JP5119427B2 - 有機発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は有機発光装置に関し、より詳しくは有機発光素子を利用した有機発光装置及びその製造方法に関する。
有機発光装置とは、有機発光素子が放出する光を利用する表示装置または照明装置のことである。有機発光素子（ｏｒｇａｎｉｃ ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ、ＯＬＥＤ）は、有機発光層の内部において電子及び正孔が結合して形成された励起子（ｅｘｃｉｔｏｎ）が基底状態に落ちる時に発生するエネルギーによって光を発生させる。
有機発光装置は、寿命及び品質を高めるために、有機発光層に水分または酸素が浸透するのを抑制しなければならない。従って、有機発光装置は、ガラス缶（ｇｌａｓｓ ｃａｎ）またはメタル缶（ｍｅｔａｌ ｃａｎ）などの別途の封止構造を必要とする。
しかし、ガラスに溝を形成したりメタルを缶状にして形成された封止構造は、製造工程が複雑であり、有機発光装置の全体的な生産性を低下させる問題があった。
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の第１の目的は、構造が簡単で、有機発光層に水分または酸素が浸透するのを抑制する有機発光装置を提供することである。また、本発明の第２の目的は、前記有機発光装置の製造方法を提供することである。
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、基板本体と、上記基板本体上に形成された透明電極と、上記透明電極上に形成された有機発光層と、上記有機発光層上に形成されて、金属で形成されたカバー電極と、上記カバー電極の周縁と重なるように上記基板本体上に形成されて、上記有機発光層の側面をカバーするシーラントと、を含むことを特徴とする、有機発光装置が提供される。
また、上記カバー電極は、上記有機発光層と対向する面の反対の面に形成された酸化被膜を含んでもよい。
上記カバー電極の厚さは、１５０ｎｍ乃至５０００ｎｍの範囲であってもよい。
上記カバー電極は、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、及びマグネシウム（Ｍｇ）のうちの一つ以上の金属を含んでもよい。
上記透明電極は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、及び酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）のうちの一つ以上を含んでもよい。
上記シーラントは、無機粒子を含むフリットで形成されてもよい
上記無機粒子は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、及び酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうちの一つ以上を含んでもよい。
上記カバー電極は、複数の金属膜を含んでもよい。
上記カバー電極の複数の金属膜は、互いに異なる金属で形成されてもよい。
上記複数の金属膜の間の界面には酸化被膜が形成されてもよい。
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板本体を準備する段階と、上記基板本体上に透明電極を形成する段階と、上記透明電極上に有機発光層を形成する段階と、上記有機発光層上に金属膜を形成し、上記金属膜の上記有機発光層と対向する面の反対面を酸化させて、酸化被膜を含むカバー電極を形成する段階と、上記有機発光層の側面をカバーするように上記基板本体上にシーラントを形成する段階と、を含むことを特徴とする、有機発光装置の製造方法が提供される。
上記カバー電極の厚さは１５０ｎｍ乃至５０００ｎｍの範囲であってもよい。
上記カバー電極は、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、及びマグネシウム（Ｍｇ）のうちの一つ以上の金属を含んでもよい。
上記透明電極は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、及び酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）のうちの一つ以上を含んでもよい。
上記カバー電極は、スパッタリング方法によって形成されてもよい。
上記カバー電極は、熱蒸着方法によって形成されてもよい。
上記有機発光層は、熱蒸着方法によって形成されてもよい。
また、上記シーラントを形成する段階は、フリット、無機粒子、有機バインダー、及び溶剤が混合されたシーリング混合物を一部が上記カバー電極の周縁と重なるように上記基板本体上に塗布する段階と、上記シーリング混合物に熱を加えて上記有機バインダー及び上記溶剤が除去されるように乾燥させる段階と、上記乾燥されたシーリング混合物にレーザービームを１次照射して残存上記有機バインダー及び上記溶剤を除去する段階と、上記有機バインダー及び上記溶剤が除去された上記シーリング混合物の硬化のために、レーザービームを２次照射してシーラントを形成する段階と、を含んでもよい。
上記無機粒子は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、及び酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうちの一つ以上を含んでもよい。
上記カバー電極は、複数の金属膜を含んでもよい。
上記カバー電極の複数の金属膜は、互いに異なる金属で形成されてもよい。
上記複数の金属膜の間の界面には酸化被膜が形成されてもよい。
以上説明したように本発明によれば、構造が簡単で、有機発光層に水分または酸素が浸透するのを抑制することができる有機発光装置を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の多様な実施形態について、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者が容易に実施できるよう詳しく説明する。本発明は多様な形態に実現され、ここで説明する実施形態に限られない。
また、明細書全体にわたって同一または類似する構成要素については、同一な参照符号を付ける。また、多様な実施形態において、第１実施形態以外の実施形態においては、第１実施形態と異なる構成要素を中心に説明する。
また、図面に示された各構成要素の大きさ及び厚さは、説明の便宜のために任意に示したものであるため、本発明が必ずしも示された通りであるとは限らない。
図面では、複数の層及び領域を明確に表現するために、厚さを拡大して示した。また、図面においては、説明の便宜のために、一部の層及び領域の厚さを誇張して表示した。層、膜、領域、板などの部分がある部分の「上」または「上部」にあるという時、これは他の部分の「直上」にある場合だけでなく、その中間にまた他の部分がある場合も含む。
以下、図１を参照して、本発明の第１実施形態による有機発光装置１０１を説明する。ここで、有機発光装置１０１は、有機発光表示装置または有機発光照明装置をいう。
図１に示したように、本発明の第１実施形態による有機発光装置１０１は、基板本体１１１、透明電極１０、有機発光層２０、カバー電極３０、及びシーラント（ｓｅａｌａｎｔ）３５０を含む。ここで、透明電極１０は有機発光層２０に正孔を注入するアノード電極となる。そして、カバー電極３０は電子を注入するカソード電極となる。
基板本体１１１は、ガラス、石英、及びセラミックなどからなる透明な絶縁性基板で形成されたり、プラスチックなどからなる透明なフレキシブル（ｆｌｅｘｉｂｌｅ）基板で形成される。
透明電極１０は、基板本体１１１上に形成される。さらに、透明電極１０は、透明導電膜で形成される。透明導電膜は、インジウム錫酸化物（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ、ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ ｏｘｉｄｅ、ＩＺＯ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、及び酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）のうちの一つ以上を含む物質で形成される。このような透明導電膜は、相対的に仕事関数が高い。従って、透明導電膜で形成された透明電極１０は、正孔の注入を円滑に行うことができる。また、透明導電膜で形成された透明電極１０の相対的に高い比抵抗を補うために、有機発光装置１０１は、相対的に比抵抗が低い金属で形成された補助電極（図示せず）をさらに含んでもよい。
また、透明電極１０１は、マイクロキャビティ（ｍｉｃｒｏｃａｖｉｔｙ）効果を利用して光の利用効率を向上させるために、半透過膜（図示せず）をさらに含んでもよい。
有機発光層２０は、透明電極１０上に形成される。さらに、有機発光層１０は、発光層、正孔注入層（ｈｏｌｅ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅｒ、ＨＩＬ）、正孔輸送層（ｈｏｌｅ ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｎｇ ｌａｙｅｒ、ＨＴＬ）、電子輸送層（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｔｒａｎｓｐｏｒｔｉｏｎｇ ｌａｙｅｒ、ＥＴＬ）、及び電子注入層（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ ｌａｙｅｒ、ＥＩＬ）のうちの一つ以上を含む多重膜に形成される。前述した複数の層のうちの発光層を除く他の層は、必要に応じて省略することができる。有機発光層２０が前述した全ての層を含む場合、正孔注入層がアノード電極の透明電極１０上に配置され、その上に正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層が順次に積層される。また、有機発光層２０は、必要に応じて他の層をさらに含んでもよい。
このように、本発明の第１実施形態による有機発光装置１０１は、有機発光層２０から発生した光が透明電極１０及び基板本体１１１を通過して外部に放出される背面発光型構造からなる。
カバー電極３０は、有機発光層２０上に形成される。カバー電極３０は、有機発光層２０に電子を供給するカソード電極の役割と共に、有機発光層２０に水分または酸素の浸透を抑制する封止部材の役割を果たす。従って、カバー電極３０は、比抵抗が低くて水分及び酸素の遮断特性が優れるように、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、及びマグネシウム（Ｍｇ）のうちの一つ以上を含む金属で形成される。
また、カバー電極３０の厚さは１５０ｎｍ乃至５０００ｎｍの範囲である。カバー電極３０が１５０ｎｍより薄い場合には、比抵抗が高くなって安定的に水分及び酸素の浸透を遮断するのが難しい。一方、カバー電極３０が５０００ｎｍより厚い場合には、有機発光装置１０１の全体的な厚さが必要以上に厚くなる。
また、カバー電極３０は、有機発光層２０と対向する面の反対面に形成された酸化被膜３０２を含む。酸化被膜３０２は、金属膜より相対的に固い性質を有する。従って、カバー電極３０が含む酸化被膜３０２は、カバー電極３０を外部から絶縁させるだけでなく、水分または酸素が有機発光層２０に浸透するのをより効果的に抑制することができる。
シーラント３５０は、カバー電極３０の周縁と重なるように基板本体１１１上に形成される。つまり、シーラント３５０は、基板本体１１１の周縁からカバー電極３０の周縁にかけて形成される。従って、シーラント３５０は、有機発光層２０の側面をカバーする。つまり、シーラント３５０は、有機発光層２０の側面に水分または酸素が浸透するのを防止する。
シーラント３５０は、無機粒子を含むフリット（ｆｒｉｔ）で形成される。無機粒子は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、及び酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうちの一つ以上を含む。
このように、フリットを素材として形成されたシーラント３５０は、水分及び酸素の浸透を安定的に抑制することができる。また、無機粒子は、レーザーによってフリットが容易に硬化されるようにする。
また、図示していないが、有機発光装置１０１は、場合によっては、特定の位置においてカバー電極３０及び透明電極１０を互いに絶縁させるための絶縁膜をさらに含んでもよい。具体的に、透明電極１０の一部または透明電極１０と連結された配線は、外部信号の入力を受けるために、シーラント３５０及びカバー電極３０で密閉された空間の外側に延長される。この時、有機発光装置１０１は、透明電極１０の一部または透明電極１０と連結された配線とカバー電極３０との間に配置された絶縁膜をさらに含んでもよい。
このような構成によって、本発明の第１実施形態による有機発光装置１０１は、構造が簡単で、有機発光層２０に水分または酸素が浸透するのを効果的に抑制することができる。
具体的に、本発明の第１実施形態による有機発光装置１０１は、別途の封止部材がなくてもカソード電極の役割を果たすカバー電極３０及びシーラント３５０によって有機発光層２０に水分または酸素が浸透するのを効果的に抑制することができる。
また、カバー電極３０が含む酸化被膜３０２は、カバー電極３０を外部から絶縁させるだけでなく、有機発光層２０に水分または酸素が浸透するのをより効果的に抑制することができる。
以下、図２及び図３を参照して、本発明の第１実施形態による有機発光装置１０１の製造方法を説明する。
まず、図２に示したように、ガラス、石英、及びセラミックなどからなる透明な絶縁性基板で形成されたり、プラスチックなどからなる透明なフレキシブル（ｆｌｅｘｉｂｌｅ）基板で形成された基板本体１１１を準備する。
次に、基板本体１１１上に透明電極１０及び有機発光層２０を順次に形成する。この時、有機発光層２０は、熱蒸着（ｔｈｅｒｍａｌ ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ）方法で形成される。そして、透明電極１０は、インジウム錫酸化物（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ、ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ ｏｘｉｄｅ、ＩＺＯ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、及び酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）のうちの一つ以上を含む物質で形成される。
次に、有機発光層２０上にカバー電極３０を形成する。カバー電極３０は、有機発光層２０上に金属膜を形成し、金属膜の有機発光層２０と対向する面の反対面を酸化させて酸化被膜３０２（図３に図示）を形成する段階を経て形成される。この時、金属膜は、スパッタリング（ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）方法または熱蒸着方法で形成される。金属膜は、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、及びマグネシウム（Ｍｇ）のうちの一つ以上を含む。
また、カバー電極３０の厚さは１５０ｎｍ乃至５０００ｎｍの範囲に形成される。一方、カバー電極３０を熱蒸着方法で形成する場合には、熱蒸着方法で形成される有機発光層２０と相対的に連続性を有して形成することができる。
次に、図３に示したように、有機発光層２０の側面をカバーするように基板本体１１１上にシーラント３５０を形成する。
シーラント３５０を形成する過程は下記の通りである。まず、フリット（ｆｒｉｔ）、無機粒子、有機バインダー、及び溶剤が混合されたシーリング（ｓｅａｌｉｎｇ）混合物を一部がカバー電極３０の周縁と重なるように基板本体１１１上に塗布する。つまり、シーリング混合物を基板本体１１１の周縁からカバー電極３０の周縁にかけて塗布する。次に、シーリング混合物に熱を加えて有機バインダー及び溶剤が除去されるように乾燥させる。さらに、乾燥されたシーリング混合物にレーザービーム５００を１次照射して残存有機バインダー及び溶剤を除去する。さらに、有機バインダー及び溶剤が除去されたシーリング混合物を硬化するために、レーザービーム５００を２次照射してシーラント３５０を形成する。ここで、無機粒子は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、及び酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうちの一つ以上を含む。無機粒子は、シーラント３５０を硬化するために、レーザー５００が照射される時にレーザービームを吸収して硬化を促進する。このように、無機粒子を含むフリットで形成されたシーラント３５０は、有機発光層２０の側面に水分または酸素が浸透するのを効果的に抑制する。
このような製造方法によって、本発明の第１実施形態による有機発光装置１０１を効果的に製造することができる。
以下、図４を参照して、本発明の第２実施形態による有機発光装置１０２について説明する。
図４に示したように、本発明の第２実施形態による有機発光装置１０２は、複数の金属膜４１、４２を含むカバー電極４０を含む。また、複数の金属膜４１、４２のうちの最上層、つまり有機発光層２０と最も遠く離隔されて外部に露出された金属膜４２は、有機発光層２０と対向する面の反対面に形成された酸化被膜４０２を含む。また、複数の金属膜４１、４２は、互いに異なる金属で形成される。これによって、各金属膜４１、４２は短所を互いに補完することができる。従って、有機発光装置１０２は、より安定的で効果的に有機発光層２０に水分または酸素が浸透するのを抑制することができる。
しかし、本発明の第２実施形態がこれに限定されるのではない。従って、複数の金属膜４１、４２が同一金属で形成されてもよい。
このような構成によって、本発明の第２実施形態による有機発光装置１０２は、構造が簡単で、有機発光層２０に水分または酸素が浸透するのをより効果的に抑制することができる。
また、本発明の第２実施形態による有機発光装置１０２の製造方法は、カバー電極４０を形成するために複数の金属膜４１、４２を順次に蒸着する工程を含むことを除いては、第１実施形態による有機発光装置１０１の製造方法と同一である。
以下、図５を参照して、本発明の第３実施形態による有機発光装置１０３について説明する。
図５に示したように、本発明の第３実施形態による有機発光装置１０３は、複数の金属膜５１、５２を含むカバー電極５０を含み、各金属膜５１、５２の間の界面に酸化被膜５０１が形成される。また、複数の金属膜５１、５２のうちの最上層、つまり有機発光層２０と最も遠く離隔されて外部に露出された金属膜５２は、有機発光層２０と対向する面の反対面に形成された酸化被膜５０２を含む。酸化被膜５０１、５０２は、金属膜５１、５２より相対的に固い性質を有する。
このように、本発明の第３実施形態による有機発光装置１０３は、カバー電極５０が複数の酸化被膜５０１、５０２を含むため、有機発光層２０に水分または酸素が浸透するのをより効果的に抑制することができる。
また、本発明の第３実施形態による有機発光装置１０３の製造方法は、カバー電極５０を形成するために複数の金属膜５１、５２及び酸化被膜５０１、５０２を順次に形成する工程を含むことを除いては、第１実施形態による有機発光装置１０３の製造方法と同一である。
以下、図６を参照して、本発明の第１実施形態による実験例及び比較例を説明する。実験例は本発明の第１実施形態による図１のカバー電極３０を含む。具体的に、実験例のカバー電極３０の厚さは３００ｎｍである。一方、比較例のカバー電極３０の厚さは１００ｎｍである。
図６における輝度比率は、有機発光装置１０１の最初の作動時の輝度対比使用時間に応じて低下した状態の輝度比率を示す。
図６に示したように、実験例の場合、７００時間以上でも輝度比率が５０％以上を示すことが分かる。一方、比較例の場合、約５００時間で輝度比率が５０％以下に低下することが分かる。これは、有機発光層２０に水分または酸素が浸透して、有機発光層２０の耐久性が低下したためである。
従って、本実験を通して、カソード電極であるカバー電極３０の厚さが１５０ｎｍ以上であれば、別途の封止部材がなくカバー電極３０だけでも適正な使用時間の間一定のレベル以上の輝度比率を維持することができることが分かる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
１０１ 有機発光装置
１０ 透明電極
２０ 有機発光層
３０ カバー電極
１１１ 基板本体
３０２ 酸化被膜
３５０ シーラント
１０ 透明電極
２０ 有機発光層
３０ カバー電極
１１１ 基板本体
３０２ 酸化被膜
３５０ シーラント
Claims (21)
- 基板本体と、
前記基板本体上に形成された透明電極と、
前記透明電極上に形成された有機発光層と、
前記有機発光層と対向する面の反対の面に形成された酸化被膜を含み、前記有機発光層上に形成された金属のカバー電極と、
前記有機発光層の側面、前記カバー電極の側面、及び有機発光層と反対側の前記カバー電極の面のうち周縁部に接するように前記基板本体上に形成されるシーラントと、
を含むことを特徴とする、有機発光装置。 - 前記カバー電極の厚さは１５０ｎｍ乃至５０００ｎｍの範囲であることを特徴とする、請求項１に記載の有機発光装置。
- 前記カバー電極は、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、及びマグネシウム（Ｍｇ）のうちの一つ以上の金属を含むことを特徴とする、請求項１又は２のいずれかに記載の有機発光装置。
- 前記透明電極は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、及び酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）のうちの一つ以上を含むことを特徴とする、請求項３に記載の有機発光装置。
- 前記シーラントは、無機粒子を含むフリットで形成されることを特徴とする、請求項４に記載の有機発光装置。
- 前記無機粒子は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、及び酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうちの一つ以上を含むことを特徴とする、請求項５に記載の有機発光装置。
- 前記カバー電極は、複数の金属膜を含むことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか1項に記載の有機発光装置。
- 前記カバー電極の複数の金属膜は、互いに異なる金属で形成されることを特徴とする、請求項７に記載の有機発光装置。
- 前記複数の金属膜の間の界面には酸化被膜が形成されることを特徴とする、請求項８に記載の有機発光装置。
- 基板本体を準備する段階と、
前記基板本体上に透明電極を形成する段階と、
前記透明電極上に有機発光層を形成する段階と、
前記有機発光層上に金属膜を形成し、前記金属膜の前記有機発光層と対向する面の反対面を酸化させて、酸化被膜を含むカバー電極を形成する段階と、
前記有機発光層の側面、前記カバー電極の側面、及び前記カバー電極の有機発光層と反対側の周縁部と接するように前記基板本体上にシーラントを形成する段階と、
を含むことを特徴とする、有機発光装置の製造方法。 - 前記カバー電極の厚さは１５０ｎｍ乃至５０００ｎｍの範囲であることを特徴とする、請求項１０に記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記カバー電極は、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、及びマグネシウム（Ｍｇ）のうちの一つ以上の金属を含むことを特徴とする、請求項１０又は１１のいずれかに記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記透明電極は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、ＺｎＯ（酸化亜鉛）、及び酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）のうちの一つ以上を含むことを特徴とする、請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記カバー電極は、スパッタリング方法によって形成されることを特徴とする、請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記カバー電極は、熱蒸着方法によって形成されることを特徴とする、請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記有機発光層は、熱蒸着方法によって形成されることを特徴とする、請求項１５に記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記シーラントを形成する段階は、
フリット、無機粒子、有機バインダー、及び溶剤が混合されたシーリング混合物を一部が前記カバー電極の周縁と重なるように前記基板本体上に塗布する段階と、
前記シーリング混合物に熱を加えて前記有機バインダー及び前記溶剤が除去されるように乾燥させる段階と、
前記乾燥されたシーリング混合物にレーザービームを１次照射して残存前記有機バインダー及び前記溶剤を除去する段階と、
前記有機バインダー及び前記溶剤が除去された前記シーリング混合物の硬化のために、レーザービームを２次照射してシーラントを形成する段階と、
を含むことを特徴とする、請求項１０に記載の有機発光装置の製造方法。 - 前記無機粒子は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、及び酸化亜鉛（ＺｎＯ）のうちの一つ以上を含むことを特徴とする、請求項１７に記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記カバー電極は、複数の金属膜を含むことを特徴とする、請求項１０〜１８のうちのいずれか１項に記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記カバー電極の複数の金属膜は、互いに異なる金属で形成されることを特徴とする、請求項１９に記載の有機発光装置の製造方法。
- 前記複数の金属膜の間の界面には酸化被膜が形成されることを特徴とする、請求項１９に記載の有機発光装置の製造方法。
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