JP5132085B2 - 配線基板及びそれを用いた半導体素子の実装構造体 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係る半導体素子の実装構造体の断面図、図2の(a)は、図1に示す配線基板に用いられる織布の平面図、図2の(b)は、(a)に示す織布のA−A線断面図である。なお、図2(a)は、便宜上、織布を1枚のみ図示している。
複数の織布2は、x方向に対して略平行に配置される複数の繊維束2xと、y方向に対して略平行に配置される複数の繊維束2yとを互いに交差させた形で編み込んで構成されており、各繊維束2xは、図2(b)に示すように周期的に繊維束2yの上面側、下面側に交互に配置され、全体としてz方向にうねった波状に形成されている。一方、各繊維束2yは、図2(b)に示すように周期的に繊維束2xの上面側、下面側に交互に配置され、全体としてz方向にうねった波状に形成されている。なお、x方向、y方向、z方向は互いに直交しているものとする。
織布2を被覆する樹脂板3は、例えば、非金属無機フィラー(たとえば球状シリカ)を20wt%以上80wt%以下含有するエポキシ樹脂により形成されている。かかる構成により、20ppm/℃〜60ppm/℃の線膨張係数、2GPa〜5GPaのヤング率を実現できる。なお、樹脂板3は、単層であってもよいし、複数層で構成されていても良い。
単繊維5、繊維束2x、2yおよび樹脂板3のヤング率は、次のような方法で計測可能である。単繊維5のヤング率は、織布2を構成する繊維束2x、2yをほぐして、一本の単繊維5を取出し、この単繊維5について引張り試験機により測定して得られた単位断面積あたりの引張り応力を単繊維の伸び量で割ることで計測できる。また、繊維束2x、2yのヤング率は、繊維束2x、2yを引張り試験機により測定して得られた単位断面積あたりの引張り応力を繊維束2x、2yの伸び量で割ることで計測できる。そして、樹脂板3の場合、配線基板1を作製するときと同条件で硬化して作成したフィルムを矩形状の試験片に切り出し、この試験片を引張り試験機で測定して得られた単位断面積あたりの引張り応力を樹脂の伸び量で割ることにより計測できる。また従来周知のナノインデンテーション法を用いて計測することもできる。
また、単繊維5及び繊維束2x、2yの長手方向の線膨張係数及び樹脂板3の線膨張係数は、次のような方法で計測可能である。単繊維5の線膨張係数は、繊維束2x、2yから単繊維5を取り出し、これを寸法測定用のプローブに取り付け、単繊維5を引っ張る方向に加重を加えながら温度を上げ、温度変化による寸法変化を測定することにより計測できる。繊維束2x、2yの線膨張係数は、繊維束2x、2yを寸法測定用のプローブに取り付け、繊維束2x、2yを引っ張る方向に加重を加えながら温度を上げ、温度変化による寸法変化を測定することにより計測できる。樹脂板3の線膨張係数は、たとえば2mm×3mm×15mmの試験片を切り出し、この試験片に寸法測定用のプローブを接触させつつ温度を上げ、温度変化による寸法変化を測定することにより計測できる。
配線導体4は、樹脂板3の上面や内部、場合によっては下面にも形成されており、銅や 銀、金、アルミニウム、ニッケル、クロム等の導電性材料により所定パターンに形成されている。かかる配線導体4は、配線基板1に搭載されるICやLSI等の半導体素子に電気的に接続されており、該半導体素子に電力を供給する給電配線として機能する。なお、配線導体4としては、スルーホール導体や電極パッドを含んでも良い。
本実施形態に係る配線基板1は、例えば、以下の工程を経て製作される。
図5は、第2の実施形態に係る配線基板の織布を示す平面図である。以下では、本実施形態が第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、共通する構成に関する説明は原則的に省略する。
図6は、第3の実施形態に係る配線基板の織布を示す平面図である。以下では、本実施形態が第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、共通する構成に関する説明は原則的に省略する。
図7は、第4の実施形態に係る配線基板の織布を示す平面図である。以下では、本実施形態が第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、共通する構成に関する説明は原則的に省略する。
図8は、第5の実施形態に係る配線基板の織布を示す平面図である。以下では、本実施形態が第4の実施形態と異なる構成について主に説明し、共通する構成に関する説明は原則的に省略する。
図9は、第6の実施形態に係る配線基板の織布を示す平面図である。以下では、本実施形態が第4の実施形態と異なる構成について主に説明し、共通する構成に関する説明は原則的に省略する。
図10は、第7の実施形態に係る配線基板の織布を示す平面図である。以下では、本実施形態が第4の実施形態と異なる構成について主に説明し、共通する構成に関する説明は省略する。
本発明は、上述の第1乃至第7の実施形態に特に限定されるものではなく、種々の変更・改良が可能である。
2、2A、2B・・・織布
2x、2Ax、2Bx・・・繊維束
2y、2Ay、2By・・・繊維束
3・・・樹脂板
4・・・配線導体
5・・・単繊維
6・・・半導体素子
C・・・交差領域
Claims (5)
- 第1方向に沿って配置される複数の第1繊維束と、前記第1方向と直交する第2方向に沿って配置され、前記第1繊維束よりも小さな断面積を有する複数の第2繊維束と、を編み込んで構成される複数の第1織布と、
前記複数の第1織布を積層させた形で内部に収容する樹脂板と、
前記樹脂板にて、長手方向が前記第1方向に対して平行に配置される部位を有する複数の配線導体と、を備え、
前記複数の第1織布は、厚み方向に隣り合う前記第1織布が80°〜100°回転するように積層されており、
厚み方向に隣り合う前記第1織布において、一方の前記第1織布の各前記第2繊維束は、他方の前記第1織布の前記第1方向に隣り合う前記第1繊維束同士の間に位置している配線基板。 - 請求項1に記載の配線基板において、
前記第1繊維束は、前記第2繊維束よりも線膨張係数が小さい配線基板。 - 請求項1又は請求項2のいずれか1項に記載の配線基板において、
前記第1繊維束と前記第2繊維束との交差領域の幅は、前記第1繊維束と前記第2繊維束との非交差領域の幅よりも大きい配線基板。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の配線基板において、
前記第1繊維束及び前記第2繊維束は、各々がその長手方向と直交する方向に沿って間隔を空けて配列されており、
前記第2繊維束の配列ピッチは前記第1繊維束の配列ピッチよりも大きく設定されている配線基板。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の配線基板と、該配線基板に設けられる配線導体に対して接続される半導体素子と、を備えた半導体素子の実装構造体。
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