JPH0894887A - 光結合部品およびその製造方法 - Google Patents
光結合部品およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH0894887A JPH0894887A JP6228162A JP22816294A JPH0894887A JP H0894887 A JPH0894887 A JP H0894887A JP 6228162 A JP6228162 A JP 6228162A JP 22816294 A JP22816294 A JP 22816294A JP H0894887 A JPH0894887 A JP H0894887A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- shaped groove
- substrate
- receiving element
- optical coupling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 受光素子と光ファイバとの間の位置合わせを
容易にすると共に組立て工数の少ない光学的に安定な光
結合部品およびその製造方法を提供する。 【構成】 光ファイバ４或は光ファイバから放射された
光に対して受光素子５の受光面を傾斜せしめた光結合部
品およびその製造方法。
容易にすると共に組立て工数の少ない光学的に安定な光
結合部品およびその製造方法を提供する。 【構成】 光ファイバ４或は光ファイバから放射された
光に対して受光素子５の受光面を傾斜せしめた光結合部
品およびその製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光結合部品およびそ
の製造方法に関し、特に、受光素子と光ファイバとの間
の位置合わせを容易にすると共に、組立て工数の少ない
光学的に安定な光結合部品およびその製造方法に関す
る。
の製造方法に関し、特に、受光素子と光ファイバとの間
の位置合わせを容易にすると共に、組立て工数の少ない
光学的に安定な光結合部品およびその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光通信装置、光計測装置に使用される光
結合部品は、受光素子の受光部分と光を伝送する光ファ
イバの端面とを整合して光結合損失を少なく結合するこ
とが必要である。図４は光結合部品およびその製造方法
の従来例を説明する図であり、図４（ａ）はこの発明に
使用される基板の斜視図、図４（ｂ）は図４（ａ）の断
面を示す図である。図４において、１は基板であり、２
は基板１の上面に形成されるＶ字型溝である。４は光フ
ァイバ、５は受光素子である。７は直方体のサブマウン
トであり、その一つの面に受光素子５が接合される。基
板１の上面に形成されるＶ字型溝２は光ファイバ４が載
置嵌合されたときにこれを安定に整列せしめる整列用に
形成されたものである。ここで、基板１の上面に形成さ
れるＶ字型溝２に光ファイバ４を載置嵌合して安定に整
列接合せしめる。一方、受光素子５は直方体のサブマウ
ント７に接合する。そして、サブマウント７の受光素子
５を接合した面がファイバ４端面と対向する様に、基板
１に対してこのサブマウント７を接合固定する。
結合部品は、受光素子の受光部分と光を伝送する光ファ
イバの端面とを整合して光結合損失を少なく結合するこ
とが必要である。図４は光結合部品およびその製造方法
の従来例を説明する図であり、図４（ａ）はこの発明に
使用される基板の斜視図、図４（ｂ）は図４（ａ）の断
面を示す図である。図４において、１は基板であり、２
は基板１の上面に形成されるＶ字型溝である。４は光フ
ァイバ、５は受光素子である。７は直方体のサブマウン
トであり、その一つの面に受光素子５が接合される。基
板１の上面に形成されるＶ字型溝２は光ファイバ４が載
置嵌合されたときにこれを安定に整列せしめる整列用に
形成されたものである。ここで、基板１の上面に形成さ
れるＶ字型溝２に光ファイバ４を載置嵌合して安定に整
列接合せしめる。一方、受光素子５は直方体のサブマウ
ント７に接合する。そして、サブマウント７の受光素子
５を接合した面がファイバ４端面と対向する様に、基板
１に対してこのサブマウント７を接合固定する。
【０００３】以上の如く、サブマウント７を使用してサ
ブマウント７の一つの面において受光素子５の上下方向
の取り付け位置を調整することにより、ファイバ４端面
の上下方向の高さに対応する受光素子５の上下方向の高
さを調整設定することができる。次いで、サブマウント
７を基板１の上面において水平方向に接合すべき位置を
調整することにより、受光素子５はファイバ４端面に対
して水平垂直両方向について対応するに到る。
ブマウント７の一つの面において受光素子５の上下方向
の取り付け位置を調整することにより、ファイバ４端面
の上下方向の高さに対応する受光素子５の上下方向の高
さを調整設定することができる。次いで、サブマウント
７を基板１の上面において水平方向に接合すべき位置を
調整することにより、受光素子５はファイバ４端面に対
して水平垂直両方向について対応するに到る。
【０００４】また、図５はこの発明に使用される基板の
斜視図、図５（ｂ）は図５（ａ）の断面を示す図であ
る。図５の従来例は、光ファイバ４の端部を斜めに研磨
してこれを反射面３’とし、光ファイバ４を伝播する光
をこの反射面３’において反射せしめて光ファイバ４か
ら放射される出射光を受光素子５の受光面に入射せしめ
る様にしている。
斜視図、図５（ｂ）は図５（ａ）の断面を示す図であ
る。図５の従来例は、光ファイバ４の端部を斜めに研磨
してこれを反射面３’とし、光ファイバ４を伝播する光
をこの反射面３’において反射せしめて光ファイバ４か
ら放射される出射光を受光素子５の受光面に入射せしめ
る様にしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ここで、図４の従来例
は、光ファイバ４および光ファイバ４から放射される光
に対して受光素子５の受光面は垂直であり、受光面にお
いて反射光が発生すると、これは光ファイバ４を介して
逆行し、レーザーダイオードより成る光源に戻ることと
なるので、この戻り光はレーザーダイオードの発振状態
に悪影響を及ぼす恐れがある。
は、光ファイバ４および光ファイバ４から放射される光
に対して受光素子５の受光面は垂直であり、受光面にお
いて反射光が発生すると、これは光ファイバ４を介して
逆行し、レーザーダイオードより成る光源に戻ることと
なるので、この戻り光はレーザーダイオードの発振状態
に悪影響を及ぼす恐れがある。
【０００６】ところで、図５により図示説明される従来
例は、図４の従来例において生ずる恐れのある反射光の
逆行を阻止することができるものであるが、光ファイバ
端部３’を斜めに研磨するに多くの工程数を必要とする
上に、光ファイバ４を基板１に固定するに際して、その
軸の回転を精密に制御して受光素子と光ファイバの端面
３’の光学的結合を図らなければならない。
例は、図４の従来例において生ずる恐れのある反射光の
逆行を阻止することができるものであるが、光ファイバ
端部３’を斜めに研磨するに多くの工程数を必要とする
上に、光ファイバ４を基板１に固定するに際して、その
軸の回転を精密に制御して受光素子と光ファイバの端面
３’の光学的結合を図らなければならない。
【０００７】この発明は、受光素子と光ファイバとの間
の位置合わせを容易にすると共に、組立て工数の少ない
光学的に安定な光結合部品およびその製造方法を提供す
るものである。
の位置合わせを容易にすると共に、組立て工数の少ない
光学的に安定な光結合部品およびその製造方法を提供す
るものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】光ファイバ４或は光ファ
イバから放射された光に対して受光素子の受光面を傾斜
せしめた光結合部品を構成した。表面に水平方向にＶ字
型溝２を形成する基板１を具備し、一面を傾斜面３とし
た非直方体のサブマウント７を具備し、Ｖ字型溝２に光
ファイバ４を固定し、サブマウント７の傾斜面３に受光
素子５を固定し、受光素子５を光ファイバ４に対向せし
めてサブマウント７を基板１に固定したことを特徴とす
る光結合部品を構成した。
イバから放射された光に対して受光素子の受光面を傾斜
せしめた光結合部品を構成した。表面に水平方向にＶ字
型溝２を形成する基板１を具備し、一面を傾斜面３とし
た非直方体のサブマウント７を具備し、Ｖ字型溝２に光
ファイバ４を固定し、サブマウント７の傾斜面３に受光
素子５を固定し、受光素子５を光ファイバ４に対向せし
めてサブマウント７を基板１に固定したことを特徴とす
る光結合部品を構成した。
【０００９】表面に水平方向にＶ字型溝２を形成する基
板１を具備し、直方体のサブマウント７を具備し、受光
面と取り付け面とは非平行に構成された受光素子５を具
備し、Ｖ字型溝２に光ファイバ４を固定し、サブマウン
ト７に受光素子５を固定し、受光素子５の受光面を光フ
ァイバ４に対向せしめてサブマウント７を基板１に固定
した光結合部品を構成した。
板１を具備し、直方体のサブマウント７を具備し、受光
面と取り付け面とは非平行に構成された受光素子５を具
備し、Ｖ字型溝２に光ファイバ４を固定し、サブマウン
ト７に受光素子５を固定し、受光素子５の受光面を光フ
ァイバ４に対向せしめてサブマウント７を基板１に固定
した光結合部品を構成した。
【００１０】表面に水平方向にＶ字型溝２を形成すると
共にＶ字型溝２に対向する傾斜面３を有する深溝３０を
Ｖ字型溝２に直交して形成する基板１を具備し、Ｖ字型
溝２に光ファイバ４を固定し、傾斜面３に受光素子５を
固定したことを特徴とする光結合部品を構成した。そし
て、受光素子はＶ字型溝のピッチに対応するピッチに配
列された受光面を有する一次元アレイより成るものであ
る光結合部品を構成した。また、基板の材料は単結晶よ
り成る光結合部品を構成した。
共にＶ字型溝２に対向する傾斜面３を有する深溝３０を
Ｖ字型溝２に直交して形成する基板１を具備し、Ｖ字型
溝２に光ファイバ４を固定し、傾斜面３に受光素子５を
固定したことを特徴とする光結合部品を構成した。そし
て、受光素子はＶ字型溝のピッチに対応するピッチに配
列された受光面を有する一次元アレイより成るものであ
る光結合部品を構成した。また、基板の材料は単結晶よ
り成る光結合部品を構成した。
【００１１】表面に水平方向にＶ字型溝２を形成すると
共にＶ字型溝２に対向する傾斜面３を有する深溝３０を
Ｖ字型溝２に直交して形成する基板１を具備し、Ｖ字型
溝２に光ファイバ４を固定し、傾斜面３に受光素子５を
固定した光結合部品を製造する光結合部品製造方法にお
いて、基板１の材料として単結晶を使用し、異方性エッ
チングを施すことによりＶ字型溝および深溝を形成する
光結合部品製造方法を構成した。そして受光素子はＶ字
型溝のピッチに対応するピッチに配列された受光面を有
する一次元アレイより成るものである光結合部品製造方
法を構成した。
共にＶ字型溝２に対向する傾斜面３を有する深溝３０を
Ｖ字型溝２に直交して形成する基板１を具備し、Ｖ字型
溝２に光ファイバ４を固定し、傾斜面３に受光素子５を
固定した光結合部品を製造する光結合部品製造方法にお
いて、基板１の材料として単結晶を使用し、異方性エッ
チングを施すことによりＶ字型溝および深溝を形成する
光結合部品製造方法を構成した。そして受光素子はＶ字
型溝のピッチに対応するピッチに配列された受光面を有
する一次元アレイより成るものである光結合部品製造方
法を構成した。
【００１２】表面に水平方向にＶ字型溝２を形成すると
共にＶ字型溝２に対向する傾斜面３を有する深溝３０を
Ｖ字型溝２に直交して形成する基板１を具備し、Ｖ字型
溝２に光ファイバ４を固定し、傾斜面３は鏡面とし、受
光素子５はその受光面を傾斜面３に向けて基板１に配置
取り付けた光結合部品を構成した。そして、傾斜面３は
金属膜を形成したものである光結合部品を構成した。ま
た、基板の材料は単結晶より成る光結合部品を構成し
た。
共にＶ字型溝２に対向する傾斜面３を有する深溝３０を
Ｖ字型溝２に直交して形成する基板１を具備し、Ｖ字型
溝２に光ファイバ４を固定し、傾斜面３は鏡面とし、受
光素子５はその受光面を傾斜面３に向けて基板１に配置
取り付けた光結合部品を構成した。そして、傾斜面３は
金属膜を形成したものである光結合部品を構成した。ま
た、基板の材料は単結晶より成る光結合部品を構成し
た。
【００１３】表面に水平方向にＶ字型溝２を形成すると
共にＶ字型溝２に対向する傾斜面３を有する深溝３０を
Ｖ字型溝２に直交して形成する基板１を具備し、Ｖ字型
溝２に光ファイバ４を固定し、傾斜面３は鏡面とし、受
光素子５はその受光面を傾斜面３に向けて基板１に配置
取り付けた光結合部品を製造する光結合部品製造方法に
おいて、基板の材料として単結晶を使用し、異方性エッ
チングを施すことによりＶ字型溝および深溝を形成する
光結合部品製造方法を構成した。そして、受光素子はＶ
字型溝のピッチに対応するピッチに配列された受光面を
有する一次元アレイより成るものである光結合部品製造
方法を構成した。また、傾斜面３は金属膜を形成したも
のである光結合部品製造方法を構成した。
共にＶ字型溝２に対向する傾斜面３を有する深溝３０を
Ｖ字型溝２に直交して形成する基板１を具備し、Ｖ字型
溝２に光ファイバ４を固定し、傾斜面３は鏡面とし、受
光素子５はその受光面を傾斜面３に向けて基板１に配置
取り付けた光結合部品を製造する光結合部品製造方法に
おいて、基板の材料として単結晶を使用し、異方性エッ
チングを施すことによりＶ字型溝および深溝を形成する
光結合部品製造方法を構成した。そして、受光素子はＶ
字型溝のピッチに対応するピッチに配列された受光面を
有する一次元アレイより成るものである光結合部品製造
方法を構成した。また、傾斜面３は金属膜を形成したも
のである光結合部品製造方法を構成した。
【００１４】
【実施例】この発明を要約するに、光ファイバ或は光フ
ァイバから放射される光に対して受光素子の受光面を傾
斜せしめることにより受光素子と光ファイバとの間の位
置合わせを容易にすると共に、組立て工数の少ない光学
的に安定な光結合部品を提供することができる。以下、
この発明の実施例を具体的に説明する。
ァイバから放射される光に対して受光素子の受光面を傾
斜せしめることにより受光素子と光ファイバとの間の位
置合わせを容易にすると共に、組立て工数の少ない光学
的に安定な光結合部品を提供することができる。以下、
この発明の実施例を具体的に説明する。
【００１５】この発明の実施例を図１を参照して説明す
る。図１（ａ）はこの発明に使用される基板の斜視図で
あり、図１（ｂ）および図１（ｃ）は図１（ａ）に光フ
ァイバおよび受光素子を固定したところの断面を示す図
である。図１において、１は基板、４は光ファイバ、５
は受光素子である。７は受光素子を接合してこれを基板
１に接合固定するサブマウントである。
る。図１（ａ）はこの発明に使用される基板の斜視図で
あり、図１（ｂ）および図１（ｃ）は図１（ａ）に光フ
ァイバおよび受光素子を固定したところの断面を示す図
である。図１において、１は基板、４は光ファイバ、５
は受光素子である。７は受光素子を接合してこれを基板
１に接合固定するサブマウントである。
【００１６】図１（ｂ）の実施例においては、サブマウ
ント７を非直方体に構成して一面を傾斜面３としてい
る。傾斜面３に受光素子５を接合固定し、サブマウント
７を基板１に接合固定することにより受光素子５の受光
面が光ファイバ４の延長線に対して傾斜する様にしてい
る。この様にすることにより、受光素子５の受光面にお
いて反射が生じても、反射光は光ファイバ４に逆行する
ことはない。
ント７を非直方体に構成して一面を傾斜面３としてい
る。傾斜面３に受光素子５を接合固定し、サブマウント
７を基板１に接合固定することにより受光素子５の受光
面が光ファイバ４の延長線に対して傾斜する様にしてい
る。この様にすることにより、受光素子５の受光面にお
いて反射が生じても、反射光は光ファイバ４に逆行する
ことはない。
【００１７】図１（ｃ）の実施例においては、受光素子
５はその受光面とサブマウント７に接合固定する取り付
け面とは非平行に構成されている。サブマウント７は直
方体に構成してその垂直面に受光素子５をその取り付け
面を介して接合固定し、サブマウント７を基板１に接合
固定することにより、サブマウント７の垂直面に取り付
けられた受光素子５の受光面が光ファイバ４の延長線に
対して傾斜する様にしている。この様にしても、同様に
受光素子５の受光面における反射光は光ファイバ４に逆
行することはない。
５はその受光面とサブマウント７に接合固定する取り付
け面とは非平行に構成されている。サブマウント７は直
方体に構成してその垂直面に受光素子５をその取り付け
面を介して接合固定し、サブマウント７を基板１に接合
固定することにより、サブマウント７の垂直面に取り付
けられた受光素子５の受光面が光ファイバ４の延長線に
対して傾斜する様にしている。この様にしても、同様に
受光素子５の受光面における反射光は光ファイバ４に逆
行することはない。
【００１８】この発明の他の実施例を図２（ａ）および
図２（ｂ）を参照して説明する。図２（ａ）はこの発明
に使用される基板の斜視図であり、図２（ｂ）は図２
（ａ）の断面を示す図である。図２において、１は珪素
Ｓｉより成る基板であり、２は基板１の上面に形成され
るＶ字型溝である。３０はＶ字型溝２と同様に基板１の
上面に形成される深溝である。この深溝３０はＶ字型溝
２と直交する方向に形成され、その深さはＶ字型溝２と
比較して深い。３は深溝３０の傾斜面を示す。４は光フ
ァイバ、５は受光素子である。Ｖ字型溝２は光ファイバ
４が載置嵌合されたときにこれを安定に整列せしめる整
列用に形成されたものである。
図２（ｂ）を参照して説明する。図２（ａ）はこの発明
に使用される基板の斜視図であり、図２（ｂ）は図２
（ａ）の断面を示す図である。図２において、１は珪素
Ｓｉより成る基板であり、２は基板１の上面に形成され
るＶ字型溝である。３０はＶ字型溝２と同様に基板１の
上面に形成される深溝である。この深溝３０はＶ字型溝
２と直交する方向に形成され、その深さはＶ字型溝２と
比較して深い。３は深溝３０の傾斜面を示す。４は光フ
ァイバ、５は受光素子である。Ｖ字型溝２は光ファイバ
４が載置嵌合されたときにこれを安定に整列せしめる整
列用に形成されたものである。
【００１９】ここで、光ファイバ４と受光素子５とを光
学的に結合して光結合部品を製造するに際して、光ファ
イバ４を光ファイバ整列用のＶ字型溝２に載置嵌合さ
せ、この状態において接着剤を使用して接合固定する。
一方、光ファイバ整列用Ｖ字型溝２に対向する深溝３０
の傾斜面３に受光素子５を固定する。受光素子５を固定
する深溝３０の面を垂直面とはせずに傾斜面３とする理
由は、受光素子５をその受光面側を把持して接合される
べき側を受光素子固定面に適用する工具は一般に垂直方
向運動するものであるところから、受光素子固定面が垂
直面であるとこの面に接合されるべき側を係合せしめる
ことができないからである。深溝３０の面を傾斜面３と
し、この傾斜面３を水平状態に保持することにより、垂
直方向運動する工具に把持される受光素子５はこの水平
状態にある傾斜面３に適用することができることとな
る。受光素子５は深溝３０の傾斜面３におけるＶ字型溝
２に接合固定された光ファイバ４の延長線上に接合固定
される。ここで、上述のＶ字型溝２および深溝３０は、
基板１の材料として単結晶を使用し、異方性エッチング
を施すことにより正確容易に形成することができる。
学的に結合して光結合部品を製造するに際して、光ファ
イバ４を光ファイバ整列用のＶ字型溝２に載置嵌合さ
せ、この状態において接着剤を使用して接合固定する。
一方、光ファイバ整列用Ｖ字型溝２に対向する深溝３０
の傾斜面３に受光素子５を固定する。受光素子５を固定
する深溝３０の面を垂直面とはせずに傾斜面３とする理
由は、受光素子５をその受光面側を把持して接合される
べき側を受光素子固定面に適用する工具は一般に垂直方
向運動するものであるところから、受光素子固定面が垂
直面であるとこの面に接合されるべき側を係合せしめる
ことができないからである。深溝３０の面を傾斜面３と
し、この傾斜面３を水平状態に保持することにより、垂
直方向運動する工具に把持される受光素子５はこの水平
状態にある傾斜面３に適用することができることとな
る。受光素子５は深溝３０の傾斜面３におけるＶ字型溝
２に接合固定された光ファイバ４の延長線上に接合固定
される。ここで、上述のＶ字型溝２および深溝３０は、
基板１の材料として単結晶を使用し、異方性エッチング
を施すことにより正確容易に形成することができる。
【００２０】以上の通り、光ファイバ４から放射される
光に対して受光素子５の受光面は傾斜しているので、受
光素子５の受光面において反射光が発生しても、これは
光ファイバ４を介して逆行することはなく、この反射光
はレーザーダイオードに達して発振状態に悪影響を及ぼ
すことはなくなる。そして、受光素子５の受光面は光フ
ァイバ４から放射される光に対して傾斜することとなる
が、受光素子５の受光面の径は光ファイバ４の放射光径
と比較してはるかにおおきく、放射光が受光素子５の受
光面内に収まっていさえすれば、感度の低下問題とはな
らない。基板１の材料として珪素Ｓｉを採用する場合、
傾斜面３を（１００）面に対して約５４°に加工するこ
とができる。シングル・モード・ファイバから放射され
る光の光径は１０μｍ程度であるので、５４°の傾斜面
３により受光すると、受光された光の径は長径約１３μ
ｍの楕円形となる。ところが、受光素子５の受光面の径
は通常数１００μｍの大きさがあるので、放射光が受光
面からはずれることはない。従って、受光素子５の受光
量は、受光面が光ファイバ４に直交する状態において受
光した場合と同様である。
光に対して受光素子５の受光面は傾斜しているので、受
光素子５の受光面において反射光が発生しても、これは
光ファイバ４を介して逆行することはなく、この反射光
はレーザーダイオードに達して発振状態に悪影響を及ぼ
すことはなくなる。そして、受光素子５の受光面は光フ
ァイバ４から放射される光に対して傾斜することとなる
が、受光素子５の受光面の径は光ファイバ４の放射光径
と比較してはるかにおおきく、放射光が受光素子５の受
光面内に収まっていさえすれば、感度の低下問題とはな
らない。基板１の材料として珪素Ｓｉを採用する場合、
傾斜面３を（１００）面に対して約５４°に加工するこ
とができる。シングル・モード・ファイバから放射され
る光の光径は１０μｍ程度であるので、５４°の傾斜面
３により受光すると、受光された光の径は長径約１３μ
ｍの楕円形となる。ところが、受光素子５の受光面の径
は通常数１００μｍの大きさがあるので、放射光が受光
面からはずれることはない。従って、受光素子５の受光
量は、受光面が光ファイバ４に直交する状態において受
光した場合と同様である。
【００２１】また、基板１自体に深溝３０を形成してそ
の傾斜面３に受光素子５を直接固定することとしたの
で、従来例におけるが如く受光素子５を接合固定する別
体のサブマウントは必要としない。従って、受光素子５
の接合固定工程は１回であり、その分工程は簡略化され
る。この発明の、更に他の実施例を図３（ａ）および図
３（ｂ）を参照して説明する。図３（ａ）はこの発明に
使用される基板の斜視図であり、図３（ｂ）は図３
（ａ）の断面を示す図である。
の傾斜面３に受光素子５を直接固定することとしたの
で、従来例におけるが如く受光素子５を接合固定する別
体のサブマウントは必要としない。従って、受光素子５
の接合固定工程は１回であり、その分工程は簡略化され
る。この発明の、更に他の実施例を図３（ａ）および図
３（ｂ）を参照して説明する。図３（ａ）はこの発明に
使用される基板の斜視図であり、図３（ｂ）は図３
（ａ）の断面を示す図である。
【００２２】図３において、１は珪素Ｓｉより成る基板
であり、２は基板１の上面に形成されるＶ字型溝であ
る。３０はＶ字型溝２と同様に基板１の上面に形成され
る深溝である。この深溝３０はＶ字型溝２と直交する方
向に形成され、その深さはＶ字型溝２と比較して深い。
３は深溝３０の傾斜鏡面を示す。４は光ファイバ、５は
受光素子である。Ｖ字型溝２は光ファイバ４が載置嵌合
されたときにこれを安定に整列せしめる整列用に形成さ
れたものである。
であり、２は基板１の上面に形成されるＶ字型溝であ
る。３０はＶ字型溝２と同様に基板１の上面に形成され
る深溝である。この深溝３０はＶ字型溝２と直交する方
向に形成され、その深さはＶ字型溝２と比較して深い。
３は深溝３０の傾斜鏡面を示す。４は光ファイバ、５は
受光素子である。Ｖ字型溝２は光ファイバ４が載置嵌合
されたときにこれを安定に整列せしめる整列用に形成さ
れたものである。
【００２３】ここで、基板１を構成する材料として珪素
Ｓｉを採用することにより、傾斜鏡面３を（１００）面
に対して約５４°の傾斜面に加工することができる。光
ファイバ４から放射された光は傾斜鏡面３に入射し、こ
こにおいて反射して受光素子５の受光面に入射する。こ
の場合、約５４°の傾斜鏡面３による反射光は、受光素
子５の受光面に垂直とはならないが、シングル・モード
・ファイバの出射光径は１０μｍ程度であるのに対し
て、受光面の径は数百μｍ程度と充分大きく、出射光が
受光面からはずれることはない。従って、受光素子５の
受光量は垂直に受光した場合とかわらない。
Ｓｉを採用することにより、傾斜鏡面３を（１００）面
に対して約５４°の傾斜面に加工することができる。光
ファイバ４から放射された光は傾斜鏡面３に入射し、こ
こにおいて反射して受光素子５の受光面に入射する。こ
の場合、約５４°の傾斜鏡面３による反射光は、受光素
子５の受光面に垂直とはならないが、シングル・モード
・ファイバの出射光径は１０μｍ程度であるのに対し
て、受光面の径は数百μｍ程度と充分大きく、出射光が
受光面からはずれることはない。従って、受光素子５の
受光量は垂直に受光した場合とかわらない。
【００２４】以上の通り、この実施例においても、受光
素子５の受光面において反射光が発生しても、これは光
ファイバ４を介して逆行することはなく、この反射光は
レーザーダイオードに達して発振状態に悪影響を及ぼす
ことはない。そして、光ファイバ４から放射される光を
Ｖ字型溝と共通の基板に形成した傾斜鏡面３を介して受
光素子５の受光面に導入することにより、サブマウント
を不要とし、組立て工数を削減し、光ファイバと受光素
子の位置合せを容易にすることができる。また、鏡面と
Ｖ字型溝が一体となっており、光ファイバの固定時に反
射光の向きを調整する必要はない。
素子５の受光面において反射光が発生しても、これは光
ファイバ４を介して逆行することはなく、この反射光は
レーザーダイオードに達して発振状態に悪影響を及ぼす
ことはない。そして、光ファイバ４から放射される光を
Ｖ字型溝と共通の基板に形成した傾斜鏡面３を介して受
光素子５の受光面に導入することにより、サブマウント
を不要とし、組立て工数を削減し、光ファイバと受光素
子の位置合せを容易にすることができる。また、鏡面と
Ｖ字型溝が一体となっており、光ファイバの固定時に反
射光の向きを調整する必要はない。
【００２５】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明に依れ
ば、受光素子と光ファイバとの間の位置合わせを容易に
すると共に、組立て工数の少ない光学的に安定な光結合
部品およびその製造方法を提供することができる。
ば、受光素子と光ファイバとの間の位置合わせを容易に
すると共に、組立て工数の少ない光学的に安定な光結合
部品およびその製造方法を提供することができる。
【図１】実施例を説明する図。
【図２】他の実施例を説明する図。
【図３】更に、他の実施例を説明する図。
【図４】従来例を説明する図。
【図５】従来例を説明する図。
１ 基板 ２ Ｖ字型溝 ３ 傾斜面 ４ 光ファイバ ５ 受光素子 ７ サブマウント ３０ 深溝
Claims (15)
- 【請求項１】 光ファイバ或は光ファイバから放射され
た光に対して受光素子の受光面を傾斜せしめたことを特
徴とする光結合部品。 - 【請求項２】 表面に水平方向にＶ字型溝を形成する基
板を具備し、一面を傾斜面とした非直方体のサブマウン
トを具備し、Ｖ字型溝に光ファイバを固定し、サブマウ
ントの傾斜面に受光素子を固定し、受光素子を光ファイ
バに対向せしめてサブマウントを基板に固定したことを
特徴とする光結合部品。 - 【請求項３】 表面に水平方向にＶ字型溝を形成する基
板を具備し、直方体のサブマウントを具備し、受光面と
取り付け面とは非平行に構成された受光素子を具備し、
Ｖ字型溝に光ファイバを固定し、サブマウントに受光素
子を固定し、受光素子の受光面を光ファイバに対向せし
めてサブマウントを基板に固定したことを特徴とする光
結合部品。 - 【請求項４】 表面に水平方向にＶ字型溝を形成すると
共にＶ字型溝に対向する傾斜面を有する深溝をＶ字型溝
に直交して形成する基板を具備し、Ｖ字型溝に光ファイ
バを固定し、傾斜面に受光素子を固定したことを特徴と
する光結合部品。 - 【請求項５】 請求項４に記載される光結合部品におい
て、受光素子はＶ字型溝のピッチに対応するピッチに配
列された受光面を有する一次元アレイより成るものであ
ることを特徴とする光結合部品。 - 【請求項６】 請求項４に記載される光結合部品におい
て、基板の材料は単結晶より成ることを特徴とする光結
合部品。 - 【請求項７】 表面に水平方向にＶ字型溝を形成すると
共にＶ字型溝に対向する傾斜面を有する深溝をＶ字型溝
に直交して形成する基板を具備し、Ｖ字型溝に光ファイ
バを固定し、傾斜面に受光素子を固定した光結合部品を
製造する光結合部品製造方法において、基板の材料とし
て単結晶を使用し、異方性エッチングを施すことにより
Ｖ字型溝および深溝を形成することを特徴とする光結合
部品製造方法。 - 【請求項８】 請求項７に記載される光結合部品製造方
法において、受光素子はＶ字型溝のピッチに対応するピ
ッチに配列された受光面を有する一次元アレイより成る
ものであることを特徴とする光結合部品製造方法。 - 【請求項９】 表面に水平方向にＶ字型溝を形成すると
共にＶ字型溝に対向する傾斜面を有する深溝をＶ字型溝
に直交して形成する基板を具備し、Ｖ字型溝に光ファイ
バを固定し、傾斜面は鏡面とし、受光素子はその受光面
を傾斜面に向けて基板に配置取り付けたことを特徴とす
る光結合部品。 - 【請求項１０】 請求項９に記載される光結合部品にお
いて、受光素子はＶ字型溝のピッチに対応するピッチに
配列された受光面を有する一次元アレイより成るもので
あることを特徴とする光結合部品。 - 【請求項１１】 請求項９に記載される光結合部品にお
いて、傾斜面３は金属膜を形成したものであることを特
徴とする光結合部品。 - 【請求項１２】 請求項９に記載される光結合部品にお
いて、基板の材料は単結晶より成ることを特徴とする光
結合部品。 - 【請求項１３】 表面に水平方向にＶ字型溝を形成する
と共にＶ字型溝に対向する傾斜面を有する深溝をＶ字型
溝に直交して形成する基板を具備し、Ｖ字型溝に光ファ
イバを固定し、傾斜面は鏡面とし、受光素子はその受光
面を傾斜面に向けて基板に配置取り付けた光結合部品を
製造する光結合部品製造方法において、基板の材料とし
て単結晶を使用し、異方性エッチングを施すことにより
Ｖ字型溝および深溝を形成することを特徴とする光結合
部品製造方法。 - 【請求項１４】 請求項１３に記載される光結合部品製
造方法において、受光素子はＶ字型溝のピッチに対応す
るピッチに配列された受光面を有する一次元アレイより
成るものであることを特徴とする光結合部品製造方法。 - 【請求項１５】 請求項１３に記載される光結合部品製
造方法において、傾斜面は金属膜を形成したものである
ことを特徴とする光結合部品製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228162A JPH0894887A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 光結合部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228162A JPH0894887A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 光結合部品およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0894887A true JPH0894887A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16872210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6228162A Pending JPH0894887A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 光結合部品およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0894887A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6062741A (en) * | 1997-07-03 | 2000-05-16 | Nec Corporation | Light-receptive module and a method for manufacturing the same |
| US7111993B2 (en) | 2003-03-27 | 2006-09-26 | Japan Aviation Electronics Industry Limitedc | Optical monitor module |
| JP2012129390A (ja) * | 2010-12-16 | 2012-07-05 | Opnext Japan Inc | 半導体発光素子、及びその製造方法 |
| US8378289B2 (en) | 2008-12-11 | 2013-02-19 | Oclaro Japan, Inc. | Optical receiver module and manufacturing method with a shifted and angled light receiving element |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP6228162A patent/JPH0894887A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6062741A (en) * | 1997-07-03 | 2000-05-16 | Nec Corporation | Light-receptive module and a method for manufacturing the same |
| US7111993B2 (en) | 2003-03-27 | 2006-09-26 | Japan Aviation Electronics Industry Limitedc | Optical monitor module |
| US8378289B2 (en) | 2008-12-11 | 2013-02-19 | Oclaro Japan, Inc. | Optical receiver module and manufacturing method with a shifted and angled light receiving element |
| JP2012129390A (ja) * | 2010-12-16 | 2012-07-05 | Opnext Japan Inc | 半導体発光素子、及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6874950B2 (en) | Devices and methods for side-coupling optical fibers to optoelectronic components | |
| US4802727A (en) | Positioning optical components and waveguides | |
| JP2010540991A (ja) | ２基板パラレル方式の光学サブアセンブリ | |
| TWI309313B (en) | Micro-optical device | |
| US6964527B2 (en) | Substrate, optical fiber connection end member, optical element housing member, and method of fabrication of an optical module and the substrate | |
| JP3179743B2 (ja) | フォトニクス装置の製造方法 | |
| JPH02190804A (ja) | 光電素子パッケージとその形成方法 | |
| JP3731754B2 (ja) | 構成要素に導波管を結合するための方法および装置 | |
| KR19980045943A (ko) | 하이브리드 광집적회로용 마이크로 거울, 그의 제조방법, 마이크로 거울-광검출기 어셈블리 및 광수신용 하이브리드 광집적회로 어셈블리 | |
| JPH1090577A (ja) | 光学素子取り付け方法 | |
| EP0846966A2 (en) | Optical waveguide | |
| JPH0894887A (ja) | 光結合部品およびその製造方法 | |
| JPS6360413A (ja) | 発光素子と光フアイバの結合方法および光導波型結合装置 | |
| JP3959422B2 (ja) | 両方向光送受信モジュール及びこれを用いた両方向光送受信パッケージ | |
| JP3202296B2 (ja) | 半導体レーザアレイとシングルモードファイバアレイとの光結合構造 | |
| JPH09159882A (ja) | 光素子と光ファイバの結合構造及び結合方法 | |
| JP2630236B2 (ja) | 光送受信装置 | |
| JP2002055264A (ja) | 光学部品をベースに装着した傾斜導波路と整合させる方法および関連する光学装置 | |
| JPH10186183A (ja) | 光アレーモジュール | |
| JP2000009953A (ja) | 波長分波器とこの波長分波器を備えた光送受信モジュール | |
| JP2002062458A (ja) | 光モジュールおよびその組立方法、光モジュールを用いた映像表示装置 | |
| JP3236996B2 (ja) | 光モジュールの製作方法 | |
| JP3266376B2 (ja) | 光パッケージ | |
| JP4375958B2 (ja) | 光モジュール | |
| JPH06230236A (ja) | 光回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990727 |