JP2005268748A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に形成された複数の第1配線6を含む第1配線層と、第1配線層上に形成され、第1配線6に接続された複数のビアコンタクト10を含むコンタクト層と、コンタクト層上に形成され、ビアコンタクト10に接続された複数の第2配線14を含む第2配線層とを備える半導体装置において、コンタクトピッチは、第1配線6の最小配線ピッチ、又は、第2配線14の最小配線ピッチ、よりも大きくなるようにする。
【選択図】 図2
Description
例えば、図13を参照して、汎用設計向けゲートアレータイプ等の半導体装置の配線構造を説明する。この構造では、マクロセル外部に電源リング(あるいは、パワーリング)40と呼ばれる、強化電源用の幅の広い配線が存在する。また、電源リング40の内側のマクロセル内に、信号配線と電源配線と接地配線とが配置される。直交する下層の第1配線41と上層の第2配線42とがビア43を介して接続されている。この構造では、設計の自由度を優先して、各配線層における配線41,42及びビア43が、X,Y方向に均等な正方グリッド(図中に点線で示す。)に載るように設計されている。即ち、配線ピッチ及びビアピッチが、同一の最小寸法を取り得る。
配線及びビアを正方グリッド上に配置すると、配線の方向を変更しても設計に影響が少なく、配線の方向性を考慮せずにプロセス確認用パターンを形成できる。従って、プロセスTEGの種類を少なくすることができ、TEG(Test Element Group)を容易に作成することができた。
図14は、配線の長さ方向におけるCDシフトの配線幅依存性を示す図である。すなわち、図14は、配線幅と、配線の長さ方向のCDシフト量との関係を示す図である。ここで、配線は、孤立配線とする。
図14に示すように、孤立配線の配線幅が狭くなるにつれて、CDシフト量は大きくなる傾向がある。これは、レジストの残し開口面積が小さくなると、レジストの切れ形状が劣化するためであると考えられる。例えば、孤立配線の配線幅が0.4μmの場合のCDシフト量は0.02μmであるが、配線幅が0.2μmの場合にはCDシフト量が0.06μmになってしまう。このCDシフトによる転写パターン形状への影響を小さくするため、設計段階で、レジストが後退する量(CDシフト量)を見積もり、マスク(例えば、クロムマスク)パターンをCDシフト量の分だけ大きく設計しておく方法(マスクバイアス技術)がある。例えば、幅が0.2μmで、長さが700μmの孤立配線を形成する場合には、図14に示すCDシフト量0.06μmを加えた700.06μmの長さでクロムマスクを作成する。このマスクを用いて露光すると、現像後のレジストパターンは配線長さ方向で後退し、設計寸法と同じ寸法(長さが700μm)になる。図14において、正方グリッドで対応可能な領域を斜線で示す。配線幅が0.15μmよりも狭い場合に、CDシフトを考慮してマスクバイアス技術を適用すると、最小間隔だけ離間して配置された本来接しない配線同士が接してしまう。すなわち、配線間隔のマージンよりもCDシフトが大きくなってしまうため、正方グリッド上に配線設計できないという問題が発生する。
また、レジストパターンの角部の減少によるCDシフトを補正するため、マスクパターンの角部に補正パターンを付加する方法が用いられている。
基板上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜内に第1配線用溝を形成する工程と、
前記第1配線用溝内に導電膜を埋め込むことにより、第1配線を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜及び第1配線上に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜内に、前記第1配線と接続するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホール内に導電膜を埋め込むことにより、ビアコンタクトを形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜及びビアコンタクト上に第3層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第3層間絶縁膜内に、前記ビアコンタクトと接続する第2配線用溝を形成する工程と、
前記第2配線用溝内に導電膜を埋め込むことにより、第2配線を形成する工程とを含み、
前記ビアコンタクトを、前記第1配線の最小配線ピッチ、又は、前記第2配線の最小配線ピッチよりも大きいコンタクトピッチで形成することを特徴とするものである。
基板上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜内に第1配線用溝を形成する工程と、
前記第1配線用溝内に導電膜を埋め込むことにより、第1配線を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜及び第1配線上に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜内に第2配線用溝を形成する工程と、
前記第2配線用溝の下方の前記第2層間絶縁膜内に、前記第1配線と接続するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホール及び第2配線用溝内に導電膜を埋め込むことにより、ビアコンタクト及び第2配線を形成する工程とを含み、
前記ビアコンタクトを、前記第1配線の最小配線ピッチ、又は、前記第2配線の最小配線ピッチよりも大きいコンタクトピッチで形成することを特徴とするものである。
図1は、本発明の実施の形態1における半導体装置について説明するための断面模式図であり、図2は、本発明の実施の形態1における半導体装置の配線構造について説明するための上面模式図である。
なお、簡略化のため、以下この明細書において、特記した場合を除き、図2における横方向を「長さ」とし、縦方向を「幅」と称することとする。
例えば、第1配線6及び第2配線14の配線長L6、L14は500nmであり、配線幅W6、W14は100nmである。また、第1配線6とこれに隣接する第1配線6との間隔S6は100nmであり、第2配線14と隣接する第2配線14との間隔S14は100nmである。更に、第1配線6と、次の第1配線6までの距離、即ち、第1配線6の配線幅W6と、第1配線6間の間隔S6との合計距離である配線ピッチP6は、200nmであり、第2配線14と、次の第2配線14までの距離、即ち、配線幅W14と間隔S14との合計距離である配線ピッチP14も、200nmである。
図3は、本発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法を説明するための工程断面図である。詳細には、シングルダマシン法により配線構造を形成する方法を説明するための工程断面図である。
先ず、図3(a)に示すように、半導体素子(例えば、トランジスタ)が形成された基板2上に第1層間絶縁膜4を200nmの膜厚で形成する。次に、リソグラフィ技術及びドライエッチングにより、第1層間絶縁膜4内に第1配線用溝5を形成する。そして、第1配線用溝5内及び第1層間絶縁膜4上にCu膜のような導電膜を堆積し、第1層間絶縁膜4をストッパ膜としてCMPにより不要な導電膜を除去する。これにより、溝5内に導電膜が埋め込まれ、第1配線6が形成される。
次に、図3(b)に示すように、第1層間絶縁膜4及び第1配線6上に第2層間絶縁膜8を200nmの膜厚で形成する。次に、リソグラフィ技術及びドライエッチングにより、第2層間絶縁膜8内に第1配線6と接続するビアホール9を形成する。そして、上記第1配線6と同様に、ビアホール9内に導電膜を埋め込むことにより、ビア10を形成する。ここで、ビア10は、第1配線6の最小配線ピッチ、又は、後述する第2配線14の最小配線ピッチよりも大きいコンタクトピッチで形成する。
次に、図3(c)に示すように、第2層間絶縁膜8及びビア10上に第3層間絶縁膜12を形成する。次に、リソグラフィ技術及びドライエッチングにより、第3層間絶縁膜12内にビア10と接続する第2配線用溝13を形成する。そして、上記第1配線6と同様に、第2配線用溝13内に導電膜を埋め込むことにより、第2配線14を形成する。
以上の工程を経ることにより、図1及び図2に示す半導体装置が得られる。
図4に示すように、第1層間絶縁膜4及び第1配線6上に第2層間絶縁膜15が形成されている。第2層間絶縁膜15内には、第1配線6に接続するビア10と、該ビア10に接続する第2配線14とが形成されている。第2層間絶縁膜15の膜厚は、例えば、約400nmである。
先ず、図3(a)に示した方法と同様の方法を用いて、基板2上の第1層間絶縁膜4内に第1配線6を形成する。
次に、図5(a)に示すように、第1層間絶縁膜4及び第1配線6上に、第2層間絶縁膜15を400nmの膜厚で形成する。次に、リソグラフィ技術及びドライエッチングにより、第2層間絶縁膜15内に第2配線用溝16を形成する。続いて、リソグラフィ技術及びドライエッチングにより、第2配線用溝16の下方の第2層間絶縁膜15内に、第1配線6と接続するビアホール17を形成する。
次に、図5(b)に示すように、ビアホール17内、第2配線用溝16内、及び第2層間絶縁膜15上にCu膜のような導電膜を堆積し、第2層間絶縁膜15をストッパ膜としてCMPにより不要な導電膜を除去する。これにより、ビアホール17及び溝16内に導電膜が埋め込まれ、第2層間絶縁膜15内にビア10及び第2配線14が形成される。
なお、上述したシングルダマシン法及びデュアルダマシン法は、後述する実施の形態2による半導体装置に適用可能である。
半導体装置においては異なる配線ピッチで電源配線が配置される。ここで、200nmピッチで配置された電源配線の使用率を100%とする。配線ピッチが広い電源配線ほど使用率は低い。
また、信号配線の配置を電源配線の配置より優先した場合について説明する。信号配線19aをオングリッドで、すなわち電源メッシュ上に配置すると、この信号配線19aに対しては電源配線18の配置の変更は不要である。一方、信号配線19bをオフグリッドで配置すると、この信号配線19bに対して電源配線の配置の変更が必要となる。すなわち、オングリッドの電源配線18bに替えて、電源配線18aをオフグリッドで配置しなければならなくなる。このようにオフグリッドの電源配線18aを形成すれば、実質的に電源メッシュがくずれてしまう。
近年のトランジスタの高集積度化に伴ってオフ電流を精度良く制御する必要があり、電源電圧を下げる。130nmノード以降の世代では、電源電圧が1.5V以下になり、電位ドロップが発生しやすくなる。この電位ドロップを防ぐため、電源電圧の均一な供給が求められている。
信号配線に本発明を適用すれば、信号配線をオングリッド上に配置することができるため、オングリッドで配置された電源配線の使用率を向上させることができ、電源メッシュのくずれを防止することができる。よって、電源電圧を均一に供給可能な電源構造を実現することができる。
すなわち、X方向とY方向とが不均等な変則グリッド上に、配線及びビアを配置することができる。この場合、配線を接続するビアは、配線の最小ピッチよりも大きいピッチで配置する。また、ビアのピッチが配線の最小ピッチよりも大きければ、配線及びビアをグリッド以外の場所に配置してもよい。すなわち、配線及びビアをオフグリッドで配置してもよい。図14に示すように、孤立配線の配線幅が0.15未満の場合には正方グリッドで対応できないため、この場合にはオフグリッドで対応することができる。(後述する実施の形態2についても同様)。
図9は、本発明の実施の形態2における半導体装置を説明するための断面模式図である。また、図10は、実施の形態2における半導体装置の配線構造について説明するための上面模式図である。
図9及び図10に示すように、本実施の形態2における半導体装置は、実施の形態1において説明した半導体装置と類似するものである。但し、実施の形態2における半導体装置のビアは、配線幅より大きく形成されている。以下、具体的に説明する。
なお、簡略化のため、以下この明細書において、特記した場合を除き、図10における横方向を「長さ」とし、縦方向を「幅」と称することとする。
図11は、本実施の形態2において、配線及びビアを正方グリッド上に配置した例を示す平面図である。図10と異なり、配線26と配線34とは平行に配置されていない。図11に示すように、200nmピッチの正方グリッド(図中に点線で示す)上に第1配線26及び第2配線34が最小ピッチ200nmで配置されている。第1配線26と第2配線34とは所定箇所でビア30により接続されている。ビア30は、最小配線ピッチ200nmの√2倍(すなわち、280nm)以上のピッチで配置されている。図11に示す構造でも、正方グリッド上に配線ピッチの√2倍以上のピッチでビア30を配置することにより、ビア30のプロセスマージンを向上させることができ、配線とビアの合わせズレを低減することができる。
図12に示すように、同じ幅のビアと配線とを有する実施の形態1による半導体装置においては、例えば、合わせずれが約30nm発生した場合に、ビア抵抗は急激に上昇し、合わせずれが0(ゼロ)の時に対して、約5Ω程度大きくなっている。これに対して、本実施の形態2による半導体装置においては、例えば、合わせずれが、約30nm発生した場合にも、ビア抵抗の変動量は小さく、合わせずれによるビア抵抗の上昇が抑えられている。即ち、実施の形態1による半導体装置に比して、本実施の形態2による半導体装置では、ビア30を、第1及び第2配線幅W26,W34より大きくしているため、ビア30と、第1及び第2配線26,34との合わせに対しても、裕度を大きくとることができる。よって、リソグラフィーの合わせ精度に関して、実施の形態1よりも更に大きな裕度が得られる。このような裕度により、ビア開口の絶縁膜耐性を低く設定できるため、半導体装置のプロセスマージンを大きくとることができる。
さらに、本実施の形態2では、ビアサイズを配線幅よりも大きくすることにより、配線とビアの合わせの裕度を実施の形態1よりも大きくとることができる。
その他は、実施の形態1と同様であるから説明を省略する。
4、24 第1層間絶縁膜
5,13,16 配線用溝
6、26 第1配線
8、28 第2層間絶縁膜
9,17 ビアホール
10、30 ビア
12、32 第3層間絶縁膜
14、34 第2配線
18,18a,18b 電源配線
19a,19b 信号配線
20 ビア
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に形成された複数の第1配線を含む第1配線層と、
前記第1配線層上に形成され、前記第1配線に接続された複数のコンタクトを含むコンタクト層と、
前記コンタクト層上に形成され、前記コンタクトに接続された複数の第2配線を含む第2配線層とを備え、
前記コンタクトの対角方向の長さと、互いに隣接するコンタクト間の間隔とを足したコンタクトピッチは、
互いに隣接する前記第1配線間の間隔のうち最小間隔と、前記第1配線の配線幅と、を足した第1最小配線ピッチ、又は、
互いに隣接する前記第2配線間の間隔のうち最小間隔と、前記第2配線の配線幅と、を足した第2最小配線ピッチ、
よりも大きいことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記コンタクトピッチは、前記第1最小配線ピッチ又は前記第2最小配線ピッチの、√2倍以上であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記第1最小配線ピッチ又は前記第2最小配線ピッチは、150nm未満であることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第1配線又は前記第2配線の配線幅の最小設計寸法は、前記コンタクトの最小設計寸法よりも小さいことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第1配線又は前記第2配線の配線幅の最小出来上がり寸法は、前記コンタクトの最小出来上がり寸法よりも小さいことを特徴とする半導体装置。 - 多層配線を有する半導体装置の製造方法であって、
基板上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜内に第1配線用溝を形成する工程と、
前記第1配線用溝内に導電膜を埋め込むことにより、第1配線を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜及び第1配線上に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜内に、前記第1配線と接続するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホール内に導電膜を埋め込むことにより、ビアコンタクトを形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜及びビアコンタクト上に第3層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第3層間絶縁膜内に、前記ビアコンタクトと接続する第2配線用溝を形成する工程と、
前記第2配線用溝内に導電膜を埋め込むことにより、第2配線を形成する工程とを含み、
前記ビアコンタクトを、前記第1配線の最小配線ピッチ、又は、前記第2配線の最小配線ピッチよりも大きいコンタクトピッチで形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 多層配線を有する半導体装置の製造方法であって、
基板上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜内に第1配線用溝を形成する工程と、
前記第1配線用溝内に導電膜を埋め込むことにより、第1配線を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜及び第1配線上に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜内に第2配線用溝を形成する工程と、
前記第2配線用溝の下方の前記第2層間絶縁膜内に、前記第1配線と接続するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホール及び第2配線用溝内に導電膜を埋め込むことにより、ビアコンタクト及び第2配線を形成する工程とを含み、
前記ビアコンタクトを、前記第1配線の最小配線ピッチ、又は、前記第2配線の最小配線ピッチよりも大きいコンタクトピッチで形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6又は7に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1配線又は前記第2配線を、最小配線ピッチが150nm未満となるように形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6から8のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記ビアコンタクトの寸法が前記第1配線又は前記第2配線の配線幅の最小寸法よりも大きくなるように、前記ビアコンタクトを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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