JP5096574B2 - 熱アシスト磁気記録ヘッド及びヘッドアッセンブリ - Google Patents

Description

参照による取り込み

本出願は、２００８年６月２日に出願された日本特許出願第２００８−１４４９０２号の優先権を主張し、その内容を参照することにより本出願に取り込む。

本発明は、熱アシスト磁気記録ヘッド及びヘッドアッセンブリに関し、特に発光素子を実装するためのサブマウントを設ける技術に関する。

近年、磁気ディスク装置の記録密度を向上させる技術の一つとして、熱アシスト磁気記録が提案されている。この熱アシスト磁気記録は、記録媒体の微小領域に磁場と熱とを印加することでデータを記録する技術である。記録媒体の微小領域を加熱する手段としては、近接場光学素子が考えられている。この近接場光学素子は、ヘッドスライダの磁気記録素子の近傍に設けられ、外部の発光素子から導かれる光を近接場光に変換して出力することで、記録媒体の微小領域を加熱する。特開２００７−３３５０２７号公報には、ヘッド支持部材とヘッドスライダとの間に発光素子を実装するためのサブマウントを設けた熱アシスト磁気記録ヘッドが開示されている。

特開２００７−３３５０２７号公報

しかしながら、上記従来の熱アシスト磁気記録ヘッドのようにヘッド支持部材とヘッドスライダとの間にサブマウントを介在させた場合、ヘッド支持部材に設けられた端子と、ヘッドスライダに設けられた端子とがサブマウントの厚さ分だけ離れてしまうため、これらの端子同士を電気的に接続することが困難という問題がある。

本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであり、発光素子を実装するためのサブマウントが設けられた熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、ヘッドスライダに設けられた端子と、ヘッド支持部材に設けられた端子とを適切に電気的に接続することが可能な、熱アシスト磁気記録ヘッド及びヘッドアッセンブリを提供することを主な目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドは、発光素子と、発光素子が実装され、ヘッド支持部材に取り付けられるサブマウントと、少なくとも磁気記録素子を含み、サブマウントに取り付けられるへッドスライダであって、発光素子から発せられた光を受け入れ、記録媒体と対向する媒体対向面から近接場光を発する光変換部を含むヘッドスライダと、を備え、サブマウントは、ヘッドスライダに設けられた端子と、ヘッド支持部材に設けられた端子とを電気的に接続する配線を有する。

また、本発明のヘッドアッセンブリは、上記本発明の熱アシスト磁気記録ヘッドを備える。

本発明の一態様では、前記サブマウントは、前記発光素子に設けられた端子と、前記ヘッド支持部材に設けられた端子とを電気的に接続する配線を有する。

本発明の一態様では、前記サブマウントには、前記ヘッド支持部材側に開口し、前記発光素子が収容される凹部と、前記凹部の底部から前記ヘッドスライダ側まで貫通する貫通孔と、が形成され、前記凹部内に収容された前記発光素子から発せられた光は、前記貫通孔を通過し、前記ヘッドスライダの前記サブマウント側の面に形成された、前記光変換部の受け入れ面に入射される。

また、この態様では、前記発光素子は、共振器方向と交差する方向に光を発する出力端部が形成されたレーザーダイオードであり、前記共振器方向が前記凹部の底部と略平行となるように前記凹部内に収容され、前記貫通孔に向けて前記出力端部から光を発するようにしてもよい。

また、この態様では、前記凹部の底部には、前記発光素子に設けられた端子と接続される第１の配線が形成され、前記サブマウントの前記ヘッドスライダ側の面には、前記ヘッド支持部材に設けられた端子と接続される第２の配線が形成され、前記貫通孔の側壁には、一端が前記第１の配線に接続され、他端が前記第２の配線に接続される孔内配線が形成されるようにしてもよい。

ここで、前記発光素子の一方の主面に設けられた端子は、前記凹部の底部に形成された前記第１の配線と接続され、前記発光素子の他方の主面に設けられた端子は、前記ヘッド支持部材に接地されるようにしてもよい。

または、前記凹部の底部には、前記発光素子の一方の主面に設けられた複数の端子とそれぞれ接続される複数の第１の配線が形成され、前記サブマウントの前記ヘッドスライダ側の面には、前記ヘッド支持部材に設けられた複数の端子とそれぞれ接続される複数の第２の配線が形成され、前記貫通孔の側壁には、一端が前記複数の第１の配線にそれぞれ接続され、他端が前記複数の第２の配線にそれぞれ接続される複数の孔内配線が形成されるようにしてもよい。

また、この態様では、前記貫通孔内には、前記発光素子から発せられる光に対して透光性を有する導波路部材が充填されるようにしてもよい。

また、この態様では、前記貫通孔内には、前記発光素子から発せられる光を、前記光変換部の受け入れ面に向けて集光するレンズが設けられるようにしてもよい。

本発明の一態様では、前記サブマウントには、前記ヘッドスライダ側に開口し、前記発光素子が収容される凹部が形成され、前記凹部内に収容された前記発光素子から発せられた光は、前記ヘッドスライダの前記サブマウント側の面に形成された、前記光変換部の受け入れ面に入射される。

また、この態様では、前記発光素子は、共振器方向と交差する方向に光を発する出力端部が形成されたレーザーダイオードであり、前記共振器方向が前記凹部の底部と略平行となるように前記凹部内に収容され、前記光変換部の受け入れ面に向けて前記出力端部から光を発するようにしてもよい。

また、この態様では、前記凹部の底部には、前記発光素子の一方の主面に設けられた複数の端子とそれぞれ接続される複数の第１の配線が形成され、前記サブマウントの前記ヘッドスライダ側の面には、前記ヘッド支持部材に設けられた複数の端子とそれぞれ接続される複数の第２の配線が形成され、前記凹部の側部には、一端が前記複数の第１の配線にそれぞれ接続され、他端が前記複数の第２の配線にそれぞれ接続される複数の側壁配線が形成されるようにしてもよい。

本発明の一態様では、前記サブマウントの前記ヘッドスライダと対向する対向面には、前記ヘッドスライダとの間に介在する台部と、ミラーとが形成され、前記発光素子は、前記ミラーに向けて光を発するよう前記対向面に実装され、前記発光素子から発せられた光は、前記ミラーにより向きを変え、前記ヘッドスライダの前記サブマウント側の面に形成された、前記光変換部の受け入れ面に入射される。

また、この態様では、前記台部は、前記発光素子から発せられる光に対して透光性を有する導波路部材で構成され、前記発光素子から発せられた光は、前記台部内を通過した後、前記ミラーにより向きを変え、前記光変換部の受け入れ面に入射されるようにしてもよい。

本発明の一態様では、前記サブマウントの前記ヘッドスライダが取り付けられる取付面には凸部が形成され、前記ヘッドスライダは、前記凸部の頂面に一部が当接した状態で、前記取付面に接着される。

本発明によれば、ヘッド支持部材とヘッドスライダとの間に介在するサブマウントが、ヘッドスライダに設けられた端子とヘッド支持部材に設けられた端子とを電気的に接続するための配線を有しているので、これらの端子が離れていても、この配線を通じて適切に電気的に接続することができる。
本発明の他の目的、特徴及び利点は添付図面に関する以下の本発明の実施例の記載から明らかになるであろう。

本発明の一実施形態に係るヘッドアッセンブリを備える磁気ディスク装置の平面図である。 本発明の一実施形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド（第１例）の斜視図である。 第１例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの断面図である。 第１例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドに含まれるサブマウントの上面側を表す斜視図である。 第１例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドに含まれるサブマウントの下面側を表す斜視図である。 第１例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの拡大断面図である。 第１例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの拡大断面図である。 第１例の変形例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドに含まれるサブマウントの上面側を表す斜視図である。 第１例の変形例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドに含まれるサブマウントの下面側を表す斜視図である。 第１例の変形例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの拡大断面図である。 第１例の変形例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの拡大断面図である。 第１例の変形例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの拡大断面図である。 本発明の一実施形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド（第２例）の斜視図である。 第２例の熱アシスト磁気記録ヘッドの断面図である。 第２例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドに含まれるサブマウントの下面側を表す斜視図である。 第２例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの拡大断面図である。 第２例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの拡大断面図である。 本発明の一実施形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド（第３例）の斜視図である。 第３例の熱アシスト磁気記録ヘッドの断面図である。 第３例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドに含まれるサブマウントの下面側を表す斜視図である。 第３例に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの拡大断面図である。

本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係るヘッドアッセンブリを備える磁気ディスク装置の平面図である。同図では、トップカバーの図示を省略している。

磁気ディスク装置１の筐体２には、磁気ディスク３及びヘッドアッセンブリ４が収納されている。磁気ディスク３は、筐体２の底部に設けられたスピンドルモータ５に取り付けられている。ヘッドアッセンブリ４は、磁気ディスク３の隣で筐体２の底部に旋回可能に支承されている。

ヘッドアッセンブリ４の先端側には、本発明の一実施形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド１０を支持するヘッド支持部材としてのヘッドジンバルアッセンブリ（ＨＧＡ）４１が取り付けられている。この熱アシスト磁気記録ヘッド１０は、磁気ディスク３上に近接浮上し、磁気ディスク３の所定領域に磁場と熱とを印加することでデータを記録する。

他方、ヘッドアッセンブリ４の後端側には、ボイスコイルモータ６が設けられている。ボイスコイルモータ６は、ヘッドアッセンブリ４を旋回駆動し、熱アシスト磁気記録ヘッド１０を磁気ディスク３上で略半径方向に移動させる。

［熱アシスト磁気記録ヘッドの第１例］
以下、本発明の一実施形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド１０の第１例（熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａとする）について説明する。

図２及び図３は、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａの斜視図および断面図である。これらの図では、ＨＧＡ４１に取り付けられた状態の熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａが表されている。また、この図３では、熱アシスト磁気記録ヘッド１０を幅方向の中央部で切断したときの断面の概略が表されている。図４Ａ及び図４Ｂは、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａに含まれるサブマウント８Ａの上面側および下面側を表す斜視図である。図５Ａは、上記図３Ａの要部拡大図である。

なお、以下の説明では、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａに対してＨＧＡ４１側を上方、磁気ディスク３側を下方とする。また、熱アシスト磁気記録ヘッド１０において、ＨＧＡ４１の先端側に対応する側（すなわち空気流出側）を前方とし、その逆側を後方とする。

熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａは、発光素子としてのレーザーダイオード７が実装された矩形板状のサブマウント８Ａと、磁気記録素子９３及び光変換部９５を含んだ扁平直方状の磁気ヘッドスライダ９と、を有している。この熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａでは、ＨＧＡ４１の下側にサブマウント８Ａが取り付けられ、このサブマウント８Ａの下面８ｄに磁気ヘッドスライダ９が取り付けられる。具体的には、ＨＧＡ４１では、ロードビーム４１２に設けられたディンプル４１５の下端にフレクシャ４１３が接合されており、このフレクシャ４１３の下面にサブマウント８Ａが取り付けられる。

磁気ヘッドスライダ９は、下面である媒体対向面９ｄにＡＢＳ（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）を有しており、回転する磁気ディスク３上に空気のくさび膜効果によって浮上する。この磁気ヘッドスライダ９は、前方側（空気流出側）に磁気記録素子９３及び光変換部９５を含んでいる。これらは、アルミナとチタンカーバイトの焼結体（アルチック）からなるスライダ基板の端面に、薄膜形成技術によって形成される。

磁気記録素子９３は、コイルを流れる電流に応じた磁界を発生するインダクティブ素子により構成される。また、磁気ヘッドスライダ９には、磁気抵抗効果素子により構成される磁気再生素子（不図示）も含まれている。これらは、磁気ヘッドスライダ９の前方側（空気流出側）の端面９ｅに形成された複数の端子９１と、不図示の配線により電気的に接続される。

光変換部９５は、磁気ヘッドスライダ９を上下方向に貫通して形成されている。この光変換部９５は、レーザーダイオード７から発せられたレーザー光を、磁気ヘッドスライダ９の上面９ｆに形成された受け入れ面９５ｆ（図５Ａを参照）から受け入れ、このレーザー光により生成される近接場光を、磁気ヘッドスライダ９の媒体対向面９ｄに形成された端面９５ｄから出力する。この光変換部９５は、磁気記録素子９３の近くに形成されることが好ましい。

具体的には、光変換部９５の下端には近接場光学素子９５２が設けられており、その上側には受け入れ面９５ｆから光変換部９５までレーザー光を導く導波路部９５１が設けられている。近接場光学素子９５２は、レーザー光によりプラズモン共鳴が励起されて、近接場光を生じる。また、導波路部９５１は、例えば石英などの、レーザー光に対して透光性を有する材料で構成される。なお、光変換部９５は、この例に限られず、導波路の断面積を下端に向けて狭小化した、いわゆるプローブ型であってもよい。

サブマウント８Ａは、例えばシリコンや窒化アルミニウムなど、レーザーダイオード７と比較して熱伝導率が高く、熱膨張率の近い材料で構成される。このサブマウント８Ａには、図４Ａに示されるように、レーザーダイオード７を収容するための上面８ｆ側に開口した凹部８２Ａが形成されている。この凹部８２Ａは、上下方向が比較的短い扁平直方状に形成されている。また、この凹部８２Ａの底部の前部には、下面８ｄ側まで貫通する幅方向に広がった断面矩形状の貫通孔８４が形成されている。この貫通孔８４は、図５Ａに示されるように、下面８ｄ側に向けて広がった形状を有するとともに、磁気ヘッドスライダ９に含まれる光変換部９５の受け入れ面９５ｆに対応する位置に形成される。

レーザーダイオード７は、矩形板状の形状を為し、サブマウント８Ａの凹部８２Ａの底部と略平行となるように凹部８２Ａ内に収容される。このレーザーダイオード７は、前部が貫通孔８４上を覆うように配置される。図５Ａに示されるように、レーザーダイオード７は下部にｐｎ接合面７１を有しており、このｐｎ接合面７１の前後方向が共振器方向とされる。このため、レーザーダイオード７の共振器方向は、凹部８２Ａの底部と略平行になっている。

また、レーザーダイオード７の、貫通孔８４上を覆う前部には、下面から後方側に斜めに延びた切り欠き７２１が形成されている。レーザーダイオード７で生成されるレーザー光は、この切り欠き７２１を構成する傾斜面７２２によって全反射され、共振器方向と直交する下方に向けて出力される。従って、この傾斜面７２２を有する角部が、レーザー光の出力端部７２ａとされる。この出力端部７２ａから下方に向けて出力されたレーザー光は、貫通孔８４を通過し、光変換部９５の受け入れ面９５ｆに入射される。

なお、レーザーダイオード７はこの例に限られず、例えば図５Ｂに示されるように、レーザーダイオード７の前方側の端面の少なくとも下部を傾斜面７２２とするようにしてもよい。

このように、サブマウント８Ａの凹部８２Ａに収容されたレーザーダイオード７から下方に向けて出力されるレーザー光が、貫通孔８４を通過し、磁気ヘッドスライダ９に含まれる光変換部９５の受け入れ面９５ｆに入射されるようにすることで、レーザーダイオード７の出力端部７２ａから光変換部９５の受け入れ面９５ｆに至るまでのレーザー光の伝播距離を短縮化することができ、これによりレーザー光の結合損失を低減することができる。

次に、図４Ｂに示されるように、サブマウント８Ａの下面８ｄの前部には、貫通孔８４の近辺から、やや下方を向いた前方側の端面８ｅまで至る複数の配線８１が形成されている。これらの配線８１は、図２及び図３に示されるように、磁気ヘッドスライダ９に設けられた複数の端子９１と、ＨＧＡ４１に設けられた複数の端子４１１とをそれぞれ電気的に接続する。具体的には、各配線８１の前方側の端部は、サブマウント８Ａの前方側の端面８ｅまで延びて、ＨＧＡ４１に設けられた各端子４１１と半田等で接続される。他方、各配線８１の後方側の端部は、磁気ヘッドスライダ９の前方側の端面９ｅに対応する位置まで延びて、この端面９ｅに設けられた各端子９１と半田等で接続される。

このように構成されることで、磁気ヘッドスライダ９に設けられた端子９１と、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１とが離れていても、サブマウント８Ａに形成された配線８１を通じてこれらを電気的に接続することができる。また、図３に示されるように、配線８１の各端部は、接続される端子９１，４１１に対して１８０度よりも小さい所定の角度を為すように形成されているため、半田等による接続が容易である。

次に、図４Ａに示されるように、サブマウント８Ａの凹部８２Ａ内には、底部に広がったパッド状の配線（第１の配線）８５が形成されている。この配線８５は、図５Ａに示されるように、凹部８２Ａ内に収容されるレーザーダイオード７の下面に設けられた端子７５と接続される。また、凹部８２Ａの底部には、レーザーダイオード７を実装する際に利用されるアライメントマーク８６も形成されている。

他方、図４Ｂに示されるように、サブマウント８Ａの下面８ｄの前部には、貫通孔８４から前方側の端面８ｅまで至る配線（第２の配線）８３が形成されている。この配線８３は、貫通孔８４から幅方向の外側に延びた後、前方側に折れ曲がって端面８ｅまで至り、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と半田等で接続される。

これらの配線８３と配線８５は、図４Ｂ及び図５Ａに示されるように、貫通孔８４の側壁に形成された孔内配線８４１を介して接続されている。これにより、レーザーダイオード７に設けられた端子７５が、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と電気的に接続される。また、レーザーダイオード７の上面に設けられた端子７６は、導電性接着剤などからなる接合部４１３ｇを介してフレクシャ４１３に接地される。

このように構成されることで、フレクシャ４１３とサブマウント８Ａとの間にレーザーダイオード７に接続するための配線を引き回す必要がなくなることから、こうした配線によって熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａの動きが阻害されることがない。また、レーザーダイオード７の端子７５と電気的に接続された配線８３が、サブマウント８Ａの下面８ｄに形成されているので、この配線８３を、上述の配線８１と同様に、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と接続することができる。

次に、図４Ｂに示されるように、サブマウント８Ａの下面８ｄには、配線８１，８３と同様の金属材料で、同程度の厚さに形成された凸部８８が設けられている。この凸部８８は、磁気ヘッドスライダ９に対応する領域の略中央を取り囲むように形成されている。磁気ヘッドスライダ９をサブマウント８Ａの下面８ｄに接着する際には、この凸部８８に取り囲まれた内側に接着剤が配される。そして、図５Ａに示されるように、磁気ヘッドスライダ９の上面９ｆは、一部が凸部８８の頂面に当接した状態で、サブマウント８Ａの下面８ｄと接着される。

このように、凸部８８をサブマウント８Ａの下面８ｄと磁気ヘッドスライダ９の上面９ｆとの間に介在させることで、サブマウント８Ａの熱膨張によって磁気ヘッドスライダ９が変形することを抑制できる。また、凸部８８は、磁気ヘッドスライダ９に対応する領域の略中央を取り囲むように形成されているので、磁気ヘッドスライダ９が傾いた姿勢でサブマウント８Ａに接着されることを抑制できる。

以下、上記第１例の熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａの変形例について説明する。なお、上記第１例と重複する構成については、図中に同番号を付すことで詳細な説明を省略する。

図６Ａ及び図６Ｂは、変形例に係るサブマウント８Ｅの上面側および下面側を表す斜視図である。図７は、この変形例に係る拡大断面図である。この図７では、貫通孔４３を通って幅方向に切断したときの断面の要部の概略が表されている。

この変形例では、図６Ａに示されるように、サブマウント８Ｅの凹部８２Ａの底部に、前後方向に延びて幅方向に配列した２つのパッド状の配線（第１の配線）８５ａ，８５ｂが形成されている。これらの配線８５ａ，８５ｂは、図７に示されるように、凹部８２Ａ内に収容されるレーザーダイオード７の下面に設けられた２つの端子７５ａ，７５ｂとそれぞれ接続される。

他方、図６Ｂに示されるように、サブマウント８Ｅの下面８ｄの前部には、貫通孔８４から前方側の端面８ｅに至る２つの配線（第２の配線）８３ａ，８３ｂが形成されている。これらの配線８３ａ，８３ｂは、貫通孔８４の幅方向の両側からそれぞれ外側に延びた後、前方側に折れ曲がって端面８ｅまで至り、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と半田等で接続される。

これらの配線８３ａ，８３ｂと配線８５ａ，８５ｂは、図７に示されるように、貫通孔８４の側壁のうち幅方向の両側に形成された孔内配線８４１ａ，８４１ｂを介してそれぞれ接続されている。これにより、レーザーダイオード７の下面に設けられた端子７５ａ，７５ｂが、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と電気的に接続される。

このように構成されることで、フレクシャ４１３とサブマウント８Ｅとの間にレーザーダイオード７に接続するための配線を引き回す必要がなくなることから、こうした配線によって熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａの動きが阻害されることがない。また、レーザーダイオード７の端子７５ａ，７５ｂと電気的に接続された配線８５ａ，８５ｂが、サブマウント８Ｅの下面８ｄに形成されているので、これらの配線８５ａ，８５ｂを、上述の配線８１と同様に、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と接続することができる。

図８は、別の変形例に係る拡大断面図である。この変形例のように、サブマウント８Ａの貫通孔８４内には、例えば石英などの、レーザーダイオード７から発せられるレーザー光に対して透光性を有する導波路部材８４８が充填されてもよい。これによれば、レーザー光の結合損失を更に低減することができる。

図９は、別の変形例に係る拡大断面図である。この変形例のように、サブマウント８Ａの貫通孔８４内には、レーザーダイオード７から発せられるレーザー光を、光変換部９５の受け入れ面９５ｆに向けて集光するレンズ８４９が設けられてもよい。これによれば、レーザー光の結合損失を更に低減することができる。

［熱アシスト磁気記録ヘッドの第２例］
以下、本発明の一実施形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド１０の第２例（熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｂとする）について説明する。なお、上記第１例と重複する構成については、図中に同番号を付すことで詳細な説明を省略する。

図１０及び図１１は、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｂの斜視図および断面図である。この図１１では、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｂを幅方向の中央部で切断したときの断面の概略が表されている。図１２は、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｂに含まれるサブマウント８Ｂの下面側を表す斜視図である。図１３は、上記図１１の要部拡大図である。図１４は、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｂの断面図である。この図１４では、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｂを幅方向に沿って切断したときの断面の要部の概略が表されている。

サブマウント８Ｂには、図１２に示されるように、レーザーダイオード７を収容するための下面８ｄ側に開口した凹部８２Ｂが形成されている。レーザーダイオード７は、図１３に示されるように、サブマウント８Ｂの凹部８２Ｂ内に、凹部８２Ｂの底部と略平行となるように収容される。このレーザーダイオード７は、磁気ヘッドスライダ９に含まれる光変換部９５の受け入れ面９５ｆ上を覆う前部に、共振器方向と直交する下方に向けてレーザー光を出力する出力端部７２ａを有している。この出力端部７２ａから下方に向けて出力されたレーザー光は、光変換部９５の受け入れ面９５ｆに入射される。

このように、サブマウント８Ｂの凹部８２Ｂに収容されたレーザーダイオード７から下方に向けて出力されたレーザー光が、磁気ヘッドスライダ９に含まれる光変換部９５の受け入れ面９５ｆに入射されるようにすることで、レーザーダイオード７から光変換部９５の受け入れ面９５ｆに至るまでのレーザー光の伝播距離を短縮化することができ、これによりレーザー光の結合損失を低減することができる。

次に、図１２に示されるように、サブマウント８Ｂの凹部８２Ｂの底部には、前後方向に延びて幅方向に配列した２つのパット状の配線（第１の配線）８５ａ，８５ｂが形成されている。これらの配線８５ａ，８５ｂは、図１４に示されるように、凹部８２Ｂ内に収容されるレーザーダイオード７の上面に設けられた２つの端子７５ａ，７５ｂとそれぞれ接続される。

また、サブマウント８Ｂの下面８ｄの前部には、凹部８２Ｂから前方側の端面８ｅに至る２つの配線（第２の配線）８３ａ，８３ｂが形成されている。これらの配線８３ａ，８３ｂは、凹部８２Ｂの幅方向の両側からそれぞれ外側に延びた後、前方側に折れ曲がって端面８ｅまで至り、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と半田等で接続される。

これらの配線８３ａ，８３ｂと配線８５ａ，８５ｂは、図１２及び図１４に示されるように、凹部８２Ａの側部に形成された側壁配線８７ａ，８７ｂを介してそれぞれ接続されている。これにより、レーザーダイオード７の上面に設けられた端子７５ａ，７５ｂが、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と電気的に接続される。

このように、レーザーダイオード７に設けられた端子７５ａ，７５ｂと電気的に接続された配線８３ａ，８３ｂが、サブマウント８Ｅの下面８ｄに形成されることで、これらの配線８５ａ，８５ｂを、上述の配線８１と同様に、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と接続することができる。

［熱アシスト磁気記録ヘッドの第３例］
以下、本発明の一実施形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッド１０の第３例（熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｃとする）について説明する。なお、上記第１例と重複する構成については、図中に同番号を付すことで詳細な説明を省略する。

図１５及び図１６は、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｃの斜視図および断面図である。この図１６では、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｃを幅方向の中央部で切断したときの断面の概略が表されている。図１７は、熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｃに含まれるサブマウント８Ｃの下面側を表す斜視図である。図１８は、上記図１６の要部拡大図である。

サブマウント８Ｃの下面８ｄには、図１６及び図１７に示されるように、磁気ヘッドスライダ９を取り付けるための台部８９１が、下面８ｄよりも下方に張り出すように設けられている。この台部８９１は、例えば石英などの、レーザーダイオード７から発せられるレーザー光に対して透光性を有する導波路部材で構成されている。また、サブマウント８Ｃの下面８ｄには、台部８９１よりも前方側に、後方側かつ下方側を向くミラー８９２が形成されている。このミラー８９２は、図１８に示されるように、磁気ヘッドスライダ９に含まれる光変換部９５の受け入れ面９５ｆ上を覆うように形成される。すなわち、磁気ヘッドスライダ９は、光変換部９５の受け入れ面９５ｆとサブマウント８Ｃの下面８ｄとの間に隙間を形成するように、台部８９１に取り付けられており、ミラー８９２は、この光変換部９５の受け入れ面９５ｆとサブマウント８Ｃの下面８ｄとの間に形成される。

レーザーダイオード７は、サブマウント８Ｃの下面８ｄのうち台部８９１よりも後方側に取り付けられており、磁気ヘッドスライダ９と前後方向に並んで配置されている。このレーザーダイオード７は、図１８に示されるように、サブマウント８Ｃの下面８ｄに近い側にｐｎ接合面７１を有しており、このｐｎ接合面７１の前後方向が共振器方向とされる。また、レーザーダイオード７の前方側の端面７８は劈開面とされ、レーザー光はこの端面７８から前方側に向けて出力される。出力されたレーザー光は、台部８９１の後方側の端面８９１ｇに入射され、台部８９１内を通過し、台部８９１の前方側の端面８９１ｅから出射されて、ミラー８９２に至る。そして、レーザー光は、ミラー８９２により下方側に向きを変え、磁気ヘッドスライダ９に含まれる光変換部９５の受け入れ面９５ｆに入射される。

このように、磁気ヘッドスライダ９とレーザーダイオード７とが前後方向に並んで配置される場合、上述の第１例や第２例のように磁気ヘッドスライダ９の上方にレーザーダイオード７が配置される場合と比較して、サブマウント８Ｃの上下方向の厚さを低減することができる。このため、ＨＧＡ４１のフレクシャ４１３に取り付けられた熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ｃがディンプル４１５（図１６を参照）を中心に傾く場合に、下端に設けられた記録部（磁気記録素子９３や近接場光学素子９５２）の、磁気ディスク３の目標位置に対する位置ずれを、上述の第１例や第２例の場合と比較して低減することができる。

次に、図１７に示されるように、サブマウント８Ｃの下面８ｄのうち、台部８９１よりも後方側には、前後方向に並んだ２つのパット状の配線８９３ａ，８９３ｂが形成されている。これらの配線８９３ａ，８９３ｂは、レーザーダイオード７の上面に設けられた２つの端子（不図示）とそれぞれ接続される。また、サブマウント８Ｃの下面８ｄには、これらの配線８９３ａ，８９３ｂから前方側の端面８ｅに至る２つの配線８３ａ，８３ｂが形成されている。これらの配線８３ａ，８３ｂは、配線８９３ａ，８９３ｂからそれぞれ幅方向の外側に延びた後、前方側に折れ曲がって端面８ｅまで至り、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と半田等で接続される。これにより、レーザーダイオード７の上面に設けられた２つの端子（不図示）が、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と電気的に接続される。

このように、レーザーダイオード７に設けられた２つの端子（不図示）と電気的に接続された配線８３ａ，８３ｂが、サブマウント８Ｅの下面８ｄに形成されることで、これらの配線８５ａ，８５ｂを、上述の配線８１と同様に、ＨＧＡ４１に設けられた端子４１１と接続することができる。

なお、以上に説明した第１例ないし第３例の熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａ〜１０Ｃによれば、レーザーダイオード７がサブマウント８Ａ〜８Ｃに実装されており、レーザーダイオード７に生じた熱をサブマウント８Ａ〜８Ｃにより分散させることができるので、磁気ヘッドスライダ９の変形を抑制できる。また、レーザーダイオード７の熱膨張をサブマウント８Ａ〜８Ｃに吸収させることができるので、磁気ヘッドスライダ９の変形を抑制できる。

また、第１例ないし第３例の熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａ〜１０Ｃによれば、製造過程において、レーザーダイオード７をサブマウント８Ａ〜８Ｃに実装した段階で、レーザーダイオード７の特性評価を行うことが可能であるため、レーザーダイオード７を実装したサブマウント８Ａ〜８Ｃの特性評価と、磁気ヘッドスライダ９の特性評価とを個別に行うことができ、この結果、これらを組み立てた熱アシスト磁気記録ヘッド１０Ａ〜１０Ｃ全体としての歩留まりの低下を抑制することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのはもちろんである。

１ 磁気ディスク装置
２ 筐体
３ 磁気ディスク（記録媒体の一例）
４ ヘッドアッセンブリ
４１ ＨＧＡ
４１１ 端子
４１２ ロードビーム
４１３ フレクシャ
４１５ ディンプル
５ スピンドルモータ
６ ボイスコイルモータ
７ レーザーダイオード（発光素子の一例）
７１ ｐｎ接合面
７２ａ 出力端部
７２１ 切り欠き
７２２ 傾斜面
７５ 端子
７６ 端子
８Ａ〜８Ｃ，８Ｅ サブマウント
８１ 配線
８２Ａ，８２Ｂ 凹部
８３ 配線（第２の配線）
８４ 貫通孔
８４１ 孔内配線
８４８ 導波路部材
８４９ レンズ
８５ 配線（第１の配線）
８６ アライメントマーク
８７ 側壁配線
８８ 凸部
８９１ 台部
８９２ ミラー
８９３ 配線
９ 磁気ヘッドスライダ
９ｄ 媒体対向面
９１ 端子
９３ 磁気記録素子
９５ 光変換部
９５ｄ 端面
９５ｆ 受け入れ面
９５１ 導波路部
９５２ 近接場光学素子
１０（１０Ａ〜１０Ｃ） 熱アシスト磁気記録ヘッド

Claims (13)

1. 発光素子と、
   前記発光素子が実装され、ヘッド支持部材に取り付けられるサブマウントと、
   少なくとも磁気記録素子を含み、前記サブマウントに取り付けられるへッドスライダであって、前記発光素子から発せられた光を受け入れ、記録媒体と対向する媒体対向面から近接場光を発する光変換部を含むヘッドスライダと、
   を備え、
   前記サブマウントは、前記ヘッドスライダに設けられた端子と、前記ヘッド支持部材に設けられた端子とを電気的に接続する配線を有し、
   前記サブマウントには、前記ヘッド支持部材側に開口し、前記発光素子が収容される凹部と、前記凹部の底部から前記ヘッドスライダ側まで貫通する貫通孔と、が形成され、
   前記凹部内に収容された前記発光素子から発せられた光は、前記貫通孔を通過し、前記ヘッドスライダの前記サブマウント側の面に形成された、前記光変換部の受け入れ面に入射され、
   前記凹部の底部には、前記発光素子に設けられた端子と接続される第１の配線が形成され、
   前記サブマウントの前記ヘッドスライダ側の面には、前記ヘッド支持部材に設けられた端子と接続される第２の配線が形成され、
   前記貫通孔の側壁には、一端が前記第１の配線に接続され、他端が前記第２の配線に接続される孔内配線が形成される、
   熱アシスト磁気記録ヘッド。
2. 発光素子と、
   前記発光素子が実装され、ヘッド支持部材に取り付けられるサブマウントと、
   少なくとも磁気記録素子を含み、前記サブマウントに取り付けられるへッドスライダであって、前記発光素子から発せられた光を受け入れ、記録媒体と対向する媒体対向面から近接場光を発する光変換部を含むヘッドスライダと、
   を備え、
   前記サブマウントは、前記ヘッドスライダに設けられた端子と、前記ヘッド支持部材に設けられた端子とを電気的に接続する配線を有し、
   前記サブマウントには、前記ヘッド支持部材側に開口し、前記発光素子が収容される凹部と、前記凹部の底部から前記ヘッドスライダ側まで貫通する貫通孔と、が形成され、
   前記凹部内に収容された前記発光素子から発せられた光は、前記貫通孔を通過し、前記ヘッドスライダの前記サブマウント側の面に形成された、前記光変換部の受け入れ面に入射され、
   前記凹部の底部には、前記発光素子の一方の主面に設けられた複数の端子とそれぞれ接続される複数の第１の配線が形成され、
   前記サブマウントの前記ヘッドスライダ側の面には、前記ヘッド支持部材に設けられた複数の端子とそれぞれ接続される複数の第２の配線が形成され、
   前記貫通孔の側壁には、一端が前記複数の第１の配線にそれぞれ接続され、他端が前記複数の第２の配線にそれぞれ接続される複数の孔内配線が形成される、
   熱アシスト磁気記録ヘッド。
3. 発光素子と、
   前記発光素子が実装され、ヘッド支持部材に取り付けられるサブマウントと、
   少なくとも磁気記録素子を含み、前記サブマウントに取り付けられるへッドスライダであって、前記発光素子から発せられた光を受け入れ、記録媒体と対向する媒体対向面から近接場光を発する光変換部を含むヘッドスライダと、
   を備え、
   前記サブマウントは、前記ヘッドスライダに設けられた端子と、前記ヘッド支持部材に設けられた端子とを電気的に接続する配線を有し、
   前記サブマウントの前記ヘッドスライダと対向する対向面には、前記ヘッドスライダとの間に介在する台部と、ミラーとが形成され、
   前記発光素子は、前記ミラーに向けて光を発するよう前記対向面に実装され、
   前記発光素子から発せられた光は、前記ミラーにより向きを変え、前記ヘッドスライダの前記サブマウント側の面に形成された、前記光変換部の受け入れ面に入射され、
   前記台部は、前記発光素子から発せられる光に対して透光性を有する導波路部材で構成され、
   前記発光素子から発せられた光は、前記台部内を通過した後、前記ミラーにより向きを変え、前記光変換部の受け入れ面に入射される、
   熱アシスト磁気記録ヘッド。
4. 前記サブマウントは、前記発光素子に設けられた端子と、前記ヘッド支持部材に設けられた端子とを電気的に接続する配線を有する、
   請求項１から３のいずれか１つに記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
5. 前記発光素子は、共振器方向と交差する方向に光を発する出力端部が形成されたレーザーダイオードであり、前記共振器方向が前記凹部の底部と略平行となるように前記凹部内に収容され、前記貫通孔に向けて前記出力端部から光を発する、
   請求項１または２に記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
6. 前記発光素子の一方の主面に設けられた端子は、前記凹部の底部に形成された前記第１の配線と接続され、前記発光素子の他方の主面に設けられた端子は、前記ヘッド支持部材に接地される、
   請求項１または２に記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
7. 前記貫通孔内には、前記発光素子から発せられる光に対して透光性を有する導波路部材が充填される、
   請求項１または２に記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
8. 前記貫通孔内には、前記発光素子から発せられる光を、前記光変換部の受け入れ面に向けて集光するレンズが設けられる、
   請求項１または２に記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
9. 前記サブマウントには、前記ヘッドスライダ側に開口し、前記発光素子が収容される凹部が形成され、
   前記凹部内に収容された前記発光素子から発せられた光は、前記ヘッドスライダの前記サブマウント側の面に形成された、前記光変換部の受け入れ面に入射される、
   請求項１から３のいずれか１つに記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
10. 前記発光素子は、共振器方向と交差する方向に光を発する出力端部が形成されたレーザーダイオードであり、前記共振器方向が前記凹部の底部と略平行となるように前記凹部内に収容され、前記光変換部の受け入れ面に向けて前記出力端部から光を発する、
    請求項９に記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
11. 前記凹部の底部には、前記発光素子の一方の主面に設けられた複数の端子とそれぞれ接続される複数の第１の配線が形成され、
    前記サブマウントの前記ヘッドスライダ側の面には、前記ヘッド支持部材に設けられた複数の端子とそれぞれ接続される複数の第２の配線が形成され、
    前記凹部の側部には、一端が前記複数の第１の配線にそれぞれ接続され、他端が前記複数の第２の配線にそれぞれ接続される複数の側壁配線が形成される、
    請求項９に記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
12. 前記サブマウントの前記ヘッドスライダが取り付けられる取付面には凸部が形成され、
    前記ヘッドスライダは、前記凸部の頂面に一部が当接した状態で、前記取付面に接着される、
    請求項１から３のいずれか１つに記載の熱アシスト磁気記録ヘッド。
13. 請求項１から３のいずれか１つに記載の熱アシスト磁気記録ヘッドを備えるヘッドアッセンブリ。

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