JP2630236B2 - 光送受信装置 - Google Patents

光送受信装置

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JP2630236B2
JP2630236B2 JP5320660A JP32066093A JP2630236B2 JP 2630236 B2 JP2630236 B2 JP 2630236B2 JP 5320660 A JP5320660 A JP 5320660A JP 32066093 A JP32066093 A JP 32066093A JP 2630236 B2 JP2630236 B2 JP 2630236B2
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JP
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optical
substrate
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silicon substrate
positioning
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和彦 天瀬
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Nippon Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光通信用モジュールの光
送受信装置に関し、特に光ファイバと光素子との無調整
光学結合が行える光送受信装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ファイバと光素子または、光集
積回路との結合に関する技術としては、例えば特開平１
−１２６６０８号公報に開示されている技術が知られて
いる。
【０００３】これは、図３に示すようにシリコンの異方
性エッチングを用いてファイバ固定用のＶ字溝１５をシ
リコン基板１９上に形成し、さらにこのシリコン基板１
９上に光導波路１３を形成する。この後、Ｖ字溝１５に
光ファイバ１４を固定することにより、光ファイバと光
導波路を無調整で光軸結合させるものである。
【０００４】従って、シリコン基板上にこのようなＶ字
溝、光導波路を複数形成することにより、複数の光ファ
イバと光導波路を同時に無調整で光軸結合させるという
ものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来技術で
は光ファイバを固定するシリコン基板と、光ファイバと
光軸結合される対象物（光集積回路、光素子等）が同一
のシリコン基板に形成されており、シリコン基板に形成
できる対象物については、光ファイバとの無調整光軸結
合が達成できた。
【０００６】しかし、シリコン基板上に形成困難な化合
物半導体光素子等は、シリコン基板上に形成することが
困難であり、光素子と光ファイバは別々の基板に固定
し、光軸調整を行わなくてはならないという問題点があ
った。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の光送受信装置
は、光ファイバ固定溝を水平上面部に有するシリコン基
板と、光素子が位置決め搭載されている面を有するサブ
マウント基板を含む光送受信装置であって、シリコン基
板はサブマウント基板位置決め用Ｖ字溝を水平上面部の
端部に有し、サブマウント基板はサブマウント基板位置
決め用Ｖ字溝と結合する位置決め用Ｖ字突起を有し、サ
ブマウント基板位置決め用Ｖ字溝と位置決め用Ｖ字突起
を結合することによりサブマウント基板の光素子が位置
決め搭載されている面がシリコン基板の水平上面部と直
交して光素子と光ファイバが光軸結合されることを特徴
とする。
【０００８】また、前記シリコン基板上の光ファイバ固
定溝は複数本あり、前記サブマウント上に位置決め搭載
されている光素子も複数あって、当該複数の光ファイバ
と光素子が同時に光軸結合されることを特徴とする。
【０００９】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
【００１０】図１は、本発明の一実施例である光並列送
受信装置の光結合部の斜視図である。
【００１１】光素子１は高精度にエッチングされたＶ字
突起３を含む段差構造を有する構造のサブマウント基板
２上に高位置精度に実装されている。
【００１２】シリコン基板６には、シリコンの異方性エ
ッチングにより光素子位置決め用Ｖ字溝４と光ファイバ
固定用Ｖ字溝５、及び溝１１，１２が形成されている。
【００１３】シリコン基板６上に形成したファイバ固定
用Ｖ字溝５及び溝１１，１２に光ファイバ７と光ファイ
バ被覆部８を入れ、上から樹脂接着剤とトップガイド９
によって光ファイバは位置決めされて固定されている。
【００１４】サブマウント基板２は図２の斜視図に示す
ように高精度にエッチングされたＶ字突起３を有してお
り、このＶ字突起３をシリコン基板６に形成されている
光素子位置決め用Ｖ字溝にかみ合わせることにより光結
合が行われる。
【００１５】このようにして光結合を行った後、ケース
１０、とサブマウント基板２、ケース１０とシリコン基
板６、サブマウント基板２とシリコン基板６、をそれぞ
れ樹脂接着剤で固定する。
【００１６】この時、光ファイバ７、も光素子１と光フ
ァイバ７の端面距離ができるだけ小さくなるようにシリ
コン基板６に固定している。この構造により容易に光素
子１と光ファイバ７の光軸結合を複数個同時に無調整で
行うことができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明では、あらかじめ光ファイバをＶ
字溝に固定し、サブマウント基板に高精度に光素子を搭
載しておけば、光軸調整を行う時間が大幅に短縮され、
無調整で複数個光ファイバと光素子の光軸結合が可能で
ある。
【００１８】また、光ファイバ固定用の基板上に形成す
ることが困難な光素子、光集積回路等の光結合無調整化
を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例である光並列送受信モジュー
ルの光結合部の斜視図。
【図２】本発明の一実施例である光並列送受信モジュー
ルのサブマウント基板の斜視図。
【図３】従来技術の一実施例である光出力装置で、
（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側断面図で
ある。
【符号の説明】
１ 光素子 ２ サブマウント基板 ３ Ｖ字突起 ４ 光素子位置決め用Ｖ字溝 ５ ファイバ整列用Ｖ字溝 ６ シリコン基板 ７ 光ファイバ ８ 光ファイバ被覆部 ９ トップガイド １０ ケース １１，１２ 溝 １３ 光導波路 １４ 光ファイバ １５ Ｖ字溝 １６ 垂直溝 １７ 光ファイバのコア １８ クラッド １９ シリコン基板 ２０ バッファ層

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光ファイバが水平上面部に形成された光
    ファイバ位置決め用Ｖ字溝に固定されたシリコン基板
    と、光素子が位置決め搭載されている面を有するサブマ
    ウント基板を含む光送受信装置において、 前記シリコン基板は前記サブマウント基板位置決め用Ｖ
    字溝を前記水平上面部の端部に有し、 前記サブマウント基板は前記サブマウント基板位置決め
    用Ｖ字溝と結合する位置決め用Ｖ字突起を有し、 前記サブマウント基板位置決め用Ｖ字溝と前記位置決め
    用Ｖ字突起を結合することにより前記サブマウント基板
    の光素子が位置決め搭載されている面が前記シリコン基
    板の前記水平上面部と直交して光ファイバと光素子の光
    軸結合を行うことを特徴とする光送受信装置。
  2. 【請求項２】 前記シリコ基板は複数の光ファイバ固定
    用Ｖ字溝を有し、前記サブマウント基板は光素子が複数
    位置決め搭載され、複数の光ファイバと複数の光素子が
    同時に光軸結合されることを特徴とする請求項１に記載
    の光送受信装置。
JP5320660A 1993-12-20 1993-12-20 光送受信装置 Expired - Lifetime JP2630236B2 (ja)

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JPH07174944A JPH07174944A (ja) 1995-07-14
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3087676B2 (ja) * 1997-02-13 2000-09-11 日本電気株式会社 ゲル状樹脂を用いた光結合系及び実装構造
JP3042453B2 (ja) * 1997-07-02 2000-05-15 日本電気株式会社 受光モジュール
JP2002196179A (ja) 2000-10-17 2002-07-10 Ngk Insulators Ltd ファイバアレイ及びその製造方法並びにファイバアレイを用いた光デバイス
DE10134637A1 (de) * 2001-07-17 2003-03-27 Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg Substrat für eine opto-elektronische Baugruppe
JP5135513B2 (ja) * 2008-02-20 2013-02-06 並木精密宝石株式会社 光ファイバアレイ

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52148140A (en) * 1976-06-04 1977-12-09 Oki Electric Ind Co Ltd Joint structure of optical fibre with optical semiconductor component
JPS6177025A (ja) * 1984-09-21 1986-04-19 Shimadzu Corp 光分流器の作成方法
JPH059685Y2 (ja) * 1985-08-20 1993-03-10

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