JP5077432B2 - パターン作成方法およびパターン作成プログラム - Google Patents

Description

本発明はパターン作成方法およびパターン作成プログラムに関し、特に、線幅の誤差を低減させるパターン作成方法およびパターン作成プログラムに関する。

近年のＬＳＩ（Large Scale Integrated circuit）製造においては、非常に微細なパターン形成が要求されている。
近年のＬＳＩ製造においては、半導体基板（ウェハ）転写後のパターンの忠実性を上げるために、設計データの図形をウェハ転写後に設計データ形状になるように変形させるＯＰＣ（近接効果補正：Optical Proximity Correction）処理が一般的に行われる。

ＯＰＣ処理方法としては、要求される精度に応じて様々な方法が行われる。近年の微細パターン形成において一般的に用いられるモデルベースのＯＰＣ処理においては、シミュレーションによりＯＰＣ処理後の図形が決定される。

シミュレーションによって決定された図形は、計算により算出される理想値であるため、実際に製造データにする際には、この理想値から得られた線分（辺）が、グリッド上に位置していない線分（以下、「オフグリッドの線分」と言う）である場合は、グリッド上に配置しなおす（丸め込む）必要がある。

また、半導体製造を行うためのＯＰＣ処理以外のパターンデータ処理においても、入力データと出力データのグリッドとが異なるような処理を行った場合は、オフグリッドの線分が生じる可能性がある。

ここで、生じたオフグリッドの線分をグリッド上に配置するために、ユーザーにより指定されたグリッド上に配置する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、グリッドの微細化を図ることで、オフグリッドの線分をグリッド上に配置する方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
特開２０００−１００６８８号公報 特開昭６２−０４３７７８号公報

オフグリッドの線分をグリッド上に配置する場合、一般的にはオフグリッドの線分に対するグリッドからのズレ量を判断し、オフグリッドの線分と、この線分をグリッド上に配置した場合の線分とのズレ量を最小にするべく近接する２つのグリッドのうち近い方のグリッド上にオフグリッドの線分を配置する。

図１０は、オフグリッドの線分をグリッド上に配置する方法を示す図である。
グリッド上には、グリッドを視認するための点が所定間隔で設けられている。また、グリッドの列を識別する符号Ａ１〜Ａ４およびグリッドの行を識別する符号Ｂ１〜Ｂ３が設けられている。

矩形９１の図１０中左右の両辺は、いずれもグリッド上に配置されておらずオフグリッドの線分である。
ここで、矩形９１の左辺は、Ａ１列（以下、「グリッドラインＡ１」と言う）とグリッドラインＡ２との中間に仮想的に設けた仮想線Ａ１２よりもグリッドラインＡ１側に位置している。

また、矩形９１の右辺は、グリッドラインＡ３とグリッドラインＡ４との中間に仮想的に設けた仮想線Ａ３４よりもグリッドラインＡ４側に位置している。
従って、例えば、特許文献１に示した方法を用いて矩形９１の両辺を配置しなおした矩形９２の両辺は、図１０（ｂ）に示すように、それぞれグリッドラインＡ１およびグリッドラインＡ４上に配置される。

このように、移動前の両辺間の線幅に対して移動後の両辺間の線幅は、最大で（グリッド間の距離×０．５）×２（両辺分）＝１グリッド分の誤差が生じる。
しかしながら、近年の線幅の誤差に対する要求は非常に厳しく、線幅の誤差を１グリッド以下にすることが求められている。

また、特許文献２に示すように、グリッドを微細化することにより、線幅の誤差に対する要求に応えようとした場合、データ容量の増加やデータ処理時間の増大を招き、効率面で悪影響を及ぼすという問題がある。

本実施例の一観点は、グリッド上に存在しない処理対象の線分を抽出する第１の工程と、前記処理対象の線分に対向する他の線分を抽出する第２の工程と、前記他の線分がグリッド上に存在するか否かを判断する第３の工程と、前記他の線分がグリッド上に存在しない場合、前記処理対象の線分と前記他の線分との線幅が、目標の線幅に最も近くなるように前記処理対象の線分および前記他の線分をグリッド上に移動させる第４の工程と、を有するパターン作成方法である。

開示のパターン作成方法およびパターン作成プログラムによれば、対向する他の線分との関連性を考慮して対象となる線分をグリッド上に配置するようにしたので、グリッドの線幅の誤差を低減させることができる。

本発明の上記および他の目的、特徴および利点は本発明の例として好ましい実施の形態を表す添付の図面と関連した以下の説明により明らかになるであろう。

本発明の概要を示す図である。 パターン作成装置のハードウェア構成例を示す図である。 パターン作成装置の機能を示すブロック図である。 グリッド配置部の第１の処理を示すフローチャートである。 グリッド配置部の第１の処理の具体例を示す図である。 グリッド配置部の第２の処理を示すフローチャートである。 入力データの一例を示す図である。 応用例を示す図である。 応用例を示す図である。 オフグリッドの線分をグリッド上に配置する方法を示す図である。

以下、本実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施の概要を示す図である。
図１に示すパターン作成方法は、線幅の誤差を低減させる方法であり、例えばＯＰＣ処理等が施されたパターンに対して以下の第１の工程〜第４の工程を行う。

図１（ａ）に示すように、第１の工程では、グリッド上に存在しない処理対象の線分１を抽出する。第２の工程では、この線分１に対向する他の線分２を抽出する。
第３の工程では、線分２がグリッド上に存在するか否かを判断する。図１（ａ）では、グリッド上には存在しない。

第４の工程では、線分２がグリッド上に存在しないため、所定の条件に基づいて線分１をグリッド上に移動させ、線分１と線分２との線幅が、目標の線幅に最も近くなるように線分２をグリッド上に移動させる。

図１では、図１（ｂ）に示すように、「隣接するグリッドのいずれか近い方に配置する」という条件に従って、線分１をグリッドラインＡ１に配置している。その後、目標の線幅が「現在の線幅ｄ１に最も近い線幅」である場合、線分２をグリッドラインＡ３に配置する。

これにより、グリッドの線幅の誤差は、１グリッド未満になる。
図２は、パターン作成装置のハードウェア構成例を示す図である。
パターン作成装置１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１０１によって装置全体が制御されている。ＣＰＵ１０１には、バス１０７を介してＲＡＭ（Random Access Memory）１０２、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ:Hard Disk Drive）１０３、グラフィック処理装置１０４、入力インタフェース１０５、および通信インタフェース１０６が接続されている。

ＲＡＭ１０２には、ＣＰＵ１０１に実行させるＯＳ（Operating System）のプログラムやアプリケーションプログラムの少なくとも一部が一時的に格納される。また、ＲＡＭ１０２には、ＣＰＵ１０１による処理に必要な各種データが格納される。ＨＤＤ１０３には、ＯＳやアプリケーションプログラムが格納される。また、ＨＤＤ１０３内には、プログラムファイルが格納される。

グラフィック処理装置１０４には、モニタ１１が接続されている。グラフィック処理装置１０４は、ＣＰＵ１０１からの命令に従って、画像をモニタ１１の画面に表示させる。入力インタフェース１０５には、キーボード１２とマウス１３とが接続されている。キーボード１２およびマウス１３は、ユーザーとのインタフェースを提供するものであり、入力インタフェース１０５は、キーボード１２やマウス１３から送られてくる信号を、バス１０７を介してＣＰＵ１０１に送信する。

通信インタフェース１０６は、ネットワーク１０に接続されている。通信インタフェース１０６は、ネットワーク１０を介して、他のコンピュータとの間でデータの送受信を行う。

以上のようなハードウェア構成によって、本実施の形態の処理機能を実現することができる。このようなハードウェア構成のシステムにおいてパターンの作成を行うために、パターン作成装置１００内には、以下のような機能が設けられる。

図３は、パターン作成装置の機能を示すブロック図である。
パターン作成装置１００は、ＯＰＣ処理部１１０と、グリッド配置部１２０とを有している。

ＯＰＣ処理部１１０は、例えばＧＤＳ２形式等によるパターンデータの、近接するマスクパターン間隔から、実際に露光される光の強度を予測し、光の干渉による焼付けパターン幅の変化を補正するＯＰＣ処理を行い、パターンを作成する。

なお、パターンデータとしては特に限定されないが、例えば半導体素子、磁気デバイス素子等の各種固体素子の製造におけるパターンデータが挙げられる。
グリッド配置部１２０は、線分抽出部１２１と、判断部１２２と、グリッド移動部１２３とを有している。

線分抽出部１２１は、ＯＰＣ処理部１１０により作成されたパターンのうち、オフグリッドの線分を全て抽出する。
判断部１２２は、線分抽出部１２１が抽出したオフグリッドの線分に対向する線分が存在するか否かを判断し、存在する場合、その線分がオフグリッドの線分か否かを判断する。

なお、以下の説明では、線分抽出部１２１が抽出した線分に対向する線分が存在するものとして説明する。
グリッド移動部１２３は、いずれか一方の線分がオフグリッドの線分である場合、また、両方の線分がオフグリッドの線分である場合に互いの線分との関係を考慮して、線分をグリッド上に配置する。

より詳しくは、配置の可能性のあるグリッド上にオフグリッドの線分を配置した場合の線幅と、現在の線幅（目標の線幅）との比較を行い、現在の線幅に最も近い線幅になるグリッド上に、オフグリッドの線分を移動する。

次に、グリッド配置部１２０の処理を説明する。
＜第１の処理＞
図４は、グリッド配置部の第１の処理を示すフローチャートである。

まず、線分抽出部１２１が、オフグリッドの線分を抽出する（ステップＳ１）。
次に、判断部１２２が、未処理のオフグリッドの線分が存在するか否かを判断する（ステップＳ２）。

未処理のオフグリッドの線分が存在する場合（ステップＳ２のＹｅｓ）、判断部１２２が、その未処理のオフグリッドの線分から選択した１つの線分（以下、「処理対象のオフグリッドの線分」と言う）に対向する線分が、オフグリッドの線分か否かを判断する（ステップＳ３）。

処理対象のオフグリッドの線分に対向する線分が、オフグリッドの線分ではない場合（ステップＳ３のＮｏ）、処理対象のオフグリッドの線分を、隣接する２つのグリッドのうち、近い方のグリッドに移動する（ステップＳ４）。その後、ステップＳ２に移行し、ステップＳ２以降の処理を継続して行う。

一方、処理対象のオフグリッドの線分に対向する線分が、オフグリッドの線分である場合（ステップＳ３のＹｅｓ）、グリッド移動部１２３が、これらオフグリッドの線分に対し、それぞれ隣接する２つのグリッドに対する４つの配置の組み合わせの線幅と現在の線幅とを比較し、現在の線幅に最も近いグリッドの組み合わせを抽出する（ステップＳ５）。

次に、グリッド移動部１２３が、ステップＳ５にて抽出した組み合わせが１つか否かを判断する（ステップＳ６）。組み合わせが１つである場合（ステップＳ６のＹｅｓ）、その組み合わせに従い、処理対象のオフグリッドの線分およびこの線分に対向するオフグリッドの線分を移動する（ステップＳ７）。その後、ステップＳ２に移行し、ステップＳ２以降の処理を継続して行う。

一方、組み合わせが１つではない場合（ステップＳ６のＮｏ）、グリッド移動部１２３が備える、予め定められた優先ルール（行方向の線分については左寄せまたは右寄せ、列方向の線分については上寄せまたは下寄せ）に従い、処理対象のオフグリッドの線分およびこの線分に対向するオフグリッドの線分を移動する（ステップＳ８）。その後、ステップＳ２に移行し、ステップＳ２以降の処理を継続して行う。

一方、ステップＳ２において、未処理のオフグリッドの線分が存在しない場合、すなわち、ステップＳ３〜ステップＳ８の処理によって、全ての線分がグリッド上に配置されている場合（ステップＳ２のＮｏ）、グリッド配置部１２０は、処理を終了する。

以上で、グリッド配置部１２０の第１の処理の説明を終了する。
次に、グリッド配置部１２０の第１の処理を、具体例を用いて説明する。
図５は、グリッド配置部の第１の処理の具体例を示す図である。

まず、図５（ａ）に示すように、線分抽出部１２１が、矩形３の辺３ａ、３ｂをオフグリッドの線分として抽出する。
次に、判断部１２２が、辺３ａを処理対象のオフグリッドの線分として選択した場合、辺３ａに対向する辺３ｂが、オフグリッドの線分であると判断する。

従って、グリッド移動部１２３が、これら辺３ａ、３ｂに対し、可能性のある配置の組み合わせを抽出する。
可能性のある配置の組み合わせは、（１）辺３ａをグリッドラインＡ１に配置し、辺３ｂをグリッドラインＡ３に配置する組み合わせ、（２）辺３ａをグリッドラインＡ１に配置し、辺３ｂをグリッドラインＡ４に配置する組み合わせ、（３）辺３ａをグリッドラインＡ２に配置し、辺３ｂをグリッドラインＡ３に配置する組み合わせ、（４）辺３ａをグリッドラインＡ２に配置し、辺３ｂをグリッドラインＡ４に配置する組み合わせ、である。

このうち、現在の線幅α（図５（ｂ）参照）に最も近い組み合わせは、上記（１）および（４）である。
予め定めた優先ルールが左寄せ優先である場合は、上記（１）を選択し、図５（ｃ）に示すように、辺３ａをグリッドラインＡ１に配置し、辺３ｂをグリッドラインＡ３に配置する。これにより、各辺がグリッド上に配置された矩形３０が得られる。

グリッド配置部１２０は、未処理のオフグリッドの線分が存在しないため、処理を終了する。
なお、本具体例では、矩形３の行方向の辺はグリッド上に配置されていたが、例えば行方向の辺および列方向の辺がいずれもオフグリッドの線分である矩形においては、行方向（列方向）の辺について上記処理を行った後に、列方向（行方向）の辺について処理を再度繰り返す。

＜第２の処理＞
次に、グリッド配置部１２０の第２の処理について説明する。
以下、第２の処理について、前述した第１の処理との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

第２の処理は、グリッド移動部１２３の処理が第１の処理と異なっている。
図６は、グリッド配置部の第２の処理を示すフローチャートである。
ステップＳ１１〜Ｓ１４：それぞれステップＳ１〜Ｓ４と同様の処理を行う。

ステップＳ１３にて、処理対象のオフグリッドの線分に対向する線分が、オフグリッドの線分である場合（ステップＳ１３のＹｅｓ）、グリッド移動部１２３は、予め定められた優先ルール（例えば、左側の線分を左側のグリッド上に配置する）に従い、処理対象のオフグリッドの線分をグリッド上に移動する（ステップＳ１５）。

次に、対向するオフグリッドの線分を現在の線幅に最も近くなるグリッドに移動させる（ステップＳ１６）。
以上で、グリッド配置部１２０の第２の処理の説明を終了する。

この第２の処理によれば、第１の処理と同様の効果が得られる。
＜第３の処理＞
次に、グリッド配置部１２０の第３の処理について説明する。

以下、第３の処理について、前述した第１の処理との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第３の処理は、ＯＰＣ処理部１１０から出力され、グリッド配置部１２０に入力されるデータ（以下、「入力データ」と言う）とグリッド配置部１２０から出力するデータのグリッドが異なる場合の処理を行う点が第１の処理と異なっている。

図７は、入力データの一例を示す図である。
図７（ａ）に示すように、入力データのグリッドは、出力するデータのグリッドの２倍の細かさになっている。

入力データのグリッドが、出力データのグリッドより細かい場合、図７（ｂ）に示すように、入力データではグリッド上に配置されている線分が、出力データではオフグリッドの線分になっている可能性がある。

従って、このような場合においても、オフグリッドの線分をグリッド上に配置する必要がある。
矩形６において、可能性のある配置の組み合わせは、（１）辺６ａをグリッドラインＡ１に配置し、辺６ｂをグリッドラインＡ３に配置する組み合わせ、（２）辺６ａをグリッドラインＡ１に配置し、辺６ｂをグリッドラインＡ４に配置する組み合わせ、（３）辺６ａをグリッドラインＡ２に配置し、辺６ｂをグリッドラインＡ３に配置する組み合わせ、（４）辺６ａをグリッドラインＡ２に配置し、辺６ｂをグリッドラインＡ４に配置する組み合わせ、である。

前述したように、入力データのグリッドは、出力するデータのグリッドの２倍の細かさであるため、上記（１）または（４）の場合、線幅の誤差は「０」であるが、上記（２）または（３）の場合、線幅の誤差は、１グリッド分発生する。

辺６ａおよび辺６ｂをそれぞれ独立して（対辺を考慮せずに）考えると、隣接するグリッドへの距離はそれぞれ等しいため、上記（１）〜（４）の組み合わせが、等しい確率で発生することになる。

このような場合でも、本実施の形態では、優先ルールに従い、かつ、現在の線幅に最も近い線幅になるグリッド上に、オフグリッドの線分を移動するようにしたので、例えば、左側の線分を左側のグリッド上に配置するという優先ルールに従った場合は、図７（ｃ）に示すように、解は上記（１）一意に決まる。これにより、各線分がグリッド上に配置され、かつ、線幅の誤差は「０」となる矩形６０が得られる。

なお、本実施の形態では、入力データのグリッドに対し、出力データのグリッドが２倍の細かさである場合を例にとって説明したが、入力データのグリッドに対し、出力データのグリッドが３倍以上である場合においても同様の効果が得られる。

以上述べたように、本実施の形態のパターン作成装置１００によれば、グリッド配置部１２０が、オフグリッドの線分をグリッド上に配置する際に、他の線分との関係を考慮するようにしたので、パターンデータを作成する際に発生するオフグリッドによる線幅の誤差を、グリッドを細かくすることなく、最大１グリッドから最大０．５グリッドに低減させることができる。従って、データ処理量および処理時間の低減を図ることができる。

また、予め定めた優先ルールに従ってオフグリッドの線分を移動するようにしたので、例えばオフグリッドの線分が行方向または列方向に連続して設けられている場合においてもこれらの間隔を一定間隔に保ってグリッド上に配置することができる。従って、例えばある図形の１つの辺が右側に移動し、他の図形の１つの辺が左側に移動することで、これらの線間の距離が非常に狭くなってしまうことを防止することができ、従来に比べ、再配置を考慮して予め設けておくマージンの量をも低減することができる。

なお、本実施の形態では、ＯＰＣ処理の後に第１の処理〜第３の処理を行ったが、本発明はこれに限らず、ＯＰＣ処理中に第１の処理〜第３の処理を行ってもよい。
また、ＯＰＣ処理が施されたパターンの全部に対し、第１の処理、第２の処理または第３の処理を施すようにしてもよいし、パターンのうち所望の領域にのみ第１の処理、第２の処理または第３の処理を施すようにしてもよい。これにより、さらに、データ処理量および処理時間の低減を図ることができる。

また、目標の線幅を現在の線幅としたが、本発明はこれに限定されない。
＜応用例＞
本実施の形態の第１の処理および第２の処理の具体例では矩形３を例にとって説明したが、線分抽出部１２１が抽出した１つのオフグリッドの線分に対して、対向するオフグリッドの線分が複数存在する場合には、１つのオフグリッドの線分を区切って、対向するオフグリッドの線分に対応する部分それぞれについて上記第１の処理または第２の処理を行う（以下、第１の応用例と言う）ようにしてもよい。

また、対向する複数のオフグリッドの線分のうちの１つを選択し、選択したオフグリッドの線分と１つのオフグリッドの線分との間で上記第１の処理または第２の処理を行って１つのオフグリッドの線分をグリッド上に配置し、残りのオフグリッドの線分については、このグリッド上に配置した１つの線分との関係において、現在の線幅に最も近い線幅となるグリッドに移動する（以下、第２の応用例と言う）ようにしてもよい。

図８および図９は、応用例を示す図である。
図８（ａ）は、線分抽出部１２１が抽出した図形４のオフグリッドの辺４ａに対して、対向するオフグリッドの辺４ｂ、４ｃが存在する場合を示している。

第１の応用例では、図８（ｂ）に示すように、辺４ａを、辺４ｂに対応する線分４ａ１と辺４ｃに対応する線分４ａ２とに区切る。
そして、線分４ａ１と辺４ｂとにおいて現在の線幅βに最も近い組み合わせであり、かつ、左寄せの優先ルールに従って、図８（ｃ）に示すように、線分４ａ１をグリッドラインＡ１に配置し、辺４ｂをグリッドラインＡ３に配置する。

次に、線分４ａ２と辺４ｃとにおいて現在の線幅γに最も近い組み合わせであり、かつ、左寄せの優先ルールに従って、図８（ｄ）に示すように、線分４ａ２をグリッドラインＡ１に配置し、辺４ｃをグリッドラインＡ３に配置する。

第２の応用例では、図形４に対し、図９（ａ）に示すように、辺４ａに対向する辺４ｂ、４ｃのうち、辺４ｂを選択し、選択した辺４ｂと辺４ａとの間で上記処理を行って辺４ａをグリッドラインＡ１に配置し、辺４ｂをグリッドラインＡ３に配置する。

そして、残りの辺４ｃについては、グリッドラインＡ１に配置後の辺４ａとの関係において、現在の線幅γに最も近い線幅となるグリッドラインＡ３に移動する。
以上、本発明のパターン作成方法およびパターン作成プログラムを、図示の実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や工程が付加されていてもよい。

また、本発明は、前述した実施の形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
なお、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、パターン作成装置１００が有すべき機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、例えば、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリ等が挙げられる。磁気記録装置としては、例えば、ハードディスク装置（ＨＤＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、磁気テープ等が挙げられる。光ディスクとしては、例えば、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＤＶＤ−ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）、ＣＤ−Ｒ（Recordable）／ＲＷ（ReWritable）等が挙げられる。光磁気記録媒体としては、例えば、ＭＯ（Magneto-Optical disk）等が挙げられる。

プログラムを流通させる場合には、例えば、そのプログラムが記録されたＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体が販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。

パターン作成プログラムを実行するコンピュータは、例えば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、サーバコンピュータからプログラムが転送される毎に、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。

上記については単に本発明の原理を示すものである。さらに、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、本発明は上記に示し、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではなく、対応するすべての変形例および均等物は、添付の請求項およびその均等物による本発明の範囲とみなされる。

符号の説明

１、２、４ａ１、４ａ２ 線分
３、６、３０、６０ 矩形
３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ、４ｃ、６ａ、６ｂ 辺
４ 図形
１００ パターン作成装置
１１０ ＯＰＣ処理部
１２０ グリッド配置部
１２１ 線分抽出部
１２２ 判断部
１２３ グリッド移動部

Claims (6)

1. グリッド上に存在しない処理対象の線分を抽出する第１の工程と、
   前記処理対象の線分に対向する他の線分を抽出する第２の工程と、
   前記他の線分がグリッド上に存在するか否かを判断する第３の工程と、
   前記他の線分がグリッド上に存在しない場合、前記処理対象の線分と前記他の線分との線幅が、目標の線幅に最も近くなるように前記処理対象の線分および前記他の線分をグリッド上に移動させる第４の工程と、
   を有することを特徴とするパターン作成方法。
2. 前記第４の工程は、所定の条件に基づいて前記処理対象の線分をグリッド上に移動させた後に、前記他の線分をグリッド上に移動させることを特徴とする請求の範囲第１項記載のパターン作成方法。
3. 前記第４の工程は、前記処理対象の線分に隣接する２つのグリッドのうちのいずれか一方を選択し、前記他の線分に隣接する２つのグリッドのうちのいずれか一方を選択することにより得られる線幅と、前記目標の線幅とをそれぞれ比較して、前記処理対象の線分および前記他の線分をグリッド上に移動させることを特徴とする請求の範囲第１項または第２項記載のパターン作成方法。
4. 前記処理対象の線分が複数存在する場合、前記各線分に対し、それぞれ前記第２の工程、第３の工程および、第４の工程を行うことを特徴とする請求の範囲第１項乃至第３項記載のパターン作成方法。
5. 前記目標の線幅は、前記処理対象の線分および前記他の線分の移動前の線幅であることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第４項記載のパターン作成方法。
6. コンピュータに、
   グリッド上に存在しない処理対象の線分を抽出する第１のステップ、
   前記処理対象の線分に対向する他の線分を抽出する第２のステップ、
   前記他の線分がグリッド上に存在するか否かを判断する第３のステップ、
   前記他の線分がグリッド上に存在しない場合、前記処理対象の線分と前記他の線分との線幅が、目標の線幅に最も近くなるように前記処理対象の線分および前記他の線分をグリッド上に移動させる第４のステップ、
   を実行させることを特徴とするパターン作成プログラム。

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