JP5130604B2 - 圧電素子及び圧電素子の製造方法 - Google Patents
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また、減圧された絶縁性液体に浸漬している。よって、より短時間で均一に浸透して空洞に充填される。
そして、最後に圧電素子36毎にボール半田40を形成した配線基板38を圧電素子36と接合する。
202 微細粒
204 インゴット
206 板状圧電体
208 圧電プレート
210 空洞
210A 内部欠陥
210B 孔
304 絶縁性液剤
Claims (2)
- 3μmの微細粒を加圧し焼結して形成された微細粒焼結体のインゴットから作られ、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子の製造方法において、
前記インゴットを厚さ100μmにスライスし、板状圧電体を形成する工程と、
前記板状圧電体を、減圧されたシランカップリング剤からなる絶縁性液剤に浸透させ、前記微細粒を焼結する際に発生する空洞に前記絶縁性液剤を充填する工程と、
前記板状圧電体に充填された前記絶縁性液剤を加熱して固化する工程と、
前記板状圧電体を35μmに薄板化して圧電プレートを形成する工程と、
前記圧電プレートを分割し、インクジェット記録ヘッドの圧力室に対応して振動板に接着され、駆動電圧が印加されることによって撓み変形し、前記圧力室を加圧してノズルからインク滴を吐出させる圧電素子を形成する工程と、
を備えることを特徴とする圧電素子の製造方法。 - 請求項1に記載の圧電素子の製造方法によって製造されたことを特徴とする圧電素子。
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