JP5127750B2 - ガスセンサ及びガス検出方法 - Google Patents
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Description
前記金属酸化物半導体膜が、
酸化第2スズと、酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPtとを含み、前記電極層を設けた領域での膜厚が5〜40μmで、前記電極層に接触する第1層と、
酸化第2スズと、金属換算で酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPdとを含み、電極層を設けた領域での膜厚が15〜60μmで、前記第1層を被覆する第2層とからなり、
第1層と第2層との前記膜厚の合計が20〜80μmであることを特徴とする。
前記金属酸化物半導体膜が、酸化第2スズと、酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPtとを含み、前記電極層を設けた領域での膜厚が5〜40μmで、前記電極層に接触する第1層と、酸化第2スズと、金属換算で酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPdとを含み、電極層を設けた領域での膜厚が15〜60μmで、前記第1層を被覆する第2層とからなり、第1層と第2層との前記膜厚の合計が20〜80μmであるガスセンサに対し、
1回の駆動当たり30msec〜300msecの幅のパルスを、10秒〜120秒に周期で前記ヒータ層に加えて加熱し、センサの加熱期間中の前記金属酸化物半導体膜の抵抗値からメタンを検出する、ガス検出方法にある。
・ 電池駆動でガスセンサを駆動でき、
・ メタンを水素と区別して検出でき、
・ 長期安定性の高い、ガスセンサが得られる。
第2層は酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPdを含み、膜厚が15〜60μmで、合計膜厚は20〜80μmが好ましいことが分かる。
試料No. 1層目 メタン3000ppm感度 メタン/水素の相対感度
2層目 α 経時安定性 経時安定性
1 Pt3重量部 20μm 3.0 2.0
Pd3重量部 40μm 0.55 0.95 3.6
2 Pt6重量部 20μm 2.8 1.6
Pd3重量部 40μm 0.50 0.96 3.2
3 Pt1重量部 20μm 3.2 1.8
Pd3重量部 40μm 0.52 0.92 3.2
4 Pt3重量部 20μm 2.5 1.6
Pd6重量部 40μm 0.48 0.90 3.0
5 Pt3重量部 20μm 2.8 1.8
Pd1重量部 40μm 0.52 0.92 2.6
6 Pt3重量部 10μm 2.6 1.6
Pd3重量部 20μm 0.60 0.92 2.8
7 Pt3重量部 40μm 3.4 2.4
Pd3重量部 40μm 0.58 0.94 3.2
8 Pt3重量部 20μm 2.6 1.8
Pd1重量部 20μm 0.50 0.90 2.4
9 Pt3重量部 20μm 3.6 2.8
Pd1重量部 60μm 0.60 1.06 2.5
11 Pt3重量部 60μm 4.2 2.0
無 0.50 1.25 0.8
12 Pt3重量部 20μm 1.6 1.7
Pt10重量部 40μm 0.65
13 Pt3重量部 20μm 1.8 1.8
Pd10重量部 40μm 0.66
* 表中、メタン3000ppm感度は、清浄空気中とのメタン3000ppm中の抵抗値の比で、
αはメタン3000ppm中と1000ppm中の抵抗値の比で、
メタン3000ppm感度の経時安定性は、3.5年相当分パルス駆動した後のメタン3000ppm感度と初期値との比で、
メタン/水素の相対感度は水素3000ppmの抵抗値とメタン3000ppm中の抵抗値の比で、相対感度の経時安定性は、3.5年相当分パルス駆動した後の相対感度を表す。
* 試料1〜9は実施例で、11〜13は比較例。
1) 電池駆動でガスセンサを駆動でき、
2) メタンを水素と区別して検出でき、
3) 長期安定性の高い、ガスセンサが得られる。
4 シリコン基板
5 空洞
6 絶縁層
7 支持層
8〜11 ブリッジ
12 電極層
14 ヒータ層
15 絶縁層
16 金属酸化物半導体膜
18 第1層
20 第2層
22 電池
24 マイクロコンピュータ
26 スイッチ
28 コンデンサ
30 負荷抵抗
Claims (2)
- シリコン基板に設けた空洞上へ前記基板側から突き出した支持層上に、ヒータ層と電極層とを設けて、前記電極層をガス検出用の金属酸化物半導体膜で被覆したガスセンサにおいて、
前記金属酸化物半導体膜が、
酸化第2スズと、酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPtとを含み、前記電極層を設けた領域での膜厚が5〜40μmで、前記電極層に接触する第1層と、
酸化第2スズと、金属換算で酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPdとを含み、電極層を設けた領域での膜厚が15〜60μmで、前記第1層を被覆する第2層とからなり、
第1層と第2層との前記膜厚の合計が20〜80μmであることを特徴とする、ガスセンサ。 - シリコン基板に設けた空洞上へ前記基板側から突き出した支持層上に、ヒータ層と電極層とを設けて、前記電極層をガス検出用の金属酸化物半導体膜で被覆し、
前記金属酸化物半導体膜が、酸化第2スズと、酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPtとを含み、前記電極層を設けた領域での膜厚が5〜40μmで、前記電極層に接触する第1層と、酸化第2スズと、金属換算で酸化第2スズ100重量部当たり1〜6重量部のPdとを含み、電極層を設けた領域での膜厚が15〜60μmで、前記第1層を被覆する第2層とからなり、第1層と第2層との前記膜厚の合計が20〜80μmであるガスセンサに対し、
1回の駆動当たり、30msec〜300msecの幅のパルスを、10秒〜120秒に周期で前記ヒータ層に加えて加熱し、センサの加熱期間中の前記金属酸化物半導体膜の抵抗値からメタンを検出する、ガス検出方法。
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JP2009067499A JP5127750B2 (ja) | 2009-03-19 | 2009-03-19 | ガスセンサ及びガス検出方法 |
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