JP5130832B2 - 圧電デバイス - Google Patents

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Description

本発明は、圧電振動子と回路基板とを含んで構成される圧電デバイスに関する。
情報機器、移動体通信機器などの様々な電子機器に用いられる水晶発振器などに代表される圧電デバイスにおいては、情報機器、移動体通信機器などの小型薄型化に対応するために、市場から更なる小型薄型化が要求されている。
そこで、この小型薄型化の要求に応えるために、電子部品(以下、回路素子という)が搭載されたフレキシブル配線基板(以下、回路基板という)の上に、回路素子を覆うように複数の柱部材を介して圧電振動子を配置した圧電デバイスの構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。
上記の圧電デバイスは、複数の柱部材としての金属ボールが回路基板の4隅のランドパターン(以下、接続端子という)上に1個ずつ配置され、回路基板の接続端子と、この接続端子に対応する位置に形成された圧電振動子の面実装端子(以下、外部端子という)とが、金属ボールを介して半田により接続される。
特開2002−185254号公報
しかしながら、上記の圧電デバイスは、回路基板の4隅に接続端子があることから、例えば、図6の従来の回路基板の配線パターン図に示すように、回路基板120に搭載される回路素子123と接続端子121などとを接続する配線パターン125が、ボンディングパッド122などを迂回して形成されている。
これにより、圧電デバイスは、配線パターン125の配線距離が長くなることから、回路基板の配線が効率的に行われていない。
このことから、圧電デバイスは、外形サイズを小型化するのに必要な、配線の簡素化による回路基板の小型化が困難であるという問題がある。
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる圧電デバイスは、圧電振動片と、該圧電振動片を収容するパッケージと、該パッケージの外面に形成された外部端子とを有する圧電振動子と、前記圧電振動子の前記外部端子が形成された面に対向して配置され、接続端子が形成された回路基板と、前記回路基板に搭載され、前記回路基板の前記接続端子に接続された回路素子と、前記外部端子と前記接続端子との間に配置される支持部材であって、前記圧電振動子と前記回路基板との間隔を保持し、前記外部端子と前記接続端子とを接続する、表面が半田に覆われた支持部材と、を備えた圧電デバイスであって、少なくとも1つの前記支持部材が、前記回路基板の前記外形をなす4辺のうち対向する2辺のそれぞれの中点を互いに結んだ中心線から両側へ、それぞれ前記2辺に沿った方向に前記2辺の長さの1/4までの前記中心線に沿った領域内に配置されていることを特徴とする。
このような構成によれば、圧電デバイスは、圧電振動子と回路基板とが支持部材により接続されるとともに、少なくとも1つの支持部材が、回路基板の隅に配置されない。このことから、圧電デバイスは、回路基板に搭載される回路素子と接続端子などとを接続する配線パターンを、回路基板の隅のスペースを利用して効率的に形成することができる。
これにより、圧電デバイスは、外形サイズを小型化するのに必要な、配線の簡素化による回路基板の小型化ができるので、圧電デバイスを小型化することが可能となる。
なお、少なくとも1つの支持部材が、中心線から上記2辺の長さの1/4までの距離に配置されている、としたのは、本発明の発明者が、上記効果を奏する値として見出したものである。
[適用例2]上記適用例にかかる圧電デバイスにおいて、前記支持部材が、前記回路基板上の領域であって前記回路基板の長辺に沿った方向の両端部の領域において、各2つ配置されていることが好ましい。
このような構成によれば、圧電デバイスは、パッケージが一方向に長細い形状の圧電振動子、例えば圧電振動片として音叉型圧電振動片を収容した圧電振動子を使用する場合、圧電デバイス全体としての平面サイズを小型のものとすることができる。
[適用例3]上記適用例にかかる圧電デバイスにおいて、前記支持部材が、球状に形成された金属ボールからなることが好ましい。
このような構成によれば、圧電デバイスは、支持部材が球状に形成された金属ボールからなることで、金属ボールを略均一な大きさで製造することが容易であり、圧電振動子と回路基板との間隔を略均一に保持することができる。また、圧電デバイスは、支持部材が球状に形成された金属ボールからなることで、支持部材が半田のセルフアライメント作用により回路基板の接続端子に位置決めされ易い。
[適用例4]上記適用例にかかる圧電デバイスにおいて、前記圧電振動子の前記外部端子の平面形状の一部が、前記金属ボールと同心の円弧形状に形成されていることが好ましい。
このような構成によれば、圧電デバイスは、圧電振動子の外部端子の平面形状の一部が、金属ボールと同心の円弧形状に形成されている。このことから、圧電デバイスは、外部端子外周への半田の拡散が抑制され、金属ボールの周囲に半田が留まり易くなることで、圧電振動子の外部端子と金属ボールとを確実に接続することができる。
[適用例5]上記適用例にかかる圧電デバイスにおいて、前記外部端子の前記円弧形状の半径が、前記金属ボールの半径と略同一であることが好ましい。
このような構成によれば、圧電デバイスは、外部端子の円弧形状の半径が、金属ボールの半径と略同一であることから、外部端子外周への半田の拡散がさらに抑制され、金属ボールの周囲に半田がさらに留まり易くなることで、圧電振動子の外部端子と金属ボールとをより確実に接続することができる。
[適用例6]上記適用例にかかる圧電デバイスにおいて、前記球状に形成された金属ボールの材質が、銅であることが好ましい。
このような構成によれば、圧電デバイスは、球状に形成された金属ボールの材質が銅であることから、導通性に優れるとともに半田との相性がよいので、半田に覆われ易い。
[適用例7]上記適用例にかかる圧電デバイスにおいて、前記回路基板は、前記接続端子が形成される面の反対側の面に、前記回路素子により増幅された前記圧電振動子の発振信号が出力される外部出力端子を備え、前記外部出力端子が、平面視において、前記2つの支持部材及び前記接続端子と重ならない位置に形成されていることが好ましい。
このような構成によれば、圧電デバイスは、外部出力端子が、平面視において、2つの支持部材及び接続端子と重ならない位置に形成されている。このことから、圧電デバイスは、回路基板の接続端子が形成される面の外部出力端子と重なるスペースに、回路素子と外部出力端子とを接続する配線パターンを形成することができる。
これにより、圧電デバイスは、外部出力端子及び回路素子と外部出力端子とを接続する配線パターンが、2つの支持部材及び接続端子と重ならないことから、増幅された発振信号に起因する発振周波数の変化などの圧電振動子への影響を回避することができる。
以下、圧電デバイスの実施形態について図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
図1、図2は、圧電デバイスの一例としての水晶発振器の概略構成を示す構成図である。図1は、展開斜視図であり、図2(a)は平面図、図2(b)は、図2(a)のA−A線での断面図、図2(c)は、水晶発振器の構成部品である水晶振動子の裏面図である。なお、図1では、理解を容易にするためにモールド部材を省略し、図2の平面図では、同様に水晶振動子、モールド部材を省略し、水晶振動子の外形を2点鎖線で表している。
図1、図2に示すように、第1の実施形態の水晶発振器1は、圧電振動子としての水晶振動子10、回路基板20、回路素子としてのIC(Integrated Circuit)チップ23、表面が半田に覆われた支持部材としての金属ボール30a,30b、半田31、モールド部材40などから構成されている。
水晶発振器1は、概略構成として、水晶振動子10と回路基板20とが、半田31により4つの金属ボール30a,30bを介して接続され、水晶振動子10と回路基板20との間がモールド部材40により封止されている。以下、水晶発振器1の構成を詳細に説明する。
水晶振動子10は、パッケージ11、内部電極12、水晶振動片13、導電性接着剤14、リッド15などから構成されている。パッケージ11は、セラミックグリーンシートを積層して焼成することにより形成されている。パッケージ11の内側底面には、内部電極12が形成されており、導電性接着剤14により、水晶振動片13が接着固定されている。水晶振動片13は、発振周波数に応じた所定の厚みに研磨された水晶ウエハから形成される。なお、本実施形態では、水晶振動片13をATカット水晶振動片としている。
リッド15はコバールなどの金属からなり、パッケージ11にシーム溶接され、パッケージ11内が気密に封止されている。なお、パッケージ11の内部は、真空または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが封入されている。
パッケージ11の外面としての外側底面17には、外部端子16が2箇所に形成されており、図示しないビアホールにより内部電極12と接続されている。
図2(c)に示すように、外部端子16の平面形状は、一方側16aが後述する金属ボール30aと同心の円弧形状に形成され、他方側16bが金属ボール30bと同心の円弧形状に形成されている。さらに外部端子16は、2つの円弧が接線で繋がれることで小判状に形成されている。
なお、外部端子16の一方側16a及び他方側16bの円弧形状の半径Rは、金属ボール30a,30bの半径rと略同一または若干大きくなるように形成されている。なお、円弧形状の半径Rの大きさは、金属ボール30a,30bの半径rの大きさ、水晶振動子10と回路基板20との目標接続強度、半田31塗布量などにより適宜設定される。
回路基板20は、水晶振動子10の外部端子16が形成されたパッケージ11の外側底面17に対向して配置され、外側底面17に対向する面28(以下、表面28という)に、ICチップ23が搭載されるとともに、外部端子16に対応する位置2箇所に接続端子21が形成されている。
接続端子21は、配線パターンのボンディングパッド22とICチップ23のボンディングパッド24とがボンディングワイヤ25で接続されることにより、ICチップ23と電気的に接続される。
接続端子21の平面形状は、一方側21aが金属ボール30aと同心の円弧形状に形成され、他方側21bが金属ボール30bと同心の円弧形状に形成されている。なお、一方側21aと他方側21bとは配線パターンにより接続されている。
これにより、回路基板20は、半田31溶融時に半田31のセルフアライメント作用が働き、金属ボール30aが接続端子21の一方側21aの略中央に位置決めされ、金属ボール30bが接続端子21の他方側21bの略中央に位置決めされる。
また、回路基板20は、表面28の反対側の面29(以下、裏面29という)の4隅に、外部機器に接続される外部接続端子27が形成されている。外部接続端子27は、裏面29からスルーホール26により表面28の配線パターンのボンディングパッド22に接続され、ボンディングパッド22とICチップ23のボンディングパッド24とがボンディングワイヤ25により接続されることにより、ICチップ23と電気的に接続される。
なお、外部接続端子27の1つは、ICチップ23により増幅された水晶振動子10の発振信号が、ICチップ23のボンディングパッド24a、ボンディングワイヤ25、配線パターンのボンディングパッド22a、スルーホール26aを経由して出力される外部出力端子27aとなっている。
外部出力端子27aは、平面視において、接続端子21及び金属ボール30a,30bと重ならない位置に形成されている。また、外部出力端子27aと接続される配線パターンのボンディングパッド22a、スルーホール26aは、接続端子21及び金属ボール30a,30bが配置されていない回路基板20の隅の、外部出力端子27aと重なる範囲内に形成されている。
これにより、配線パターンのボンディングパッド22a、スルーホール26aは、接続端子21及び金属ボール30a,30bと近接することなく、ICチップ23のボンディングパッド24aと短い距離で接続される。
ICチップ23は、水晶振動子10の外部端子16と電気的に接続され、水晶振動子10を励振し、発振信号をインバータなどにより増幅して出力する発振回路及び水晶振動子10の周波数の温度特性を補償する温度特性補償回路などを有する。
金属ボール30a,30bは、球状に形成された金属のボールであり、半田より融点の高い銅などの金属を核として、この核の表面に半田が被覆されることにより形成されている。本実施形態では、金属ボール30a,30bの材質として、銅を用いている。なお、金属ボール30aと金属ボール30bとは、略同一形状に形成されている。
また、金属ボール30a,30bは、水晶振動子10のパッケージ11の外部端子16と回路基板20の接続端子21との間に半田31を介して配置される。
金属ボール30a,30bは、回路基板20上の、回路基板20の長辺に沿った方向の両端部(回路基板20の短辺からICチップ23までの、回路基板20の短辺に沿った領域)において、各2つ(金属ボール30aと金属ボール30b)配置されている。そして、少なくとも1つの支持部材としての金属ボール30aが、回路基板20の短辺の中点を互いに結んだ中心線Cから両側へ、それぞれ短辺に沿った方向に短辺の長さの1/4までの、中心線Cに沿った領域内に配置されている。
つまり、回路基板20の短辺の長さをW、中心線Cから金属ボール30aの外形までの距離をLとしたときに、L≦W×1/4となる。なお、この範囲は、回路基板20において、外部出力端子27aと、接続端子21及び金属ボール30a,30bとが重ならず、外部出力端子27aと重なるスペースに配線パターンのボンディングパッド22a、スルーホール26aが形成でき、且つ水晶振動子10を安定した状態で搭載できる範囲として、発明者が見出したものである。
半田31は、鉛フリー半田が用いられ、常温でクリーム状になるように形成されて、ディスペンサなどにより金属ボール30a,30b、水晶振動子10の外部端子16などに塗布される。塗布された半田31は、リフロー炉などで溶融され、その後硬化する。
このとき、金属ボール30a,30bと外部端子16との間に半田フィレット(半田付けしたときの略弓状に反った半田の形状をいう)31a,31bが形成される。なお、半田31の塗布量は、半田フィレット31a,31bが所定の形状になるように適宜調整される。
これにより、水晶発振器1は、水晶振動子10と回路基板20との間隔が金属ボール30a,30bにより保持されるとともに、半田31により金属ボール30a,30bを介して外部端子16と接続端子21とが接続される。これにより、外部端子16と接続端子21とは、電気的に接続される。
また、金属ボール30aと金属ボール30bとは、外部端子16側において、それぞれに形成された半田フィレット31aと半田フィレット31bとが、互いに接触している。なお、半田フィレット31a,31bは、接続端子21側に形成されて互いに接触していてもよく、外部端子16側及び接続端子21側の両側に形成されて互いに接触していてもよい。
なお、半田フィレット31a,31bは、金属ボール30a,30bの間隔が広い場合には、互いに接触しなくてもよい。
モールド部材40は、エポキシ系の絶縁性樹脂であるモールド材からなり、半田31により金属ボール30a,30bを介して接続された水晶振動子10と回路基板20との間に充填され、加熱により硬化する。これにより、水晶発振器1は、水晶振動子10と回路基板20との間がモールド部材40により封止され、ICチップ23などが保護される。
上述したように、第1の実施形態の水晶発振器1は、金属ボール30a,30bが、水晶振動子10の外部端子16と回路基板20の接続端子21との間に配置され、外部端子16と接続端子21とが接続されている。
また、金属ボール30a,30bは、回路基板20の長辺に沿った方向の両端部に配置されている。そして、金属ボール30aが、回路基板20の短辺の中点を互いに結んだ中心線Cから両側へ、それぞれ短辺に沿った方向に短辺の長さの1/4までの、中心線Cに沿った領域内に配置されている。
このことから、水晶発振器1は、水晶振動子10と回路基板20とが金属ボール30a,30bにより接続されるとともに、金属ボール30aが、回路基板20の隅には配置されない。これにより、水晶発振器1は、回路基板20に搭載されるICチップ23と接続端子21などとを接続する配線パターンを、回路基板20の隅のスペースを利用して効率的に形成することができる。
これによれば、水晶発振器1は、外形サイズを小型化するのに必要な、配線の簡素化による回路基板20の小型化が可能になるので、外形サイズを小型化することができる。
また、水晶発振器1は、回路基板20の外部出力端子27aが、平面視において、接続端子21及び金属ボール30a,30bと重ならない位置に形成されている。
このことから、水晶発振器1は、回路基板20の表面28における外部出力端子27aと重なる範囲内に、ICチップ23と外部出力端子27aとを接続する配線パターンを形成することができる。
これにより、水晶発振器1は、外部出力端子27a及びICチップ23と外部出力端子27aとを接続する配線パターンが、接続端子21及び金属ボール30a,30bと重ならず、近接もしない。
このことから、水晶発振器1は、ICチップ23により増幅された発振信号に起因する水晶発振器1の発振周波数の変化などの特性変化を回避することができる。
また、水晶発振器1は、表面が半田に覆われた支持部材として、球状に形成された金属ボール30a,30bが用いられていることから、金属ボール30a,30bを略均一な大きさで製造することが容易であり、水晶振動子10と回路基板20との間隔を略均一に保持することができる。
また、水晶発振器1は、金属ボール30a,30bが球状に形成されていることから、金属ボール30a,30bが半田31のセルフアライメント作用により、回路基板20の接続端子21の一方側21a及び他方側21bのそれぞれの略中央に位置決めされ易い。
また、水晶発振器1は、金属ボール30a,30bの材質が銅であることから、導通性に優れるとともに半田31との相性がよいので、表面が半田31に覆われ易い。
また、水晶発振器1は、水晶振動子10の外部端子16の平面形状が、一方側16aでは金属ボール30aと同心の円弧形状に形成され、他方側16bでは金属ボール30bと同心の円弧形状に形成されている。
このことから、水晶発振器1は、外部端子16外周への半田31の拡散が抑制され、金属ボール30a,30b間に半田31が留まり易いことで、半田フィレット31a,31bが十分に形成され、水晶振動子10の外部端子16と金属ボール30a,30bとを確実に接続することができる。
また、水晶発振器1は、水晶振動子10の外部端子16の円弧形状の半径Rが、金属ボール30a,30bの半径rと略同一である場合には、外部端子16外周への半田31の拡散がさらに抑制され、金属ボール30a,30b間に半田31がさらに留まり易い。
これにより、水晶発振器1は、半田フィレット31a,31bが十分に形成され、水晶振動子10の外部端子16と金属ボール30a,30bとをより確実に接続することができる。
また、水晶発振器1は、金属ボール30a,30b間に半田31が留まり易いことで、半田31が塗布されても金属ボール30a,30bの外周形状があまり大きくならない。これにより、水晶発振器1は、金属ボール30a,30bと回路基板20上のボンディングワイヤ25、ICチップ23などの構成部品との隙間を確保でき、金属ボール30a,30bと構成部品とのショートによる不具合を回避することができる。
(第2の実施形態)
図3は、圧電デバイスの一例としての水晶発振器の概略構成を示す構成図である。図3(a)は平面図、図3(b)は、図3(a)のB−B線での断面図、図3(c)は、水晶発振器の構成部品である水晶振動子の裏面図である。なお、平面図では、理解を容易にするために水晶振動子を省略し、水晶振動子の外形を2点鎖線で表している。また、第1の実施形態との共通部分には同じ符号を附し、その説明を省略する。
図3に示すように、第2の実施形態の水晶発振器101は、水晶振動子10、回路基板20、ICチップ23、金属ボール30a,30b、半田31、モールド部材40などから構成されている。
水晶発振器101は、第1の実施形態の水晶発振器1と比較して、金属ボール30a,30bの間隔が異なる。以下この点を中心に説明する。
水晶発振器101は、第1の実施形態の水晶発振器1と比較して、水晶振動子10の外部端子16の一方側16aと他方側16bとが近づけられて形成され、回路基板20の接続端子21の一方側21aと他方側21bとが近づけられて形成されている。
これにより、水晶発振器101は、金属ボール30a,30bが互いに接触した状態で水晶振動子10と回路基板20とが接続される。
なお、外部端子16の一方側16aと他方側16bとの接続形状は、第1の実施形態とは異なり、団子状となっている。この接続形状は、第1の実施形態と同様の小判状にしてもよい。
このことから、水晶発振器101は、第1の実施形態の水晶発振器1の効果に加えて、以下の効果がある。
上述したように、水晶発振器101は、金属ボール30a,30bが互いに接触した状態で水晶振動子10と回路基板20とが接続されることから、外部端子16及び接続端子21の金属ボール30a,30bが並ぶ方向に沿った長さを、第1の実施形態の水晶発振器1と比較して短くすることができる。
これにより、水晶発振器101は、外部端子16及び接続端子21の外形形状を小さくできることから、回路基板20をさらに小型化することが可能になり、水晶発振器101の外形サイズをさらに小型化することができる。
なお、上記の各実施形態では、金属ボール30a,30bが回路基板20の両端部で一方の長辺側に片寄って配置されていたが、これに限定するものではなく、図4の圧電デバイスの一例としての水晶発振器の概略構成を示す平面図に示された配置でもよい。
図4に示すように、他の実施形態の水晶発振器201では、金属ボール30a,30bが、回路基板20の両端部で異なる長辺に片寄って配置されている。つまり、回路基板20の短辺20a側では、金属ボール30a,30bが、長辺20c側に片寄って配置され、短辺20b側では、金属ボール30a,30bが、長辺20d側に片寄って配置されている。
これによれば、水晶発振器201は、回路基板20の短辺20a側の金属ボール30a,30bと短辺20b側の金属ボール30a,30bとが回路基板20の略対角線上に配置される。このことから、水晶発振器201は、回路基板20に金属ボール30a,30bを介して水晶振動子10を安定した状態で搭載することができる。また、水晶発振器201は、回路基板20の隅のスペースが広くなることで、スペースをさらに有効活用することができる。
なお、金属ボール30a,30bは、上記の配置に限定するものではなく、例えば、図5の金属ボール30a,30bの配置バリエーション例示図に示すような配置にしてもよい。
図5(a)は、金属ボール30a,30bが中心線Cの両側に配置され、金属ボール30aと金属ボール30bとが中心線Cを挟んで接するように配置された例を示す。図5(b)は、金属ボール30aと金属ボール30bとの間隔が各端部で異なるように配置された例を示す。図5(c)は、金属ボール30a,30bの並ぶ方向が回路基板20の短辺と交差するように配置された例を示す。
なお、金属ボール30a,30bは、図5(a)〜図5(c)に示した配置を組み合わせた配置にしてもよい。
なお、上記の各実施形態では、表面が半田に覆われた支持部材を金属ボール30a,30bとしたが、これに限定するものではなく、例えば、円柱や角柱などの柱状に形成された金属でもよい。また、上記の各実施形態では、金属ボール30a,30bの材質を銅としたが、これに限定するものではなく、金、銀、アルミニウムなどの金属でもよい。また、支持部材は、表面が半田に覆われ得るものであれば金属に限定せず、半田より融点の高い樹脂、セラミックスなどでもよい。
なお、上記の各実施形態では、圧電振動子を水晶振動子10とし、圧電振動片を水晶振動片13としたが、圧電振動片の材料は水晶に限定するものではなく、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料でもよい。
さらに、圧電デバイスとしては、水晶発振器だけではなく、弾性表面波発振器、ジャイロセンサなどでもよい。
第1の実施形態の水晶発振器の概略構成を示す展開斜視図。 第1の実施形態の水晶発振器の概略構成を示す構成図。 第2の実施形態の水晶発振器の概略構成を示す構成図。 他の実施形態の水晶発振器の概略構成を示す平面図。 別の実施形態の水晶発振器の金属ボール配置バリエーション例示図。 従来の圧電デバイスの回路基板の配線パターン図。
符号の説明
1,101,201…圧電デバイスとしての水晶発振器、10…圧電振動子としての水晶振動子、11…パッケージ、12…内部電極、13…水晶振動片、14…導電性接着剤、15…リッド、16…外部端子、17…パッケージの外面としての外側底面、20…回路基板、21…接続端子、22,22a…ボンディングパッド、23…回路素子としてのICチップ、24,24a…ICチップのボンディングパッド、25…ボンディングワイヤ、26,26a…スルーホール、27…外部接続端子、27a…外部出力端子、28…回路基板の表面、29…回路基板の裏面、30a,30b…表面が半田に覆われた支持部材としての金属ボール、31…半田、31a,31b…半田フィレット、40…モールド部材、L…中心線から金属ボールの外形までの距離、W…回路基板の短辺の長さ。

Claims (6)

  1. 圧電振動片と、該圧電振動片を収容しているパッケージと、該パッケージの外面に設けられている外部端子とを有している圧電振動子と、
    前記外部端子と間隔を持って対向して配置されている接続端子を有している、矩形状の回路基板と、
    前記回路基板に搭載され、前記接続端子に接続されている回路素子と、
    前記外部端子と前記接続端子との間に配置され、前記外部端子と前記接続端子とを接続しており、表面が半田で覆われている支持部材と、
    を備え、
    前記支持部材は、前記回路基板上の領域であって前記回路基板の長辺に沿った方向の両端側の領域において、各2つ配置されており、
    前記支持部材の少なくとも一つが、前記回路基板の各短辺の中点同士を結んだ中心線から長辺方向へ前記短辺の1/4の長さまでの領域内に配置されていることを特徴とする圧電デバイス。
  2. 請求項1に記載の圧電デバイスにおいて、前記支持部材が、球状の金属ボールであることを特徴とする圧電デバイス。
  3. 請求項2に記載の圧電デバイスにおいて、前記圧電振動子の前記外部端子の平面形状の一部が、前記金属ボールと同心の円弧形状であることを特徴とする圧電デバイス。
  4. 請求項3に記載の圧電デバイスにおいて、前記外部端子の前記円弧形状の半径が、前記金属ボールの半径と略同一であることを特徴とする圧電デバイス。
  5. 請求項2〜4のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、前記金属ボールの材質が、銅であることを特徴とする圧電デバイス。
  6. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、前記回路基板は、前記接続端子が形成される面の反対側の面に、前記回路素子により増幅された前記圧電振動子の発振信号が出力される外部出力端子を備え、
    前記外部出力端子が、平面視において、前記支持部材及び前記接続端子と重ならない位置に配置されていることを特徴とする圧電デバイス。
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