JP5057731B2 - 表示装置、モジュール、及び電子機器 - Google Patents

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Description

本発明は、トランジスタを有する表示装置の構成に関する。本発明は特に、ガラス、プラスチック等の絶縁体上に作製される薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス型表示装置の構成に関する。また、このような表示装置を表示部に用いた電子機器に関する。
近年、画素を発光ダイオード(LED)などの発光素子で形成した、いわゆる自発光型の表示装置が注目を浴びている。このような自発光型の表示装置に用いられる発光素子としては、有機発光ダイオード(OLED(Organic Light Emitting Diode)、有機EL素子、エレクトロルミネッセンス(Electro Luminescence:EL)素子などとも言う)が注目を集めており、ELディスプレイなどに用いられるようになってきている。OLEDなどの発光素子は自発光型であるため、液晶ディスプレイに比べて画素の視認性が高く、バックライトが不要で応答速度が速い等の利点がある。また発光素子の輝度は、そこを流れる電流値によって制御される。
また、近年、画素ごとに発光素子と、該発光素子の発光を制御するトランジスタが設けられたアクティブマトリクス型表示装置の開発が進められている。アクティブマトリクス型表示装置は、パッシブマトリクス型表示装置では困難な、高精細、大画面の表示も可能であるだけでなく、パッシブマトリクス型表示装置を上回る低消費電力動作を実現し、かつ高信頼性を有し、実用化が期待されている。
アクティブマトリクス型表示装置における画素の駆動方法としては、画素に入力する信号の種類で分類すると、電圧入力方式と電流入力方式が挙げられる。前者の電圧入力方式は、画素に入力するビデオ信号(電圧)を駆動用素子のゲート電極に入力して、該駆動用素子を用いて発光素子の輝度を制御する方式である。また後者の電流入力方式では、設定された信号電流を発光素子に流すことにより、該発光素子の輝度を制御する方式である。
ここで、電圧入力方式及び電流入力方式を適用した表示装置における画素構成の一例とその駆動方式について、図48、図49を用いて簡単に説明する。なお、代表的な表示装置として、EL表示装置を例に挙げて説明する。
図48は、電圧入力方式を適用した表示装置における画素構成の一例を示す図である(特許文献1参照)。図48に示した画素は、駆動用トランジスタ4801、スイッチング用トランジスタ4802、保持容量4803、信号線4804、走査線4805、第1及び第2の電源線4806、4807、発光素子4808を有する。
なお、本明細書中において、トランジスタがオンしているとは、トランジスタのゲートとソースとの間の電圧がその閾値電圧を超え、ソースとドレインとの間に電流が流れる状態を指し、トランジスタがオフしているとは、トランジスタのゲートとソースとの間の電圧がその閾値電圧を下回り、ソースとドレインとの間に電流が流れていない状態を指す。
走査線4805の電位が変化してスイッチング用トランジスタ4802がオンすると、信号線4804に入力されているビデオ信号は、駆動用トランジスタ4801のゲート電極へと入力される。入力されたビデオ信号の電位に従って、駆動用トランジスタ4801のゲートとソースとの間の電圧が決定し、駆動用トランジスタ4801のソースとドレインとの間を流れる電流が決定する。この電流は発光素子4808に供給され、該発光素子4808は発光する。
このように、電圧入力方式とは、ビデオ信号の電位により駆動用トランジスタ4801のゲートとソースとの間の電圧及びソースとドレインとの間を流れる電流を設定し、この電流に応じた輝度で発光素子4811を発光させる方式をいう。
発光素子を駆動する半導体素子としては、ポリシリコン(p−Si)トランジスタが用いられる。しかし、ポリシリコントランジスタは、結晶粒界における欠陥に起因して、閾値電圧やオン電流、移動度等の電気的特性にばらつきが生じやすい。図48に示した画素において、駆動用トランジスタ4801の特性が画素ごとにばらつくと、同じビデオ信号を入力した場合にも、それに応じた駆動用トランジスタ4801のドレイン電流の大きさが異なるため、発光素子4808の輝度はばらついてしまう。
一方、電流入力方式では、トランジスタの特性に左右されずに発光素子に供給する電流の大きさを制御することができる。
図49は、電流入力方式を適用した表示装置における画素構成の一例を示す図である(特許文献2参照)。図49に示した画素は、駆動用トランジスタ4901、第1〜第3のスイッチング用トランジスタ4902〜4904、保持容量4905、信号線4906、第1及び第2の走査線4907、4908、第1及び第2の電源線4909、4910、発光素子4911を有する。電流源回路4912は、各信号線(各列)に配置される。
まず、第1の走査線4907の電位が変化して第1及び第2のスイッチング用トランジスタ4902、4903がオンする。このとき、信号線4906を流れるビデオ信号電流をIdataと表記する。スイッチング用トランジスタ4902、4903がオンするため、駆動用トランジスタ4901はダイオード接続の状態になる。このとき、信号線4906には、ビデオ信号電流Idataが流れているので、保持容量4905の両電極間に電流が流れだし、保持容量4905において電荷の蓄積が行われ、両電極間に電位差が生じ始める。そして、駆動用トランジスタ4901のゲート電位が低下して、ドレインからソースに電流が流れる。保持容量4905では、その両電極間の電位差、つまり駆動用トランジスタ4901のゲートとソースとの間の電圧が所望の電圧になるまで電荷の蓄積が続く。つまり駆動用トランジスタ4901がIdataの電流を流すことが出来るだけの電圧になるまで電荷の蓄積が続く。やがて、保持容量4905での電荷の蓄積が終了すると、保持容量4905に電流が流れなくなり、保持容量4905に駆動用トランジスタ4901がIdata電流を流すことが出来るだけのゲートとソースとの間の電圧が保持される。以上の動作により、画素に対する信号の書き込み動作が完了する。最後に第1の走査線4907の選択が終了し、第1及び第2のスイッチング用トランジスタ4902、4903がオフする。
続いて、第2の走査線4908の電位が変化して第3のスイッチング用トランジスタ4904がオンする。保持容量4905には、先ほど書き込んだゲートとソースとの間の電圧が保持されているため、駆動用トランジスタ4901はオンしており、第1の電源線4909からIdataに等しい電流が流れる。これにより発光素子4911が発光する。このとき、駆動用トランジスタ4901が飽和領域において動作するようにしておけば、駆動用トランジスタ4901のソースとドレインとの間の電圧が変化したとしも、発光素子4911に流れる発光電流は変わりなく流れる。
このように、電流入力方式とは、駆動用トランジスタ4901のドレイン電流が電流源回路4912で設定されたビデオ信号電流Idataと同じ電流値になるように設定し、このドレイン電流に応じた輝度で発光素子4911を発光させる方式をいう。上記構成の画素を用いることで、画素を構成するトランジスタの特性ばらつきの影響を抑制して、所望の電流を発光素子に供給することが出来る。
しかし、従来の電流入力方式の画素構成では、ビデオ信号電流Idataにより信号線の寄生容量などを充電するのに時間が多くかかってしまう。特に、低階調を表示させたい場合、ビデオ信号電流Idataが非常に小さくなるため、水平走査期間に対して信号線の寄生容量などの充電時間が十分でなく、正しくビデオ信号を書き込むことができなくなってしまう。
また、従来の画素回路(図48、図49)では、保持容量を駆動トランジスタのゲートとソースとの間に接続しているが、この保持容量をMOSトランジスタで形成した場合、該MOSトランジスタのゲートとソースとの間の電圧が該MOSトランジスタの閾値電圧とほぼ等しくなると、該MOSトランジスタにチャネル領域が誘起されなくなるため、該MOSトランジスタが保持容量として機能しなくなる。その結果、ビデオ信号を正しく保持できなくなる。
特開2001−147659号公報 特開2004−163673号公報
このように、従来の電圧入力方式では、トランジスタの電気的特性のばらつきによって輝度のばらつきが生じ、従来の電流入力方式では、特に低階調表示において信号線の寄生容量などの充電時間が十分でなく、正しくビデオ信号を書き込むことができなくなってしまう。
本発明はこのような問題点に鑑み、トランジスタの閾値電圧や移動度などのばらつきを補償することができるとともに、低階調を表示させる場合でも信号線を十分充電することができ、正しい階調表示が可能となる表示装置、及びそれを用いた駆動方法を提供することを目的とする。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有する表示装置であって、該画素は、第1乃至第5のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第4の走査線と、第1及び第2の電源線と、容量線とを有し、該第1のトランジスタのゲート電極は、該第2のトランジスタの第1の電極及び、該第3のトランジスタの第1の電極及び、該第4のトランジスタの第2の電極及び、該第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の電源線と電気的に接続され、第2の電極は、該第4のトランジスタの第1の電極及び、該第5のトランジスタの第1の電極と電気的に接続され、該第2のトランジスタのゲート電極は、該第1の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該信号線と電気的に接続され、該第3のトランジスタのゲート電極は、該第2の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、該第4のトランジスタのゲート電極は、該第3の走査線と電気的に接続され、該第5のトランジスタのゲート電極は、該第4の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、該第1の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該第2の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該発光素子の第2の電極は、該第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置である。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有する表示装置であって、該画素は、第1乃至第6のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第5の走査線と、第1乃至第3の電源線と、容量線とを有し、該第1のトランジスタのゲート電極は、該第2のトランジスタの第1の電極及び、該第3のトランジスタの第1の電極及び、該第4のトランジスタの第2の電極及び、該第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の電源線と電気的に接続され、第2の電極は、該第4のトランジスタの第1の電極及び、該第5のトランジスタの第1の電極及び、該第6のトランジスタの第1の電極と電気的に接続され、該第2のトランジスタのゲート電極は、該第1の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該信号線と電気的に接続され、該第3のトランジスタのゲート電極は、該第2の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、該第4のトランジスタのゲート電極は、該第3の走査線と電気的に接続され、該第5のトランジスタのゲート電極は、該第4の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、該第6のトランジスタのゲート電極は、該第5の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該第3の電源線と電気的に接続され、該第1の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該第2の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該発光素子の第2の電極は、該第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置である。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有する表示装置であって、該画素は、第1乃至第5のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第4の走査線と、第1及び第2の電源線と、容量線とを有し、該第1のトランジスタのゲート電極は、該第2のトランジスタの第1の電極及び、該第4のトランジスタの第2の電極及び、該第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の電源線と電気的に接続され、第2の電極は、該第4のトランジスタの第1の電極及び、該第5のトランジスタの第1の電極と電気的に接続され、該第2のトランジスタのゲート電極は、該第1の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該信号線と電気的に接続され、該第3のトランジスタのゲート電極は、該第2の走査線と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の保持容量の第2の電極及び、該第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該第4のトランジスタのゲート電極は、該第3の走査線と電気的に接続され、該第5のトランジスタのゲート電極は、該第4の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、該第2の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該発光素子の第2の電極は、該第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置である。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有する表示装置であって、該画素は、第1乃至第6のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第5の走査線と、第1乃至第3の電源線と、容量線とを有し、該第1のトランジスタのゲート電極は、該第2のトランジスタの第1の電極及び、該第4のトランジスタの第2の電極及び、該第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の電源線と電気的に接続され、第2の電極は、該第4のトランジスタの第1の電極及び、該第5のトランジスタの第1の電極及び、該第6のトランジスタの第1の電極と電気的に接続され、該第2のトランジスタのゲート電極は、該第1の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該信号線と電気的に接続され、該第3のトランジスタのゲート電極は、該第2の走査線と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の保持容量の第2の電極及び、該第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該第4のトランジスタのゲート電極は、該第3の走査線と電気的に接続され、該第5のトランジスタのゲート電極は、該第4の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、該第6のトランジスタのゲート電極は、該第5の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該第3の電源線と電気的に接続され、該第2の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該発光素子の第2の電極は、該第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置である。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有する表示装置であって、該画素は、第1乃至第4のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第3の走査線と、第1及び第2の電源線と、容量線とを有し、該第1のトランジスタのゲート電極は、該第2のトランジスタの第1の電極及び、該第3のトランジスタの第1の電極及び、該第4のトランジスタの第2の電極及び、該第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の電源線と電気的に接続され、第2の電極は、該第4のトランジスタの第1の電極及び、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、該第2のトランジスタのゲート電極は、該第1の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該信号線と電気的に接続され、該第3のトランジスタのゲート電極は、該第2の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、該第4のトランジスタのゲート電極は、該第3の走査線と電気的に接続され、該第1の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該第2の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該発光素子の第2の電極は、該第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置である。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有する表示装置であって、該画素は、第1乃至第4のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第3の走査線と、第1及び第2の電源線と、容量線とを有し、該第1のトランジスタのゲート電極は、該第2のトランジスタの第1の電極及び、該第4のトランジスタの第2の電極及び、該第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の電源線と電気的に接続され、第2の電極は、該第4のトランジスタの第1の電極及び、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、該第2のトランジスタのゲート電極は、該第1の走査線と電気的に接続され、第2の電極は、該信号線と電気的に接続され、該第3のトランジスタのゲート電極は、該第2の走査線と電気的に接続され、第1の電極は、該第1の保持容量の第2の電極及び、該第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該第4のトランジスタのゲート電極は、該第3の走査線と電気的に接続され、該第2の保持容量の第2の電極は、該容量線と電気的に接続され、該発光素子の第2の電極は、該第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置である。
なお、本発明の表示装置において、該第2のトランジスタと、該第3のトランジスタとが、互いに異なる導電形式であってもよい。また、該第4のトランジスタと、該第5のトランジスタとが、互いに異なる導電形式であってもよい。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有し、該画素は、少なくとも、第1及び第2のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1及び第2の電源線とを有し、該第2のトランジスタの第1の電極は、該第1のトランジスタの第2の電極及び、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、第2の電極は、該第1のトランジスタのゲート電極及び、該信号線と電気的に接続され、該第1及び第2の保持容量が並列に接続されている表示装置の駆動方法であって、該第1及び第2の保持容量の両電極間の電圧を、該第1の電源線に印加された電圧と該第1のトランジスタの閾値電圧との差に相当する電圧に収束する第1の段階と、該第2の保持容量の両電極間の電圧を、該第1の電源線に印加された電圧と該信号線に入力されるビデオ信号電流に等しい電流を発光素子に供給するのに必要な該第1のトランジスタのゲートとソースとの間の電圧との差に相当する電圧に収束する第2の段階と、該第1の電源線と該閾値電圧との差に相当する電圧と、該第1の電源線と該ゲートとソースとの間の電圧との差に相当する電圧とに基づいた電圧を該第1のトランジスタのゲート電極に印加し、該第1のトランジスタを介して、該発光素子に電流を供給し、発光する第3の段階とを有し、該第1及び第2の段階において、該第2のトランジスタが導通状態であり、該第3の段階において、該第2のトランジスタが非導通状態であることを特徴とする表示装置の駆動方法である。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有し、該画素は、少なくとも、第1及び第2のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1及び第2の電源線とを有し、該第2のトランジスタの第1の電極は、該第1のトランジスタの第2の電極及び、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、第2の電極は、該第1のトランジスタのゲート電極及び、該信号線と電気的に接続され、該第1及び第2の保持容量が直列に接続されている表示装置の駆動方法であって、該第1の保持容量の両電極間の電圧を、該第1の電源線に印加された電圧と該第1のトランジスタの閾値電圧との差に相当する電圧に収束する第1の段階と、該第1及び第2の保持容量の両電極間の電圧をそれぞれ、該第1の電源線に印加された電圧と該信号線に入力されるビデオ信号電流に等しい電流を発光素子に供給するのに必要な該第1のトランジスタのゲートとソースとの間の電圧との差に相当する電圧に基づいた電圧に収束する第2の段階と、該第1の保持容量の両電極間に保持された電圧に等しい電圧を該第1のトランジスタのゲート電極に印加し、該第1のトランジスタを介して、該発光素子に電流を供給し、発光する第3の段階とを有し、該第1及び第2の段階において、該第2のトランジスタが導通状態であり、該第3の段階において、該第2のトランジスタが非導通状態であることを特徴とする表示装置の駆動方法である。
なお、本発明の表示装置の駆動方法において、該第1及び第2の段階と、該第3の段階とで、該第2の電源線に印加される電圧が異なってもよい。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有し、該画素は、少なくとも、第1及び第2のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第3の電源線と、容量線と、を有し、該第2のトランジスタの第1の電極は、該第1のトランジスタの第2の電極及び、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、第2の電極は、該第1のトランジスタのゲート電極及び、該信号線と電気的に接続され、該第1及び第2の保持容量が並列に接続されている表示装置の駆動方法であって、該第1及び第2の保持容量の両電極間の電圧を、該第3の電源線に印加された電圧と該容量線に印加された電圧との差に相当する電圧に収束する第1の段階と、該第1及び第2の保持容量の両電極間の電圧を、該第1の電源線に印加された電圧と該第1のトランジスタの閾値電圧との差に相当する電圧に収束する第2の段階と、該第2の保持容量の両電極間の電圧を、該第1の電源線に印加された電圧と該信号線に入力されるビデオ信号電流に等しい電流を発光素子に供給するのに必要な該第1のトランジスタのゲートとソースとの間の電圧との差に相当する電圧に収束する第3の段階と、該第1の電源線と該閾値電圧との差に相当する電圧と、該第1の電源線と該ゲートとソースとの間の電圧との差に相当する電圧とに基づいた電圧を該第1のトランジスタのゲート電極に印加し、該第1のトランジスタを介して該発光素子に電流を供給し、発光する第4の段階とを有し、該第1乃至第3の段階において、該第2のトランジスタが導通状態であり、該第4の段階において、該第2のトランジスタが非導通状態であることを特徴とする表示装置の駆動方法である。
本発明は、発光素子が備えられた画素を有し、該画素は、少なくとも、第1及び第2のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第3の電源線と、容量線と、を有し、該第2のトランジスタの第1の電極は、該第1のトランジスタの第2の電極及び、該発光素子の第1の電極と電気的に接続され、第2の電極は、該第1のトランジスタのゲート電極及び、該信号線と電気的に接続され、該第1及び第2の保持容量が直列に接続されている表示装置の駆動方法であって、該第1及び第2の保持容量の両電極間の電圧を、該第3の電源線に印加された電圧と該容量線に印加された電圧との差に相当する電圧に収束する第1の段階と、該第1の保持容量の両電極間の電圧を、該第1の電源線に印加された電圧と該第1のトランジスタの閾値電圧との差に相当する電圧に収束する第2の段階と、該第1及び第2の保持容量の両電極間の電圧をそれぞれ、該第1の電源線に印加された電圧と該信号線に入力されるビデオ信号電流に等しい電流を発光素子に供給するのに必要な該第1のトランジスタのゲートとソースとの間の電圧との差に相当する電圧に基づいた電圧に収束する第3の段階と、該第1の保持容量の両電極間に保持された電圧に等しい電圧を該第1のトランジスタのゲート電極に印加し、該第1のトランジスタを介して該発光素子に電流を供給し、発光する第4の段階とを有し、該第1乃至第3の段階において、該第2のトランジスタが導通状態であり、該第4の段階において、該第2のトランジスタが非導通状態であることを特徴とする表示装置の駆動方法である。
なお、本発明の表示装置の駆動方法において、該第1乃至第3の段階と、該第4の段階とで、該第2の電源線に印加される電圧が異なってもよい。
なお、トランジスタはその構造上、ソースとドレインの区別が困難である。さらに、回路の動作によっては、電位の高低が入れ替わる場合もある。したがって、本明細書中では、ソースとドレインは特に特定せず、第1の電極、第2の電極と記述する。例えば、第1の電極がソースである場合には、第2の電極とはドレインを指し、逆に第1の電極がドレインである場合には、第2の電極とはソースを指すものとする。
なお、本発明においては、1画素とは、1つの色要素を示すものとする。従って、R(赤)G(緑)B(青)の色要素からなるカラー表示装置の場合には、画像の最小単位は、Rの画素とGの画素とBの画素との3画素から構成されるものとする。なお、色要素は、3色に限定されず、それ以上の数を用いてもよいし、RGB以外の色を用いてもよい。例えば、白色(W)を加えてRGBWとしてもよい。また、RGBに、例えば、イエロー、シアン、マゼンダなど1色以上を追加したものでもよい。また、例えば、RGBの中の少なくとも1色について、類似した色を追加してもよい。例えば、R、G、B1、B2としてもよい。B1とB2とは、どちらも青色であるが、波長が異なっている。このような色要素を用いることにより、より実物に近い表示を行うことができたり、消費電力を低減したりすることができる。なお、1つの色要素について、複数の領域を用いて明るさを制御してもよい。この場合は、1つの色要素を1画素とし、その明るさを制御する各領域をサブ画素とする。よって、例えば、面積階調方式を行う場合、1つの色要素につき、明るさを制御する領域が複数あり、その全体で階調を表現するわけであるが、明るさを制御する各領域をサブ画素とする。よって、その場合は、1つの色要素は、複数のサブ画素で構成されることとなる。また、その場合、サブ画素によって、表示に寄与する領域の大きさが異なっている場合がある。また、1つの色要素につき複数ある、明るさを制御する領域において、つまり、1つの色要素を構成する複数のサブ画素において、各々に供給する信号をわずかに異ならせるようにして、視野角を広げるようにしてもよい。
なお、本発明において、画素は、マトリクス状に配置(配列)されている場合を含んでいる。ここで、画素がマトリクスに配置(配列)されているとは、縦方向もしくは横方向において、直線上に並んで配置されている場合や、ギザギザな線上に並んでいる場合を含んでいる。よって、例えば3色の色要素(例えばRGB)でフルカラー表示を行う場合に、ストライプ配置されている場合や、3つの色要素のドットがいわゆるデルタ配置されている場合も含むものとする。さらに、ベイヤー配置されている場合も含んでいる。
なお、本発明において、トランジスタは、様々な形態のトランジスタを適用させることができる。よって、適用可能なトランジスタの種類に限定はない。従って、例えば、非晶質シリコンや多結晶シリコンに代表される非単結晶半導体膜を有する薄膜トランジスタ(TFT)などを適用することができる。これらにより、製造温度が高くなくても製造できたり、低コストで製造できたり、大型基板上に製造できたり、透明基板上に製造できたり、トランジスタで光を透過させたりすることができる。また、半導体基板やSOI基板を用いて形成されるMOS型トランジスタ、接合型トランジスタ、バイポーラトランジスタなどを適用することができる。これらにより、バラツキの少ないトランジスタを製造できたり、電流供給能力の高いトランジスタを製造できたり、サイズの小さいトランジスタを製造できたり、消費電力の少ない回路を構成したりすることができる。また、ZnO、a−InGaZnO、SiGe、GaAsなどの化合物半導体を有するトランジスタや、さらに、それらを薄膜化した薄膜トランジスタなどを適用することができる。これらにより、製造温度が高くなくても製造できたり、室温で製造できたり、耐熱性の低い基板、例えばプラスチック基板やフィルム基板に直接トランジスタを形成したりすることができる。また、インクジェットや印刷法を用いて作成したトランジスタなどを適用することができる。これらにより、室温で製造したり、真空度の低い状態で製造したり、大型基板で製造したりすることができる。また、マスク(レチクル)を用いなくても製造することが可能となるため、トランジスタのレイアウトを容易に変更することができる。また、有機半導体やカーボンナノチューブを有するトランジスタ、その他のトランジスタを適用することができる。これらにより、曲げることが可能な基板上にトランジスタを形成することができる。なお、非単結晶半導体膜には水素またはハロゲンが含まれていてもよい。また、トランジスタが配置されている基板の種類は、様々なものを用いることができ、特定のものに限定されることはない。従って例えば、単結晶基板、SOI基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、紙基板、セロファン基板、石材基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板などに配置することができる。また、ある基板でトランジスタを形成し、その後、別の基板にトランジスタを移動させて、別の基板上に配置するようにしてもよい。これらの基板を用いることにより、特性のよいトランジスタを形成したり、消費電力の小さいトランジスタを形成したり、壊れにくい装置にしたり、耐熱性を持たせたりすることができる。
なお、本発明に示すスイッチは、様々な形態のものを用いることができ、一例として、電気的スイッチや機械的なスイッチなどがある。つまり、電流の流れを制御できるものであればよく、特定のものに限定されず、様々なものを用いることができる。例えば、トランジスタでもよいし、ダイオード(例えば、PNダイオード、PINダイオード、ショットキーダイオード、ダイオード接続のトランジスタなど)でもよいし、サイリスタでもよいし、それらを組み合わせた論理回路でもよい。よって、スイッチとしてトランジスタを用いる場合、そのトランジスタは、単なるスイッチとして動作するため、トランジスタの極性(導電型)は特に限定されない。ただし、オフ電流が少ない方が望ましい場合、オフ電流が少ない方の極性のトランジスタを用いることが望ましい。オフ電流が少ないトランジスタとしては、LDD領域を設けているものやマルチゲート構造にしているもの等がある。また、スイッチとして動作させるトランジスタのソース端子の電位が、低電位側電源(VSS、GND、0Vなど)に近い状態で動作する場合はNチャネル型を、反対に、ソース端子の電位が、高電位側電源(VDDなど)に近い状態で動作する場合はPチャネル型を用いることが望ましい。なぜなら、ゲートとソースとの間の電圧の絶対値を大きくできるため、スイッチとして、動作しやすいからである。なお、Nチャネル型とPチャネル型の両方を用いて、CMOS型のスイッチにしてもよい。CMOS型のスイッチにすると、Pチャネル型かNチャネル型かのどちらかのスイッチが導通すれば電流を流すことができるため、スイッチとして機能しやすくなる。例えば、スイッチへの入力信号の電圧が高い場合でも、低い場合でも、適切に電圧を出力させることができる。また、スイッチをオン・オフさせるための信号の電圧振幅値を小さくすることができるので、消費電力を小さくすることもできる。
なお、本発明において、ある物の上に形成されている、あるいは、〜上に形成されている、というように、〜の上に、あるいは、〜上に、という記載については、ある物の上に直接接していることに限定されない。直接接してはいない場合、つまり、間に別のものが挟まっている場合も含むものとする。従って例えば、層Aの上に(もしくは層A上に)、層Bが形成されている、という場合は、層Aの上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に直接接して別の層(例えば層Cや層Dなど)が形成されていて、その上に直接接して層Bが形成されている場合とを含むものとする。また、〜の上方に、という記載についても同様であり、ある物の上に直接接していることに限定されず、間に別のものが挟まっている場合も含むものとする。従って例えば、層Aの上方に、層Bが形成されている、という場合は、層Aの上に直接接して層Bが形成されている場合と、層Aの上に直接接して別の層(例えば層Cや層Dなど)が形成されていて、その上に直接接して層Bが形成されている場合とを含むものとする。なお、〜の下に、あるいは、〜の下方に、の場合についても、同様であり、直接接している場合と、接していない場合とを含むこととする。
なお、本発明の表示装置は、様々な形態を用いたり、様々な表示素子を有したりすることができる。例えば、EL素子(有機EL素子、無機EL素子又は有機物及び無機物を含むEL素子)、電子放出素子、液晶素子、電子インク、グレーティングライトバルブ(GLV)、プラズマディスプレイ(PDP)、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)、圧電セラミックディスプレイ、カーボンナノチューブ、など、電気磁気的作用によりコントラストが変化する表示媒体を適用することができる。なお、EL素子を用いた表示装置としてはELディスプレイ、電子放出素子を用いた表示装置としてはフィールドエミッションディスプレイ(FED)やSED方式平面型ディスプレイ(SED:Surface−conduction Electron−emitter Disply)など、液晶素子を用いた表示装置としては液晶ディスプレイ、透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、反射型液晶ディスプレイ、電子インクを用いた表示装置としては電子ペーパーがある。
なお、本発明における発光素子とは、素子に流れる電流値によって発光輝度を制御することが可能な素子のことを指す。代表的にはEL素子を適用することができる。EL素子以外にも、例えば、フィールドエミッションディスプレイ(FED)で用いる素子、FEDの一種であるSED(Surface−conduction Electron−emitter Display)などの発光素子を適用することができる。
なお、本発明において、接続されているとは、電気的に接続されていることと同義である。したがって、本発明が開示する構成において、所定の接続関係に加え、その間に電気的な接続を可能とする他の素子(例えば、別の素子やスイッチなど)が配置されていてもよい。
本発明の表示装置は、発光素子に流れる電流を制御できるため、一水平走査期間内に信号線を十分に充電させることができる。これにより、低階調を表示させる場合でも正しく表示させることができるようになる。また、発光素子に流れる電流は、トランジスタの閾値電圧や移動度に依存しない形で決定されるため、トランジスタの閾値電圧や移動度のばらつきを補償することができる。これにより、発光素子の輝度のばらつきを低減させることができ、画質を向上させることができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
(実施の形態1)
まず、本実施形態の表示装置における画素回路の基本的構成について、図1を用いて説明する。
なお、発光素子として、EL素子を例に挙げて説明する。
図1は、本実施形態の画素回路の回路図を示す図である。本実施形態の画素回路は、第1〜第5のトランジスタ101〜105、第1及び第2の保持容量106、107、信号線108、第1〜第4の走査線109〜112、第1及び第2の電源線113、114、容量線115、発光素子116、電流源回路117から構成されている。なお、電流源回路117は、各信号線(各列)に配置されている。
なお、図1に示した画素回路では、第1〜第5のトランジスタ101〜105は全てPチャネル型としている。
第1のトランジスタ101は、ゲート電極が、第2のトランジスタ102の第1の電極、及び第3のトランジスタ103の第1の電極、及び第4のトランジスタ104の第2の電極、及び第2の保持容量107の第1の電極に接続され、第1の電極が、第1の電源線113に接続され、第2の電極が、第4のトランジスタ104の第1の電極、及び第5のトランジスタ105の第1の電極に接続されている。第2のトランジスタ102は、ゲート電極が、第1の走査線109に接続され、第2の電極が、信号線108に接続されている。第3のトランジスタ103は、ゲート電極が、第2の走査線110に接続され、第2の電極が、第1の保持容量106の第1の電極に接続されている。第4のトランジスタ104は、ゲート電極が、第3の走査線111に接続されている。第5のトランジスタ105は、ゲート電極が、第4の走査線112に接続され、第2の電極が、発光素子116の第1の電極に接続されている。第1の保持容量106は、第2の電極が、容量線115に接続されている。第2の保持容量107は、第2の電極が、容量線115に接続されている。発光素子116は、第2の電極が、第2の電源線114に接続されている。
次に、本実施形態の画素回路の動作について、図2〜図5を用いて説明する。
図2は、信号線108及び第1〜第4の走査線109〜112に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示しており、図3〜図5に示す画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期を第1〜第3の期間T1〜T3の3つの期間に分割している。
図3〜図5は、各期間における本実施形態の画素回路の接続状態を示す図である。なお、図3〜図5において、実線で示した箇所は導通しており、破線で示した箇所は導通していないことを示す。
まず、第1の期間T1における画素回路の動作について、図3を用いて説明する。図3は、第1の期間T1における画素回路の接続状態を示す図である。第1の期間T1では、第2及び第3の走査線110、111がLレベルとなり、第3及び第4のトランジスタ103、104がオンする。また、第1及び第4の走査線109、112がHレベルとなり、第2及び第5のトランジスタ102、105がオフする。これにより、第1のトランジスタ101はダイオード接続の状態となり、並列接続された第1及び第2の保持容量106、107に電流が流れ、第1及び第2の保持容量106、107がともに充電される。第1及び第2の保持容量106、107の充電は、第1及び第2の保持容量106、107に保持される電圧が電源電圧VDDと第1のトランジスタ101の閾値電圧|Vth|の差に相当する電圧、つまり、VDD−|Vth|になるまで続き、第1及び第2の保持容量106、107に保持される電圧がVDD−|Vth|になると第1のトランジスタ101はオフし、第1及び第2の保持容量106、107に電流が流れなくなる。
以上の動作により、第1の期間T1では、第1及び第2の保持容量106、107に第1のトランジスタ101の閾値電圧|Vth|を保持する。
次に、第2の期間T2における画素回路の動作について、図4を用いて説明する。図4は、第2の期間T2における画素回路の接続状態を示す図である。第2の期間T2では、第1及び第3の走査線109、111がLレベルとなり、第2及び第4のトランジスタ102、104がオンする。また、第2及び第4の走査線110、112がHレベルとなり、第3及び第5のトランジスタ103、105がオフする。また、信号線108には、電流源回路117によりビデオ信号電流Idataが流れる。これにより、第1のトランジスタ101はダイオード接続の状態となり、第2の保持容量107に電流が流れ、充電される。このとき、信号線108にはビデオ信号電流Idataが流れているため、第1のトランジスタ101のドレイン・ソース間にはIdataが流れる。したがって、第1のトランジスタ101のゲートとソースとの間の電圧は、第1のトランジスタ101がIdataを流すのに必要な電圧になる。このときの第1のトランジスタ101のゲートとソースとの間の電圧をVgs(T2)とすると、ビデオ信号電流Idataは以下の(1)式のように表され、期間T2での第1のトランジスタ101のゲートとソースとの間の電圧Vgs(T2)は以下の(2)式のように表される。
Figure 0005057731
Figure 0005057731
ただし、βは、トランジスタの移動度やサイズ、酸化膜による容量などで与えられる定数である。
第2の保持容量107の充電は、第2の保持容量107に保持される電圧が電源電圧VDDと第1のトランジスタ101のゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|の差に相当する電圧、つまり、VDD−|Vgs(T2)|になるまで続き、第2の保持容量107に保持される電圧がVDD−|Vgs(T2)|になると第1のトランジスタ101はオフし、第2の保持容量107に電流が流れなくなる。また、第1の保持容量106については、第1の電極が浮遊状態となっているため、第1の期間T1で保持された電圧VDD−|Vth|がそのまま保持される。
以上の動作により、第2の期間T2では、第2の保持容量107に、第1のトランジスタ101がビデオ信号電流Idataを流すのに必要なゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|を保持する。
次に、第3の期間T3における画素回路の動作について、図5を用いて説明する。図5は、第3の期間T3における画素回路の接続状態を示す図である。第3の期間T3では、第2及び第4の走査線110、112がLレベルとなり、第3及び第5のトランジスタ103、105がオンする。また、第1及び第3の走査線109、111がHレベルとなり、第2及び第4のトランジスタ102、104がオフする。これにより、まず第1及び第2の保持容量106、107が並列に接続される。このとき、保持容量106、107に保持される電圧をV(T3)とすると、V(T3)は以下の(3)式のように表される。
Figure 0005057731
なお、Cは第1の保持容量106の容量値、Cは第2の保持容量107の容量値を表す。
第1のトランジスタ101のゲート電極には、第1及び第2の保持容量106、107に保持される電圧|V(T3)|が加えられるため、期間T3での第1のトランジスタ101のゲートとソースとの間の電圧をVgs(T3)とすると、Vgs(T3)は以下の(4)式のように表される。なお、期間T3では、第1及び第2の保持容量106、107が並列接続したことにより電荷が分配されたため、期間T3での第1のトランジスタ101のゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T3)|は、期間T2での第1のトランジスタ101のゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|よりも小さくなる。
Figure 0005057731
したがって、第1のトランジスタ101のドレイン・ソース間に流れる電流IOLEDは以下の(5)式のように表され、この電流が第5のトランジスタ105を通って発光素子116に流れ、発光素子116が発光する。なお、期間T3での第1のトランジスタ101のゲートとソースとの間の電圧が期間T2でのそれよりも小さくなるため、期間T3で第1のトランジスタ101のドレイン・ソース間に流れる電流IOLEDは、期間T2で第1のトランジスタ101のドレイン・ソース間に流れる電流Idataよりも小さくなる。
Figure 0005057731
以上の動作により、第3の期間T3では、発光素子116にビデオ信号電流Idataよりも小さい電流IOLEDが流れ、発光素子116が発光する。
(5)式に示したように、発光素子116に流れる電流IOLEDは、第1のトランジスタ101の閾値電圧Vthや移動度(定数βに含まれる)に依存しない形で表されるため、トランジスタの閾値電圧や移動度のばらつきを補償することができる。
また、発光素子116に流れる電流IOLEDは、ビデオ信号電流Idataに比べて[C/(C+C)]倍ほど小さい値になっているため、電流IOLEDに対して[(C+C)/C倍だけ大きい電流をビデオ信号電流Idataとして流すことが可能となる。これにより、一水平走査期間内に信号線の配線容量を十分に充電させることができ、低階調を表示させる場合でも正しく表示させることが可能となる。
また、発光素子116に流れる電流IOLEDは、第1及び第2の保持容量106、107の容量比に依存し、容量比が一定であればIOLEDも一定となる。ここで、第1及び第2の保持容量は、通常は同一工程で作成されることから、仮に表示装置の製造時におけるマスクパターンの位置合わせにずれが生じたとしても、容量の誤差は第1及び第2の保持容量106、107においてほぼ等しい割合となる。したがって、製造誤差が生じた場合であっても[C/(C+C)]の値はほぼ一定の値を維持することが可能であり、IOLEDもほぼ一定の値を維持することが可能である。
以上より、本実施形態の画素構成によって、トランジスタの閾値電圧のばらつきを補償して輝度のばらつきを低減させることができるため、画質を向上させることができる。
なお、図1では、第2の電源線及び容量線の電位を接地電位(GND)としたが、これに限定されない。電源電圧VDDと第1のトランジスタ101の閾値電圧|Vth|の差VDD−|Vth|よりも低い電位であればよい。
なお、本実施形態において、保持容量は、金属で形成してもよいし、MOSトランジスタで形成してもよい。特に、保持容量をMOSトランジスタで形成すると、保持容量を金属で形成する場合よりも、保持容量の占有面積を小さくすることができるため、画素の開口率を上げることができる。
例えば、図1に示した画素回路において、保持容量をMOSトランジスタで形成した場合の例を図67、図68に示す。
図67は、第1及び第2の保持容量106、107をPチャネル型トランジスタで形成した場合を示している。Pチャネル型トランジスタで保持容量を形成する場合、電荷を保持するために、該Pチャネル型トランジスタにチャネル領域を誘起させる必要があるため、該Pチャネル型トランジスタのゲート電極の電位を、該Pチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極の電位よりも低くしなければならない。ところで、図1に示した画素回路の場合、第1及び第2の保持容量106、107において、第1の電極の方が第2の電極よりも電位が高くなる。したがって、該Pチャネル型トランジスタを保持容量として機能させるために、該Pチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極を第1及び第2の保持容量106、107の第1の電極とし、第1のトランジスタ101のゲート電極及び第4のトランジスタ104の第2の電極と接続する。また、該Pチャネル型トランジスタのゲート電極を第1及び第2の保持容量106、107の第2の電極とし、容量線115と接続する。
図68は、第1及び第2の保持容量106、107をNチャネル型トランジスタで形成した場合を示している。Nチャネル型トランジスタで保持容量を形成する場合、電荷を保持するために、該Nチャネル型トランジスタにチャネル領域を誘起させる必要があるため、該Nチャネル型トランジスタのゲート電極の電位を、該Nチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極の電位よりも高くしなければならない。したがって、該Nチャネル型トランジスタを保持容量として機能させるために、該Nチャネル型トランジスタのゲート電極を第1及び第2の保持容量106、107の第1の電極とし、第1のトランジスタ101のゲート電極及び第4のトランジスタ104の第2の電極と接続する。また、該Nチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極を第1及び第2の保持容量106、107の第2の電極とし、容量線115と接続する。
本実施形態のように、第1及び第2の保持容量106、107を第1のトランジスタ101のゲート電極と容量線115との間に接続することにより、第1及び第2の保持容量をMOSトランジスタで形成した場合、該MOSトランジスタのゲートとソースとの間に、常に該MOSトランジスタの閾値電圧よりも大きい電圧がかかるため、該MOSトランジスタを常に保持容量として機能させることができる。したがって、画素回路の動作過程の中で、保持容量に所望の電圧を正しく保持することが可能となる。
なお、図1で示した画素回路では、第1〜第5のトランジスタ101〜105は全てPチャネル型としているが、これらのトランジスタを全てNチャネル型とすることができる。ここで、第1〜第5のトランジスタを全てNチャネル型とした場合の構成を、図6に示す。
図6の画素回路は、第1〜第5のトランジスタ601〜605、第1及び第2の保持容量606、607、信号線608、第1〜第4の走査線609〜612、第1及び第2の電源線613、614、容量線615、発光素子616、電流源回路617から構成されている。なお、電流源回路617は、各信号線(各列)に配置されている。
第1のトランジスタ601は、ゲート電極が、第2のトランジスタ602の第1の電極、及び第3のトランジスタ603の第1の電極、及び第4のトランジスタ604の第2の電極、及び第2の保持容量607の第1の電極に接続され、第1の電極が、第1の電源線613に接続され、第2の電極が、第4のトランジスタ604の第1の電極、及び第5のトランジスタ605の第1の電極に接続されている。第2のトランジスタ602は、ゲート電極が、第1の走査線609に接続され、第2の電極が、信号線608に接続されている。第3のトランジスタ603は、ゲート電極が、第2の走査線610に接続され、第2の電極が、第1の保持容量606の第1の電極に接続されている。第4のトランジスタ604は、ゲート電極が、第3の走査線611に接続されている。第5のトランジスタ605は、ゲート電極が、第4の走査線612に接続され、第2の電極が、発光素子616の第2の電極に接続されている。第1の保持容量606は、第2の電極が、容量線615に接続されている。第2の保持容量607は、第2の電極が、容量線615に接続されている。発光素子616は、第1の電極が、第2の電源線614に接続されている。
次に、本実施形態の画素回路の動作について、図7を用いて説明する。
図7は、信号線608及び第1〜第4の走査線609〜612に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示す。第1〜第5のトランジスタが全てNチャネル型となったため、第1〜第4の走査線609〜612に入力されるパルスのタイミングについては、全てのトランジスタがPチャネル型である場合(図2)に対してHレベル及びLレベルが反転している。また、画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期を第1〜第3の期間T1〜T3の3つの期間に分割している。
第1〜第3の期間T1〜T3における図6の画素回路の動作は、図1に示した画素回路の動作と同じである。つまり、第1の期間T1では、第1及び第2の保持容量606、607に第1のトランジスタ601の閾値電圧|Vth|を保持する。次に、第2の期間T2では、第2の保持容量607に、第1のトランジスタ601がビデオ信号電流Idataを流すのに必要なゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|を保持する。そして、第3の期間T3では、発光素子616にビデオ信号電流Idataよりも小さい電流IOLEDが流れ、発光素子616が発光する。なお、発光素子616に流れる電流IOLEDは、図1で示した画素回路と同様に(5)式で表される。
図6に示した画素回路においても、発光素子616に流れる電流IOLEDは、第1のトランジスタ601の閾値電圧Vthや移動度(定数βに含まれる)に依存しない形で表されるため、トランジスタの閾値電圧や移動度のばらつきを補償することができる。
また、発光素子616に流れる電流IOLEDは、ビデオ信号電流Idataに比べて[C/(C+C)]倍ほど小さい値になっているため、電流IOLEDに対して[(C+C)/C倍だけ大きい電流をビデオ信号電流Idataとして流すことが可能となる。これにより、一水平走査期間内に信号線を十分に充電させることができ、低階調を表示させる場合でも正しく表示させることが可能となる。
また、発光素子616に流れる電流IOLEDは、第1及び第2の保持容量606、607の容量比に依存し、容量比が一定であればIOLEDも一定となる。ここで、第1及び第2の保持容量は、通常は同一工程で作成されることから、仮に製造時におけるマスクパターンの位置合わせにずれが生じたとしても、容量の誤差は第1及び第2の保持容量606、607においてほぼ等しい割合となる。したがって、製造誤差が生じた場合であっても[C/(C+C)]の値はほぼ一定の値を維持することが可能であり、IOLEDもほぼ一定の値を維持することが可能である。
また、図6に示した画素回路においても、第1及び第2の保持容量606、607を容量線615と第1のトランジスタ601のゲート電極との間に接続することにより、第1及び第2の保持容量をMOSトランジスタで形成した場合、該MOSトランジスタのゲートとソースとの間に、常に該MOSトランジスタの閾値電圧よりも大きい電圧がかかるため、該MOSトランジスタを常に保持容量として機能させることができる。したがって、画素回路の動作過程の中で、保持容量に所望の電圧を正しく保持することが可能となる。
以上より、本実施形態の画素構成によって、トランジスタの閾値電圧のばらつきを補償して輝度のばらつきを低減させることができるため、画質を向上させることができる。
なお、本実施形態では、第1の電源線を接地電位(GND)としたが、これに限定されない。電源電圧VDDと第1のトランジスタ601の閾値電圧|Vth|の差VDD−|Vth|よりも低い電位であればよい。また、容量線の電位を電源電位VDDとしたが、これに限定されない。第1のトランジスタ601の閾値電圧|Vth|よりも高い電位であればよい。
なお、本実施形態では、第1〜第5のトランジスタをすべてPチャネル型、もしくはすべてNチャネル型というように、同じ導電形式のトランジスタとしていたが、これに限定されない。Pチャネル型とNチャネル型とを両方とも用いて回路を構成してもよい。
例えば、第2及び第4のトランジスタをNチャネル型とし、第1、第3、第5のトランジスタをPチャネル型としてもよい。この画素回路を図8に示す。また、信号線及び第1〜第4の走査線に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを図9に示す。
図8の画素回路は、第1〜第5のトランジスタ801〜805、第1及び第2の保持容量806、807、信号線808、第1〜第4の走査線809〜812、第1及び第2の電源線813、814、容量線815、発光素子816、電流源回路817から構成されている。なお、電流源回路817は、各信号線(各列)に配置されている。
図8に示すような回路構成にすると、図9に示したように、第1の走査線と第2の走査線とに入力されるパルスのタイミングが同じとなるため、第2のトランジスタと第3のトランジスタとを共通の走査線によって制御することができる。同様に、第3の走査線と第4の走査線とに入力されるパルスのタイミングが同じとなるため、第4のトランジスタと第5のトランジスタとを共通の走査線によって制御することができる。ここで、第2のトランジスタと第3のトランジスタとを第1の走査線によって制御し、第4のトランジスタと第5のトランジスタとを第3の走査線によって制御した場合の例を図50に示す。
また、別の例として、第2及び第4のトランジスタをPチャネル型とし、第1、第3、第5のトランジスタをNチャネル型としてもよい。この画素回路を図10に示す。また、信号線及び第1〜第4の走査線に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを図11に示す。
図10の画素回路は、第1〜第5のトランジスタ1001〜1005、第1及び第2の保持容量1006、1007、信号線1008、第1〜第4の走査線1009〜1012、第1及び第2の電源線1013、1014、容量線1015、発光素子1016、電流源回路1017から構成されている。なお、電流源回路1017は、各信号線(各列)に配置されている。
図10に示すような回路構成にすると、図11に示したように、第1の走査線と第2の走査線とに入力されるパルスのタイミングが同じとなるため、第2のトランジスタと第3のトランジスタを共通の走査線によって制御することができる。同様に、第3の走査線と第4の走査線とに入力されるパルスのタイミングが同じとなるため、第4のトランジスタと第5のトランジスタを共通の走査線によって制御することができる。ここで、第2のトランジスタと第3のトランジスタとを第1の走査線によって制御し、第4のトランジスタと第5のトランジスタとを第3の走査線によって制御した場合の例を図51に示す。
図8〜図11、図50、図51に示したように、第2のトランジスタと第3のトランジスタを互いに異なる導電形式とすると、第2のトランジスタと第3のトランジスタを共通の走査線によって制御できる。同様に、第4のトランジスタと第5のトランジスタを互いに異なる導電形式とすると、第4のトランジスタと第5のトランジスタを共通の走査線によって制御できる。これにより、走査線の本数を減らすことができ、画素の開口率を上げることができる。また、走査線駆動回路の数も減らすことができるため、消費電力を削減することができる。
なお、第1〜第5のトランジスタのどのトランジスタがどちらの導電形式であるかについては、上記の内容に限定されない。
なお、本実施形態では、第1及び第2の保持容量の第2の電極を、共通の容量線に接続したが、第1及び第2の保持容量の第2の電極を、それぞれ異なる配線に接続してもよい。
例えば、図1に示した回路において、第1及び第2の保持容量の第2の電極を、それぞれ異なる配線に接続した場合の画素構成を、図69に示す。図69に示した画素構成において、第1の保持容量106の第2の電極は、第1の容量線6915に接続され、第2の保持容量107の第2の電極は、第2の容量線6925に接続される。
図69に示したように、第1及び第2の保持容量の第2の電極を、それぞれ異なる配線に接続することにより、第1及び第2の保持容量に保持する電圧を別々に制御することができる。
なお、保持容量に第1のトランジスタの閾値電圧を保持させる前に、保持容量に保持される電圧をある初期電圧に設定する期間を設けてもよい。本明細書中では、この動作を初期化と呼ぶこととする。初期化を行うための一つの方法として、発光素子に電流を流すことにより、第1のトランジスタの第2の電極の電位を変動させる方法を用いてもよい。
例えば、図1に示した画素回路において初期化を行う場合のタイミングチャートを図70に示す。図70は信号線108及び第1〜第4の走査線109〜112に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示しており、画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期をT0〜T3の4つの期間に分割している。
初期化の動作は、期間T0で行う。期間T0では、第2〜第4の走査線110〜112がLレベルとなり、第3〜第5のトランジスタ103〜105がオンする。また、第1の走査線109がHレベルとなり、第2のトランジスタ102がオフする。これにより、第1のトランジスタ101はダイオード接続の状態となり、発光素子116に電流が流れる。その結果、第1のトランジスタ101の第2の電極、及び第1の保持容量106の第1の電極、及び第2の保持容量107の第1の電極の電位が下降し、第1及び第2の保持容量106、107に、ある初期電圧が保持される。
以上の動作により、期間T0では、第1及び第2の保持容量106、107に、ある初期電圧を保持する。
また、初期化を行うための別の方法として、これまで示してきた画素回路に、新たに初期化用トランジスタ(第6のトランジスタ)と初期化用電源線(第3の電源線)を設けてもよい。
例えば、図1に示した画素回路に初期化用トランジスタを設けた場合の例を図12に示す。図12では、図1に示した画素回路に、第6のトランジスタ1218、第5の走査線1219、第3の電源線1220を加えている。なお、第6のトランジスタ1218は、ゲート電極が、第5の走査線1219に接続され、第1の電極が、第1のトランジスタ101の第2の電極、及び第4のトランジスタ104の第1の電極、及び第5のトランジスタ105の第1の電極に接続され、第2の電極が、第3の電源線1220に接続されている。
なお、図12において、第6のトランジスタ1218をPチャネル型としたが、これに限定されない。Nチャネル型でもよい。
次に、図12に示した画素回路の動作について、図13、図14を用いて説明する。
図13は、信号線108及び第1〜第5の走査線109〜112、1219に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示しており、画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期をT0〜T3の4つの期間に分割している。
初期化の動作は、期間T0で行う。期間T0における画素回路の動作について、図14を用いて説明する。期間T0では、第2、第3、第5の走査線110、111、1219がLレベルとなり、第3、第4、第6のトランジスタ103、104、1218がオンする。また、第1及び第4の走査線109、112がHレベルとなり、第2及び第5のトランジスタ102、105がオフする。これにより、第1のトランジスタ101はダイオード接続の状態となり、第3の電源線1220に電流が流れる。その結果、第1のトランジスタ101の第2の電極、及び第1、第2の保持容量106、107の第1の電極の電位が第3の電源線1220の電位と等しくなり、第1、第2の保持容量106、107に第3の電源線1220の電位と容量線115の電位の差に相当する電圧が保持される。
以上の動作により、期間T0では、第1及び第2の保持容量106、107に初期電圧として、第3の電源線1220の電位と容量線115の電位の差に相当する電圧を保持する。
また、期間T1〜T3においては、第5の走査線1219をHレベルとし、第6のトランジスタ1218をオフとする。そして、図1に示した画素回路と同じ動作を行う。つまり、期間T1では、第1及び第2の保持容量106、107に第1のトランジスタ101の閾値電圧|Vth|を保持する。次に、期間T2では、第2の保持容量107に、第1のトランジスタ101がビデオ信号電流Idataを流すのに必要なゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|を保持する。そして、期間T3では、発光素子116にビデオ信号電流Idataよりも小さい電流IOLEDが流れ、発光素子116が発光する。なお、発光素子116に流れる電流IOLEDは、図1で示した画素回路と同様に(5)式で表される。
なお、図1に示した画素回路の場合、保持容量に第1のトランジスタの閾値電圧を保持させるためには、予め第1のトランジスタの第2の電極の電位を、電源電位VDDと第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|の差に相当する電圧、つまりVDD−|Vth|よりも低くしておかなければならない。したがって、初期化の期間を設けることにより、第1のトランジスタの第2の電極の電位を、確実にVDD−|Vth|よりも低くすることができ、閾値電圧の補償を確実に行うことができるようになる。
なお、図12では、第3の電源線1220の電位を接地電位(GND)としたが、これに限定されない。電源電圧VDDと第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|の差VDD−|Vth|よりも低い電位であればよい。また、第3の電源線1220の電位は、容量線115の電位と必ずしも等しくなくてよい。
なお、本実施形態では、第6のトランジスタ1218の第1の電極を、第1のトランジスタ101の第2の電極、及び第4のトランジスタ104の第1の電極、及び第5のトランジスタ105の第1の電極に接続したが、第6のトランジスタ1218の第1の電極の接続先は、これに限定されない。例えば、図71に示すように、第6のトランジスタ1218の第1の電極を、第1のトランジスタ101のゲート電極、及び第2のトランジスタ102の第1の電極、及び第3のトランジスタ103の第1の電極、及び第4のトランジスタ104の第2の電極、及び第2の保持容量107の第1の電極に接続してもよい。
また、別の例として、図6に示した画素回路に初期化用トランジスタを設けた場合の例を図15に示す。図15では、図6に示した画素回路に、第6のトランジスタ1518、第5の走査線1519、第3の電源線1520を加えている。なお、第6のトランジスタ1518は、ゲート電極が、第5の走査線1519に接続され、第1の電極が、第1のトランジスタ601の第2の電極、及び第4のトランジスタ604の第1の電極、及び第5のトランジスタ605の第1の電極に接続され、第2の電極が、第3の電源線1520に接続されている。
なお、図15において、第6のトランジスタ1518をNチャネル型としたが、これに限定されない。Pチャネル型でもよい。
次に、図15に示した画素回路の動作について、図16を用いて説明する。
図16は、信号線608及び第1〜第5の走査線609〜612、1519に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示しており、画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期をT0〜T3の4つの期間に分割している。なお、第1〜第6のトランジスタが全てNチャネル型であるため、第1〜第5の走査線609〜612、1519に入力されるパルスのタイミングについては、全てのトランジスタがPチャネル型である場合(図12)に対してHレベル及びLレベルが反転している。
初期化の動作は、期間T0で行う。期間T0における画素回路の動作は、図12に示した画素回路と同じである。つまり、期間T0では、第1及び第2の保持容量606、607に初期電圧として、容量線615の電位と第3の電源線1520の電位の差に相当する電圧を保持する。
また、期間T1〜T3においては、第5の走査線1519をLレベルとし、第6のトランジスタ1518をオフとする。そして、図6に示した画素回路と同じ動作を行う。つまり、期間T1では、第1及び第2の保持容量606、607に第1のトランジスタ601の閾値電圧|Vth|を保持する。次に、期間T2では、第2の保持容量607に、第1のトランジスタ601がビデオ信号電流Idataを流すのに必要なゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|を保持する。そして、期間T3では、発光素子616にビデオ信号電流Idataよりも小さい電流IOLEDが流れ、発光素子616が発光する。なお、発光素子616に流れる電流IOLEDは、図1で示した画素回路と同様に(5)式で表される。
なお、図6に示した画素回路の場合、保持容量に第1のトランジスタの閾値電圧を保持させるためには、予め第1のトランジスタの第2の電極の電位を、第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|よりも高くしておかなければならない。したがって、初期化の期間を設けることにより、第1のトランジスタの第2の電極の電位を、確実に第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|よりも高くすることができ、閾値電圧の補償を確実に行うことができるようになる。
なお、図15では、第3の電源線1520の電位を電源電位VDDとしたが、これに限定されない。第1のトランジスタの閾値電圧よりも高い電位であればよい。また、第3の電源線1520の電位は、容量線615の電位と必ずしも等しくなくてよい。
なお、本実施形態では、第6のトランジスタ1518の第1の電極を、第1のトランジスタ601の第2の電極、及び第4のトランジスタ604の第1の電極、及び第5のトランジスタ605の第1の電極に接続したが、第6のトランジスタ1518の第1の電極の接続先は、これに限定されない。例えば、図72に示すように、第6のトランジスタ1518の第1の電極を、第1のトランジスタ601のゲート電極、及び第2のトランジスタ602の第1の電極、及び第3のトランジスタ603の第1の電極、及び第4のトランジスタ604の第2の電極、及び第2の保持容量607の第1の電極に接続してもよい。
なお、本実施形態では、第3の電源線を別に設けていたが、既存の他の配線を第3の電源線の代わりとして用いてもよい。例えば、当行の画素が有する走査線のいずれか1つを第3の電源線の代わりとして用いることにより、第3の電源線を削除することが可能である。これにより、配線の本数を減らすことができ、画素の開口率を上げることができる。また、第3の電源線に印加する電圧を新たに生成する必要がなくなるため、そのための回路を削減することができるとともに、消費電力も削減することができる。なお、第3の電源線の代わりとして用いる走査線は、当行の画素が有するものに限らず、前行の画素が有する走査線でもよいし、次行の画素が有する走査線でもよい。
なお、本実施形態では、第2の電源線の電位を固定電位としているが、これに限定されない。第1〜第3の期間に応じて、第2の電源線の電位を変えてもよい。
例えば、図1に示した画素回路において、第1及び第2の期間T1、T2では、第5のトランジスタ105をオフとすることにより、発光素子116に電流が流れないようにしているが、例えば、第1及び第2の期間T1、T2で第2の電源線114の電位を高くすることにより、同様の動作を行うことができる。なぜならば、第2の電源線114の電位を高くすることにより、発光素子116に逆方向のバイアスがかかるためである。これにより、第5のトランジスタ105及び第4の走査線112を削除することができる。この場合の例を図54、図55に示す。
図54では、図1に示した画素回路に対して、第1のトランジスタ101の第2の電極が発光素子116の第1の電極と接続されている。また、図55は、信号線108及び第1〜第3の走査線109〜111、第2の電源線114に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示している。
なお、第1及び第2の期間T1、T2では、第2の電源線114の電位を電源電位VDDと第1のトランジスタ101の閾値電圧|Vth|との差、つまりVDD−|Vth|よりも高くすることにより、上記の動作を行うことができる。
また、初期化期間を設ける場合は、初期化期間でも第2の電源線114の電位をVDD−|Vth|よりも高くすることにより、発光素子116に電流を流さないようにする。
また、別の例として、図6に示した画素回路において第2の電源線の電位を変化させる場合の例を図56、図57に示す。
図56では、図6に示した画素回路に対して、第1のトランジスタ601の第2の電極が発光素子616の第2の電極と接続されている。また、図57は、信号線608及び第1〜第3の走査線609〜611、第2の電源線614に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示している。第1及び第2の期間T1、T2で第2の電源線614の電位を低くすることにより発光素子616に逆方向のバイアスがかかるため、期間T1、T2で発光素子616に電流が流れなくなる。
なお、第1及び第2の期間T1、T2では、第2の電源線614の電位を第1のトランジスタ601の閾値電圧|Vth|よりも低くすることにより、上記の動作を行うことができる。
また、初期化期間を設ける場合は、初期化期間でも第2の電源線614の電位を第1のトランジスタ601の閾値電圧|Vth|低くすることにより、発光素子616に電流を流さないようにする。
図54〜図57に示したように、第2の電源線の電位を期間によって変化させることにより、第5のトランジスタ及び第4の走査線を設ける必要がなくなるため、画素の開口率を上げることができる。
なお、本実施形態では、容量線を別に設けていたが、既存の他の配線を容量線の代わりとして用いてもよい。例えば、当行の画素が有する走査線のいずれか1つを容量線の代わりとして用いることにより、容量線を削除することが可能である。これにより、配線の本数を減らすことができ、画素の開口率を上げることができる。また、容量線に印加する電圧を新たに生成する必要がなくなるため、そのための回路を削減することができるとともに、消費電力も削減することができる。なお、容量線の代わりとして用いる走査線は、当行の画素が有するものに限らず、前行の画素が有する走査線でもよいし、次行の画素が有する走査線でもよい。
(実施の形態2)
実施の形態1では、第1及び第2の保持容量を並列に接続したが、直列に接続してもよい。そこで、本実施形態では、第1及び第2の保持容量を直列に接続した場合について説明する。本実施形態の表示装置における画素回路の基本的構成について、図17を用いて説明する。なお、発光素子として、EL素子を例に挙げて説明する。
図17は、本実施形態の画素回路の回路図を示す図である。本実施形態の画素回路は、第1〜第5のトランジスタ1701〜1705、第1及び第2の保持容量1706、1707、信号線1708、第1〜第4の走査線1709〜1712、第1及び第2の電源線1713、1714、容量線1715、発光素子1716、電流源回路1717から構成されている。なお、電流源回路1717は、各信号線(各列)に配置されている。
なお、図17に示した画素回路では、第1〜第5のトランジスタ1701〜1705は全てPチャネル型としている。
第1のトランジスタ1701は、ゲート電極が、第2のトランジスタ1702の第1の電極、及び第4のトランジスタ1704の第2の電極、及び第1の保持容量1706の第1の電極に接続され、第1の電極が、第1の電源線1713に接続され、第2の電極が、第4のトランジスタ1704の第1の電極、及び第5のトランジスタ1705の第1の電極に接続されている。第2のトランジスタ1702は、ゲート電極が、第1の走査線1709に接続され、第2の電極が、信号線1708に接続されている。第3のトランジスタ1703は、ゲート電極が、第2の走査線1710に接続され、第1の電極が、第1の保持容量1706の第2の電極、及び第2の保持容量1707の第1の電極に接続され、第2の電極が、容量線1715に接続されている。第4のトランジスタ1704は、ゲート電極が、第3の走査線1711に接続されている。第5のトランジスタ1705は、ゲート電極が、第4の走査線1712に接続され、第2の電極が、発光素子1716の第1の電極に接続されている。第2の保持容量1707は、第2の電極が、容量線1715に接続されている。発光素子1716は、第2の電極が、第2の電源線1714に接続されている。
次に、本実施形態の画素回路の動作について、図18〜図21を用いて説明する。
図18は、信号線1708及び第1〜第4の走査線1709〜1712に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示しており、図19〜図21に示す画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期を第1〜第3の期間T1〜T3の3つの期間に分割している。
図19〜図21は、各期間における本実施形態の画素回路の接続状態を示す図である。なお、図19〜図21において、実線で示した箇所は導通しており、破線で示した箇所は導通していないことを示す。
まず、第1の期間T1における画素回路の動作について、図19を用いて説明する。図19は、第1の期間T1における画素回路の接続状態を示す図である。第1の期間T1では、第2及び第3の走査線1710、1711がLレベルとなり、第3及び第4のトランジスタ1703、1704がオンする。また、第1及び第4の走査線1709、1712がHレベルとなり、第2及び第5のトランジスタ1702、1705がオフする。これにより、第1の保持容量1706の第2の電極、及び第2の保持容量1707の両電極が容量線1715に接続される。また、第1のトランジスタ1701はダイオード接続の状態となり、第1の保持容量1706に電流が流れ、第1の保持容量1706が充電される。なお、第2の保持容量1707については、両電極がともに容量線に接続されるため、両電極間の電位が等しくなり、第2の保持容量1707は充電されない。第1の保持容量1706の充電は、第1の保持容量1706に保持される電圧が電源電圧VDDと第1のトランジスタ1701の閾値電圧|Vth|の差に相当する電圧、つまり、VDD−|Vth|になるまで続き、第1の保持容量1706に保持される電圧がVDD−|Vth|になると第1のトランジスタ1701はオフし、第1の保持容量1706に電流が流れなくなる。
以上の動作により、第1の期間T1では、第1の保持容量1706に第1のトランジスタ1701の閾値電圧|Vth|を保持する。
次に、第2の期間T2における画素回路の動作について、図20を用いて説明する。図20は、第2の期間T2における画素回路の接続状態を示す図である。第2の期間T2では、第1及び第3の走査線1709、1711がLレベルとなり、第2及び第4のトランジスタ1702、1704がオンする。また、第2及び第4の走査線1710、1712がHレベルとなり、第3及び第5のトランジスタ1703、1705がオフする。また、信号線1708には、電流源回路1717によりビデオ信号電流Idataが流れる。これにより、第1のトランジスタ1701はダイオード接続の状態となり、直列接続された第1及び第2の保持容量1706、1707に電流が流れ、充電される。このとき、信号線1708にはビデオ信号電流Idataが流れているため、第1のトランジスタ1701のドレイン・ソース間にはIdataが流れる。したがって、第1のトランジスタ1701のゲートとソースとの間の電圧は、第1のトランジスタ1701がIdataを流すのに必要な電圧になる。このときの第1のトランジスタ1701のゲートとソースとの間の電圧をVgs(T2)とすると、ビデオ信号電流Idataは前述の(1)式のように表され、期間T2での第1のトランジスタ1701のゲートとソースとの間の電圧Vgs(T2)は前述の(2)式のように表される。
第1及び第2の保持容量1706、1707の充電は、それぞれの保持容量に保持される電圧の和が電源電圧VDDと第1のトランジスタ1701のゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|の差に相当する電圧、つまり、VDD−|Vgs(T2)|になるまで続き、それぞれの保持容量に保持される電圧の和がVDD−|Vgs(T2)|になると第1のトランジスタ1701はオフし、それぞれの保持容量に電流が流れなくなる。このとき、第1及び第2の保持容量1706、1707のそれぞれに保持される電圧をVC1(T2)、VC2(T2)とすると、VC1(T2)、VC2(T2)は以下の(6)式、(7)式のように表される。
Figure 0005057731
Figure 0005057731
なお、Cは第1の保持容量1706の容量値、Cは第2の保持容量1707の容量値を表す。
以上の動作により、第2の期間T2では、第1及び第2の保持容量1706、1707に、第1のトランジスタ1701がビデオ信号電流Idataを流すのに必要なゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|を保持する。
次に、第3の期間T3における画素回路の動作について、図21を用いて説明する。図21は、第3の期間T3における画素回路の接続状態を示す図である。第3の期間T3では、第2及び第4の走査線1710、1712がLレベルとなり、第3及び第5のトランジスタ1703、1705がオンする。また、第1及び第3の走査線1709、1711がHレベルとなり、第2及び第4のトランジスタ1702、1704がオフする。これにより、第1の保持容量1706の第2の電極、及び第2の保持容量1707の両電極が容量線に接続される。このとき、第1の保持容量1706には、第1の電極が浮遊状態となるため、期間T2で保持された電圧VC1(T2)がそのまま保持される。また、第2の保持容量1707については、両電極がともに容量線に接続されるため、両電極間の電位が等しくなり、第2の保持容量1707に保持される電圧は0となる。
第1のトランジスタ1701のゲート電極には、第1の保持容量1706に保持される電圧VC1(T2)が加えられるため、期間T3での第1のトランジスタ1701のゲートとソースとの間の電圧をVgs(T3)とすると、Vgs(T3)は以下の(8)式のように表される。なお、期間T3では、第1のトランジスタ1701のゲート電極に第1の保持容量1706に保持される電圧VC1(T2)のみが加えられるため、期間T3での第1のトランジスタ1701のゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T3)|は、期間T2での第1のトランジスタ1701のゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|よりも小さくなる。
Figure 0005057731
したがって、第1のトランジスタ1701のドレイン・ソース間に流れる電流IOLEDは以下の(9)式のように表され、この電流が第5のトランジスタ1705を通って発光素子1716に流れ、発光素子1716が発光する。なお、期間T3での第1のトランジスタ1701のゲートとソースとの間の電圧が期間T2でのそれよりも小さくなるため、期間T3で第1のトランジスタ1701のドレイン・ソース間に流れる電流IOLEDは、期間T2で第1のトランジスタ1701のドレイン・ソース間に流れる電流Idataよりも小さくなる。
Figure 0005057731
以上の動作により、第3の期間T3では、発光素子1716にビデオ信号電流Idataよりも小さい電流IOLEDが流れ、発光素子1716が発光する。
(9)式に示したように、発光素子1716に流れる電流IOLEDは、第1のトランジスタ1701の閾値電圧Vthや移動度(定数βに含まれる)に依存しない形で表されるため、トランジスタの閾値電圧や移動度のばらつきを補償することができる。
また、発光素子1716に流れる電流IOLEDは、ビデオ信号電流Idataに比べて[C/(C+C)]倍ほど小さい値になっているため、電流IOLEDに対して[(C+C)/C倍だけ大きい電流をビデオ信号電流Idataとして流すことが可能となる。これにより、一水平走査期間内に信号線を十分に充電させることができ、低階調を表示させる場合でも正しく表示させることが可能となる。
また、発光素子1716に流れる電流IOLEDは、第1及び第2の保持容量1706、1707の容量比に依存し、容量比が一定であればIOLEDも一定となる。ここで、第1及び第2の保持容量は、通常は同一工程で作成されることから、仮に製造時におけるマスクパターンの位置合わせにずれが生じたとしても、容量の誤差は第1及び第2の保持容量1706、1707においてほぼ等しい割合となる。したがって、製造誤差が生じた場合であっても[C/(C+C)]の値はほぼ一定の値を維持することが可能であり、IOLEDもほぼ一定の値を維持することが可能である。
以上より、本実施形態の画素構成によって、トランジスタの閾値電圧のばらつきを補償して輝度のばらつきを低減させることができるため、画質を向上させることができる。
なお、図17では、第2の電源線及び容量線の電位を接地電位(GND)としたが、これに限定されない。電源電圧VDDと第1のトランジスタ1701の閾値電圧|Vth|の差VDD−|Vth|よりも低い電位であればよい。
なお、本実施形態において、保持容量は、金属で形成してもよいし、MOSトランジスタで形成してもよい。特に、保持容量をMOSトランジスタで形成すると、保持容量を金属で形成する場合よりも、保持容量の占有面積を小さくすることができるため、画素の開口率を上げることができる。
例えば、図17に示した画素回路において、保持容量をMOSトランジスタで形成した場合の例を図73、図74に示す。
図73は、第1及び第2の保持容量1706、1707をPチャネル型トランジスタで形成した場合を示している。図17に示した画素回路の場合、第1及び第2の保持容量1706、1707において、第1の電極の方が第2の電極よりも電位が高くなる。したがって、該Pチャネル型トランジスタを保持容量として機能させるために、該Pチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極を第1及び第2の保持容量1706、1707の第1の電極とし、該Pチャネル型トランジスタのゲート電極を第1及び第2の保持容量1706、1707の第2の電極とする。
図74は、第1及び第2の保持容量1706、1707をNチャネル型トランジスタで形成した場合を示している。図17に示した画素回路の場合、該Nチャネル型トランジスタを保持容量として機能させるために、該Nチャネル型トランジスタのゲート電極を第1及び第2の保持容量1706、1707の第1の電極とし、該Nチャネル型トランジスタの第1及び第2の電極を第1及び第2の保持容量1706、1707の第2の電極とする。
本実施形態のように、第1及び第2の保持容量1706、1707を第1のトランジスタ1701のゲート電極と容量線1715との間に接続することにより、第1及び第2の保持容量をMOSトランジスタで形成した場合、該MOSトランジスタのゲートとソースとの間に、常に該トランジスタの閾値電圧よりも大きい電圧がかかるため、該MOSトランジスタを常に保持容量として機能させることができる。したがって、画素回路の動作過程の中で、保持容量に所望の電圧を正しく保持することが可能となる。
なお、図17で示した画素回路では、第1〜第5のトランジスタ1701〜1705は全てPチャネル型としているが、これらのトランジスタを全てNチャネル型とすることができる。ここで、第1〜第5のトランジスタを全てNチャネル型とした場合の構成を、図22に示す。
図22の画素回路は、第1〜第5のトランジスタ2201〜2205、第1及び第2の保持容量2206、2207、信号線2208、第1〜第4の走査線2209〜2212、第1及び第2の電源線2213、2214、容量線2215、発光素子2216、電流源回路2217から構成されている。なお、電流源回路2217は、各信号線(各列)に配置されている。
第1のトランジスタ2201は、ゲート電極が、第2のトランジスタ2202の第1の電極、及び第4のトランジスタ2204の第2の電極、及び第1の保持容量2206の第1の電極に接続され、第1の電極が、第1の電源線2213に接続され、第2の電極が、第4のトランジスタ2204の第1の電極、及び第5のトランジスタ2205の第1の電極に接続されている。第2のトランジスタ2202は、ゲート電極が、第1の走査線2209に接続され、第2の電極が、信号線2208に接続されている。第3のトランジスタ2203は、ゲート電極が、第2の走査線2210に接続され、第1の電極が、第1の保持容量2206の第2の電極、及び第2の保持容量2207の第1の電極に接続され、第2の電極が、容量線2215に接続されている。第4のトランジスタ2204は、ゲート電極が、第3の走査線2211に接続されている。第5のトランジスタ2205は、ゲート電極が、第4の走査線2212に接続され、第2の電極が、発光素子2216の第2の電極に接続されている。第2の保持容量2207は、第2の電極が、容量線2215に接続されている。発光素子2216は、第1の電極が、第2の電源線2214に接続されている。
次に、本実施形態の画素回路の動作について、図23を用いて説明する。
図23は、信号線2208及び第1〜第4の走査線2209〜2212に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示す。第1〜第5のトランジスタが全てNチャネル型となったため、第1〜第4の走査線2209〜2212に入力されるパルスのタイミングについては、全てのトランジスタがPチャネル型である場合(図18)に対してHレベル及びLレベルが反転している。また、画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期を第1〜第3の期間T1〜T3の3つの期間に分割している。
第1〜第3の期間T1〜T3における図22の画素回路の動作は、図17に示した画素回路の動作と同じである。つまり、第1の期間T1では、第1の保持容量2206に第1のトランジスタ2201の閾値電圧|Vth|を保持する。次に、第2の期間T2では、第1及び第2の保持容量2206、2207に、第1のトランジスタ2201がビデオ信号電流Idataを流すのに必要なゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|を保持する。そして、第3の期間T3では、発光素子2216にビデオ信号電流Idataよりも小さい電流IOLEDが流れ、発光素子2216が発光する。なお、発光素子2216に流れる電流IOLEDは、図17で示した画素回路と同様に(9)式で表される。
図22に示した画素回路においても、発光素子2216に流れる電流IOLEDは、第1のトランジスタ2201の閾値電圧Vthや移動度(定数βに含まれる)に依存しない形で表されるため、トランジスタの閾値電圧や移動度のばらつきを補償することができる。
また、発光素子2216に流れる電流IOLEDは、ビデオ信号電流Idataに比べて[C/(C+C)]倍ほど小さい値になっているため、電流IOLEDに対して[(C+C)/C倍だけ大きい電流をビデオ信号電流Idataとして流すことが可能となる。これにより、一水平走査期間内に信号線を十分に充電させることができ、低階調を表示させる場合でも正しく表示させることが可能となる。
また、発光素子2216に流れる電流IOLEDは、第1及び第2の保持容量2206、2207の容量比に依存し、容量比が一定であればIOLEDも一定となる。ここで、第1及び第2の保持容量は、通常は同一工程で作成されることから、仮に製造時におけるマスクパターンの位置合わせにずれが生じたとしても、容量の誤差は第1及び第2の保持容量2206、2207においてほぼ等しい割合となる。したがって、製造誤差が生じた場合であっても[C/(C+C)]の値はほぼ一定の値を維持することが可能であり、IOLEDもほぼ一定の値を維持することが可能である。
また、図22に示した画素回路においても、第1及び第2の保持容量2206、2207を容量線2215と第1のトランジスタ2201のゲート電極との間に接続することにより、第1及び第2の保持容量をMOSトランジスタで形成した場合、該MOSトランジスタのゲートとソースとの間に、常に該MOSトランジスタの閾値電圧よりも大きい電圧がかかるため、該MOSトランジスタを常に保持容量として機能させることができる。したがって、画素回路の動作過程の中で、保持容量に所望の電圧を正しく保持することが可能となる。
以上より、本実施形態の画素構成によって、トランジスタの閾値電圧のばらつきを補償して輝度のばらつきを低減させることができるため、画質を向上させることができる。
なお、本実施形態では、第1の電源線を接地電位(GND)としたが、これに限定されない。電源電圧VDDと第1のトランジスタ2201の閾値電圧|Vth|の差VDD−|Vth|よりも低い電位であればよい。また、容量線の電位を電源電位VDDとしたが、これに限定されない。第1のトランジスタ2201の閾値電圧|Vth|よりも高い電位であればよい。
なお、本実施形態では、第1〜第5のトランジスタをすべてPチャネル型、もしくはすべてNチャネル型というように、同じ導電形式のトランジスタとしていたが、これに限定されない。Pチャネル型とNチャネル型とを両方とも用いて回路を構成してもよい。
例えば、第2及び第4のトランジスタをNチャネル型とし、第1、第3、第5のトランジスタをPチャネル型としてもよい。この画素回路を図24に示す。また、信号線及び第1〜第4の走査線に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを図25に示す。
図24の画素回路は、第1〜第5のトランジスタ2401〜2405、第1及び第2の保持容量2406、2407、信号線2408、第1〜第4の走査線2409〜2412、第1及び第2の電源線2413、2414、容量線2415、発光素子2416、電流源回路2417から構成されている。なお、電流源回路2417は、各信号線(各列)に配置されている。
図24に示すような回路構成にすると、図25に示したように、第1の走査線と第2の走査線とに入力されるパルスのタイミングが同じとなるため、第2のトランジスタと第3のトランジスタを共通の走査線によって制御することができる。同様に、第3の走査線と第4の走査線とに入力されるパルスのタイミングが同じとなるため、第4のトランジスタと第5のトランジスタを共通の走査線によって制御することができる。ここで、第2のトランジスタと第3のトランジスタとを第1の走査線によって制御し、第4のトランジスタと第5のトランジスタとを第3の走査線によって制御した場合の例を図52に示す。
また、別の例として、第2及び第4のトランジスタをPチャネル型とし、第1、第3、第5のトランジスタをNチャネル型としてもよい。この画素回路を図26に示す。また、信号線及び第1〜第4の走査線に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを図27に示す。
図26の画素回路は、第1〜第5のトランジスタ2601〜2605、第1及び第2の保持容量2606、2607、信号線2608、第1〜第4の走査線2609〜2612、第1及び第2の電源線2613、2614、容量線2615、発光素子2616、電流源回路2617から構成されている。なお、電流源回路2617は、各信号線(各列)に配置されている。
図26に示すような回路構成にすると、図27に示したように、第1の走査線と第2の走査線とに入力されるパルスのタイミングが同じとなるため、第2のトランジスタと第3のトランジスタを共通の走査線によって制御することができる。同様に、第3の走査線と第4の走査線とに入力されるパルスのタイミングが同じとなるため、第4のトランジスタと第5のトランジスタを共通の走査線によって制御することができる。ここで、第2のトランジスタと第3のトランジスタとを第1の走査線によって制御し、第4のトランジスタと第5のトランジスタとを第3の走査線によって制御した場合の例を図53に示す。
図24〜図27、図52、図53に示したように、第2のトランジスタと第3のトランジスタを互いに異なる導電形式とすると、第2のトランジスタと第3のトランジスタを共通の走査線によって制御できる。同様に、第4のトランジスタと第5のトランジスタを互いに異なる導電形式とすると、第4のトランジスタと第5のトランジスタを共通の走査線によって制御できる。これにより、走査線の本数を減らすことができ、画素の開口率を上げることができる。また、走査線駆動回路の数も減らすことができるため、消費電力を削減することができる。
なお、第1〜第5のトランジスタのどのトランジスタがどちらの導電形式であるかについては、上記の内容に限定されない。
なお、本実施形態では、第3のトランジスタの第2の電極、及び第2の保持容量の第2の電極を、共通の容量線に接続したが、第3のトランジスタの第2の電極、及び第2の保持容量の第2の電極を、それぞれ異なる配線に接続してもよい。
例えば、図17に示した回路において、第3のトランジスタの第2の電極、及び第2の保持容量の第2の電極を、それぞれ異なる配線に接続した場合の画素構成を、図75に示す。図75に示した画素構成において、第3のトランジスタ1703の第2の電極は、第1の容量線7515に接続され、第2の保持容量1707の第2の電極は、第2の容量線7525に接続される。
図75に示したように、第3のトランジスタの第2の電極、及び第2の保持容量の第2の電極を、それぞれ異なる配線に接続することにより、第1及び第2の保持容量に保持する電圧を制御することができる。
なお、実施の形態1で示した画素回路と同様に、保持容量に第1のトランジスタの閾値電圧を保持させる前に、保持容量に保持される電圧を初期化する期間を設けてもよい。初期化を行うための一つの方法として、発光素子に電流を流すことにより、第1のトランジスタの第2の電極の電位を変動させる方法を用いてもよい。
例えば、図17に示した画素回路において初期化を行う場合のタイミングチャートを図76に示す。図76は信号線1708及び第1〜第4の走査線1709〜1712に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示しており、画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期をT0〜T3の4つの期間に分割している。
初期化の動作は、期間T0で行う。期間T0では、第2〜第4の走査線1710〜1712がLレベルとなり、第3〜第5のトランジスタ1703〜1705がオンする。また、第1の走査線1709がHレベルとなり、第2のトランジスタ1702がオフする。これにより、第1のトランジスタ1701はダイオード接続の状態となり、発光素子1716に電流が流れる。その結果、第1のトランジスタ1701の第2の電極、及び第1の保持容量1706の第1の電極の電位が下降し、第1の保持容量1706にある初期電圧が保持される。
以上の動作により、期間T0では、第1の保持容量1706に、ある初期電圧を保持する。
また、初期化を行うための別の方法として、これまで示してきた画素回路に、新たに初期化用トランジスタ(第6のトランジスタ)と初期化用電源線(第3の電源線)を設ければよい。
例えば、図17に示した画素回路に初期化用トランジスタを設けた場合の例を図28に示す。図28では、図17に示した画素回路に、第6のトランジスタ2818、第5の走査線2819、第3の電源線2820を加えている。なお、第6のトランジスタ2818は、ゲート電極が、第5の走査線2819に接続され、第1の電極が、第1のトランジスタ1701の第2の電極、及び第4のトランジスタ1704の第1の電極、及び第5のトランジスタ1705の第1の電極に接続され、第2の電極が、第3の電源線2820に接続されている。
なお、図28において、第6のトランジスタ2818をPチャネル型としたが、これに限定されない。Nチャネル型でもよい。
次に、図28に示した画素回路の動作について、図29、図30を用いて説明する。
図29は、信号線1708及び第1〜第5の走査線1709〜1712、2819に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示しており、画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期をT0〜T3の4つの期間に分割している。
初期化の動作は、期間T0で行う。期間T0における画素回路の動作について、図30を用いて説明する。期間T0では、第2、第3、第5の走査線1710、1711、2819がLレベルとなり、第3、第4、第6のトランジスタ1703、1704、2818がオンする。また、第1及び第4の走査線1709、1712がHレベルとなり、第2及び第5のトランジスタ1702、1705がオフする。これにより、第1のトランジスタ1701はダイオード接続の状態となり、第3の電源線2820に電流が流れる。その結果、第1のトランジスタ1701の第2の電極、及び第1の保持容量1706の第1の電極の電位が第3の電源線2820の電位と等しくなり、第1の保持容量1706に第3の電源線2820の電位と容量線1715の電位の差に相当する電圧が保持される。
以上の動作により、期間T0では、第1の保持容量1706に初期電圧として、第3の電源線2820の電位と容量線1715の電位の差に相当する電圧を保持する。
また、期間T1〜T3においては、第5の走査線2819をHレベルとし、第6のトランジスタ2818をオフとする。そして、図17に示した画素回路と同じ動作を行う。つまり、期間T1では、第1の保持容量1706に第1のトランジスタ1701の閾値電圧|Vth|を保持する。次に、期間T2では、第1及び第2の保持容量1706、1707に、第1のトランジスタ1701がビデオ信号電流Idataを流すのに必要なゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|を保持する。そして、期間T3では、発光素子1716にビデオ信号電流Idataよりも小さい電流IOLEDが流れ、発光素子1716が発光する。なお、発光素子1716に流れる電流IOLEDは、図17で示した画素回路と同様に(9)式で表される。
なお、図17に示した画素回路の場合、保持容量に第1のトランジスタの閾値電圧を保持させるためには、予め第1のトランジスタの第2の電極の電位を、電源電位VDDと第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|の差に相当する電圧、つまりVDD−|Vth|よりも低くしておかなければならない。したがって、初期化の期間を設けることにより、第1のトランジスタの第2の電極の電位を、確実にVDD−|Vth|よりも低くすることができ、閾値電圧の補償を確実に行うことができるようになる。
なお、図28では、第3の電源線2820の電位を接地電位(GND)としたが、これに限定されない。電源電圧VDDと第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|の差VDD−|Vth|よりも低い電位であればよい。また、第3の電源線2820の電位は、容量線1715の電位と必ずしも等しくなくてよい。
なお、本実施形態では、第6のトランジスタ2818の第1の電極を、第1のトランジスタ1701の第2の電極、及び第4のトランジスタ1704の第1の電極、及び第5のトランジスタ1705の第1の電極に接続したが、第6のトランジスタ2818の第1の電極の接続先は、これに限定されない。例えば、図77に示すように、第6のトランジスタ2818の第1の電極を、第1のトランジスタ1701のゲート電極、及び第2のトランジスタ1702の第1の電極、及び第4のトランジスタ1704の第2の電極、及び第1の保持容量1706の第1の電極に接続してもよい。
また、別の例として、図22に示した画素回路に初期化用トランジスタを設けた場合の例を図31に示す。図31では、図22に示した画素回路に、第6のトランジスタ3118、第5の走査線3119、第3の電源線3120を加えている。なお、第6のトランジスタ3118は、ゲート電極が、第5の走査線3119に接続され、第1の電極が、第1のトランジスタ2201の第2の電極、及び第4のトランジスタ2204の第1の電極、及び第5のトランジスタ2205の第1の電極に接続され、第2の電極が、第3の電源線3120に接続されている。
なお、図31において、第6のトランジスタ3118をNチャネル型としたが、これに限定されない。Pチャネル型でもよい。
次に、図31に示した画素回路の動作について、図32を用いて説明する。
図32は、信号線2208及び第1〜第5の走査線2209〜2212、3119に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示しており、画素回路の各動作に合わせて、画素回路の動作周期をT0〜T3の4つの期間に分割している。なお、第1〜第6のトランジスタが全てNチャネル型であるため、第1〜第5の走査線2209〜2212、3119に入力されるパルスのタイミングについては、全てのトランジスタがPチャネル型である場合(図28)に対してHレベル及びLレベルが反転している。
初期化の動作は、期間T0で行う。期間T0における画素回路の動作は、図28に示した画素回路と同じである。つまり、期間T0では、第1の保持容量2206に初期電圧として、容量線2215の電位と第3の電源線3120の電位の差に相当する電圧を保持する。
また、期間T1〜T3においては、第5の走査線3119をLレベルとし、第6のトランジスタ3118をオフとする。そして、図22に示した画素回路と同じ動作を行う。つまり、期間T1では、第1の保持容量2206に第1のトランジスタ2201の閾値電圧|Vth|を保持する。次に、期間T2では、第1及び第2の保持容量2206、2207に、第1のトランジスタ2201がビデオ信号電流Idataを流すのに必要なゲートとソースとの間の電圧|Vgs(T2)|を保持する。そして、期間T3では、発光素子2216にビデオ信号電流Idataよりも小さい電流IOLEDが流れ、発光素子2216が発光する。なお、発光素子2216に流れる電流IOLEDは、図17で示した画素回路と同様に(9)式で表される。
なお、図22に示した画素回路の場合、保持容量に第1のトランジスタの閾値電圧を保持させるためには、予め第1のトランジスタの第2の電極の電位を、第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|よりも高くしておかなければならない。したがって、初期化の期間を設けることにより、第1のトランジスタの第2の電極の電位を、確実に第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|よりも高くすることができ、閾値電圧の補償を確実に行うことができるようになる。
なお、図31では、第3の電源線3120の電位を電源電位VDDとしたが、これに限定されない。第1のトランジスタの閾値電圧よりも高い電位であればよい。また、第3の電源線3120の電位は、容量線2215の電位と必ずしも等しくなくてよい。
なお、本実施形態では、第6のトランジスタ3118の第1の電極を、第1のトランジスタ2201の第2の電極、及び第4のトランジスタ2204の第1の電極、及び第5のトランジスタ2205の第1の電極に接続したが、第6のトランジスタ3118の第1の電極の接続先は、これに限定されない。例えば、図78に示すように、第6のトランジスタ3118の第1の電極を、第1のトランジスタ2201のゲート電極、及び第2のトランジスタ2202の第1の電極、及び第4のトランジスタ2204の第2の電極、及び第1の保持容量2206の第1の電極に接続してもよい。
なお、本実施形態では、第2の電源線の電位を固定電位としているが、これに限定されない。実施の形態1で示したように、第1〜第3の期間に応じて、第2の電源線の電位を変えてもよい。
例えば、図17に示した画素回路において第2の電源線の電位を変化させる場合の例を図58、図59に示す。
図58では、図17に示した画素回路に対して、第1のトランジスタ1701の第2の電極が発光素子1716の第1の電極と接続されている。また、図59は、信号線1708及び第1〜第3の走査線1709〜1711、第2の電源線1714に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示している。第1及び第2の期間T1、T2で第2の電源線1714の電位を高くすることにより発光素子1716に逆方向のバイアスがかかるため、期間T1、T2で発光素子1716に電流が流れなくなる。
なお、第1及び第2の期間T1、T2では、第2の電源線1714の電位を電源電位VDDと第1のトランジスタ1701の閾値電圧|Vth|との差、つまりVDD−|Vth|よりも高くすることにより、上記の動作を行うことができる。
また、初期化期間を設ける場合は、初期化期間でも第2の電源線1714の電位をVDD−|Vth|よりも高くすることにより、発光素子1716に電流を流さないようにする。
また、別の例として、図22に示した画素回路において第2の電源線の電位を変化させる場合の例を図60、図61に示す。
図60では、図22に示した画素回路に対して、第1のトランジスタ2201の第2の電極が発光素子2216の第2の電極と接続されている。また、図61は、信号線2208及び第1〜第3の走査線2209〜2211、第2の電源線2214に入力されるビデオ信号電流及びパルスのタイミングを示している。第1及び第2の期間T1、T2で第2の電源線2214の電位を低くすることにより発光素子2216に逆方向のバイアスがかかるため、期間T1、T2で発光素子2216に電流が流れなくなる。
なお、第1及び第2の期間T1、T2では、第2の電源線2214の電位を第1のトランジスタ2201の閾値電圧|Vth|よりも低くすることにより、上記の動作を行うことができる。
また、初期化期間を設ける場合は、初期化期間でも第2の電源線2214の電位を第1のトランジスタ2201の閾値電圧|Vth|よりも低くすることにより、発光素子2216に電流を流さないようにする。
図58〜図61に示したように、第2の電源線の電位を期間によって変化させることにより、第5のトランジスタ及び第4の走査線を設ける必要がなくなるため、画素の開口率を上げることができる。
なお、本実施形態で述べた内容は、実施の形態1で述べた内容と自由に組み合わせて実施することができる。
(実施の形態3)
本実施形態では、表示装置における信号線駆動回路や走査線駆動回路などの構成とその動作について説明する。
例えば、図1に示したような、信号線と第1〜第4の走査線とを用いて動作を制御する画素回路を有する表示装置は、図62に示すような構成となっている。図62に示した表示装置は、画素部6201、第1〜第4の走査線駆動回路6202〜6205、信号線駆動回路6206を有している。
まずは、信号線駆動回路について説明する。信号線駆動回路6206は、信号線6211を介して、画素部6201にビデオ信号電流を順次出力する。画素部6201では、ビデオ信号電流に従って、光の状態を制御することにより、画像を表示する。
信号線駆動回路6206の構成の一例を図63(A)、(B)に示す。信号線駆動回路6206は、主に、シフトレジスタ6301、第1のラッチ回路6302、第2のラッチ回路6303、電流源回路6304から構成されている。
ここで、信号線駆動回路6206の動作を簡単に説明する。シフトレジスタ6301には、クロック信号(S−CLK)、スタートパルス(S−SP)、クロック反転信号(S−CLKB)が入力され、これらの信号のタイミングに従って、順次サンプリングパルスが出力される。
シフトレジスタ6301より出力されたサンプリングパルスは、第1のラッチ回路6302に入力される。第1のラッチ回路6302には、ビデオ信号線より、ビデオ信号が電圧Vdataで入力されており、サンプリングパルスが入力されるタイミングに従って、各列でビデオ信号を保持していく。ここで、ビデオ信号は、デジタル信号とする。
第1のラッチ回路6302において、最終列までビデオ信号の保持が完了すると、水平帰線期間中に、ラッチ制御線よりラッチ信号が入力され、第1のラッチ回路6302に保持されていたビデオ信号は、一斉に第2のラッチ回路6303に転送される。その後、第2のラッチ回路6303に保持されたビデオ信号は、1行分が同時に電流源回路6304へと入力される。そして、電流源回路にて、ビデオ信号電圧Vdataがビデオ信号電流Idataに変換され、各信号線から画素部6201へ入力される。
第2のラッチ回路6303に保持されたビデオ信号が電流源回路6304に入力され、そして、画素部6201に入力されている間、シフトレジスタ6301においては再びサンプリングパルスが出力される。つまり、同時に2つの動作が行われる。これにより、線順次駆動が可能となる。以後、この動作を繰り返す。
図63(A)、(B)に示した信号線駆動回路の違いは、ビデオ信号電圧をビデオ信号電流に変換する方法である。
図63(A)に示した信号線駆動回路では、第2のラッチ回路6303に保持されたデジタルビデオ信号が、電流源回路6304A〜6304Cに入力される。ここで、電流源回路6304A〜6304Cは、それぞれから出力される電流値が異なっている。例えば、電流値の比が1:2:4となっている。つまり、並列にn個の電流源回路を配置し、その電流値の比を1:2:4:・・・2n−1とし、各電流源回路から出力される電流を足し合わせることにより、出力される電流値Idataを線形的に変化させることが出来る。
図63(B)に示した信号線駆動回路では、第2のラッチ回路6303に保持されたデジタルビデオ信号が、ラッチ信号の入力によってD/A変換回路6305へと転送され、アナログビデオ信号へと変換され、該アナログビデオ信号が各電流源回路6304へと入力されて、ビデオ信号電流Idataが出力される。
また、このようなD/A変換回路6305に、例えばガンマ補正用の機能を持たせてもよい。
次に、走査線駆動回路について説明する。第1〜第4の走査線駆動回路6202〜6205は、画素部6201に選択信号を順次出力する。第1〜第4の走査線駆動回路6202〜6205の構成の一例を図64に示す。走査線駆動回路は、主に、シフトレジスタ6401や増幅回路6402などから構成されている。
次に、図64に示した第1〜第4の走査線駆動回路6202〜6205の動作を簡単に説明する。シフトレジスタ6401には、クロック信号(G−CLK)、スタートパルス(G−SP)、クロック反転信号(G−CLKB)が入力され、これらの信号のタイミングに従って、順次サンプリングパルスが出力される。出力されたサンプリングパルスは、増幅回路6402で増幅され、各走査線から画素部6201へ入力される。
なお、増幅回路6402の構成として、バッファ回路を有してもよいし、レベルシフタ回路を有してもよい。また、走査線駆動回路には、シフトレジスタ6401や増幅回路6402の他に、パルス幅制御回路などが配置されてもよい。
ここで、第1〜第4の走査線駆動回路6202〜6205は、それぞれ、第1〜第4の走査線6207〜6210に順次選択信号を出力するための駆動回路である。
以上のような信号線駆動回路及び走査線駆動回路を用いることにより、本発明の画素回路を駆動させることができる。
なお、例えば、図1に示した画素回路においては、第1及び第2の走査線には互いに反転した選択信号が入力される。よって、第1及び第2の走査線駆動回路のどちらか一方を用いて、第1及び第2の走査線のどちらか一方に入力される選択信号を制御し、他方の走査線には、その反転信号を入力してもよい。同様に、第3及び第4の走査線には互いに反転した選択信号が入力されるため、第3及び第4の走査線駆動回路のどちらか一方を用いて、第3及び第4の走査線のどちらか一方に入力される選択信号を制御し、他方の走査線には、その反転信号を入力してもよい。この場合の表示装置の構成例を図65に示す。図65では、第1及び第3の走査線駆動回路6202、6204を用いて第1及び第3の走査線6207、6209に入力される選択信号を制御する。また、第1及び第3の走査線6207、6209に入力された選択信号の反転信号を、インバータ6212、6213を用いて生成し、第2及び第4の走査線6208、6210に入力する。
また、例えば、図50に示した画素回路のように、第2及び第3のトランジスタ、または第4及び第5のトランジスタを共通の走査線を用いて制御する場合の表示装置の構成例を図66に示す。図66は、第2及び第3のトランジスタを第1の走査線を用いて制御し、第4及び第5のトランジスタを第3の走査線を用いて制御する場合で、第1及び第3の走査線6207、6209を第1及び第3の走査線駆動回路6202、6204で制御する。
なお、信号線駆動回路や走査線駆動回路などの構成は、図62〜図66に限定されない。
なお、本発明におけるトランジスタは、どのようなタイプのトランジスタでもよいし、どのような基板上に形成されていてもよい。したがって、図62〜図66で示したような回路が、全てガラス基板上に形成されていてもよいし、プラスチック基板に形成されていてもよいし、単結晶基板に形成されていてもよいし、SOI基板上に形成されていてもよいし、どのような基板上に形成されていてもよい。あるいは、図62〜図66における回路の一部が、ある基板に形成されており、図62〜図66における回路の別の一部が、別の基板に形成されていてもよい。つまり、図62〜図66における回路の全てが同じ基板上に形成されていなくてもよい。例えば、図62〜図66において、画素部と走査線駆動回路をガラス基板上にトランジスタを用いて形成し、信号線駆動回路(もしくはその一部)を単結晶基板上に形成したICチップをCOG(Chip On Glass)で接続してガラス基板上に配置してもよい。あるいは、そのICチップをTAB(Tape Automated Bonding)やプリント基板を用いてガラス基板と接続してもよい。
なお、本実施の形態で述べた内容は、実施の形態1〜実施の形態2で述べた内容と自由に組み合わせて実施することができる。
(実施の形態4)
本実施形態では、本発明の表示装置に用いる表示パネルについて図79などを用いて説明する。なお、図79(A)は、表示パネルを示す上面図、図79(B)は図79(A)をA−A’で切断した断面図である。点線で示された信号線駆動回路7901、画素部7902、第1の走査線駆動回路7903、第2の走査線駆動回路7906を有する。また、封止基板7904、シール材7905を有し、シール材7905で囲まれた内側は、空間7907になっている。
なお、配線7908は第1の走査線駆動回路7903、第2の走査線駆動回路7906及び信号線駆動回路7901に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子となるFPC7909からビデオ信号、クロック信号、スタート信号等を受け取る。FPC7909と表示パネルとの接続部上にはICチップ(メモリ回路や、バッファ回路などが形成された半導体チップ)7919がCOG(Chip On Glass)等で実装されている。なお、ここではFPCしか図示されていないが、このFPCにはプリント配線基板(PWB)が取り付けられていてもよい。
次に、断面構造について図79(B)を用いて説明する。基板7910上には画素部7902とその周辺駆動回路(第1の走査線駆動回路7903、第2の走査線駆動回路7906及び信号線駆動回路7901)が形成されているが、ここでは、信号線駆動回路7901と、画素部7902が示されている。
なお、信号線駆動回路7901は、トランジスタ7920やトランジスタ7921など多数のトランジスタで構成されている。また、本実施形態では、基板上に画素部と周辺駆動回路を一体形成した表示パネルを示すが、必ずしもその必要はなく、周辺駆動回路の全部もしくは一部をICチップなどに形成し、COGなどで実装してもよい。
また、画素部7902は、スイッチング用トランジスタ7911と、駆動用トランジスタ7912とを含む画素を構成する複数の回路を有している。なお、駆動用トランジスタ7912のソース電極は第1の電極7913と接続されている。また、第1の電極7913の端部を覆って絶縁膜7914が形成されている。ここでは、ポジ型の感光性アクリル樹脂膜を用いることにより形成する。
また、カバレッジを良好なものとするため、絶縁膜7914の上端部または下端部に曲率を有する曲面が形成されるようにする。例えば、絶縁膜7914の材料としてポジ型の感光性アクリルを用いた場合、絶縁膜7914の上端部のみに曲率半径(0.2μm〜3μm)を有する曲面を持たせることが好ましい。また、絶縁膜7914として、感光性の光によってエッチャントに不溶解性となるネガ型、あるいは光によってエッチャントに溶解性となるポジ型のいずれも使用することができる。
第1の電極7913上には、有機化合物を含む層7916、及び第2の電極7917がそれぞれ形成されている。ここで、陽極として機能する第1の電極7913に用いる材料としては、仕事関数の大きい材料を用いることが望ましい。例えば、ITO(インジウム錫酸化物)膜、インジウム亜鉛酸化物(IZO)膜、窒化チタン膜、クロム膜、タングステン膜、Zn膜、Pt膜などの単層膜の他、窒化チタン膜とアルミニウムを主成分とする膜との積層、窒化チタン膜とアルミニウムを主成分とする膜と窒化チタン膜との3層構造等を用いることができる。なお、積層構造とすると、配線としての抵抗も低く、良好なオーミックコンタクトがとれ、さらに陽極として機能させることができる。
また、有機化合物を含む層7916は、蒸着マスクを用いた蒸着法、またはインクジェット法によって形成される。有機化合物を含む層7916には、元素周期表の第4族金属錯体をその一部に用いることとし、その他、組み合わせて用いることのできる材料としては、低分子系材料であっても高分子系材料であってもよい。また、有機化合物を含む層に用いる材料としては、通常、有機化合物を単層もしくは積層で用いる場合が多いが、本実施形態においては、有機化合物からなる膜の一部に無機化合物を用いる構成も含めることとする。さらに、公知の三重項材料を用いることも可能である。
さらに、有機化合物を含む層7916上に形成される、陰極である第2の電極7917に用いる材料としては、仕事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn、AlLi、CaF、または窒化カルシウム)を用いればよい。なお、有機化合物を含む層7916で生じた光が第2の電極7917を透過させる場合には、第2の電極7917として、膜厚を薄くした金属薄膜と、透明導電膜(ITO(インジウム錫酸化物))、酸化インジウム酸化亜鉛合金(In―ZnO)、酸化亜鉛(ZnO)等)との積層を用いるのがよい。
さらに、シール材7905で封止基板7904を基板7910と貼り合わせることにより、基板7910、封止基板7904、及びシール材7905で囲まれた空間7907に発光素子7918が備えられた構造になっている。なお、空間7907には、不活性気体(窒素やアルゴン等)が充填される場合の他、シール材7905で充填される構成も含むものとする。
なお、シール材7905にはエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。また、これらの材料はできるだけ水分や酸素を透過しない材料であることが望ましい。また、封止基板7904に用いる材料としてガラス基板や石英基板の他、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)、PVF(ポリビニルフロライド)、マイラー、ポリエステルまたはアクリル等からなるプラスチック基板を用いることができる。
以上のようにして、本発明の画素構成を有する表示パネルを得ることができる。
図79に示すように、信号線駆動回路7901、画素部7902、第1の走査線駆動回路7903及び第2の走査線駆動回路7906を一体形成することで、表示装置の低コスト化が図れる。なお、信号線駆動回路7901、画素部7902、第1の走査線駆動回路7903及び第2の走査線駆動回路7906に用いられるトランジスタを単極性とすることで作製工程の簡略化が図れるためさらなる低コスト化が図れる。また、信号線駆動回路7901、画素部7902、第1の走査線駆動回路7903及び第2の走査線駆動回路7906に用いられるトランジスタの半導体層にアモルファスシリコンを適用することでさらなる低コスト化を図ることができる。
なお、表示パネルの構成としては、図79(a)に示したように信号線駆動回路7901、画素部7902、第1の走査線駆動回路7903及び第2の走査線駆動回路7906を一体形成した構成に限定されず、信号線駆動回路7901に相当する信号線駆動回路をICチップ上に形成して、COG等で表示パネルに実装した構成としてもよい。
つまり、駆動回路の高速動作が要求される信号線駆動回路のみを、CMOS等を用いてICチップに形成し、低消費電力化を図る。また、ICチップはシリコンウエハ等の半導体チップとすることで、より高速動作且つ低消費電力化を図れる。
そして、走査線駆動回路を画素部と一体形成することで、低コスト化が図れる。なお、この走査線駆動回路及び画素部は単極性のトランジスタで構成することでさらなる低コスト化が図れる。画素部の有する画素の構成としては、実施の形態1〜実施の形態2で示した構成を適用することができる。また、トランジスタの半導体層にアモルファスシリコンを用いることで、作製工程が簡略化し、さらなる低コスト化が図れる。
こうして、高精細な表示装置の低コスト化が図れる。また、FPC7909と基板7910との接続部において機能回路(メモリやバッファ)が形成されたICチップを実装することで基板面積を有効利用することができる。
また、図79(A)の信号線駆動回路7901、第1の走査線駆動回路7903及び第2の走査線駆動回路7906に相当する信号線駆動回路、第1の走査線駆動回路及び第2の走査線駆動回路をICチップ上に形成して、COG等で表示パネルに実装した構成としてもよい。この場合には高精細な表示装置をより低消費電力にすることが可能である。よって、より消費電力が少ない表示装置とするため、画素部に用いられるトランジスタの半導体層にはポリシリコンを用いることが望ましい。
また、画素部7902のトランジスタの半導体層にアモルファスシリコンを用いることにより低コスト化を図ることができる。さらに、大型の表示パネルを作製することも可能となる。
なお、走査線駆動回路及び信号線駆動回路は、画素の行方向及び列方向に設けることに限定されない。
次に、発光素子7918に適用可能な発光素子の例を図80に示す。
基板8001の上に陽極8002、正孔注入材料からなる正孔注入層8003、その上に正孔輸送材料からなる正孔輸送層8004、発光層8005、電子輸送材料からなる電子輸送層8006、電子注入材料からなる電子注入層8007、そして陰極8008を積層させた素子構造である。ここで、発光層8005は、一種類の発光材料のみから形成されることもあるが、2種類以上の材料から形成されてもよい。また本発明の素子の構造は、この構造に限定されない。
また、図80で示した各機能層を積層した積層構造の他、高分子化合物を用いた素子、発光層に三重項励起状態から発光する三重項発光材料を利用した高効率素子など、バリエーションは多岐にわたる。ホールブロック層によってキャリヤの再結合領域を制御し、発光領域を2つの領域に分けることによって得られる白色発光素子などにも応用可能である。
次に、図80に示す本発明の素子作製方法について説明する。まず、陽極8002(ITO(インジウム錫酸化物))を有する基板8001に正孔注入材料、正孔輸送材料、発光材料を順に蒸着する。次に電子輸送材料、電子注入材料を蒸着し、最後に陰極8008を蒸着で形成する。
次に、正孔注入材料、正孔輸送材料、電子輸送材料、電子注入材料、発光材料の材料に好適な材料を以下に列挙する。
正孔注入材料としては、有機化合物でればポルフィリン系の化合物や、フタロシアニン(以下「HPc」と記す)、銅フタロシアニン(以下「CuPc」と記す)などが有効である。また、使用する正孔輸送材料よりもイオン化ポテンシャルの値が小さく、かつ、正孔輸送機能をもつ材料であれば、これも正孔注入材料として使用できる。導電性高分子化合物に化学ドーピングを施した材料もあり、ポリスチレンスルホン酸(以下「PSS」と記す)をドープしたポリエチレンジオキシチオフェン(以下「PEDOT」と記す)や、ポリアニリンなどが挙げられる。また、絶縁体の高分子化合物も陽極の平坦化の点で有効であり、ポリイミド(以下「PI」と記す)がよく用いられる。さらに、無機化合物も用いられ、金や白金などの金属薄膜の他、酸化アルミニウム(以下「アルミナ」と記す)の超薄膜などがある。
正孔輸送材料として最も広く用いられているのは、芳香族アミン系(すなわち、ベンゼン環−窒素の結合を有するもの)の化合物である。広く用いられている材料として、4,4’−ビス(ジフェニルアミノ)−ビフェニル(以下、「TAD」と記す)や、その誘導体である4,4’−ビス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニル−アミノ]−ビフェニル(以下、「TPD」と記す)、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニル−アミノ]−ビフェニル(以下、「α−NPD」と記す)がある。4,4’,4”−トリス(N,N− ジフェニル−アミノ)−トリフェニルアミン(以下、「TDATA」と記す)、4,4’,4”−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N− フェニル−アミノ]−トリフェニルアミン(以下、「MTDATA」と記す)などのスターバースト型芳香族アミン化合物が挙げられる。
電子輸送材料としては、金属錯体がよく用いられ、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(以下、「Alq」と記す)、BAlq、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(以下、「Almq」と記す)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(以下、「Bebq」と記す)などのキノリン骨格またはベンゾキノリン骨格を有する金属錯体などがある。また、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾオキサゾラト]亜鉛(以下、「Zn(BOX)」と記す)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾチアゾラト]亜鉛(以下、「Zn(BTZ)」と記す)などのオキサゾール系、チアゾール系配位子を有する金属錯体もある。さらに、金属錯体以外にも、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(以下、「PBD」と記す)、OXD−7などのオキサジアゾール誘導体、TAZ、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−(4−エチルフェニル)−5−(4−ビフェニリル)−1、2、4−トリアゾール(以下、「p−EtTAZ」と記す)などのトリアゾール誘導体、バソフェナントロリン(以下、「BPhen」と記す)、BCPなどのフェナントロリン誘導体が電子輸送性を有する。
電子注入材料としては、上で述べた電子輸送材料を用いることができる。その他に、フッ化カルシウム、フッ化リチウム、フッ化セシウムなどの金属ハロゲン化物や、酸化リチウムなどのアルカリ金属酸化物のような絶縁体の、超薄膜がよく用いられる。また、リチウムアセチルアセトネート(以下、「Li(acac)」と記す)や8−キノリノラト−リチウム(以下、「Liq」と記す)などのアルカリ金属錯体も有効である。
発光材料としては、先に述べたAlq、Almq、BeBq、BAlq、Zn(BOX)、Zn(BTZ)などの金属錯体の他、各種蛍光色素が有効である。蛍光色素としては、青色の4,4’−ビス(2,2 − ジフェニル−ビニル)−ビフェニルや、赤橙色の4−(ジシアノメチレン)−2−メチル−6−(p−ジメチルアミノスチリル)−4H−ピランなどがある。また、三重項発光材料も可能であり、白金ないしはイリジウムを中心金属とする錯体が主体である。三重項発光材料として、トリス(2−フェニルピリジン)イリジウム、ビス(2−(4’−トリル)ピリジナト−N,C2’)アセチルアセトナトイリジウム(以下「acacIr(tpy)」と記す)、 2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−21H,23Hポルフィリン−白金などが知られている。
以上で述べたような各機能を有する材料を、各々組み合わせ、高信頼性の発光素子を作製することができる。
また、図80とは逆の順番に層を形成した発光素子を用いることもできる。つまり、基板8001の上に陰極8008、電子注入材料からなる電子注入層8007、その上に電子輸送材料からなる電子輸送層8006、発光層8005、正孔輸送材料からなる正孔輸送層8004、正孔注入材料からなる正孔注入層8003、そして陽極8002を積層させた素子構造である。
また、発光素子は発光を取り出すために少なくとも陽極又は陰極の一方が透明であればよい。そして、基板上にトランジスタ及び発光素子を形成し、基板とは逆側の面から発光を取り出す上面射出や、基板側の面から発光を取り出す下面射出や、基板側及び基板とは反対側の面から発光を取り出す両面射出構造の発光素子があり、本発明の画素構成はどの射出構造の発光素子にも適用することができる。
まず、上面射出構造の発光素子について、図81(A)を用いて説明する。
基板8100上に駆動用トランジスタ8101が形成され、駆動用トランジスタ8101のソース電極に接して第1の電極8102が形成され、その上に有機化合物を含む層8103と第2の電極8104が形成されている。
また、第1の電極8102は発光素子の陽極である。そして、第2の電極8104は発光素子の陰極である。つまり、第1の電極8102と第2の電極8104とで有機化合物を含む層8103が挟まれているところが発光素子となる。
また、ここで、陽極として機能する第1の電極8102に用いる材料としては、仕事関数の大きい材料を用いることが望ましい。例えば、窒化チタン膜、クロム膜、タングステン膜、Zn膜、Pt膜などの単層膜の他、窒化チタン膜とアルミニウムを主成分とする膜との積層、窒化チタン膜とアルミニウムを主成分とする膜と窒化チタン膜との3層構造等を用いることができる。なお、積層構造とすると、配線としての抵抗も低く、良好なオーミックコンタクトがとれ、さらに陽極として機能させることができる。光を反射する金属膜を用いることで光を透過させない陽極を形成することができる。
また、陰極として機能する第2の電極8104に用いる材料としては、仕事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn、AlLi、CaF、または窒化カルシウム)からなる金属薄膜と、透明導電膜(ITO(インジウム錫酸化物)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化亜鉛(ZnO)等)との積層を用いるのがよい。こうして薄い金属薄膜と、透明性を有する透明導電膜を用いることで光を透過させることが可能な陰極を形成することができる。
こうして、図81(A)の矢印に示すように発光素子からの光を上面に取り出すことが可能になる。つまり、図79の表示パネルに上面射出構造の発光素子を適用した場合には、封止基板7904側に光が射出することになる。従って、上面射出構造の発光素子を表示装置に用いる場合には、封止基板7904は光透過性を有する基板を用いる。
また、光学フィルムを設ける場合には、封止基板7904に光学フィルムを設ければよい。
なお、第1の電極8102を、陰極として機能するMgAg、MgIn、AlLi等の仕事関数の小さい材料からなる金属膜を用いて形成することもできる。この場合には、第2の電極8104にはITO(インジウム錫酸化物)膜、インジウム亜鉛酸化物(IZO)などの透明導電膜を用いることができる。よって、この構成によれば、上面射出の透過率を高くすることができる。
次に、下面射出構造の発光素子について、図81(B)を用いて説明する。射出構造以外は図81(A)と同じ構造の発光素子であるため同じ符号を用いて説明する。
ここで、陽極として機能する第1の電極8102に用いる材料としては、仕事関数の大きい材料を用いることが望ましい。例えば、ITO(インジウム錫酸化物)膜、インジウム亜鉛酸化物(IZO)膜などの透明導電膜を用いることができる。透明性を有する透明導電膜を用いることで光を透過させることが可能な陽極を形成することができる。
また、陰極として機能する第2の電極8104に用いる材料としては、仕事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn、AlLi、CaF、または窒化カルシウム)からなる金属膜を用いることができる。こうして、光を反射する金属膜を用いることで光が透過しない陰極を形成することができる。
こうして、図81(B)の矢印に示すように発光素子からの光を下面に取り出すことが可能になる。つまり、図79の表示パネルに下面射出構造の発光素子を適用した場合には、基板7910側に光が射出することになる。従って、下面射出構造の発光素子を表示装置に用いる場合には、基板7910は光透過性を有する基板を用いる。
また、光学フィルムを設ける場合には、基板7910に光学フィルムを設ければよい。
次に、両面射出構造の発光素子について、図81(C)を用いて説明する。射出構造以外は図81(A)と同じ構造の発光素子であるため同じ符号を用いて説明する。
ここで、陽極として機能する第1の電極8102に用いる材料としては、仕事関数の大きい材料を用いることが望ましい。例えば、ITO(インジウム錫酸化物)膜、インジウム亜鉛酸化物(IZO)膜などの透明導電膜を用いることができる。透明性を有する透明導電膜を用いることで光を透過させることが可能な陽極を形成することができる。
また、陰極として機能する第2の電極8104に用いる材料としては、仕事関数の小さい材料(Al、Ag、Li、Ca、またはこれらの合金MgAg、MgIn、AlLi、CaF、または窒化カルシウム)からなる金属薄膜と、透明導電膜(ITO(インジウム錫酸化物)、酸化インジウム酸化亜鉛合金(In―ZnO)、酸化亜鉛(ZnO)等)との積層を用いるのがよい。こうして薄い金属薄膜と、透明性を有する透明導電膜を用いることで光を透過させることが可能な陰極を形成することができる。
こうして、図81(C)の矢印に示すように発光素子からの光を両面に取り出すことが可能になる。つまり、図79の表示パネルに両面射出構造の発光素子を適用した場合には、基板7910側と封止基板7904側に光が射出することになる。従って、両面射出構造の発光素子を表示装置に用いる場合には、基板7910及び封止基板7904は、ともに光透過性を有する基板を用いる。
また、光学フィルムを設ける場合には、基板7910及び封止基板7904の両方に光学フィルムを設ければよい。
また、白色の発光素子とカラーフィルターを用いてフルカラー表示を実現する表示装置にも本発明を適用することが可能である。
図82に示すように、基板8200上に下地膜8202が形成され、下地膜8202の上に駆動用トランジスタ8201が形成され、駆動用トランジスタ8201のソース電極に接して第1の電極8203が形成され、その上に有機化合物を含む層8204と第2の電極8205が形成されている。
また、第1の電極8203は発光素子の陽極である。そして、第2の電極8205は発光素子の陰極である。つまり、第1の電極8203と第2の電極8205とで有機化合物を含む層8204が挟まれているところが発光素子となる。図82の構成では白色光を発光する。そして、発光素子の上部に赤色のカラーフィルター8206R、緑色のカラーフィルター8206G、青色のカラーフィルター8206Bを設けられており、フルカラー表示を行うことができる。また、これらのカラーフィルターを隔離するブラックマトリクス(BMともいう)8207が設けられている。
上述した発光素子の構成は組み合わせて用いることができ、本発明の表示装置に適宜用いることができる。また、上述した表示パネルの構成や、発光素子は例示であり、上述した構成と異なる他の構成を有する表示装置に適用することもできる。
次に、表示パネルの画素部の部分断面図を示す。
まず、トランジスタの半導体層にポリシリコン(p−Si:H)膜を用いた場合について、図83、図84及び図85を用いて説明する。
ここで、半導体層は、例えば基板上にアモルファスシリコン(a−Si)膜を公知の成膜法で形成する。なお、アモルファスシリコン膜に限定する必要はなく、非晶質構造を含む半導体膜(微結晶半導体膜を含む)であればよい。さらに非晶質シリコンゲルマニウム膜などの非晶質構造を含む化合物半導体膜でもよい。
そして、アモルファスシリコン膜をレーザー結晶化法や、RTAやファーネスアニール炉を用いた熱結晶化法や、結晶化を助長する金属元素を用いた熱結晶化法などにより結晶化させる。もちろん、これらを組み合わせて行ってもよい。
上述した結晶化によって、非晶質半導体膜に部分的に結晶化された領域が形成される。
さらに、部分的に結晶性が高められた結晶性半導体膜を所望の形状にパターンを形成して、結晶化された領域から島状の半導体膜を形成する。この半導体膜をトランジスタの半導体層に用いる。
図83(A)に示すように、基板8301上に下地膜8302が形成され、その上に半導体層が形成されている。半導体層は、駆動用トランジスタ8318のチャネル形成領域8303、LDD領域8304及びソースまたはドレイン領域となる不純物領域8305、並びに容量素子8319の下部電極となるチャネル形成領域8306、LDD領域8307及び不純物領域8308を有する。なお、チャネル形成領域8303及びチャネル形成領域8306はチャネルドープが行われていてもよい。
基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜8302としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
半導体層上には、ゲート絶縁膜8309を介してゲート電極8310及び容量素子8319の上部電極8311が形成されている。
容量素子8319及び駆動用トランジスタ8318を覆って層間絶縁膜8312が形成され、層間絶縁膜8312上に、コンタクトホールを介して配線8313が不純物領域8305と接している。配線8313に接して画素電極8314が形成され、画素電極8314の端部及び配線8313を覆って絶縁膜8315が形成されている。ここでは、ポジ型の感光性アクリル樹脂膜を用いることにより形成する。そして、画素電極8314上に有機化合物を含む層8316及び対向電極8317が形成され、画素電極8314と対向電極8317とで有機化合物を含む層8316が挟まれた領域に、発光素子8320が形成されている。
また、図83(B)に示すように、容量素子8319の下部電極の一部を構成するLDD領域が、容量素子8319の上部電極8311と重なるような領域8321を設けてもよい。なお、図83(A)と共通する箇所は共通の符号を用い、説明は省略する。
また、図84(A)に示すように、容量素子8323は、駆動用トランジスタ8318の不純物領域8305と接する配線8313と同じ層に形成された第2の上部電極8322を有していてもよい。なお、図83(A)と共通する箇所は共通の符号を用い、説明は省略する。第2の上部電極8322は不純物領域8308と接しているため、上部電極8311とチャネル形成領域8306とでゲート絶縁膜8309を挟みこんで構成される第1の容量素子と、上部電極8311と第2の上部電極8322とで層間絶縁膜8312を挟みこんで構成される第2の容量素子と、が並列に接続され、第1の容量素子と第2の容量素子からなる容量素子8323が形成される。この容量素子8323の容量は、第1の容量素子と第2の容量素子の容量を加算した合成容量であるため、小さい面積で大きな容量の容量素子を形成することができる。つまり、本発明の画素構成の容量素子として用いるとより開口率の向上が図れる。
また、図84(B)に示すような容量素子の構成としてもよい。基板8401上に下地膜8402が形成され、その上に半導体層が形成されている。半導体層は、駆動用トランジスタ8418のチャネル形成領域8403、LDD領域8404及びソース又はドレイン領域となる不純物領域8405を有する。なお、チャネル形成領域8403はチャネルドープが行われていてもよい。
基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜8402としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
半導体層上には、ゲート絶縁膜8406を介してゲート電極8407及び第1の電極8408が形成されている。
駆動用トランジスタ8418及び第1の電極8408を覆って第1の層間絶縁膜8409が形成され、第1の層間絶縁膜8409上に、コンタクトホールを介して配線8410が不純物領域8405と接している。また、配線8410と同層に、配線8410と同じ材料からなる第2の電極8411が形成される。
さらに、配線8410及び第2の電極8411を覆うように第2の層間絶縁膜8412が形成され、第2の層間絶縁膜8412上に、コンタクトホールを介して配線8410と接して画素電極8413が形成されている。また、画素電極8413と同層に、画素電極8413と同じ材料からなる第3の電極8414が形成されている。ここで、第1の電極8408、第2の電極8411及び第3の電極8414からなる容量素子8419が形成される。
画素電極8413上に有機化合物を含む層8416及び対向電極8417が形成され、画素電極8413と対向電極8417とで有機化合物を含む層8416が挟まれた領域に、発光素子8420が形成されている。
上述したように、結晶性半導体膜を半導体層に用いたトランジスタの構成は図83及び図84に示したような構成が挙げられる。なお、図83及び図84に示したトランジスタの構造は、トップゲート構造のトランジスタの一例である。つまり、LDD領域はゲート電極と重なっていてもよいし、ゲート電極と重なっていなくてもよいし、またはLDD領域の一部の領域が重なっていてもよい。さらに、ゲート電極はテーパー形状でもよく、ゲート電極のテーパー部の下部にLDD領域が自己整合的に設けられていてもよい。また、ゲート電極は2つに限定されず、3つ以上のマルチゲート構造でもよいし、1つのゲート電極でもよい。
本発明の画素を構成するトランジスタの半導体層(チャネル形成領域やソース領域やドレイン領域など)に結晶性半導体膜を用いることで、走査線駆動回路及び信号線駆動回路を画素部と一体形成することが容易になる。また、信号線駆動回路の一部を画素部と一体形成し、一部はICチップ上に形成して図79の表示パネルに示すようにCOG等で実装してもよい。このような構成とすることで、製造コストの削減を図ることができる。
また、半導体層にポリシリコン(p−Si:H)を用いたトランジスタの構成として、基板と半導体層の間にゲート電極が挟まれた構造、つまり、半導体層の下にゲート電極が位置するボトムゲート構造のトランジスタを適用してもよい。ここで、ボトムゲート構造のトランジスタを適用した表示パネルの画素部の部分断面図を図85に示す。
図85(A)に示すように、基板8501上に下地膜8502が形成されている。さらに下地膜8502上にゲート電極8503が形成されている。また、ゲート電極8503と同層に、ゲート電極8503と同じ材料からなる第1の電極8504が形成されている。ゲート電極8503の材料には、リンが添加された多結晶シリコンを用いることができる。多結晶シリコンの他に、金属とシリコンの化合物であるシリサイドでもよい。
ゲート電極8503及び第1の電極8504を覆うように、ゲート絶縁膜8505が形成されている。ゲート絶縁膜8505としては、酸化珪素膜や窒化珪素膜などが用いられる。
ゲート絶縁膜8505上に、半導体層が形成されている。半導体層は駆動用トランジスタ8522のチャネル形成領域8506、LDD領域8507及びソース又はドレイン領域となる不純物領域8508、並びに容量素子8523の第2の電極となるチャネル形成領域8509、LDD領域8510及び不純物領域8511を有する。なお、チャネル形成領域8506及びチャネル形成領域8509はチャネルドープが行われていてもよい。
基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜8502としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
半導体層を覆って第1の層間絶縁膜8512が形成され、第1の層間絶縁膜8512上に、コンタクトホールを介して配線8513が不純物領域8508と接している。また、配線8513と同層に、配線8513と同じ材料で第3の電極8514が形成されている。第1の電極8504、第2の電極、第3の電極8514によって容量素子8523が構成されている。
また、第1の層間絶縁膜8512には開口部8515が形成されている。駆動用トランジスタ8522、容量素子8523及び開口部8515を覆うように第2の層間絶縁膜8516が形成され、第2の層間絶縁膜8516上に、コンタクトホールを介して画素電極8517が形成されている。また、画素電極8517の端部を覆って絶縁膜8518が形成されている。例えば、ポジ型の感光性アクリル樹脂膜を用いることができる。そして、画素電極8517上に有機化合物を含む層8519及び対向電極8520が形成され、画素電極8517と対向電極8520とで有機化合物を含む層8519が挟まれた領域に、発光素子8521が形成されている。そして、発光素子8521の下部に開口部8515が位置している。つまり、発光素子8521からの発光を基板側から取り出すときには、開口部8515を有するため、透過率を高めることができる。
また、図85(A)において、画素電極8517と同層に、同じ材料を用いて第4の電極8524を形成して、図85(B)のような構成としてもよい。すると、第1の電極8504、第2の電極、第3の電極8514及び第4の電極8524によって構成される容量素子8525を形成することができる。
次に、トランジスタの半導体層にアモルファスシリコン(a−Si:H)膜を用いた場合について、図33、図34及び図35を用いて説明する。
アモルファスシリコンを半導体層に用いたトップゲート構造のトランジスタを適用した表示パネルの画素部の部分断面図を図33に示す。図33(A)に示すように、基板3301上に下地膜3302が形成されている。さらに下地膜3302上に画素電極3303が形成されている。また、画素電極3303と同層に同じ材料からなる第1の電極3304が形成されている。
基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜3302としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
また、下地膜3302上に配線3305及び配線3306が形成され、画素電極3303の端部が配線3305で覆われている。配線3305及び配線3306の上部にN型の導電型を有するN型半導体層3307及びN型半導体層3308が形成されている。また、配線3306と配線3305の間であって、下地膜3302上に半導体層3309が形成されている。そして、半導体層3309の一部はN型半導体層3307及びN型半導体層3308上にまで延長されている。なお、この半導体層はアモルファスシリコン(a−Si:H)、微結晶半導体(μ−Si:H)等の非結晶性を有する半導体膜で形成されている。また、半導体層3309上にゲート絶縁膜3310が形成されている。また、ゲート絶縁膜3310と同層の同じ材料からなる絶縁膜3311が第1の電極3304上にも形成されている。なお、ゲート絶縁膜3310としては酸化珪素膜や窒化珪素膜などが用いられる。
また、ゲート絶縁膜3310上に、ゲート電極3312が形成されている。また、ゲート電極と同層に同じ材料でなる第2の電極3313が第1の電極3304上に絶縁膜3311を介して形成されている。第1の電極3304及び第2の電極3313で絶縁膜3311を挟まれた容量素子3319が形成されている。また、画素電極3303の端部、駆動トランジスタ3318及び容量素子3319を覆い、層間絶縁膜3314が形成されている。
層間絶縁膜3314及びその開口部に位置する画素電極3303上に有機化合物を含む層3315及び対向電極3316が形成され、画素電極3303と対向電極3316とで有機化合物を含む層3315が挟まれた領域では発光素子3317が形成されている。
また、図33(A)に示す第1の電極3304を図33(B)に示すように第1の電極3320で形成してもよい。第1の電極3320は配線3305及び3306と同層の同一材料で形成されている。
また、アモルファスシリコンを半導体層に用いたボトムゲート構造のトランジスタを用いた表示装置のパネルの部分断面を図34に示す。
基板3401上に下地膜3402が形成されている。さらに下地膜3402上にゲート電極3403が形成されている。また、ゲート電極と同層に同じ材料からなる第1の電極3404が形成されている。ゲート電極3403の材料にはリンが添加された多結晶シリコンを用いることができる。多結晶シリコンの他に、金属とシリコンの化合物であるシリサイドでもよい。
また、ゲート電極3403及び第1の電極3404を覆うようにゲート絶縁膜3405が形成されている。ゲート絶縁膜3405としては酸化珪素膜や窒化珪素膜などが用いられる。
また、ゲート絶縁膜3405上に、半導体層3406が形成されている。また、半導体層3406と同層に同じ材料からなる半導体層3407が形成されている。
基板はガラス基板、石英基板、セラミック基板などを用いることができる。また、下地膜3402としては、窒化アルミニウム(AlN)や酸化珪素(SiO)、酸化窒化珪素(SiO)などの単層やこれらの積層を用いることができる。
半導体層3406上にはN型の導電性を有するN型半導体層3408、3409が形成され、半導体層3407上にはN型半導体層3410が形成されている。
N型半導体層3408、3409上にはそれぞれ配線3411、3412が形成され、N型半導体層3410上には配線3411及び3412と同層の同一材料からなる導電層3413が形成されている。
半導体層3407、N型半導体層3410及び導電層3413からなる第2の電極が構成される。なお、この第2の電極と第1の電極3404でゲート絶縁膜3405を挟み込んだ構造の容量素子3420が形成されている。
また、配線3411の一方の端部は延在し、その延在した配線3411上部に接して画素電極3414が形成されている。
また、画素電極3414の端部、駆動トランジスタ3419及び容量素子3420を覆うように絶縁膜3415が形成されている。
画素電極3414及び絶縁膜3415上には有機化合物を含む層3416及び対向電極3417が形成され、画素電極3414と対向電極3417とで有機化合物を含む層3416が挟まれた領域では発光素子3418が形成されている。
容量素子の第2の電極の一部となる半導体層3407及びN型半導体層3410は設けなくてもよい。つまり第2の電極は導電層3413とし、第1の電極3404と導電層3413でゲート絶縁膜が挟まれた構造の容量素子としてもよい。
なお、図34(A)において、配線3411を形成する前に画素電極3414を形成することで、図34(B)に示すような、画素電極3414からなる第2の電極3421と第1の電極3404でゲート絶縁膜3405が挟まれた構造の容量素子3422を形成することができる。
なお、図34では、逆スタガ型のチャネルエッチ構造のトランジスタについて示したが、もちろんチャネル保護構造のトランジスタでもよい。チャネル保護構造のトランジスタの場合について、図35(A)、(B)を用いて説明する。
図35(A)に示すチャネル保護型構造のトランジスタは図34(A)に示したチャネルエッチ構造の駆動トランジスタ3419の半導体層3406のチャネルが形成される領域上にエッチングのマスクとなる絶縁膜3501が設けられている点が異なり、他の共通しているところは共通の符号を用いている。
また、同様に、図35(B)に示すチャネル保護型構造のトランジスタは図34(B)に示したチャネルエッチ構造の駆動トランジスタ3419の半導体層3406のチャネルが形成される領域上にエッチングのマスクとなる絶縁膜3501が設けられている点が異なり、他の共通しているところは共通の符号を用いている。
本発明の画素を構成するトランジスタの半導体層(チャネル形成領域やソース領域やドレイン領域など)に非晶質半導体膜を用いることで、製造コストを削減することができる。
なお、本発明の画素構成の適用することができるトランジスタの構造や、容量素子の構造は上述した構成に限られず、さまざまな構成のトランジスタの構造や、容量素子の構造のものを用いることができる。
なお、本実施形態で述べた内容は、実施の形態1〜実施の形態3で述べた内容と自由に組み合わせて実施することができる。
(実施の形態5)
本実施形態では、トランジスタを始めとする半導体装置を作製する方法として、プラズマ処理を用いて半導体装置を作製する方法について説明する。
図36は、トランジスタを含む半導体装置の構造例を示した図である。なお、図36において、図36(B)は図36(A)のa−b間の断面図に相当し、図36(C)は図36(A)のc−d間の断面図に相当する。
図36に示す半導体装置は、基板3601上に絶縁膜3602を介して設けられた半導体膜3603a、3603bと、当該半導体膜3603a、3603b上にゲート絶縁膜3604を介して設けられたゲート電極3605と、ゲート電極を覆って設けられた絶縁膜3606、3607と、半導体膜3603a、3603bのソース領域またはドレイン領域と電気的に接続し且つ絶縁膜3607上に設けられた導電膜3608とを有している。なお、図36においては、半導体膜3603aの一部をチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ3610aと半導体膜3603bの一部をチャネル領域として用いたPチャネル型トランジスタ3610bとを設けた場合を示しているが、この構成に限られない。例えば、図36では、Nチャネル型トランジスタ3610aにLDD領域を設け、Pチャネル型トランジスタ3610bにはLDD領域を設けていないが、両方に設けた構成としてもよいし両方に設けない構成とすることも可能である。
なお、本実施形態では、上記基板3601、絶縁膜3602、半導体膜3603aおよび3603b、ゲート絶縁膜3604、絶縁膜3606または絶縁膜3607のうち少なくともいずれか一層に、プラズマ処理を用いて酸化または窒化を行うことにより半導体膜または絶縁膜を酸化または窒かすることによって、図36に示した半導体装置を作製する。このように、プラズマ処理を用いて半導体膜または絶縁膜を酸化または窒化することによって、当該半導体膜または絶縁膜の表面を改質し、CVD法やスパッタ法により形成した絶縁膜と比較してより緻密な絶縁膜を形成することができるため、ピンホール等の欠陥を抑制し半導体装置の特性等を向上させることが可能となる。
なお、本実施形態では、上記図36における半導体膜3603aおよび3603bまたはゲート絶縁膜3604にプラズマ処理を行い、当該半導体膜3603aおよび3603bまたはゲート絶縁膜3604を酸化または窒化することによって半導体装置を作製する方法について図面を参照して説明する。
はじめに、基板上に設けられた島状の半導体膜において、当該島状の半導体膜の端部を直角に近い形状で設ける場合について示す。
まず、基板3601上に島状の半導体膜3603a、3603bを形成する(図37(A−1)、(A−2))。島状の半導体膜3603a、3603bは、基板3601上にあらかじめ形成された絶縁膜3602上に公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を用いてシリコン(Si)を主成分とする材料(例えばSiGe1−x等)等を用いて非晶質半導体膜を形成し、当該非晶質半導体膜を結晶化させ、半導体膜を選択的にエッチングすることにより設けることができる。なお、非晶質半導体膜の結晶化は、レーザ結晶化法、RTA又はファーネスアニール炉を用いる熱結晶化法、結晶化を助長する金属元素を用いる熱結晶化法またはこれら方法を組み合わせた方法等の公知の結晶化法により行うことができる。なお、図37では、島状の半導体膜3603a、3603bの端部を直角に近い形状(θ=85〜100°)で設ける。
次に、プラズマ処理を行い半導体膜3603a、3603bを酸化または窒化することによって、当該半導体膜3603a、3603bの表面にそれぞれ絶縁膜3621a、絶縁膜3621b(酸化膜または窒化膜)を形成する(図37(B−1)、(B−2))。例えば、半導体膜3603a、3603bとしてSiを用いた場合、絶縁膜3621aおよび絶縁膜3621bとして、酸化珪素(SiOx)または窒化珪素(SiNx)が形成される。また、プラズマ処理により半導体膜3603a、3603bを酸化させた後に、再度プラズマ処理を行うことによって窒化させてもよい。この場合、半導体膜3603a、3603bに接して酸化珪素(SiOx)が形成され、当該酸化珪素の表面に窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)が形成される。なお、プラズマ処理により半導体膜を酸化する場合には、酸素雰囲気下(例えば、酸素(O)と希ガス(He、Ne、Ar、Kr、Xeの少なくとも一つを含む)雰囲気下または酸素と水素(H)と希ガス雰囲気下または一酸化二窒素と希ガス雰囲気下)でプラズマ処理を行う。一方、プラズマ処理により半導体膜を窒化する場合には、窒素雰囲気下(例えば、窒素(N)と希ガス(He、Ne、Ar、Kr、Xeの少なくとも一つを含む)雰囲気下または窒素と水素と希ガス雰囲気下またはNHと希ガス雰囲気下)でプラズマ処理を行う。希ガスとしては、例えばArを用いることができる。また、ArとKrを混合したガスを用いてもよい。そのため、絶縁膜3621a、3621bは、プラズマ処理に用いた希ガス(He、Ne、Ar、Kr、Xeの少なくとも一つを含む)を含んでおり、Arを用いた場合には絶縁膜3621a、3621bにArが含まれている。
また、プラズマ処理は、上記ガスの雰囲気中において、電子密度が1×1011cm−3以上1×1013cm−3以下であり、プラズマの電子温度が0.5eV以上1.5eV以下で行う。プラズマの電子密度が高密度であり、基板3601上に形成された被処理物(ここでは、半導体膜3603a、3603b)付近での電子温度が低いため、被処理物に対するプラズマによる損傷を防止することができる。また、プラズマの電子密度が1×1011cm−3以上と高密度であるため、プラズマ処理を用いて、被照射物を酸化または窒化することよって形成される酸化物または窒化膜は、CVD法やスパッタ法等により形成された膜と比較して膜厚等が均一性に優れ、且つ緻密な膜を形成することができる。また、プラズマの電子温度が1eV以下と低いため、従来のプラズマ処理や熱酸化法と比較して低温度で酸化または窒化処理を行うことができる。たとえば、ガラス基板の歪点温度よりも100度以上低い温度でプラズマ処理を行っても十分に酸化または窒化処理を行うことができる。なお、プラズマを形成するための周波数としては、マイクロ波(2.45GHz)等の高周波を用いることができる。なお、以下に特に断らない場合は、プラズマ処理として上記条件を用いて行うものとする。
次に、絶縁膜3621a、3621bを覆うようにゲート絶縁膜3604を形成する(図37(C−1)、(C−2))。ゲート絶縁膜3604は、公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を用いて、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)等の酸素または窒素を有する絶縁膜の単層構造、またはこれらの積層構造で設けることができる。例えば、半導体膜3603a、3603bとしてSiを用い、プラズマ処理により当該Siを酸化させることによって当該半導体膜3603a、3603b表面に絶縁膜3621a、3621bとして酸化珪素を形成した場合、当該絶縁膜3621a、3621b上にゲート絶縁膜として酸化珪素(SiOx)を形成する。また、上記図37(B−1)、(B−2)において、プラズマ処理により半導体膜3603a、3603bを酸化または窒化することによって形成された絶縁膜3621a、3621bの膜厚が十分である場合には、当該絶縁膜3621a、3621bをゲート絶縁膜として用いることも可能である。
次に、ゲート絶縁膜3604上にゲート電極3605等を形成することによって、島状の半導体膜3603a、3603bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ3610a、Pチャネル型トランジスタ3610bを有する半導体装置を作製することができる(図37(D−1)、(D−2))。
このように、半導体膜3603a、3603b上にゲート絶縁膜3604を設ける前に、プラズマ処理により半導体膜3603a、3603bの表面を酸化または窒化することによって、チャネル領域の端部3651a、3651b等におけるゲート絶縁膜3604の被覆不良に起因するゲート電極と半導体膜のショート等を防止することができる。つまり、島状の半導体膜の端部が直角に近い形状(θ=85〜100°)を有する場合には、CVD法やスパッタ法等により半導体膜を覆うようにゲート絶縁膜を形成した際に、半導体膜の端部においてゲート絶縁膜の段切れ等による被覆不良の問題が生じる恐れがあるが、あらかじめ半導体膜の表面にプラズマ処理を用いて酸化または窒化しておくことによって、半導体膜の端部におけるゲート絶縁膜の被覆不良等を防止することが可能となる。
また、上記図37において、ゲート絶縁膜3604を形成した後にプラズマ処理を行うことによって、ゲート絶縁膜3604を酸化または窒化させてもよい。この場合、半導体膜3603a、3603bを覆うように形成されたゲート絶縁膜3604(図38(A−1)、(A−2))にプラズマ処理を行い、ゲート絶縁膜3604を酸化または窒化することによって、ゲート絶縁膜3604の表面に絶縁膜3623(酸化膜または窒化膜)を形成する(図38(B−1)、(B−2))。プラズマ処理の条件は、上記と同様に行うことができる。また、絶縁膜3623は、プラズマ処理に用いた希ガスを含んでおり、例えばArを用いた場合には絶縁膜3623にArが含まれている。
また、図38(B−1)、(B−2)において、一旦酸素雰囲気下でプラズマ処理を行うことによりゲート絶縁膜3604を酸化させた後に、再度窒素雰囲気下でプラズマ処理を行うことにより窒化させてもよい。この場合、半導体膜3603a、3603bの表面に酸化珪素(SiOx)または酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)が形成され、ゲート電極3605に接して窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)が形成される。その後、絶縁膜3623上にゲート電極3605等を形成することによって、島状の半導体膜3603a、3603bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ3610a、Pチャネル型トランジスタ3610bを有する半導体装置を作製することができる(図38(C−1)、(C−2))。このように、ゲート絶縁膜にプラズマ処理を行うことにより、当該ゲート絶縁膜の表面を酸化または窒化することによって、ゲート絶縁膜の表面を改質し緻密な膜を形成することができる。プラズマ処理を行うことによって得られた絶縁膜は、CVD法やスパッタ法で形成された絶縁膜と比較して緻密でピンホール等の欠陥も少ないため、トランジスタの特性を向上させることができる。
なお、図38においては、あらかじめ半導体膜3603a、3603bにプラズマ処理を行うことによって、当該半導体膜3603a、3603bの表面を酸化または窒化させた場合を示したが、半導体膜3603a、3603bにプラズマ処理を行わずにゲート絶縁膜3604を形成した後にプラズマ処理を行う方法を用いてもよい。このように、ゲート電極を形成する前にプラズマ処理を行うことによって、半導体膜の端部においてゲート絶縁膜の段切れ等による被覆不良が生じた場合であっても、被覆不良により露出した半導体膜を酸化または窒化することができるため、半導体膜の端部におけるゲート絶縁膜の被覆不良に起因するゲート電極と半導体膜のショート等を防止することができる。
このように、島状の半導体膜の端部を直角に近い形状で設けた場合であっても、半導体膜またはゲート絶縁膜にプラズマ処理を行い、当該半導体膜またはゲート絶縁膜を酸化または窒化することによって、半導体膜の端部におけるゲート絶縁膜の被覆不良に起因するゲート電極と半導体膜のショート等を防止することができる。
次に、基板上に設けられた島状の半導体膜において、当該島状の半導体膜の端部をテーパー形状(θ=30〜85°)で設ける場合について示す。
まず、基板3601上に島状の半導体膜3603a、3603bを形成する(図39(A−1)、(A−2))。島状の半導体膜3603a、3603bは、基板3601上にあらかじめ形成された絶縁膜3602上に公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を用いてシリコン(Si)を主成分とする材料(例えばSiGe1−x等)等を用いて非晶質半導体膜を形成し、当該非晶質半導体膜をレーザ結晶化法、RTA又はファーネスアニール炉を用いる熱結晶化法、結晶化を助長する金属元素を用いる熱結晶化法などの公知の結晶化法により結晶化させ、選択的に半導体膜をエッチングして除去することにより設けることができる。なお、図39では、島状の半導体膜の端部をテーパー形状(θ=30〜85°)で設ける。
次に、半導体膜3603a、3603bを覆うようにゲート絶縁膜3604を形成する(図39(B−1)、(B−2))。ゲート絶縁膜3604は、公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を用いて、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)等の酸素または窒素を有する絶縁膜の単層構造、またはこれらの積層構造で設けることができる。
次に、プラズマ処理を行いゲート絶縁膜3604を酸化または窒化することによって、当該ゲート絶縁膜3604の表面にそれぞれ絶縁膜3624(酸化膜または窒化膜)を形成する(図39(C−1)、(C−2))。なお、プラズマ処理の条件は上記と同様に行うことができる。例えば、ゲート絶縁膜3604として酸化珪素(SiOx)または酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)を用いた場合、酸素雰囲気下でプラズマ処理を行いゲート絶縁膜3604を酸化することによって、ゲート絶縁膜の表面にはCVD法やスパッタ法等により形成されたゲート絶縁膜と比較してピンホール等の欠陥の少ない緻密な膜を形成することができる。一方、窒素雰囲気下でプラズマ処理を行いゲート絶縁膜3604を窒化することによって、ゲート絶縁膜3604の表面に絶縁膜3624として窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)を設けることができる。また、一旦酸素雰囲気下でプラズマ処理を行うことによりゲート絶縁膜3604を酸化させた後に、再度窒素雰囲気下でプラズマ処理を行うことにより窒化させてもよい。また、絶縁膜3624は、プラズマ処理に用いた希ガスを含んでおり、例えばArを用いた場合には絶縁膜3624中にArが含まれている。
次に、ゲート絶縁膜3604上にゲート電極3605等を形成することによって、島状の半導体膜3603a、3603bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ3610a、Pチャネル型トランジスタ3610bを有する半導体装置を作製することができる(図39(D−1)、(D−2))。
このように、ゲート絶縁膜にプラズマ処理を行うことにより、ゲート絶縁膜の表面に酸化膜または窒化膜からなる絶縁膜を設け、ゲート絶縁膜の表面の改質をすることができる。プラズマ処理を行うことによって酸化または窒化された絶縁膜は、CVD法やスパッタ法で形成されたゲート絶縁膜と比較して緻密でピンホール等の欠陥も少ないため、トランジスタの特性を向上させることができる。また、半導体膜の端部をテーパー形状とすることによって、半導体膜の端部におけるゲート絶縁膜の被覆不良に起因するゲート電極と半導体膜のショート等を抑制することができるが、ゲート絶縁膜を形成した後にプラズマ処理を行うことによって、より一層ゲート電極と半導体膜のショート等を防止することができる。
次に、図39とは、異なる半導体装置の作製方法に関して図面を参照して説明する。具体的には、テーパー形状を有する半導体膜の端部に選択的にプラズマ処理を行う場合に関して示す。
まず、基板3601上に島状の半導体膜3603a、3603bを形成する(図40(A−1)、(A−2))。島状の半導体膜3603a、3603bは、基板3601上にあらかじめ形成された絶縁膜3602上に公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を用いてシリコン(Si)を主成分とする材料(例えばSiGe1−x等)等を用いて非晶質半導体膜を形成し、当該非晶質半導体膜を結晶化させ、レジスト3625a、3625bをマスクとして半導体膜を選択的にエッチングすることにより設けることができる。なお、非晶質半導体膜の結晶化は、レーザ結晶化法、RTA又はファーネスアニール炉を用いる熱結晶化法、結晶化を助長する金属元素を用いる熱結晶化法またはこれら方法を組み合わせた方法等の公知の結晶化法により行うことができる。
次に、半導体膜のエッチングのために使用したレジスト3625a、3625bを除去する前に、プラズマ処理を行い島状の半導体膜3603a、3603bの端部を選択的に酸化または窒化することによって、当該半導体膜3603a、3603bの端部にそれぞれ絶縁膜3626(酸化膜または窒化膜)を形成する(図40(B−1)、(B−2))。プラズマ処理は、上述した条件下で行う。また、絶縁膜3626は、プラズマ処理に用いた希ガスを含んでいる。
次に、半導体膜3603a、3603bを覆うようにゲート絶縁膜3604を形成する(図40(C−1)、(C−2))。ゲート絶縁膜3604は、上記と同様に設けることができる。
次に、ゲート絶縁膜3604上にゲート電極3605等を形成することによって、島状の半導体膜3603a、3603bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ3610a、Pチャネル型トランジスタ3610bを有する半導体装置を作製することができる(図40(D−1)、(D−2))。
半導体膜3603a、3603bの端部をテーパー形状に設けた場合、半導体膜3603a、3603bの一部に形成されるチャネル領域の端部3652a、3652bもテーパー形状となり半導体膜の膜厚やゲート絶縁膜の膜厚が中央部分と比較して変化するため、トランジスタの特性に影響を及ぼす場合がある。そのため、ここではプラズマ処理によりチャネル領域の端部を選択的に酸化または窒化して、当該チャネル領域の端部となる半導体膜に絶縁膜を形成することによって、チャネル領域の端部に起因するトランジスタへの影響を低減することができる。
なお、図40では、半導体膜3603a、3603bの端部に限ってプラズマ処理により酸化または窒化を行った例を示したが、もちろん上記図39で示したようにゲート絶縁膜3604にもプラズマ処理を行って酸化または窒化させることも可能である(図42(A−1)、(A−2))。
次に、上記とは異なる半導体装置の作製方法に関して図面を参照して説明する。具体的には、テーパー形状を有する半導体膜にプラズマ処理を行う場合に関して示す。
まず、基板3601上に上記と同様に島状の半導体膜3603a、3603bを形成する(図41(A−1)、(A−2))。
次に、プラズマ処理を行い半導体膜3603a、3603bを酸化または窒化することによって、当該半導体膜3603a、3603bの表面にそれぞれ絶縁膜3627a、絶縁膜3627b(酸化膜または窒化膜)を形成する(図41(B−1)、(B−2))。プラズマ処理は上述した条件下で同様に行うことができる。例えば、半導体膜3603a、3603bとしてSiを用いた場合、絶縁膜3627aおよび絶縁膜3627bとして、酸化珪素(SiOx)または窒化珪素(SiNx)が形成される。また、プラズマ処理により半導体膜3603a、3603bを酸化させた後に、再度プラズマ処理を行うことによって窒化させてもよい。この場合、半導体膜3603a、3603bに接して酸化珪素(SiOx)または酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)が形成され、当該酸化珪素の表面に窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)が形成される。そのため、絶縁膜3627a、3627bは、プラズマ処理に用いた希ガスを含んでいる。なお、プラズマ処理を行うことにより半導体膜3603a、3603bの端部も同時に酸化または窒化される。
次に、絶縁膜3627a、3627bを覆うようにゲート絶縁膜3604を形成する(図41(C−1)、(C−2))。ゲート絶縁膜3604は、公知の手段(スパッタ法、LPCVD法、プラズマCVD法等)を用いて、酸化珪素(SiOx)、窒化珪素(SiNx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)、窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)等の酸素または窒素を有する絶縁膜の単層構造、またはこれらの積層構造で設けることができる。例えば、半導体膜3603a、3603bとしてSiを用いてプラズマ処理により酸化させることによって、当該半導体膜3603a、3603b表面に絶縁膜3627a、3627bとして酸化珪素を形成した場合、当該絶縁膜3627a、3627b上にゲート絶縁膜として酸化珪素(SiOx)を形成する。
次に、ゲート絶縁膜3604上にゲート電極3605等を形成することによって、島状の半導体膜3603a、3603bをチャネル領域として用いたNチャネル型トランジスタ3610a、Pチャネル型トランジスタ3610bを有する半導体装置を作製することができる(図41(D−1)、(D−2))。
半導体膜の端部をテーパー形状に設けた場合、半導体膜の一部に形成されるチャネル領域の端部3653a、3653bもテーパー形状となるため、半導体素子の特性に影響を及ぼす場合がある。そのため、プラズマ処理により半導体膜を酸化または窒化することによって、結果的にチャネル領域の端部も酸化または窒化されるため半導体素子への影響を低減することができる。
なお、図41では、半導体膜3603a、3603bに限ってプラズマ処理により酸化または窒化を行った例を示したが、もちろん上記図39で示したようにゲート絶縁膜3604にプラズマ処理を行って酸化または窒化させることも可能である(図42(B−1)、(B−2))。この場合、一旦酸素雰囲気下でプラズマ処理を行うことによりゲート絶縁膜3604を酸化させた後に、再度窒素雰囲気下でプラズマ処理を行うことにより窒化させてもよい。この場合、半導体膜3603a、3603bの表面に酸化珪素(SiOx)または酸化窒化珪素(SiOxNy)(x>y)が形成され、ゲート電極3605に接して窒化酸化珪素(SiNxOy)(x>y)が形成される。
このように、プラズマ処理を行い半導体膜またはゲート絶縁膜を酸化または窒化して表面を改質することにより、緻密で膜質のよい絶縁膜を形成することができる。その結果、絶縁膜を薄く形成する場合であってもピンホール等の欠陥を防止し、トランジスタ等の半導体素子の微細化および高性能化を実現することが達成できる。
なお、本実施形態では、上記図36における半導体膜3603aおよび3603bまたはゲート絶縁膜3604にプラズマ処理を行い、当該半導体膜3603aおよび3603bまたはゲート絶縁膜3604を酸化または窒化を行ったが、プラズマ処理を用いて酸化または窒化を行う層は、これに限定されない。例えば、基板3601または絶縁膜3602にプラズマ処理を行ってもよいし、絶縁膜3606または絶縁膜3607にプラズマ処理を行ってもよい。
なお、本実施形態で述べた内容は、実施の形態1〜実施の形態4で述べた内容と自由に組み合わせて実施することができる。
(実施の形態6)
本実施形態では、本発明の表示装置の駆動を制御するハードウェアについて述べる。
大まかな構成図を図43に示す。基板4301の上に、画素部4304が配置されている。信号線駆動回路4306や走査線駆動回路4305が配置されている場合が多い。それ以外にも、電源回路やプリチャージ回路やタイミング生成回路などが配置されていることもある。また、信号線駆動回路4306や走査線駆動回路4305が配置されていない場合もある。その場合は、基板4301に配置されていないものは、ICに形成されることが多い。そのICは、基板4301の上に、COG(Chip On Glass)によって配置されている場合も多い。あるいは、周辺回路基板4302と基板4301とを接続する接続基板4307の上に、ICが配置される場合もある。
周辺回路基板4302には、信号4303が入力される。そして、コントローラ4308が制御して、メモリ4309、4310などに信号が保存される。信号4303がアナログ信号の場合は、アナログ・デジタル変換を行った後、そして、メモリ4309、4310などに保存されることが多い。そして、コントローラ4308がメモリ4309、4310などに保存された信号を用いて、基板4301に信号を出力する。
なお、本実施形態で述べた内容は、実施の形態1〜実施の形態5で述べた内容と自由に組み合わせて実施することができる。
(実施の形態7)
本実施形態では、本発明の表示装置を用いたELモジュール及びELテレビ受像機の構成例について説明する。
図44は表示パネル4401と、回路基板4402を組み合わせたELモジュールを示している。表示パネル4401は画素部4403、走査線駆動回路4404及び信号線駆動回路4405を有している。回路基板4402には、例えば、コントロール回路4406や信号分割回路4407などが形成されている。表示パネル4401と回路基板4402は接続配線4408によって接続されている。接続配線にはFPC等を用いることができる。
コントロール回路4406が、実施の形態6における、コントローラ4308やメモリ4309、4310などに相当する。
表示パネル4401は、画素部と一部の周辺駆動回路(複数の駆動回路のうち動作周波数の低い駆動回路)を基板上にトランジスタを用いて一体形成し、一部の周辺駆動回路(複数の駆動回路のうち動作周波数の高い駆動回路)をICチップ上に形成し、そのICチップをCOG(Chip On Glass)などで表示パネル4401に実装するとよい。あるいは、そのICチップをTAB(Tape Automated Bonding)やプリント基板を用いて表示パネル4401に実装してもよい。
また、走査線や信号線に設定する信号をバッファによりインピーダンス変換することで、1行毎の画素の書き込み時間を短くすることができる。よって高精細な表示装置を提供することができる。
また、さらに消費電力の低減を図るため、ガラス基板上にトランジスタを用いて画素部を形成し、全ての信号線駆動回路をICチップ上に形成し、そのICチップをCOG(Chip On Glass)などで表示パネルに実装してもよい。
例えば、表示パネルの画面全体をいくつかの領域に分割し、各々の領域に一部もしくは全ての周辺駆動回路(信号線駆動回路、走査線駆動回路など)を形成したICチップを配置し、COG(Chip On Glass)などで表示パネルに実装してもよい。この場合の表示パネルの構成を図45に示す。
図45では、画面全体を4つの領域に分割し、8個のICチップを用いて駆動させる例である。表示パネルの構成は、基板4510、画素部4511、FPC4512a〜4512h、ICチップ4513a〜4513hを有する。8個のICチップのうち、4513a〜4513dには信号線駆動回路を形成しており、4513e〜4513hには走査線駆動回路を形成している。そして、任意のICチップを駆動させることにより、4つの画面領域のうち任意の画面領域のみを駆動させることが可能となる。例えば、ICチップ4513aと4513eのみを駆動させると、4つの画面領域のうち、左上の領域のみを駆動させることができる。このようにすることにより、消費電力を低減させることが可能となる。
上記のようなパネル構成を備えたELモジュールにより、ELテレビ受像機を完成させることができる。図46は、ELテレビ受像機の主要な構成を示すブロック図である。チューナ4601は映像信号と音声信号を受信する。映像信号は、映像信号増幅回路4602と、そこから出力される信号を赤、緑、青の各色に対応した色信号に変換する映像信号処理回路4603と、その映像信号を駆動回路の入力仕様に変換するためのコントロール回路4406により処理される。コントロール回路4406は、走査線側と信号線側にそれぞれ信号が出力する。デジタル駆動する場合には、信号線側に信号分割回路4407を設け、入力デジタル信号をM個に分割して供給する構成としてもよい。
チューナ4601で受信した信号のうち、音声信号は音声信号増幅回路4604に送られ、その出力は音声信号処理回路4605を経てスピーカー4606に供給される。制御回路4607は受信局(受信周波数)や音量の制御情報を入力部4608から受け、チューナ4601や音声信号処理回路4605に信号を送出する。
ELモジュールを筐体に組みこんで、テレビ受像機を完成させることができる。ELモジュールにより、表示部が形成される。また、スピーカー、ビデオ入力端子などが適宜備えられている。
勿論、本発明はテレビ受像機に限定されず、パーソナルコンピュータのモニタをはじめ、鉄道の駅や空港などにおける情報表示盤や、街頭における広告表示盤など特に大面積の表示媒体として様々な用途に適用することができる。
このように、本発明の表示装置、およびその駆動法を用いることにより、綺麗な画像を見ることが出来る。よって、人間の肌のように、階調が微妙に変化するような画像であっても、綺麗に表示出来るようになる。
なお、本実施形態で述べた内容は、実施の形態1〜実施の形態6で述べた内容と自由に組み合わせて実施することができる。
(実施の形態8)
本発明の表示装置を用いた電子機器として、ビデオカメラ、デジタルカメラ等のカメラ、ゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、オーディオコンポ等)、パーソナルコンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機、電子書籍等)、記憶媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigital Versatile Disc(DVD)等の記憶媒体を再生し、その画像を表示しうるディスプレイを備えた装置)等が挙げられる。それらの電子機器の具体例を図47に示す。
図47(A)は発光装置であり、筐体4701、支持台4702、表示部4703、スピーカー部4704、ビデオ入力端子4705等を含む。本発明は、表示部4703を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。発光装置は自発光型であるためバックライトが必要なく、液晶ディスプレイよりも薄い表示部とすることができる。なお、発光装置は、パーソナルコンピュータ用、TV放送受信用、広告表示用などの全ての情報表示用表示装置が含まれる。
図47(B)はデジタルスチルカメラであり、本体4706、表示部4707、受像部4708、操作キー4709、外部接続ポート4710、シャッター4711等を含む。本発明は、表示部4707を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。
図47(C)はノート型パーソナルコンピュータであり、本体4712、筐体4713、表示部4714、キーボード4715、外部接続ポート4716、ポインティングマウス4717等を含む。本発明は、表示部4714を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。
図47(D)はモバイルコンピュータであり、本体4718、表示部4719、スイッチ4720、操作キー4721、赤外線ポート4722等を含む。本発明は、表示部4719を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。
図47(E)は記憶媒体装置を備えた携帯型の画像再生装置(具体的にはDVD再生装置)であり、本体4723、筐体4724、表示部A4725、表示部B4726、記憶媒体(DVD等)読み込み部4727、操作キー4728、スピーカー部4729等を含む。表示部A4725は主に画像情報を表示し、表示部B4726は主に文字情報を表示する。本発明は、表示部A、B4725、4726を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。なお、記録媒体を備えた画像再生装置には家庭用ゲーム機器なども含まれる。
図47(F)はゴーグル型ディスプレイ(ヘッドマウントディスプレイ)であり、本体4730、表示部4731、アーム部4732等を含む。本発明は、表示部4731を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。
図47(G)はビデオカメラであり、本体4733、表示部4734、筐体4735、外部接続ポート4736、リモコン受信部4737、受像部4738、バッテリー4739、音声入力部4740、操作キー4741等を含む。本発明は、表示部4734を構成する表示装置に用いることができ、本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。
図47(H)は携帯電話であり、本体4742、筐体4743、表示部4744、音声入力部4745、音声出力部4746、操作キー4747、外部接続ポート4748、アンテナ4749等を含む。本発明は、表示部4744を構成する表示装置に用いることができる。なお、表示部4744は黒色の背景に白色の文字を表示することで携帯電話の消費電流を抑えることができる。また本発明により、輝度のばらつきが低減された、綺麗な画像を見ることができるようになる。
なお、発光輝度が高い発光材料を用いれば、出力した画像情報を含む光をレンズ等で拡大投影してフロント型若しくはリア型のプロジェクターに用いることも可能となる。
また、上記電子機器はインターネットやCATV(ケーブルテレビ)などの電子通信回線を通じて配信された情報を表示することが多くなり、特に動画情報を表示する機会が増してきている。発光材料の応答速度は非常に高いため、発光装置は動画表示に好ましい。
また、発光装置は発光している部分が電力を消費するため、発光部分が極力少なくなるように情報を表示することが望ましい。従って、携帯情報端末、特に携帯電話や音響再生装置のような文字情報を主とする表示部に発光装置を用いる場合には、非発光部分を背景として文字情報を発光部分で形成するように駆動することが望ましい。
以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の電子機器に用いることが可能である。また、本実施の形態の電子機器は、実施の形態1〜実施の形態7に示したいずれの構成の表示装置を用いてもよい。
(実施の形態9)
本実施形態では、本発明の表示装置における画素のレイアウトについて述べる。例えば、図1に示した画素回路について、そのレイアウト図を図86に示す。なお、図86に付した番号は、図1に付した番号と一致する。なお、レイアウト図は、図86に限定されない。
図1に示した画素回路は、第1〜第5のトランジスタ101〜105、第1及び第2の保持容量106、107、信号線108、第1〜第4の走査線109〜112、第1及び第2の電源線113、114、容量線115、発光素子116から構成されている。
第1〜第4の走査線109〜112は、第1配線によって形成され、信号線108、第1及び第2の電源線113、114、容量線115は、第2配線によって形成されている。
また、例えば、図17に示した画素回路について、そのレイアウト図を図87に示す。なお、図87に付した番号は、図17に付した番号と一致する。なお、レイアウト図は、図87に限定されない。
図17に示した画素回路は、第1〜第5のトランジスタ1701〜1705、第1及び第2の保持容量1706、1707、信号線1708、第1〜第4の走査線1709〜1712、第1及び第2の電源線1713、1714、容量線1715、発光素子1716から構成されている。
第1〜第4の走査線1709〜1712は、第1配線によって形成され、信号線1708、第1及び第2の電源線1713、1714、容量線1715は、第2配線によって形成されている。
トップゲート構造の場合は、基板、半導体層、ゲート絶縁膜、第1配線、層間絶縁膜、第2配線、の順で膜が構成される。また、ボトムゲート構造の場合は、基板、第1配線、ゲート絶縁膜、半導体層、層間絶縁膜、第2配線、の順で膜が構成される。
なお、本実施形態の画素構成において、第1〜第5のトランジスタのそれぞれが有するゲート長Lとチャネル幅Wの比W/Lの値の中で、第1のトランジスタが有するW/Lの値を最大にすると、第1のトランジスタのドレイン・ソース間を流れる電流をより大きくすることができる。これにより、期間T2でビデオ信号電圧Vdata及び第1のトランジスタの閾値電圧|Vth|に基づいた電圧を取得するときに、より大きな電流によって動作を行うことができるため、より迅速な動作ができるようになる。また、期間T3で発光素子に流れる電流IOLEDをより大きくすることができ、輝度をより高くすることが可能となる。そこで、第1のトランジスタが有するW/Lの値が最大となるようにするために、図86では、第1〜第5のトランジスタの中で、第1のトランジスタ101が有するチャネル幅Wを最大にしている。また、図87では、第1〜第5のトランジスタの中で、第1のトランジスタ1701が有するチャネル幅Wを最大にしている。
なお、本実施形態では、第1〜第5のトランジスタをシングルゲート構造で記載したが、これに限定されない。第1〜第5のトランジスタの構造は、様々な形態をとることができる。例えば、ゲート電極が2個以上になっているマルチゲート構造を用いてもよい。マルチゲート構造にすると、チャネル領域が直列に接続されるような構成となるため、複数のトランジスタが直列に接続されたような構成となる。マルチゲート構造にすることにより、オフ電流を低減したり、トランジスタの耐圧を向上させて信頼性を良くしたり、飽和領域で動作する時に、ドレイン・ソース間電圧が変化しても、ドレイン・ソース間電流があまり変化せず、フラットな特性にすることができる。また、チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造でもよい。チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造にすることにより、チャネル領域が増えるため、電流値を大きくしたり、空乏層ができやすくなってS値をよくしたりすることができる。チャネルの上下にゲート電極が配置されると、複数のトランジスタが並列に接続されたような構成となる。また、チャネルの上にゲート電極が配置されている構造でもよいし、チャネルの下にゲート電極が配置されている構造でもよいし、正スタガ構造であってもよいし、逆スタガ構造でもよいし、チャネル領域が複数の領域に分かれていてもよいし、並列に接続されていてもよいし、直列に接続されていてもよい。また、チャネル(もしくはその一部)にソース電極やドレイン電極が重なっていてもよい。チャネル(もしくはその一部)にソース電極やドレイン電極が重なっている構造にすることにより、チャネルの一部に電荷がたまって、動作が不安定になることを防ぐことができる。また、LDD領域があってもよい。LDD領域を設けることにより、オフ電流を低減したり、トランジスタの耐圧を向上させて信頼性を良くしたり、飽和領域で動作する時に、ドレイン・ソース間電圧が変化しても、ドレイン・ソース間電流があまり変化せず、フラットな特性にすることができる。
なお、配線や電極は、アルミニウム(Al)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、ネオジウム(Nd)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、マグネシウム(Mg)、スカンジウム(Sc)、コバルト(Co)、亜鉛(Zn)、ニオブ(Nb)、シリコン(Si)、リン(P)、ボロン(B)、ヒ素(As)、ガリウム(Ga)、インジウム(In)、錫(Sn)、酸素(O)で構成された群から選ばれた一つ又は複数の元素、もしくは、前記群から選ばれた一つ又は複数の元素を成分とする化合物や合金材料(例えば、インジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化珪素を添加したインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO)、アルミネオジウム(Al−Nd)、マグネシウム銀(Mg−Ag)など)、もしくは、これらの化合物を組み合わせた物質などを有して形成される。もしくは、それらとシリコンの化合物(シリサイド)(例えば、アルミシリコン、モリブデンシリコン、ニッケルシリサイドなど)や、それらと窒素の化合物(例えば、窒化チタン、窒化タンタル、窒化モリブデン等)を有して形成される。なお、シリコン(Si)には、N型不純物(リンなど)やP型不純物(ボロンなど)を多く含んでいてもよい。これらの不純物を含むことにより、導電率が向上したり、通常の導体と同様な振る舞いをするので、配線や電極として利用しやすくなったりする。なお、シリコンは、単結晶でもよいし、多結晶(ポリシリコン)でもよいし、非晶質(アモルファスシリコン)でもよい。単結晶シリコンや多結晶シリコンを用いることにより、抵抗を小さくすることが出来る。非晶質シリコンを用いることにより、簡単な製造工程で作ることが出来る。なお、アルミニウムや銀は、導電率が高いため、信号遅延を低減することができ、エッチングしやすいので、パターニングしやすく、微細加工を行うことが出来る。なお、銅は、導電率が高いため、信号遅延を低減することが出来る。なお、モリブデンは、ITOやIZOなどの酸化物半導体や、シリコンと接触しても、材料が不良を起こすなどの問題が生じることなく製造できたり、パターニングやエッチングがしやすかったり、耐熱性が高いため、望ましい。なお、チタンは、ITOやIZOなどの酸化物半導体や、シリコンと接触しても、材料が不良を起こすなどの問題が生じることなく製造できたり、耐熱性が高いため、望ましい。なお、タングステンは、耐熱性が高いため、望ましい。なお、ネオジウムは、耐熱性が高いため、望ましい。特に、ネオジウムとアルミニウムとの合金にすると、耐熱性が向上し、アルミニウムがヒロックをおこしにくくなるため、望ましい。なお、シリコンは、トランジスタが有する半導体層と同時に形成できたり、耐熱性が高いため、望ましい。なお、インジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化珪素を添加したインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化亜鉛(ZnO)、シリコン(Si)は、透光性を有しているため、光を透過させるような部分に用いることができるため、望ましい。たとえば、画素電極や共通電極として用いることができる。
なお、これらが単層で配線や電極を形成していてもよいし、多層構造になっていてもよい。単層構造で形成することにより、製造工程を簡略化することができ、工程日数を少なくでき、コストを低減することが出来る。また、多層構造にすることにより、それぞれの材料のメリットを生かし、デメリットを低減させ、性能の良い配線や電極を形成することが出来る。たとえば、抵抗の低い材料(アルミニウムなど)を多層構造の中に含むようにすることにより、配線の低抵抗化を図ることができる。また、耐熱性が高い材料を含むようにすれば、例えば、耐熱性が弱いが、別のメリットを有する材料を、耐熱性が高い材料で挟むような積層構造にすることにより、配線や電極全体として、耐熱性を高くすることが出来る。例えば、アルミニウムを含む層を、モリブデンやチタンを含む層で挟んだような形にした積層構造にすると望ましい。また、別の材料の配線や電極などと直接接するような部分がある場合、お互いに悪影響を及ぼすことがある。例えば、一方の材料が他方の材料の中に入っていって、性質を変えてしまい、本来の目的を果たせなくなったり、製造するときに、問題が生じて、正常に表示装置を製造できなくなったりすることがある。そのような場合、ある層を別の層で挟んだり、覆ったりすることにより、問題を解決することが出来る。例えば、インジウム錫酸化物(ITO)と、アルミニウムを接触させたい場合は、間に、チタンやモリブデンを挟むことが望ましい。また、シリコンとアルミニウムを電気的に接触させたい場合は、間に、チタンやモリブデンを挟むことが望ましい。
なお、本実施形態で述べた内容は、実施の形態1〜実施の形態8で述べた内容と自由に組み合わせて実施することができる。
本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置に用いるトランジスタの構造を示す図。 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。 本発明の表示装置に用いるトランジスタの製造方法を説明する図。 本発明の駆動方式を制御するハードウェアの一例を示す図。 本発明の駆動方式を用いたELモジュールの一例を示す図。 本発明の駆動方式を用いた表示パネルの構成例を示す図。 本発明の駆動方式を用いたELテレビ受像機の一例を示す図。 本発明の駆動方式が適用される電子機器の一例を示す図。 従来の画素構成を示す図。 従来の画素構成を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置の構成例を示す図。 本発明の表示装置における信号線駆動回路の構成例を示す図。 本発明の表示装置における走査線駆動回路の構成例を示す図。 本発明の表示装置の構成例を示す図。 本発明の表示装置の構成例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素回路の動作について説明する図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成の一例を示す図。 本発明の表示装置に用いる表示パネルの構成の一例を示す図。 本発明の表示装置に用いる発光素子の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置の構成の一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成のレイアウトの一例を示す図。 本発明の表示装置における画素構成のレイアウトの一例を示す図。

Claims (10)

  1. 発光素子と、第1乃至第5のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第4の走査線と、第1及び第2の電源線と、容量線とを有し、
    前記第1のトランジスタのゲート電極は、前記第2のトランジスタの第1の電極、前記第4のトランジスタの第2の電極、及び前記第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、前記第1のトランジスタの第1の電極は、前記第1の電源線と電気的に接続され、前記第1のトランジスタの第2の電極は、前記第4のトランジスタの第1の電極及び前記第5のトランジスタの第1の電極と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのゲート電極は、前記第1の走査線と電気的に接続され、前記第2のトランジスタの第2の電極は、前記信号線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのゲート電極は、前記第2の走査線と電気的に接続され、前記第3のトランジスタの第1の電極は、前記第1の保持容量の第2の電極及び前記第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、前記第3のトランジスタの第2の電極は、前記容量線と電気的に接続され、
    前記第4のトランジスタのゲート電極は、前記第3の走査線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのゲート電極は、前記第4の走査線と電気的に接続され、前記第5のトランジスタの第2の電極は、前記発光素子の第1の電極と電気的に接続され、
    前記第2の保持容量の第2の電極は、前記容量線と電気的に接続され、
    前記発光素子の第2の電極は、前記第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。
  2. 発光素子と、第1乃至第6のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第5の走査線と、第1乃至第3の電源線と、容量線とを有し、
    前記第1のトランジスタのゲート電極は、前記第2のトランジスタの第1の電極、前記第4のトランジスタの第2の電極、及び前記第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、前記第1のトランジスタの第1の電極は、前記第1の電源線と電気的に接続され、前記第1のトランジスタの第2の電極は、前記第4のトランジスタの第1の電極、前記第5のトランジスタの第1の電極、及び前記第6のトランジスタの第1の電極と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのゲート電極は、前記第1の走査線と電気的に接続され、前記第2のトランジスタの第2の電極は、前記信号線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのゲート電極は、前記第2の走査線と電気的に接続され、前記第3のトランジスタの第1の電極は、前記第1の保持容量の第2の電極及び前記第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、前記第3のトランジスタの第2の電極は、前記容量線と電気的に接続され、
    前記第4のトランジスタのゲート電極は、前記第3の走査線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのゲート電極は、前記第4の走査線と電気的に接続され、前記第5のトランジスタの第2の電極は、前記発光素子の第1の電極と電気的に接続され、
    前記第6のトランジスタのゲート電極は、前記第5の走査線と電気的に接続され、前記第6のトランジスタの第2の電極は、前記第3の電源線と電気的に接続され、
    前記第2の保持容量の第2の電極は、前記容量線と電気的に接続され、
    前記発光素子の第2の電極は、前記第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。
  3. 発光素子と、第1乃至第4のトランジスタと、第1及び第2の保持容量と、信号線と、第1乃至第3の走査線と、第1及び第2の電源線と、容量線とを有し、
    前記第1のトランジスタのゲート電極は、前記第2のトランジスタの第1の電極、前記第4のトランジスタの第2の電極、及び前記第1の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、前記第1のトランジスタの第1の電極は、前記第1の電源線と電気的に接続され、前記第1のトランジスタの第2の電極は、前記第4のトランジスタの第1の電極及び前記発光素子の第1の電極と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのゲート電極は、前記第1の走査線と電気的に接続され、前記第2のトランジスタの第2の電極は、前記信号線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのゲート電極は、前記第2の走査線と電気的に接続され、前記第3のトランジスタの第1の電極は、前記第1の保持容量の第2の電極及び前記第2の保持容量の第1の電極と電気的に接続され、前記第3のトランジスタの第2の電極は、前記容量線と電気的に接続され、
    前記第4のトランジスタのゲート電極は、前記第3の走査線と電気的に接続され、
    前記第2の保持容量の第2の電極は、前記容量線と電気的に接続され、
    前記発光素子の第2の電極は、前記第2の電源線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。
  4. 発光素子と、第1乃至第5のトランジスタと、第1及び第2の容量素子と、第1乃至第8の配線と、を有し、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタの第1の端子に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第4のトランジスタの第2の端子に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第1の容量素子の第1の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第1の端子は、前記第6の配線と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第2の端子は、前記第4のトランジスタの第1の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第2の端子は、前記第5のトランジスタの第1の端子と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのゲートは、前記第2の配線と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタの第2の端子は、前記第1の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのゲートは、前記第3の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第1の端子は、前記第1の容量素子の第2の端子と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第1の端子は、前記第2の容量素子の第1の端子と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第2の端子は、前記第8の配線と電気的に接続され、
    前記第4のトランジスタのゲートは、前記第4の配線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのゲートは、前記第5の配線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタの第2の端子は、前記発光素子の第1の電極と電気的に接続され、
    前記第2の容量素子の第2の端子は、前記第8の配線と電気的に接続され、
    前記発光素子の第2の電極は、前記第7の配線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。
  5. 発光素子と、第1乃至第6のトランジスタと、第1及び第2の容量素子と、第1乃至第10の配線と、を有し、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタの第1の端子に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第4のトランジスタの第2の端子に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第1の容量素子の第1の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第1の端子は、第7の配線と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第2の端子は、前記第4のトランジスタの第1の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第2の端子は、前記第5のトランジスタの第1の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第2の端子は、前記第6のトランジスタの第1の端子と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのゲートは、前記第2の配線と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタの第2の端子は、前記第1の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのゲートは、前記第3の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第1の端子は、前記第1の容量素子の第2の端子と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第1の端子は、前記第2の容量素子の第1の端子と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第2の端子は、前記第10の配線と電気的に接続され、
    前記第4のトランジスタのゲートは、前記第4の配線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタのゲートは、前記第5の配線と電気的に接続され、
    前記第5のトランジスタの第2の端子は、前記発光素子の第1の電極と電気的に接続され、
    前記第6のトランジスタのゲートは、前記第6の配線と電気的に接続され、
    前記第6のトランジスタの第2の端子は、前記第9の配線と電気的に接続され、
    前記第2の容量素子の第2の端子は、前記第10の配線と電気的に接続され、
    前記発光素子の第2の電極は、前記第8の配線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。
  6. 発光素子と、第1乃至第4のトランジスタと、第1及び第2の容量素子と、第1乃至第7の配線と、を有し、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタの第1の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第4のトランジスタの第2の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのゲートは、前記第1の容量素子の第1の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第1の端子は、前記第5の配線と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第2の端子は、前記第4のトランジスタの第1の端子と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタの第2の端子は、前記発光素子の第1の電極と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのゲートは、前記第2の配線と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタの第2の端子は、前記第1の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのゲートは、前記第3の配線と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第1の端子は、前記第1の容量素子の第2の端子と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第1の端子は、前記第2の容量素子の第1の端子と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタの第2の端子は、前記第7の配線と電気的に接続され、
    前記第4のトランジスタのゲートは、前記第4の配線と電気的に接続され、
    前記第2の容量素子の第2の端子は、前記第7の配線と電気的に接続され、
    前記発光素子の第2の電極は、前記第6の配線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。
  7. 請求項1、2、4、又は5のいずれか一項において、
    前記第4のトランジスタと、前記第5のトランジスタとが、互いに異なる導電形式であることを特徴とする表示装置。
  8. 請求項1乃至7のいずれか一項において、
    前記第2のトランジスタと、前記第3のトランジスタとが、互いに異なる導電形式であることを特徴とする表示装置。
  9. 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の表示装置と、前記表示装置に電気的に接続されたFPCとを有するモジュール。
  10. 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の表示装置又は請求項9に記載のモジュールを有する電子機器。
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