JP5078002B2 - ダイヤモンド膜被覆部材およびその製造方法 - Google Patents
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Description
それにより、材料同士の熱膨張係数による密着性の問題を緩和させた。
が好ましい。
ら成る基材表面上に中間層を形成させた後に矩形断面の溝加工を格子状に施して微小区域を形成させた状態の基材平面図、(b)は(a)の表面を部分的に拡大した模式平面図、(c)は(a)の表面を部分的に拡大した模式断面図である。
2 最短距離
3 溝部
4 微小区域
8 最長距離
10 中間層
11 中間層厚さ
12 溝深さ
13 鉄基合金
Claims (8)
- 鉄基合金製の基材上に被覆されたダイヤモンド膜被覆部材において、基材上にタングステンから成る30〜300μmの厚さの中間層と、前記中間層上に被覆された15μmの厚さのダイヤモンド膜と、から成るダイヤモンド膜被覆部材であって、前記中間層上に溝部によって分割された微小区域を有し、前記微小区域表面上の最長距離が100μmを超え450μm未満であることを特徴とするダイヤモンド膜被覆部材。
- 前記中間層およびダイヤモンド膜は、研磨により中間層およびダイヤモンド膜の各表面が平滑化されていることを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンド膜被覆部材。
- 前記溝部は、10μm以上前記中間層の厚さ以下の溝深さを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のダイヤモンド膜被覆部材。
- 前記微小区域は、隣接する微小区域との最短距離が10μm以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載のダイヤモンド膜被覆部材。
- 鉄基合金製の基材上にタングステンから成る中間層をプラズマ溶射法により被覆し、前記中間層上の溝加工により形成された微小区域表面上の最長距離が100μmを超え450μm未満となるように分割した後、ダイヤモンド膜を被覆することを特徴とするダイヤモンド膜被覆部材の製造方法。
- 前記中間層およびダイヤモンド膜の被覆後、中間層およびダイヤモンド膜の各表面を研磨により平滑化することを特徴とする請求項5に記載のダイヤモンド膜被覆部材の製造方法。
- 前記溝加工は、溝深さが10μm以上前記中間層の厚さ以下となることを特徴とする請求項5または6に記載のダイヤモンド膜被覆部材の製造方法。
- 前記溝加工は、前記微小区域相互間の最短距離を10μm以上とすることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか一に記載のダイヤモンド膜被覆部材の製造方法。
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