JP5096564B2 - プラズマアークの急速消弧のためのリードインダクタンスに蓄積されている電気エネルギーの低減のための回路及び方法 - Google Patents
プラズマアークの急速消弧のためのリードインダクタンスに蓄積されている電気エネルギーの低減のための回路及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5096564B2 JP5096564B2 JP2010507834A JP2010507834A JP5096564B2 JP 5096564 B2 JP5096564 B2 JP 5096564B2 JP 2010507834 A JP2010507834 A JP 2010507834A JP 2010507834 A JP2010507834 A JP 2010507834A JP 5096564 B2 JP5096564 B2 JP 5096564B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- circuit
- energy
- storage device
- energy storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32055—Arc discharge
- H01J37/32064—Circuits specially adapted for controlling the arc discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
- H02M3/02—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
- H02M3/04—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
- H02M3/06—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider
- H02M3/07—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider using capacitors charged and discharged alternately by semiconductor devices with control electrode, e.g. charge pumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32091—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being capacitively coupled to the plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/42—Methods or arrangements for servicing or maintenance of secondary cells or secondary half-cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/42—Methods or arrangements for servicing or maintenance of secondary cells or secondary half-cells
- H01M10/425—Structural combination with electronic components, e.g. electronic circuits integrated to the outside of the casing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/42—Methods or arrangements for servicing or maintenance of secondary cells or secondary half-cells
- H01M10/425—Structural combination with electronic components, e.g. electronic circuits integrated to the outside of the casing
- H01M10/4264—Structural combination with electronic components, e.g. electronic circuits integrated to the outside of the casing with capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
- H01M10/42—Methods or arrangements for servicing or maintenance of secondary cells or secondary half-cells
- H01M10/44—Methods for charging or discharging
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
- H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
- H02M3/02—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
- H02M3/04—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
- H02M3/10—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
- H02M3/145—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal
- H02M3/155—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode using devices of a triode or transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/36—Circuit arrangements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Charge And Discharge Circuits For Batteries Or The Like (AREA)
- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
- Dc-Dc Converters (AREA)
- Discharge Heating (AREA)
- Keying Circuit Devices (AREA)
Description
従って本発明の課題は、冒頭に述べたような形式の回路構成部、電源装置、方法において、電力が供給される負荷と電源ユニットの相対的な位置関係に関する配置的制約を与えることなく、負荷に供給されるリードインダクタンスエネルギーの顕著な低減を保証することである。
本発明の第1の態様によれば、前記課題は、冒頭に述べたような回路構成部において、第1の電気的な非線形デバイスと、該第1の電気的な非線形デバイスと直列に配設されているエネルギー蓄積デバイスと、プリチャージング回路とが含まれ、前記プリチャージ回路は前記負荷への給電が可能である間、エネルギー蓄積デバイスにおいて予め定められたエネルギーレベルまでエネルギーを蓄積するために、当該エネルギー蓄積デバイスと作動接続されるようにして解決される。
a.給電の中断に先立って、エネルギー蓄積デバイスを所定のエネルギーレベルまでプリチャージするステップと、
b.負荷に電力を戻す前に、前記エネルギー蓄積デバイスに蓄積されている電気エネルギーを転位ないし移動させるステップとを含んでいることによって解決される。
給電ユニットから少なくとも1つのリードを接続解除するステップと、
電気エネルギーをエネルギー蓄積デバイスに転送するステップと、
非線形デバイスを用いてエネルギー蓄積デバイスからリードへのエネルギー通流を抑制するステップとを含んでいる形式のものにおいて、
電源ユニットからのリードの接続解除に先立ってエネルギー蓄積デバイスを能動的にプリチャージすることによって解決する。
通常の作動状態のもとではシリアルスイッチング手段SSは閉成されている。すなわち出力側4.2は、電源ユニット5の負極(−)に接続されている。キャパシタCは、ダイオードD3(チャージダイオード)を通って電源ユニット5の出力電圧レベルまでチャージされる。図1に関連して先に説明したように、プラズマ応用部におけるアーク放電が検出されると、シリアルスイッチング手段SSが開かれ、それによって電源装置1の出力電流はキャパシタCの初期電圧に抗してバイパスダイオードD2を流れ、さらにフリーホイリングダイオードD1を通って流れる。さらに付加的に電源ユニット5からのさらなる電力放出を抑制するために、電源ユニット5内のスイッチSIも開かれる。すなわち、給電が中断される。
キャパシタに蓄積されるエネルギー量の制限も存在する。通常は、キャパシタ固有の最大電圧か又は協働する素子に許容される最大電圧である。前記スイッチDSはこの電圧が所定の閾値を超えた場合に作動される。これによりキャパシタCは例えば抵抗Rを介して放電される。電圧が閾値よりも下方に低下した場合には、スイッチDSは再び開かれる。
Claims (20)
- 電源ユニット(5)を負荷(2)、特にプラズマ応用部に接続するための1つまたは複数のリード(3.1,3.2)又は負荷に蓄積された電気エネルギーを低減するための回路構成部(9)であって、
前記回路構成部(9)は、前記負荷(2)への給電を許可/中断すべく少なくとも1つのリード(3.1,3.2)に作動接続する少なくともスイッチング手段(SS)を含んでいる形式のものにおいて、
第1の電気的な非線形デバイスと、
前記第1の電気的な非線形デバイスと直列に配設されているエネルギー蓄積デバイスと、
プリチャージ回路(7;7.1;7.1′)が設けられており、
前記プリチャージ回路(7;7.1;7.1′)は、前記負荷(2)への給電が可能である間、エネルギー蓄積デバイスにおいて予め定められたエネルギーレベルまでエネルギーを蓄積するために、当該エネルギー蓄積デバイスと作動接続されるように構成されていることを特徴とする回路構成部。 - 電源ユニット(5)を負荷(2)、特にプラズマ応用部に接続するための1つまたは複数のリード(3.1,3.2)又は負荷に蓄積された電気エネルギーを転送するための回路構成部(9)であって、
前記回路構成部(9)は少なくとも1つの第1の電気的な非線形デバイスと、エネルギー蓄積デバイスを含んでいる形式のものにおいて、
第1の電気的な非線形デバイスとエネルギー蓄積デバイスが、リード若しくは負荷からエネルギー蓄積デバイスへのエネルギーの転送は許可され、エネルギー蓄積デバイスからリード若しくは負荷へのエネルギーの転送は許可されないように接続されることを特徴とする回路構成部。 - 前記回路構成部(9)は、特にリード若しくは負荷からエネルギー蓄積デバイスへのエネルギー転送に先駆けて、リードから電源ユニットへの通流を中断させる制御/監視ユニット(8)を含んでいる、請求項2記載の回路構成部。
- 前記回路構成部(9)は、負荷(2)への給電(5)の許可/中断のために、少なくとも1つのリード(3.1,3.2)と作動接続される少なくとも1つのスイッチング手段(SS)を含んでいる、請求項2又は3記載の回路構成部。
- 前記回路構成部(9)は、負荷(2)への給電が可能な間に、エネルギー蓄積デバイスに所定のエネルギーレベルまでエネルギーを蓄積するために当該エネルギー蓄積デバイスに作動接続される少なくとも1つのプリチャージ回路(7;7.1;7.1′)を含んでいる、請求項2から4いずれか1項記載の回路構成部。
- 前記第1の電気的な非線形デバイスはダイオード(D2)のようなバルブ手段である、請求項1から5いずれか1項記載の回路構成部。
- 前記エネルギー蓄積デバイスはキャパシタンス(C)及び/又はインダクタンスである、請求項1から6いずれか1項記載の回路構成部。
- 前記第1の電気的な非線形デバイスは、プリチャージ回路(7;7.1;7.1′)及び/又はエネルギー蓄積デバイスから生じた電流がリード内へ供給されるのを阻止すべく適応化されている、請求項1から7いずれか1項記載の回路構成部。
- 前記プリチャージ回路(7;7.1;7.1′)は、エネルギー蓄積デバイスと第1の電気的な非線形デバイスの間に配置されたノード(10;10′)とリード(3.1;3.2)との間に接続された第2の電気的な非線形デバイス(D3)を含んでいる、請求項1から8いずれか1項記載の回路構成部。
- 第1及び/又は第2の電気的な非線形デバイス(D2,D3)はダイオードか又は制御されたMOSFETである、請求項1から9いずれか1項記載の回路構成部。
- 第1及び第2の電気的な非線形デバイス(D2,D3)は、阻止方向とは反対側に配設されている、請求項9又は10記載の回路構成部。
- さらに放電回路(7;7.2;7.2′)がエネルギー蓄積デバイスと、電気的なエネルギーの転位、すなわちその中に電気的にチャージされ蓄積されたエネルギーの放電のために作動接続される、請求項1から11いずれか1項記載の回路構成部。
- 前記放電回路(7.2;7.2′)は、請求項9に含まれている第2の電気的な非線形デバイスと並列に接続された抵抗素子(R)と、該抵抗素子を介してエネルギー蓄積デバイスを放電するためのエネルギー蓄積デバイスと接続された放電スイッチング手段(DS)を含んでいる、請求項12記載の回路構成部。
- 第1の電気的な非線形デバイスとエネルギー蓄積デバイスが2つのリード(3.1,3.2)の間の電流パスに配置され、それに対して負荷(2)への給電が中断される、請求横1から13いずれか1項記載の回路構成部。
- プラズマ応用部のための電源装置(1)であって、
電源ユニット(5)と、
前記電源ユニット(5)から複数のリード(3.1,3.2)を介してプラズマ応用部(2)まで給電するための出力側(4.1,4.2)から構成されている形式の電源装置において、
前記電源装置(1)がさらに請求項1から14いずれか1項記載の方法を実施するための第1の回路構成部(9)を含んでいることを特徴とする電源装置。 - 前記プラズマ応用部(2)の作動状態、特にプラズマアークの発生に関するを監視と、該監視の結果に応じて少なくともスイッチング手段(SS)を制御する監視/制御ユニット(8)がさらに含まれている、請求項15記載の電源装置。
- 前記第1の回路構成部(9)とは逆並列に接続された、請求項1から10いずれか1項記載の方法を実施する第2の回路構成部(9)がさらに含まれている、請求項15又は16記載の電源装置。
- 前記電源ユニット(5)は直流電源ユニットである、請求項15から17いずれか1項記載の電源装置。
- 前記電源ユニット(5)は交流電源ユニットである、請求項15から17いずれか1項記載の電源装置。
- 直流電源ユニット(5)を負荷(2)、特にプラズマ応用部に接続するための1つ若しくは複数のリード(3.1,3.2)に蓄積された電気エネルギー、または負荷に蓄積された電気エネルギー、特に複数のリード(3.1,3.2)によって形成されたリードインダクタンス(L)に蓄積された電気エネルギーを低減するための方法であって、
前記少なくとも1つのリードを電源ユニット(5)から接続解除させるステップと、電気的エネルギーをエネルギー蓄積デバイスに転送するステップと、非線形デバイスを用いて前記エネルギー蓄積デバイスから前記リードへのエネルギーの通流を抑制するステップが含まれている形式の方法において、
前記リードを電源ユニット(5)から接続解除させる前に、エネルギー蓄積デバイスを能動的にプリチャージするステップが含まれていることを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP07009567.4 | 2007-05-12 | ||
EP07009567A EP1995818A1 (en) | 2007-05-12 | 2007-05-12 | Circuit and method for reducing electrical energy stored in a lead inductance for fast extinction of plasma arcs |
PCT/EP2008/003780 WO2008138573A1 (en) | 2007-05-12 | 2008-05-09 | Circuit and method for reducing electrical energy stored in a lead inductance for fast extinction of plasma arcs |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010528405A JP2010528405A (ja) | 2010-08-19 |
JP5096564B2 true JP5096564B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=38523403
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010507834A Active JP5096564B2 (ja) | 2007-05-12 | 2008-05-09 | プラズマアークの急速消弧のためのリードインダクタンスに蓄積されている電気エネルギーの低減のための回路及び方法 |
JP2008125107A Pending JP2008283855A (ja) | 2007-05-12 | 2008-05-12 | プラズマアークの急速消弧のためのリードインダクタンスに蓄積されている電気エネルギーの低減のための回路及び方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008125107A Pending JP2008283855A (ja) | 2007-05-12 | 2008-05-12 | プラズマアークの急速消弧のためのリードインダクタンスに蓄積されている電気エネルギーの低減のための回路及び方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US20080309402A1 (ja) |
EP (2) | EP1995818A1 (ja) |
JP (2) | JP5096564B2 (ja) |
KR (1) | KR101412736B1 (ja) |
CN (1) | CN101682090B (ja) |
AT (1) | ATE504956T1 (ja) |
DE (1) | DE602008006070D1 (ja) |
WO (1) | WO2008138573A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8217299B2 (en) * | 2007-02-22 | 2012-07-10 | Advanced Energy Industries, Inc. | Arc recovery without over-voltage for plasma chamber power supplies using a shunt switch |
EP1995818A1 (en) * | 2007-05-12 | 2008-11-26 | Huettinger Electronic Sp. z o. o | Circuit and method for reducing electrical energy stored in a lead inductance for fast extinction of plasma arcs |
US8395078B2 (en) | 2008-12-05 | 2013-03-12 | Advanced Energy Industries, Inc | Arc recovery with over-voltage protection for plasma-chamber power supplies |
EP2790205B1 (en) | 2009-02-17 | 2018-04-04 | Solvix GmbH | A power supply device for plasma processing |
DE102010031568B4 (de) * | 2010-07-20 | 2014-12-11 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Arclöschanordnung und Verfahren zum Löschen von Arcs |
US8552665B2 (en) | 2010-08-20 | 2013-10-08 | Advanced Energy Industries, Inc. | Proactive arc management of a plasma load |
CN104362593A (zh) * | 2014-10-10 | 2015-02-18 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种直流磁控溅射镀膜电源快速灭弧电路 |
EP3035365A1 (en) | 2014-12-19 | 2016-06-22 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Method of detecting an arc occurring during the power supply of a plasma process, control unit for a plasma power supply, and plasma power supply |
EP3054472A1 (en) * | 2015-02-03 | 2016-08-10 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Arc treatment device and method therefor |
US10300791B2 (en) * | 2015-12-18 | 2019-05-28 | Ge Global Sourcing Llc | Trolley interfacing device having a pre-charging unit |
GB201610901D0 (en) * | 2016-06-22 | 2016-08-03 | Eaton Ind Austria Gmbh | Hybrid DC circuit breaker |
EP3379672A1 (de) * | 2017-03-23 | 2018-09-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Effiziente vorladung von abschnitten eines gleichspannungsnetzes |
KR101965681B1 (ko) * | 2017-05-17 | 2019-04-04 | 파워소프트 주식회사 | 아크 저감 장치 및 이를 포함하는 플라즈마 전원 장치 |
US11183844B2 (en) * | 2018-06-14 | 2021-11-23 | Arm Limited | Supplying energy to an apparatus |
JP7161357B2 (ja) * | 2018-09-26 | 2022-10-26 | Fdk株式会社 | 電池ユニット、蓄電システム、及び電池ユニットの充放電方法 |
WO2024015158A1 (en) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | Lam Research Corporation | Metal-oxide varistor (mov) based surge protection circuit for plasma processing chamber |
Family Cites Families (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3867669A (en) * | 1974-01-11 | 1975-02-18 | Yakov Lvovich Krasik | Power source with a sparkproof output |
DE3010099A1 (de) * | 1980-02-25 | 1981-09-03 | BBC AG Brown, Boveri & Cie., Baden, Aargau | Elektronische schutzschaltung |
US4459629A (en) * | 1981-11-23 | 1984-07-10 | General Electric Company | Electric circuit breaker utilizing semiconductor diodes for facilitating interruption |
DE3514690A1 (de) | 1985-04-24 | 1986-10-30 | Aeg-Elotherm Gmbh, 5630 Remscheid | Gleichspannungsquelle fuer anlagen zur oberflaechenbearbeitung von werkstuecken, insbesondere fuer eine ionitrierhaertanlage |
DE3538494A1 (de) | 1985-10-30 | 1987-05-07 | Boehringer Andreas | Aus einer gleichspannungsquelle gespeiste elektrische schaltungsanordnung zur versorgung eines verbraucherzweipols mit eingepraegtem, jedoch unterbrechbarem gleichstrom oder eingepraegtem, jedoch unterbrechbarem, blockfoermigem wechselstrom mit einstellbarer begrenzung der spannungen am verbraucherzweipol und an den verwendeten elektronischen einwegschaltern |
DE3706153A1 (de) * | 1987-02-26 | 1988-09-08 | Roewac Elektrotechnische Fabri | Elektrische sicherheitsschaltung fuer plasma-schneidanlagen |
US5241152A (en) * | 1990-03-23 | 1993-08-31 | Anderson Glen L | Circuit for detecting and diverting an electrical arc in a glow discharge apparatus |
DE9109503U1 (ja) * | 1991-07-31 | 1991-10-17 | Magtron Magneto Elektronische Geraete Gmbh, 7583 Ottersweier, De | |
DE4127504A1 (de) * | 1991-08-20 | 1993-02-25 | Leybold Ag | Einrichtung zur unterdrueckung von lichtboegen |
CH689767A5 (de) | 1992-03-24 | 1999-10-15 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur Werkstueckbehandlung in einer Vakuumatmosphaere und Vakuumbehandlungsanlage. |
JP3631246B2 (ja) * | 1992-09-30 | 2005-03-23 | アドバンスド エナージィ インダストリーズ,インコーポレイテッド | 形状的に精密な薄膜フィルムコーティングシステム |
DE4239218C2 (de) | 1992-11-21 | 2000-08-10 | Leybold Ag | Anordnung zum Verhindern von Überschlägen in einem Plasma-Prozeßraum |
US5718813A (en) * | 1992-12-30 | 1998-02-17 | Advanced Energy Industries, Inc. | Enhanced reactive DC sputtering system |
US5427669A (en) * | 1992-12-30 | 1995-06-27 | Advanced Energy Industries, Inc. | Thin film DC plasma processing system |
US5651865A (en) * | 1994-06-17 | 1997-07-29 | Eni | Preferential sputtering of insulators from conductive targets |
FR2728408B1 (fr) * | 1994-12-20 | 1997-01-31 | Alsthom Cge Alcatel | Dispositif d'alimentation electrique notamment pour appareils portatifs |
US5535906A (en) * | 1995-01-30 | 1996-07-16 | Advanced Energy Industries, Inc. | Multi-phase DC plasma processing system |
JP2733454B2 (ja) | 1995-02-16 | 1998-03-30 | 株式会社京三製作所 | 成膜装置用異常放電抑制装置 |
US5584974A (en) * | 1995-10-20 | 1996-12-17 | Eni | Arc control and switching element protection for pulsed dc cathode sputtering power supply |
US5882492A (en) | 1996-06-21 | 1999-03-16 | Sierra Applied Sciences, Inc. | A.C. plasma processing system |
US5682067A (en) * | 1996-06-21 | 1997-10-28 | Sierra Applied Sciences, Inc. | Circuit for reversing polarity on electrodes |
EP1013792B1 (en) | 1997-02-20 | 2010-05-19 | Shibaura Mechatronics Corporation | Power supply unit for sputtering device |
US6104967A (en) | 1997-07-25 | 2000-08-15 | 3M Innovative Properties Company | Fault-tolerant battery system employing intra-battery network architecture |
US6043636A (en) * | 1997-10-20 | 2000-03-28 | Diversified Technologies, Inc. | Voltage transient suppression |
US5889391A (en) * | 1997-11-07 | 1999-03-30 | Sierra Applied Sciences, Inc. | Power supply having combined regulator and pulsing circuits |
JPH11178333A (ja) * | 1997-12-15 | 1999-07-02 | Sansha Electric Mfg Co Ltd | 直流電源装置 |
DE19937859C2 (de) * | 1999-08-13 | 2003-06-18 | Huettinger Elektronik Gmbh | Elektrische Versorgungseinheit für Plasmaanlagen |
DE10015244C2 (de) * | 2000-03-28 | 2002-09-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Schaltungsanordnung zur pulsförmigen Energieeinspeisung in Magnetronentladungen |
CN1559103B (zh) | 2001-09-28 | 2011-07-06 | 芝浦机械电子株式会社 | 溅射电源单元 |
AUPR967301A0 (en) * | 2001-12-21 | 2002-01-24 | Energy Storage Systems Pty Ltd | A control circuit |
JP4100938B2 (ja) | 2002-03-14 | 2008-06-11 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | アーク遮断回路、スパッタ用電源及びスパッタ装置 |
JP2005537776A (ja) * | 2002-08-29 | 2005-12-08 | エナジィ・ストーリッジ・システムズ・プロプライエタリー・リミテッド | 予め定められた期間中に高電力を必要とする通信モジュールのための電源 |
AU2002951291A0 (en) * | 2002-09-09 | 2002-09-19 | Energy Storage Systems Pty Ltd | A power supply |
US6808607B2 (en) * | 2002-09-25 | 2004-10-26 | Advanced Energy Industries, Inc. | High peak power plasma pulsed supply with arc handling |
JP2004194420A (ja) | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Shibaura Mechatronics Corp | 電源、電源システム、スパッタリング用電源及びスパッタリング装置 |
US6876205B2 (en) * | 2003-06-06 | 2005-04-05 | Advanced Energy Industries, Inc. | Stored energy arc detection and arc reduction circuit |
US6967305B2 (en) | 2003-08-18 | 2005-11-22 | Mks Instruments, Inc. | Control of plasma transitions in sputter processing systems |
US6943317B1 (en) * | 2004-07-02 | 2005-09-13 | Advanced Energy Industries, Inc. | Apparatus and method for fast arc extinction with early shunting of arc current in plasma |
JP4597886B2 (ja) | 2005-02-24 | 2010-12-15 | イーエヌ テクノロジー インコーポレイテッド | プラズマ電源装置用アークエネルギー制御回路 |
JP5057731B2 (ja) * | 2005-09-16 | 2012-10-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置、モジュール、及び電子機器 |
TWI332742B (en) * | 2006-04-21 | 2010-11-01 | Delta Electronics Inc | Uninterruptible power supply capable of providing sinusoidal-wave ouput ac voltage and method thereof |
TWI309498B (en) * | 2006-06-09 | 2009-05-01 | Delta Electronics Inc | Resonant converter and voltage stabilizing method thereof |
US7514935B2 (en) | 2006-09-13 | 2009-04-07 | Advanced Energy Industries, Inc. | System and method for managing power supplied to a plasma chamber |
EP1995818A1 (en) * | 2007-05-12 | 2008-11-26 | Huettinger Electronic Sp. z o. o | Circuit and method for reducing electrical energy stored in a lead inductance for fast extinction of plasma arcs |
-
2007
- 2007-05-12 EP EP07009567A patent/EP1995818A1/en not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-05-09 DE DE602008006070T patent/DE602008006070D1/de active Active
- 2008-05-09 AT AT08758454T patent/ATE504956T1/de not_active IP Right Cessation
- 2008-05-09 JP JP2010507834A patent/JP5096564B2/ja active Active
- 2008-05-09 WO PCT/EP2008/003780 patent/WO2008138573A1/en active Application Filing
- 2008-05-09 CN CN2008800157782A patent/CN101682090B/zh active Active
- 2008-05-09 EP EP08758454A patent/EP2156505B1/en active Active
- 2008-05-09 KR KR1020080043324A patent/KR101412736B1/ko active IP Right Grant
- 2008-05-12 JP JP2008125107A patent/JP2008283855A/ja active Pending
- 2008-05-12 US US12/118,897 patent/US20080309402A1/en not_active Abandoned
-
2009
- 2009-11-12 US US12/617,181 patent/US8786263B2/en active Active
-
2014
- 2014-07-08 US US14/325,499 patent/US9818579B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080100300A (ko) | 2008-11-17 |
US9818579B2 (en) | 2017-11-14 |
DE602008006070D1 (de) | 2011-05-19 |
WO2008138573A1 (en) | 2008-11-20 |
CN101682090B (zh) | 2012-10-24 |
US20140320015A1 (en) | 2014-10-30 |
JP2010528405A (ja) | 2010-08-19 |
JP2008283855A (ja) | 2008-11-20 |
KR101412736B1 (ko) | 2014-07-01 |
US20080309402A1 (en) | 2008-12-18 |
EP2156505B1 (en) | 2011-04-06 |
US8786263B2 (en) | 2014-07-22 |
EP1995818A1 (en) | 2008-11-26 |
EP2156505A1 (en) | 2010-02-24 |
US20100213903A1 (en) | 2010-08-26 |
ATE504956T1 (de) | 2011-04-15 |
CN101682090A (zh) | 2010-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5096564B2 (ja) | プラズマアークの急速消弧のためのリードインダクタンスに蓄積されている電気エネルギーの低減のための回路及び方法 | |
KR101433134B1 (ko) | 플라즈마 챔버 파워 서플라이에 대한 과전압 보호를 갖는 아크 회복 | |
KR101164889B1 (ko) | 플라즈마 챔버로 공급되는 파워를 관리하는 시스템 및 방법 | |
CN112073040B (zh) | 具有动态定时的多级栅极断开 | |
CN104954002B (zh) | 功率开关的受控关断 | |
US8033246B2 (en) | Arc suppression | |
JP3894576B2 (ja) | サージ抵抗継電器スイッチング回路 | |
JP5992407B2 (ja) | アーク消去方法及びアーク消去システム | |
US9595949B2 (en) | Control of a clamp circuit during transient conditions | |
Zhou et al. | An ultraefficient DC hybrid circuit breaker architecture based on transient commutation current injection | |
US10164454B2 (en) | DC voltage supply system configured to precharge a smoothing capacitor before supplying a load | |
US20140003099A1 (en) | Frequency converter with dc link capacitor and method for pre-charging the dc link capacitor | |
CN106663557B (zh) | 用于中断直流电流的分离开关 | |
Ramanarayanan et al. | Course material on switched mode power conversion | |
CN109075581B (zh) | 电池断连电路和用于控制电池断连电路的方法 | |
JPH11297170A (ja) | 直流消弧方法及び装置 | |
JP2017188423A (ja) | 電流遮断器 | |
JP2015177591A (ja) | 半導体装置及び半導体システム | |
US20140177119A1 (en) | Overcurrent protection device, overcurrent protection method, and non-transitory medium | |
JP4293197B2 (ja) | 直流電源保持回路 | |
US20170054285A1 (en) | Protection apparatus for an electrical load, voltage converter comprising a protection apparatus, and method for protecting an electrical load | |
CN112997373A (zh) | 具有过压保护的电开关 | |
Pribyl et al. | 24 kA solid state switch for plasma discharge experiments | |
JP7242575B2 (ja) | 直流電流遮断装置 | |
JP2018121399A (ja) | 電池遮断回路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120907 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120920 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5096564 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |