JP5109712B2 - 対物レンズ - Google Patents
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- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4205—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive optical element [DOE] contributing to image formation, e.g. whereby modulation transfer function MTF or optical aberrations are relevant
- G02B27/4211—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive optical element [DOE] contributing to image formation, e.g. whereby modulation transfer function MTF or optical aberrations are relevant correcting chromatic aberrations
Description
|θmax| ≦ 10°
の条件を満足し、この対物レンズの全系の焦点距離をfaとし、回折光学素子の焦点距離をfdoeとしたとき、次式
|fdoe/fa| ≧ 100
の条件を満足する。また、第2レンズ群の焦点距離をf2としたとき、次式
3 ≦ |f2/fa| ≦ 30
の条件を満足し、さらに、レンズ面の曲率半径をrとし、当該レンズ面の前後の媒質のd線に対する屈折率をn,n′として、当該レンズ面のパワーΦを次式
Φ=(n′−n)/r
で定義し、第2レンズ群の像側に向いた凹面のパワーをΦ2-1とし、物体側に向いた凹面のパワーをΦ2-2としたとき、次式
1.03 ≦ |Φ2-1/Φ2-2| ≦ 1.4
の条件を満足する。
2 ≦ N/H ≦ 10
の条件を満足することが好ましい。
νdmax ≦ 85
の条件を満足することが好ましい。
nd1 ≦ 1.54
0.0145 ≦ nF1−nC1
1.55 ≦ nd2
nF2−nC2 ≦ 0.013
の条件を満足することが好ましい。
但し、Φ=(n′−n)/r
0.0145 ≦ nF1−nC1 (8)
1.55 ≦ nd2 (9)
nF2−nC2 ≦ 0.013 (10)
但し、a = {(n1−1)d−(n2−1)d}/λ
波長 屈折率(超高屈折率法による)
d線 587.562nm 10001.0000
C線 656.273nm 11170.4255
F線 486.133nm 8274.7311
g線 435.835nm 7418.6853
+A2×y2+A4×y4+A6×y6+A8×y8 (11)
R=1/(1/r+2A2) (12)
m r d nd νd
1 75.043 5.1 1.62280 57.0
2 -75.043 2.0 1.74950 35.2
3 1600.580 7.5
4 50.256 5.1 1.66755 42.0
5 -84.541 1.8 1.61266 44.4
6 36.911
上述の説明で用いた図1は、第1実施例に係る対物レンズOL1を示している。この対物レンズOL1は、カバープレートCの下に標本(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの標本を観察する顕微鏡に用いられる対物レンズであって、物体側、すなわちカバープレートC側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、及び、負の屈折力を有する第2レンズ群G2を有し、第1レンズ群G1内に回折光学素子GDが配設されている。第1レンズ群G1は、物体側が平面に形成された平凸レンズL1と像側に強い凸面を向けた正メニスカスレンズL2とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL3、両凹レンズL4と両凸レンズL5とを接合した接合レンズCL12、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL6と両凸レンズL7とを接合した接合レンズCL13、回折光学面Dを含み、像側に凹面を向けた平凹レンズL11(回折光学素子GD)と両凸レンズL12とを接合した接合レンズCL14、及び、両凸レンズL13と両凹レンズL14とを接合した接合レンズCL15から構成される。また、第2レンズ群G2は、両凸レンズL15と像側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL16とを接合した接合レンズCL21、及び、物体側に曲率の強い凹面を向けた負メニスカスレンズL17と像側に凸面を向けた正メニスカスレンズL18とを接合した接合レンズCL22から構成される。
fa=3.33
NA=1.4
d0=0.14
β=60X
m r d nd νd
1 0.000 0.65 1.518 59.0
2 -1.261 3.37 2.003 28.3
3 -3.538 0.12
4 -10.382 3.71 1.652 58.5
5 -6.752 0.12
6 -90.644 1.01 1.517 52.4
7 17.410 8.00 1.498 82.5
8 -13.988 0.10
9 269.060 1.00 1.720 34.7
10 17.427 7.80 1.498 82.5
11 -17.877 0.10
12 0.000 1.00 1.517 64.1
13 0.000 0.20 1.557 50.2
14 0.000 0.00 10001.000 -3.5
15* 0.000 0.20 1.528 34.7
16 0.000 1.00 1.816 46.6
17 14.028 7.71 1.498 82.5
18 -17.313 0.20
19 20.928 4.51 1.498 82.5
20 -24.737 1.00 1.816 46.6
21 44.159 0.20
22 9.179 5.50 1.620 60.3
23 -53.913 7.20 1.816 46.6
24 4.373 2.83
25 -4.601 3.90 1.670 57.3
26 -38.524 3.30 1.717 29.5
27 -8.677
浸液
nd=1.515
νd=41.4
回折光学面データ
第15面 κ=1 A2=-1.92301E-08 A4=1.01800E-10
A6=-3.71803E-13 A8=-4.33291E-15
条件対応値
(1)|θmax|=5.6°
(2)|fdoe/fa|=780.8
(3)|f2/fa|=10.7
(4)|Φ2-1/Φ2-2|=1.28
(5)N/H=2.77
(6)νdmax=82.5
(7)nd1=1.528
(8)nF1−nC1=0.0152
(9)nd2=1.557
(10)nF2−nC2=0.011
次に、第1参考例として、図3に示す対物レンズOL2について説明する。この図3に示す対物レンズOL2も、カバープレートCの下に標本(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの標本を観察する顕微鏡に用いられる対物レンズであって、物体側、すなわちカバープレートC側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、及び、負の屈折力を有する第2レンズ群G2を有し、第1レンズ群G1内に回折光学素子GDが配設されている。第1レンズ群G1は、物体側が平面に形成され像側に強い凸面を向けた平凸レンズL1、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL2、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL3、回折光学素子GD、両凸レンズL8と両凹レンズL9と両凸レンズL10とを接合した接合レンズCL11、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸レンズL12と両凹レンズL13とを接合した接合レンズCL12から構成される。また、第2レンズ群G2は、両凸レンズL14と像側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL15とを接合した接合レンズCL21、及び、物体側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL16と両凸レンズL17とを接合した接合レンズCL22から構成される。
fa=2.0
NA=1.3
d0=0.22
β=100X
m r d nd νd
1 0.000 3.41 1.518 59.0
2 -2.630 0.19
3 -9.283 3.46 1.603 65.4
4 -5.640 0.22
5 -45.586 2.62 1.498 82.5
6 -11.264 0.15
7 0.000 1.50 1.518 59.0
8 0.000 0.20 1.557 50.2
9 0.000 0.00 10001.000 -3.5
10* 0.000 0.20 1.528 34.7
11 0.000 1.50 1.518 59.0
12 0.000 0.20
13 95.573 3.62 1.498 82.5
14 -11.434 1.03 1.613 44.3
15 12.550 6.72 1.498 82.5
16 -13.511 1.00
17 19.710 0.98 1.697 55.5
18 8.505 6.05 1.498 82.5
19 -18.386 1.50 1.624 47.0
20 231.449 3.50
21 7.487 4.68 1.603 65.4
22 -61.353 7.36 1.729 54.7
23 3.041 2.86
24 -2.308 4.98 1.713 53.9
25 60.987 3.99 1.786 44.2
26 -8.232
浸液
nd=1.515
νd=41.4
回折光学面データ
第10面 κ=1 A2=-4.74734E-08 A4=2.57710E-10
A6=-1.55521E-13 A8=-4.49132E-14
条件対応値
(1)|θmax|=4.1°
(2)|fdoe/fa|=526.6
(3)|f2/fa|=11.9
(4)|Φ2-1/Φ2-2|=0.78
(5)N/H=4.71
(6)νdmax=82.5
(7)nd1=1.528
(8)nF1−nC1=0.0152
(9)nd2=1.557
(10)nF2−nC2=0.011
第2参考例として、図5に示す対物レンズOL3について説明する。この図5に示す対物レンズOL3も、カバープレートCの下に標本(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの標本を観察する顕微鏡に用いられる対物レンズであって、物体側、すなわちカバープレートC側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、及び、負の屈折力を有する第2レンズ群G2を有し、第1レンズ群G1内に回折光学素子GDが配設されている。第1レンズ群G1は、物体側が平面に形成され像側に強い凸面を向けた平凸レンズL1、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL2、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL3、回折光学素子GD、両凸レンズL8と両凹レンズL9と両凸レンズL10とを接合した接合レンズCL11、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸レンズL12と両凹レンズL13とを接合した接合レンズCL12から構成される。また、第2レンズ群G2は、両凸レンズL14と像側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL15とを接合した接合レンズCL21、物体側に曲率の強い凹面を向けた両凹負レンズL16、及び、両凸レンズL17から構成される。
fa=2.0
NA=1.3
d0=0.22
β=100X
m r d nd νd
1 0.000 3.39 1.518 59.0
2 -2.663 0.22
3 -9.109 3.48 1.603 65.4
4 -5.654 0.24
5 -41.641 2.63 1.603 65.4
6 -11.836 0.16
7 0.000 1.50 1.518 59.0
8 0.000 0.20 1.557 50.2
9 0.000 0.00 10001.000 -3.5
10* 0.000 0.20 1.528 34.7
11 0.000 1.50 1.518 59.0
12 0.000 0.20
13 194.205 3.63 1.498 82.5
14 -11.489 1.03 1.606 43.7
15 12.046 6.72 1.498 82.5
16 -13.587 0.99
17 20.465 0.97 1.697 55.5
18 8.573 6.04 1.498 82.5
19 -18.094 1.50 1.618 49.8
20 253.129 3.49
21 7.652 4.66 1.620 60.3
22 -85.258 7.35 1.720 50.2
23 3.106 2.84
24 -2.325 4.98 1.720 50.2
25 151.126 0.98
26 -288.713 3.99 1.786 44.2
27 -9.000
浸液
nd=1.515
νd=41.4
回折光学面データ
第10面 κ=1 A2=-6.81197E-08 A4=3.08352E-10
A6=-6.70196E-14 A8=-6.32486E-14
条件対応値
(1)|θmax|=3.7°
(2)|fdoe/fa|=367.0
(3)|f2/fa|=12.1
(4)|Φ2-1/Φ2-2|=0.75
(5)N/H=7.10
(6)νdmax=82.5
(7)nd1=1.528
(8)nF1−nC1=0.0152
(9)nd2=1.557
(10)nF2−nC2=0.011
第2実施例として、図7に示す対物レンズOL4について説明する。この図7に示す対物レンズOL4も、カバープレートCの下に標本(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの標本を観察する顕微鏡に用いられる対物レンズであって、物体側、すなわちカバープレートC側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、及び、負の屈折力を有する第2レンズ群G2を有し、第1レンズ群G1内に回折光学素子GDが配設されている。第1レンズ群G1は、物体側が平面に形成された平凸レンズL1と像側に強い凸面を向けた正メニスカスレンズL2とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL3、両凹レンズL4と両凸レンズL5とを接合した接合レンズCL12、回折光学面Dを含み、像側に凹面を向けた平凹レンズL9(回折光学素子GD)と両凸レンズL10とを接合した接合レンズCL13、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸レンズL12とを接合した接合レンズCL14、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL13と両凸レンズL14と両凹レンズL15とを接合した接合レンズCL15から構成される。また、第2レンズ群G2は、両凸レンズL16と像側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL17とを接合した接合レンズCL21、及び、物体側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL18と両凸レンズL19とを接合した接合レンズCL22から構成される。
fa=3.33
NA=1.25
d0=0.25
β=60X
m r d nd νd
1 -10.541 0.63 1.459 67.8
2 -1.052 2.78 1.835 42.7
3 -2.853 0.07
4 -11.763 3.10 1.640 60.1
5 -7.499 0.16
6 -53.223 1.00 1.532 48.9
7 15.092 8.29 1.498 82.5
8 -11.321 0.19
9 0.000 1.00 1.517 64.1
10 0.000 0.20 1.557 50.2
11 0.000 0.00 10001.000 -3.5
12* 0.000 0.20 1.528 34.7
13 0.000 0.99 1.816 46.6
14 16.292 8.80 1.498 82.5
15 -14.429 0.19
16 16.095 1.18 1.744 44.8
17 10.516 6.30 1.498 82.5
18 -119.471 0.58
19 30.083 1.09 1.816 46.6
20 13.025 4.49 1.498 82.5
21 -13.110 1.00 1.816 46.6
22 37.709 0.18
23 8.701 5.90 1.603 60.7
24 -27.147 4.61 1.618 63.3
25 4.242 2.87
26 -4.919 4.42 1.603 65.4
27 42.136 3.73 1.596 39.2
28 -8.910
浸液
nd=1.333
νd=55.9
回折光学面データ
第12面 κ=1 A2=-2.20000E-08 A4=-3.48972E-13
A6=-6.90107E-15 A8=1.40411E-15
条件対応値
(1)|θmax|=4.0°
(2)|fdoe/fa|=682.5
(3)|f2/fa|=19.4
(4)|Φ2-1/Φ2-2|=1.19
(5)N/H=3.39
(6)νdmax=82.5
(7)nd1=1.528
(8)nF1−nC1=0.0152
(9)nd2=1.557
(10)nF2−nC2=0.011
第3実施例として、図9に示す対物レンズOL5について説明する。この図9に示す対物レンズOL5も、カバープレートCの下に標本(物体)を載置し、先端部を浸液に浸した状態でこの標本を観察する顕微鏡に用いられる対物レンズであって、物体側、すなわちカバープレートC側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、及び、負の屈折力を有する第2レンズ群G2を有し、第1レンズ群G1内に回折光学素子GDが配設されている。第1レンズ群G1は、物体側が平面に形成された平凸レンズL1と像側に強い凸面を向けた正メニスカスレンズL2とを接合した接合レンズCL11、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL3、両凹レンズL4と両凸レンズL5とを接合した接合レンズCL12、回折光学面Dを含み、像側に凹面を向けた平凹レンズL9(回折光学素子GD)と両凸レンズL10とを接合した接合レンズCL13、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL11と両凸レンズL12とを接合した接合レンズCL14、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL13と両凸レンズL14と両凹レンズL15とを接合した接合レンズCL15から構成される。また、第2レンズ群G2は、両凸レンズL16と像側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL17とを接合した接合レンズCL21、及び、物体側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL18と両凸レンズL19とを接合した接合レンズCL22から構成される。
fa=3.33
NA=1.25
d0=0.25
β=60X
m r d nd νd
1 -11.217 0.63 1.459 67.8
2 -1.054 2.79 1.835 42.7
3 -2.842 0.08
4 -11.932 3.09 1.640 60.1
5 -7.858 0.16
6 -78.438 1.01 1.548 45.8
7 16.224 8.30 1.498 82.5
8 -11.409 0.19
9 0.000 1.00 1.517 64.1
10 0.000 0.20 1.557 50.2
11 0.000 0.00 10001.000 -3.5
12* 0.000 0.20 1.528 34.7
13 0.000 1.00 1.816 46.6
14 16.819 8.80 1.498 82.5
15 -14.609 0.20
16 16.818 1.19 1.773 49.6
17 10.584 6.30 1.498 82.5
18 -61.560 0.59
19 30.611 1.09 1.816 46.6
20 14.009 4.49 1.498 82.5
21 -13.593 0.99 1.816 46.6
22 37.430 0.18
23 8.472 5.89 1.603 65.4
24 -25.872 4.59 1.652 58.5
25 4.147 2.87
26 -4.779 4.42 1.603 65.4
27 35.900 3.73 1.596 39.2
28 -8.672
浸液
nd=1.333
νd=55.9
回折光学面データ
第12面 κ=1 A2=-1.83289E-08 A4=-8.47811E-13
A6=-1.23765E-14 A8=2.60069E-15
条件対応値
(1)|θmax|=4.2°
(2)|fdoe/fa|=819.2
(3)|f2/fa|=16.4
(4)|Φ2-1/Φ2-2|=1.25
(5)N/H=2.70
(6)νdmax=82.5
(7)nd1=1.528
(8)nF1−nC1=0.0152
(9)nd2=1.557
(10)nF2−nC2=0.011
第4実施例として、図11に示す対物レンズOL6について説明する。この図11に示す対物レンズOL6は、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、及び、負の屈折力を有する第2レンズ群G2を有し、第1レンズ群G1内に回折光学素子GDが配設されている。第1レンズ群G1は、物体側のレンズ面がゆるい曲率の凹面として形成された正メニスカスレンズL1と像側に強い凸面を向けた正メニスカスレンズL2とを接合した接合レンズCL11、両凸正レンズL3、回折光学素子GD、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL8と両凸レンズL9とを接合した接合レンズCL12から構成される。また、第2レンズ群G2は、両凸レンズL10と像側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL11とを接合した接合レンズCL21、及び、物体側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL12と両凸レンズL13とを接合した接合レンズCL22から構成される。
fa=10.00
NA=0.46
d0=4.68
β=20X
m r d nd νd
1 -14.879 7.57 1.804 39.6
2 -55.780 3.03 1.652 58.5
3 -14.805 0.46
4 104.559 3.58 1.603 65.4
5 -16.598 0.20
6 0.000 1.50 1.517 64.1
7 0.000 0.20 1.557 50.2
8 0.000 0.00 10001.000 -3.5
9* 0.000 0.20 1.528 34.7
10 0.000 1.50 1.517 64.1
11 0.000 0.20
12 21.497 1.46 1.795 28.7
13 12.079 4.46 1.498 82.5
14 -55.112 0.16
15 11.530 4.50 1.603 65.4
16 -38.752 6.20 1.639 44.9
17 5.779 2.61
18 -5.441 2.99 1.583 46.4
19 555.043 2.99 1.723 38.0
20 -10.034
回折光学面データ
第9面 κ=1 A2=-4.55967E-08 A4=-3.98721E-11
A6=1.74410E-13 A8=-3.52316E-15
条件対応値
(1)|θmax|=2.6°
(2)|fdoe/fa|=109.7
(3)|f2/fa|=4.9
(4)|Φ2-1/Φ2-2|=1.03
(5)N/H=5.59
(6)νdmax=82.5
(7)nd1=1.528
(8)nF1−nC1=0.0152
(9)nd2=1.557
(10)nF2−nC2=0.011
さらに、第5実施例として、図13に示す対物レンズOL7について説明する。この図13に示す対物レンズOL7は、乾燥系の対物レンズであって、物体側より順に、正の屈折力を有する第1レンズ群G1、及び、負の屈折力を有する第2レンズ群G2を有し、第1レンズ群G1内に回折光学素子GDが配設されている。第1レンズ群G1は、物体側のレンズ面がゆるい曲率の凹面として形成された両凹レンズL1と像側に強い凸面を有する両凸レンズL2とを接合した接合レンズCL11、回折光学面Dを含み、物体側に凸面を向けた凸平レンズL3と像側に凸面を向けた平凸レンズL4とを接合した接合レンズL12(回折光学素子GD)、及び、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズL7と両凸レンズL8とを接合した接合レンズCL13から構成される。また、第2レンズ群G2は、両凸レンズL9と像側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL10とを接合した接合レンズCL21、及び、物体側に曲率の強い凹面を向けた両凹レンズL11両凸レンズL12を接合した接合レンズCL22から構成される。
fa=10.00
NA=0.46
d0=4.68
β=20X
m r d nd νd
1 -15.373 7.49 1.786 44.2
2 1902.674 2.99 1.620 60.3
3 -11.344 0.40
4 25.437 3.00 1.617 54.0
5 0.000 0.20 1.557 50.2
6 0.000 0.00 10001.000 -3.5
7* 0.000 0.20 1.528 34.7
8 0.000 3.50 1.617 54.0
9 -25.335 0.21
10 46.511 1.41 1.804 39.6
11 10.510 4.50 1.498 82.5
12 -30.007 0.20
13 10.555 4.01 1.603 65.4
14 -91.996 7.00 1.702 41.2
15 6.007 2.70
16 -6.259 3.69 1.581 40.7
17 38.618 2.54 1.749 35.3
18 -11.756
回折光学面データ
第7面 κ=1 A2=-4.61565E-08 A4=-2.28998E-12
A6=8.36695E-13 A8=-1.04070E-15
条件対応値
(1)|θmax|=4.8°
(2)|fdoe/fa|=108.3
(3)|f2/fa|=7.2
(4)|Φ2-1/Φ2-2|=1.26
(5)N/H=5.08
(6)νdmax=82.5
(7)nd1=1.528
(8)nF1−nC1=0.0152
(9)nd2=1.557
(10)nF2−nC2=0.011
L1 平凸レンズ(正レンズ) L3 正メニスカスレンズ(正の単レンズ)
CL12,CL13,CL14,CL15 接合レンズ
G2 第2レンズ群 GD 回折光学素子 D 回折光学面
Claims (5)
- 物体側より順に、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第2レンズ群と、を有し、
前記第1レンズ群は、最も物体側に配置されて最も物体側のレンズ面が平面若しくは凹面に形成された正レンズと、異なる光学材料からなる2つの回折素子要素を接合し、当該接合面に回折格子溝が形成された回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、
前記第2レンズ群は、空気を介して互いに対向する、像側に凹面を向けたレンズと物体側に凹面を向けたレンズとを有し、
前記回折光学素子は、主光線が光軸と交わる位置よりも物体側に配置され、
前記回折光学素子に入射する光線の最大入射角をθmaxとしたとき、次式
|θmax| ≦ 10°
の条件を満足し、
全系の焦点距離をfaとし、前記回折光学素子の焦点距離をfdoeとしたとき、次式
|fdoe/fa| ≧ 100
の条件を満足し、
前記第2レンズ群の焦点距離をf2としたとき、次式
3 ≦ |f2/fa| ≦ 30
の条件を満足し、
レンズ面の曲率半径をrとし、当該レンズ面の前後の媒質のd線に対する屈折率をn,n′として、当該レンズ面のパワーΦを次式
Φ=(n′−n)/r
で定義し、前記第2レンズ群の前記像側に向いた凹面のパワーをΦ2-1とし、前記物体側に向いた凹面のパワーをΦ2-2としたとき、次式
1.03 ≦ |Φ2-1/Φ2-2| ≦ 1.4
の条件を満足するように構成された対物レンズ。 - 前記回折光学素子における前記回折光学面の回折格子溝の数をNとし、前記回折光学素子における前記回折光学面の有効半径をHとしたとき、次式
2 ≦ N/H ≦ 10
の条件を満足する請求項1に記載の対物レンズ。 - 当該対物レンズに含まれる正レンズのアッベ数のうちの最大値をνdmaxとしたとき、次式
νdmax ≦ 85
の条件を満足する請求項1又は2に記載の対物レンズ。 - 前記回折光学素子中の前記2つの回折素子要素のうち、屈折率が低くアッベ数が小さい方の前記回折素子要素の材料のd線に対する屈折率をnd1、F線に対する屈折率をnF1、C線に対する屈折率をnC1とし、前記回折光学素子中の前記2つの回折素子要素のうち、屈折率が高くアッベ数が大きい方の前記回折素子要素の材料のd線に対する屈折率をnd2、F線に対する屈折率をnF2、C線に対する屈折率をnC2としたとき、次式
nd1 ≦ 1.54
0.0145 ≦ nF1−nC1
1.55 ≦ nd2
nF2−nC2 ≦ 0.013
の条件を満足する請求項1〜3のいずれか一項に記載の対物レンズ。 - 前記第1レンズ群は、少なくとも1枚の正の単レンズを有する請求項1〜4のいずれか一項に記載の対物レンズ。
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