辺のうちの、辺の延伸方向が、前記入射する光の方向に対応する直線と、前記光ファイバの光軸の方向に対応する直線と、前記支持部材の前記受光素子を支持する支持面と、に囲まれる領域に交差する交差辺の方向が、前記光の入射方向に直交する方向とは異なる方向に対応するよう前記受光素子が配置されていることを特徴とする。

また、本発明に係る光受信モジュールの製造方法は、受光素子と、前記受光素子を支持する支持部材と、を備える、接続される光ファイバを通って入射する光を受け付ける光受信モジュールの製造方法であって、前記光ファイバの光軸上の位置からずらして、前記受光素子の前記支持部材側の面に含まれる複数の辺のうちの、辺の延伸方向が、前記入射する光の方向に対応する直線と、前記光ファイバの光軸の方向に対応する直線と、前記支持部材の前記受光素子を支持する支持面と、に囲まれる領域に交差する交差辺の方向が、前記光の入射方向に直交する方向とは異なる方向に対応するよう前記受光素子を配置する工程を含むことを特徴とする。

本発明によれば、受光素子に対する入射光の光ファイバの光軸に対する角度を、受光効率を確保するために必要な値に設定した際に、支持部材に接する受光素子の辺を軸とした製造時の角度の公差が発生したとしても、光が受光素子の受光面に対して斜めに入射し、入射方向とは異なる方向に反射する可能性が高くなる。そのため、反射戻り光が光ファイバに入射する可能性が低くなる。このようにして、受光効率を確保しつつ、製造時の角度の公差に伴う光ファイバに入射する反射戻り光の量の増加を抑制することができる。

本発明の一態様では、前記受光素子の前記支持部材側の面に含まれるすべての辺の方向が、前記入射する光の方向に直交する方向とは異なる方向に対応するよう前記受光素子が配置されていることを特徴とする。この態様によれば、受光素子の支持部材側のいずれの辺を軸とした製造時の角度の公差が発生したとしても、光が受光素子の受光面に対して斜めに入射し、入射方向とは異なる方向に反射する可能性を高くすることができる。

また、本発明の一態様では、前記受光素子の受光面が、前記支持部材の前記支持面に対して、前記光ファイバの光軸に向かう方向に傾斜していることを特徴とする。この態様によれば、受光効率を向上することができる。

また、本発明の一態様では、前記受光素子の前記交差辺の方向が、受光効率と、前記受光素子の受光面の前記支持部材の支持面に対する傾きと、前記光の入射方向の前記光ファイバの光軸方向に対する傾きと、に基づいて特定される方向であることを特徴とする。この態様によれば、受光効率を考慮した受光素子の交差辺の方向の設定が可能となる。

以下、本発明の実施形態について図面に基づき詳細に説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る光受信モジュール１の概略構成の一例を示す概略断面図である。本実施形態に係る光受信モジュール１は、例えば、図１に示すように、受光素子１０と、受光素子支持部材１１と、プリアンプなどの搭載素子１２と、レンズ１３と、光レセプタクル１４と、を備えている。

本実施形態では、光レセプタクル１４は、レンズ収容部１５と、光ファイバ収容部１６とを含んで構成されている。レンズ収容部１５は、一体的に形成された金属製の部材であり、円柱形状の外形を有するレンズ収容後部１５ａと、レンズ収容後部１５ａの外径より小さな外径の円柱形状の外形を有するレンズ収容前部１５ｂと、を有している。そして、レンズ収容後部１５ａとレンズ収容前部１５ｂとは略同軸となるよう形成されている。

レンズ収容後部１５ａには、その外形状と同軸に断面が円型の凹部１７ａが形成されており、有底円筒形をなしている。レンズ収容前部１５ｂにも、その外形状と同軸に断面が円型の凹部１７ｂが形成されており、有底円筒形をなしている。そして、レンズ収容前部１５ｂの凹部１７ｂ側の端面と、レンズ収容後部１５ａの底面と、が連結されている。

レンズ収容後部１５ａの底面には、その中心軸からずれた位置を中心とする孔が形成されている。そして、レンズ１３がこの孔にはめ込まれている。このようにして、本実施形態に係る光受信モジュール１では、レンズ収容部１５がレンズ１３を支持している。

レンズ収容前部１５ｂの底面には、その中心軸と同軸の孔が設けられている。そして、光ファイバ収容部１６がこの孔に挿入されている。このようにして、本実施形態に係る光受信モジュール１では、光ファイバ収容部１６とレンズ収容部１５とが接合されている。

光ファイバ収容部１６は、金属製の円筒形状の部材である。図１に例示するように、光ファイバ収容部１６には、外部から、コネクタ２を備えた光ファイバ３が挿入される。

本実施形態に係る光受信モジュール１が備える受光素子支持部材１１は、金属製の四角形の板状のサブマウント２０と、光レセプタクル１４のレンズ収容後部１５ａの外形状と略同径である金属製の円盤状の部材であるＣＡＮ型のステム２１と、を含んでいる。

そして、レンズ収容後部１５ａの凹部１７ａ側の端面と、ステム２１とが接合されている。そして、ステム２１の内側面には、その中心軸からずれた位置にサブマウント２０が搭載されており、このサブマウント２０上に、レンズ１３を通る光を受光して、光に対応する光信号を電気信号に変換するフォトダイオードなどの受光素子１０が搭載されている。またステム２１の内側面には、プリアンプなどの搭載素子１２も搭載されている。

本実施形態に係る光受信モジュール１の受光素子１０や搭載素子１２は、リードピン４を介して、光受信モジュール１の外部に存在するフレキシブル基板５と電気的に接続されている。リードピン４は、ステム２１に、その外側面から接続している。そして、受光素子１０や搭載素子１２から出力される電気信号は、リードピン４を経由してフレキシブル基板５に伝送される。

図２Ａは、本実施形態に係る光受信モジュール１が備える受光素子１０と受光素子支持部材１１（サブマウント２０及びステム２１）の詳細の一例を示す正面図である。図２Ｂは、本実施形態に係る光受信モジュール１が備える受光素子１０と受光素子支持部材１１の詳細の一例を示す平面図である。図２Ｃは、本実施形態に係る光受信モジュール１に含まれる受光素子１０と受光素子支持部材１１の詳細の一例を示す左側面図である。

図３Ａは、比較例の光受信モジュール１に含まれる受光素子１０と受光素子支持部材１１（サブマウント２０及びステム２１）の詳細を説明する正面図である。図３Ｂは、比較例の光受信モジュール１が備える受光素子１０と受光素子支持部材１１の詳細を説明する平面図である。図３Ｃは、比較例の光受信モジュール１が備える受光素子１０と受光素子支持部材１１の詳細を説明する左側面図である。

本実施形態に係る光受信モジュール１では、サブマウント２０の内側面（受光素子１０を支持する受光素子支持面２０ａ）とステム２１の内側面（サブマウント２０を支持するサブマウント支持面２１ａ）とは、略平行である。そして、本実施形態に係る受光素子１０は、四角柱形状をしている。そして、この受光素子１０は光ファイバ３の光軸Ｌ１上の位置からずらして配置されている。また、本実施形態では、受光素子１０の受光素子支持部材１１側の面（本実施形態では、例えば、サブマウント側面１０ａ）に含まれる複数の辺の方向はすべて、光の入射方向に直交する方向とは異なる方向に対応している。より具体的には、例えば、受光素子１０のサブマウント側面１０ａに含まれる複数の辺それぞれについて、その辺を受光素子支持部材１１の支持面（受光素子支持面２０ａ又はサブマウント支持面２１ａ）に投影した直線の方向が、入射光を受光素子支持部材１１の支持面（受光素子支持面２０ａ又はサブマウント支持面２１ａ）に投影した直線に対して直交する方向とは異なる方向に対応している。

なお、本実施形態では、受光素子１０のサブマウント側面１０ａは四角形状（一辺の長さが、例えば、０．４ｍｍ以下）である。また、本実施形態では、受光素子１０の受光面１０ｂとサブマウント側面１０ａとは略平行である。

また、本実施形態では、受光素子１０のサブマウント側面１０ａに含まれる４つの辺すべてについて、その辺の、光ファイバ３の光軸Ｌ１と受光素子支持部材１１（例えば、ステム２１）の交点（光軸交点２２）から、受光素子１０が配置されている位置に向かう方向に対して垂直な平面（ずれ垂直面２３）に対する角度の値は０ではない。本実施形態では、例えば、４つの辺のうちの、光ファイバ３の光軸Ｌ１から遠い側の辺の端の位置が、光ファイバ３の光軸Ｌ１に最も近い辺の、ずれ垂直面２３に対する角度をα（αの値は０ではない。）とする。

そして、この受光素子１０の受光面１０ｂ及び受光素子支持部材１１側の面（サブマウント側面１０ａ）は、ステム２１の内側面（又は、サブマウント２０の内側面）に対して、光ファイバ３の光軸Ｌ１に向かって傾斜している。本実施形態では、例えば、受光素子１０のサブマウント側面１０ａの、サブマウント２０の支持面に対する角度をβとする。なお、サブマウント２０をステム２１に対して傾斜させることにより、受光素子１０の受光面１０ｂやサブマウント側面１０ａが、ステム２１の内側面に対して傾斜するようにしてもよい。

受光素子１０の受光面１０ｂには受光部１０ｃが設けられており、この受光部１０ｃがレンズ１３を通って入射する光信号を電気信号に変換する。そして、受光素子１０は、ステム２１上に設けられている電極２４とワイヤ２５により電気的に接続されており、電極２４とリードピン４とは電気的に接続されている。

図２Ａ、図２Ｃ、図３Ａ及び図３Ｃには、光ファイバ３及びレンズ１３を通って受光素子１０に入射し、反射する光に対応する光線Ｌ２が示されている。そして、本実施形態に係る光受信モジュール１における、受光素子１０に対する入射光の受光素子１０の光ファイバ３の光軸に対する角度（受光素子１０に対する入射光の受光素子支持部材１１の支持面に対して垂直な方向Ｌ３からの角度）をθとする。

本実施形態に係る光受信モジュール１の製造工程は、受光素子１０をサブマウント２０に搭載する工程と、サブマウント２０をステム２１に搭載する工程とを含んでいる。そして、受光素子１０とサブマウント２０との接合、及び、サブマウント２０とステム２１との接合には、例えば、はんだや接着剤などが用いられる。

はんだや接着剤による接合では、光受信モジュール１の製造時に、はんだや接着剤の塗りむら（厚みのむら）が生じる可能性がある。そして、はんだや接着剤のむらによって、角度の組立て公差が発生する可能性がある。具体的には、例えば、はんだや接着剤層の厚みは一般的に１０μｍ程度である。受光素子１０は、サブマウント２０の支持面の大きさに収まる大きさである必要がある点、及び、コストを低減することができる点、などの理由から、できるだけ小さくすることが望ましい。一方、受光素子１０を小さくすると、はんだや接着剤のむらに伴う角度の公差が大きくなってしまう。例えば、受光素子１０の一辺の長さが０．２ｍｍであり、はんだや接着剤層の厚みを１０μｍの場合、上述の角度βは約３度（約０．０５ラジアン）となる。一般的に、はんだや接着剤層の厚みが１０μｍを超えることも多い。また、受光素子１０の一辺の長さが０．２ｍｍよりも短いこともある。そのため、上述の角度βは１０度に達する可能性がある。

そして、受光素子１０をサブマウント２０に押しつけることで、はんだや接着材による受光素子１０とサブマウント２０とを接合する。そのため、受光素子１０のサブマウント側面１０ａに含まれる辺のうちのいずれかがサブマウント２０に接する可能性が高い。そして、この押しつけの際に、サブマウント２０に接する辺を軸とする角度の公差が発生することがある。

このとき、例えば、図３Ａ、図３Ｂ及び図３Ｃに示す比較例の光受信モジュール１のように、受光素子１０のサブマウント側面１０ａに、光の入射方向に直交する方向に対応する方向の辺が含まれる場合は、上述の角度の公差により、光が受光素子１０の受光面１０ｂに対して垂直に入射して、反射戻り光が光ファイバ３に入射するよう受光素子１０がサブマウント２０上に搭載されてしまう可能性がある。

本実施形態に係る光受信モジュール１では、たとえ製造時に上述の角度の公差が発生しても、光が受光素子１０の受光面１０ｂに対して斜めに入射し、入射方向とは異なる方向に反射するので、反射戻り光が光ファイバ３に入射する可能性が低くなる。このようにして、反射減衰量が良好に保たれる。

上述の説明のように、本実施形態に係る光受信モジュール１は、受光素子１０の受光素子支持部材１１側（例えば、サブマウント２０側）の面に含まれる辺の方向が、光の入射方向に直交する方向とは異なる方向に対応しているので、図３Ａ、図３Ｂ及び図３Ｃに示す比較例の光受信モジュール１と比較して、光受信モジュール１の製造時の角度の公差に伴う光ファイバ３に入射する反射戻り光の量の増加を抑制することができる。

また、本実施形態に係る光受信モジュール１では、光受信モジュール１の製造時の角度の公差の発生に伴う、光ファイバ３に入射する反射戻り光の量の増加を抑制することができるので、上述の角度θの値を小さく保って、受光効率を確保することも可能である。

ここで、上述の角度β、及び、受光効率を確保するのに必要な角度θに基づいて、上述の角度αの値を算出する方法の一例を説明する。

受光素子１０の受光面１０ｂに入射する光線Ｌ２と受光面１０ｂとの交点（光線交点２６）から光の入射方向に向かう光線ベクトルｒ（０，ｓｉｎθ，ｃｏｓθ）と、受光面１０ｂの垂線ベクトルｎ（ｓｉｎαｓｉｎβ，ｃｏｓαｓｉｎβ，ｃｏｓβ）と、の内積の値は、ｃｏｓ（ｓｉｎ⁻¹（ＮＡ／２））以下となる。ここで、ＮＡは、受光素子１０に集光される光線の広がり角（１％となる値の広がり角度）を表す。ＮＡについて１％となる値の広がり角度を採用すると、上述の関係は、受光素子１０表面の反射率を一般的な値である２％とした場合に反射減衰量が−３０ｄＢ程度以下となる関係となる。

上述の関係に基づいて、αの値は、ｃｏｓ^−１（（ｃｏｓ（ｓｉｎ⁻¹（ＮＡ／２））−ｃｏｓθｃｏｓβ）／ｓｉｎθｓｉｎβ）以下であるという関係が導出される。αの値は、物理的にせいぜい１．０５ラジアン（約６０度）程度なので、このαの上限値に基づくと、θの値に関する以下の条件が導出される。

上述の説明のように、受光素子１０のサブマウント２０側の辺の方向が、受光効率（例えば、受光素子１０に集光される光線の広がり角ＮＡ）と、受光素子１０の受光面１０ｂの受光素子支持部材１１の支持面に対する傾きと、光の入射方向の光ファイバ３の光軸方向に対する傾きと、に基づいて特定される方向であってもよい。

また、本実施形態に係る光受信モジュール１では、光軸交点２２から、受光素子１０が配置されている位置に向かう方向（ずれ方向）が、サブマウント２０の長手方向に対応している。こうすれば、はんだや接着剤により、サブマウント２０とステム２１とを接合する際に、サブマウント２０のステム２１に対する角度の公差が、上述のずれ方向に略垂直な方向に発生しやすくなる。このとき、光軸交点２２からサブマウント２０をずらす長さを０．７ｍｍ以上に設定すれば、はんだや接着剤の厚みのむらが１０μｍとしてもサブマウント２０のステム２１に対する角度の公差は１度以内に収まる。

また、サブマウント２０については、絶縁部材による基板上に電気的なパタンを形成したものでも、集積回路素子でも構わない。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。

図４Ａは、別の実施形態に係る光受信モジュール１が備える受光素子１０と受光素子支持部材１１（サブマウント２０及びステム２１）の詳細を説明する正面図である。図４Ｂは、図４Ａに示す実施形態に係る光受信モジュール１が備える受光素子１０と受光素子支持部材１１の詳細を説明する平面図である。図４Ａには光線Ｌ２が示されている。

例えば、図４Ａ及び図４Ｂに例示するように、受光素子１０の受光素子支持部材１１側の面（この実施形態ではサブマウント側面１０ａ）が菱形形状であってもよい。具体的には、例えば、受光素子１０が、菱形柱形状であっても構わない。そして、受光素子１０の受光素子支持部材１１側の面（この実施形態ではサブマウント側面１０ａ）の対角線の方向が、光ファイバ３の光軸上の点を通る直線の方向に対応していてもよい。より具体的には、例えば、受光素子１０の受光素子支持部材１１側の面の対角線の延伸方向と、光ファイバ３の光軸の方向と、が交差するようにしてもよい。こうすれば、受光素子１０が直方体形状である場合と比較して、上述の角度αの値のとれる範囲が広くなる。そのため、光受信モジュール１の製造時の角度の公差が発生に伴う、光ファイバ３に入射する反射戻り光の量の増加をより抑制することができる。

図５Ａは、さらに別の実施形態に係る光受信モジュール１が備える受光素子１０と受光素子支持部材１１（サブマウント２０及びステム２１）の詳細を説明する正面図である。図５Ｂは、図５Ｂに示す実施形態に係る光受信モジュール１が備える受光素子１０と受光素子支持部材１１の詳細を説明する平面図である。図５Ａには、光線Ｌ２が示されている。

図５Ａ及び図５Ｂに示すように、受光素子１０の受光素子支持部材１１側の面（この実施形態ではサブマウント側面１０ａ）が三角形状であってもよい。具体的には、例えば、受光素子１０が三角柱状であってもよい。こうすれば、受光素子１０が四角柱状である場合と比較して、上述の角度αの値のとれる範囲が広くなる。そのため、製造時の角度の公差が発生に伴う、光ファイバ３に入射する反射戻り光の量の増加をより抑制することができる。

そして、図５Ａ及び図５Ｂからわかるように、受光素子１０の受光素子支持部材１１側の面に含まれるすべての辺の方向が、入射光の方向に直交する方向とは異なる方向に対応している必要はない。具体的には、受光素子１０の受光素子支持部材１１側の面に含まれる辺のうちの、辺の延伸方向が光の入射方向に対応する直線と、光ファイバ３の光軸の方向に対応する直線と、受光素子支持部材１１の受光素子１０を支持する支持面と、に囲まれる領域に交差する辺の方向が、光の入射方向に直交する方向とは異なる方向に対応していればよい。

なお、本発明は上記実施形態にも限定されるものではない。

例えば、本実施形態に係る光受信モジュール１が備える受光素子１０が、受光素子支持部材１１の支持面に対して傾斜していなくてもよい。また、ステム２１の内側面とサブマウント２０の内側面（受光素子１０を支持する支持面）とが略平行でなくてもよい。また、受光素子１０の受光面１０ｂとサブマウント側面１０ａとが略平行でなくてもよい。また、受光素子１０の受光面１０ｂの形状とサブマウント側面１０ａの形状が異なっていてもよい。

本発明の一実施形態に係る光受信モジュールの概略構成の一例を示す概略断面図である。本発明の一実施形態に係る受光素子と受光素子支持部材の詳細の一例を示す正面図である。本発明の一実施形態に係る受光素子と受光素子支持部材の詳細の一例を示す平面図である。本発明の一実施形態に係る受光素子と受光素子支持部材の詳細の一例を示す左側面図である。比較例の受光素子と受光素子支持部材の詳細を示す正面図である。比較例の受光素子と受光素子支持部材の詳細を示す平面図である。比較例の受光素子と受光素子支持部材の詳細を示す左側面図である。本発明の別の実施形態に係る受光素子と受光素子支持部材の詳細の一例を示す正面図である。本発明の別の実施形態に係る受光素子と受光素子支持部材の詳細の一例を示す平面図である。本発明のさらに別の実施形態に係る受光素子と受光素子支持部材の詳細の一例を示す正面図である。本発明のさらに別の実施形態に係る受光素子と受光素子支持部材の詳細の一例を示す平面図である。

符号の説明

１光受信モジュール、２コネクタ、３光ファイバ、４リードピン、５フレキシブル基板、１０受光素子、１０ａサブマウント側面、１０ｂ受光面、１０ｃ受光部、１１受光素子支持部材、１２搭載素子、１３レンズ、１４光レセプタクル、１５レンズ収容部、１５ａレンズ収容後部、１５ｂレンズ収容前部、１６光ファイバ収容部、１７ａ凹部、１７ｂ凹部、２０サブマウント、２０ａ受光素子支持面、２１ステム、２１ａサブマウント支持面、２２光軸交点、２３ずれ垂直面、２４電極、２５ワイヤ、２６光線交点。

Claims

接続される光ファイバを通って入射する光を受け付ける光受信モジュールであって、
受光素子と、前記受光素子を支持する支持部材と、を備え、
前記受光素子が、前記光ファイバの光軸上の位置からずらして、前記支持部材の支持面に配置されており、
前記入射する光を受光する前記受光素子の受光面が、前記入射する光に対して直交方向とならないように配置されており、
前記光ファイバの光軸と前記支持部材の前記支持面との交点が含まれる、前記支持部材の前記支持面に垂直な平面であって、前記入射する光と前記受光素子の前記受光面が交差する光線交点から当該平面に下ろした垂線が前記光ファイバの光軸と交差する平面であるずれ垂直平面が、前記受光素子の前記支持面側の面に含まれる複数の辺のうち、前記交点に最も近い辺と平行とならないように前記受光素子が配置されている、
ことを特徴とする光受信モジュール。
請求項１に記載の光受信モジュールであって、
前記受光素子の前記支持面の面に含まれるすべての辺の方向が、前記ずれ垂直平面と平行とならないように前記受光素子が配置されている、
ことを特徴とする光受信モジュール。
請求項１又は２に記載の光受信モジュールであって、
前記受光素子の前記受光面が、前記支持部材の前記支持面に対して、前記光ファイバの光軸に向かう方向に傾斜している、
ことを特徴とする光受信モジュール。
受光素子と、前記受光素子を支持する支持部材と、を備える、接続される光ファイバを通って入射する光を受け付ける光受信モジュールの製造方法であって、
前記光ファイバの光軸上の位置からずらして、前記支持部材の支持面に、前記入射する光を受光する前記受光素子の受光面が、前記入射する光に対して直交方向とならず、かつ、前記光ファイバの光軸と前記支持部材の前記支持面との交点が含まれる、前記支持部材の前記支持面に垂直な平面であって、前記入射する光と前記受光素子の前記受光面が交差する光線交点から当該平面に下ろした垂線が前記光ファイバの光軸と交差する平面であるずれ垂直平面が、前記受光素子の前記支持面側の面に含まれる複数の辺のうち、前記交点に最も近い辺と平行とならないように前記受光素子を配置する工程、
を含むことを特徴とする光受信モジュールの製造方法。