JP5092136B2 - 積層体の形成方法 - Google Patents
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Description
前記シランカップリング剤処理工程の際、前記シランカップリング剤水溶液をFT−IRにて分析し、シラノール基のSi−O伸縮振動ピーク強度(以下、「シラノール基のピーク強度」という)が所定の閾値未満となったときに、前記シランカップリング剤水溶液の少なくとも一部を更新することで、前記ピーク強度を所定の範囲内に管理しながらシランカップリング剤処理を行うことを特徴とする。
〈シランカップリング剤水溶液の調製〉
2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン(シランカップリング剤)をイオン交換水に溶解させて、実施例1で使用するシランカップリング剤水溶液(濃度:1.0重量%)を得た。
試験基板として100mm×100mmにカットした電解銅箔(三井金属鉱業社製、製品名3EC−III、厚み35μm)を準備し、これを10重量%硫酸に30秒間浸漬して銅箔表面を清浄化し、水洗、乾燥を行なった。次いで、この試験基板をメック社製置換スズめっき液(T−9900)で浸漬揺動処理し(30℃、30秒間)、その後水洗して、銅箔表面にスズめっき処理層を形成した。その後、すぐに、希硝酸水溶液中で浸漬揺動処理し(35℃、10秒間)、スズめっき処理層の表層部分を除去した後、水洗して、銅箔表面に銅−スズ合金層を形成した。次に、銅−スズ合金層が形成された試験基板を、表1に示す状態の上記シランカップリング剤水溶液(1リットル)中で浸漬揺動処理し(35℃、30秒間)、予備乾燥(60℃、20秒間)した後、水洗(25℃、50秒間)し、最後に乾燥(90℃、20秒間)して、シランカップリング剤皮膜を形成した。なお、表1において、「連続使用」とは、シランカップリング剤を水に溶解して120分間攪拌した後のシランカップリング剤水溶液(1リットル)を新液として用いて、上記と同様の銅−スズ合金層が形成された試験基板(100枚)を1日あたり8時間かけて浸漬揺動処理(それぞれ35℃、30秒間の処理)し続けることをいう。この「連続使用」では、1日あたり合計1m2の試験基板を処理することになる。また、表1において、「全交換」とは、シランカップリング剤水溶液の全液を、上記新液、即ち、シランカップリング剤を水に溶解して120分間攪拌した後のシランカップリング剤水溶液(1リットル)に交換することをいう。
表1に示す各状態のシランカップリング剤水溶液について、シラノール基のピーク強度をFT−IR分析装置(サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製、製品名NICOLET380)にて、検出器:DLaTGS/KBr、アクセサリー:水平状ATR、分解能:8cm−1、積算回数:64回の条件で測定した。また、試験基板である電解銅箔の光沢面側に形成されたシランカップリング剤皮膜上にソルダーレジスト(日立化成工業株式会社製、製品名SR−7200G)を塗布し、乾燥させた後、超加速寿命試験(HAST)の条件(130℃、湿度85%)で25時間経過した後のソルダーレジスト膜の引き剥がし強さ(ピール強度)を、JIS C 6481により測定した。なお、ピール強度が0.50N/mm以上であれば密着性の確保が可能であると判断した。結果を表1に示す。
実施例2〜6及び比較例1として、シランカップリング剤水溶液を表1及び表2に示す水溶液に変更し、表1及び表2に示す各状態において評価したこと以外は、上記実施例1と同様に評価を行った。結果を表1及び表2に示す。なお、実施例3については、シランカップリング剤を水に溶解して180分間攪拌した後のシランカップリング剤水溶液(1リットル)を新液として用いて連続使用を行った。また、表1において、「半交換」とは、シランカップリング剤水溶液の半分を除去し、除去した分だけ新液、即ち、シランカップリング剤を水に溶解して120分間攪拌した後のシランカップリング剤水溶液を補充することをいう。
Claims (2)
- 金属層表面にシランカップリング剤水溶液を塗布し、得られた塗布膜を乾燥させてシランカップリング剤皮膜を形成するシランカップリング剤処理工程と、前記シランカップリング剤皮膜上に樹脂層を積層させる積層工程とを連続して行う積層体の形成方法において、
前記シランカップリング剤処理工程の際、前記シランカップリング剤水溶液をFT−IRにて分析し、シラノール基のSi−O伸縮振動ピーク強度が所定の閾値未満となったときに、前記シランカップリング剤水溶液の少なくとも一部を更新することで、前記ピーク強度を所定の範囲内に管理しながらシランカップリング剤処理を行うことを特徴とする積層体の形成方法。 - 前記シランカップリング剤として、エポキシ基、アミノ基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基及びビニル基から選択される少なくとも1つの官能基を有するシランカップリング剤を用いる請求項1に記載の積層体の形成方法。
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