JP2009169366A - レチクル、配線およびビアのレイアウト方法、および半導体装置の製造方法 - Google Patents
レチクル、配線およびビアのレイアウト方法、および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】ビア解像度を向上させ、配線間を接続するビアの集積度を落とすことなく、ビア形状の歪み、ビア−ビア間のショート等を抑制することができる、レチクル、および配線およびビアのレイアウト方法を提供する。
【解決手段】第一の配線103と、第二の配線105とを接続する複数のビアを形成するために用いられるレチクルであって、第一の配線103と第二の配線105は互いに直交し、複数のビアを形成するための複数のビア開口パターン101は矩形状であり、ビア開口パターン101の各辺が配線方向に対して斜めになるように配置され、斜め方向に配置された隣接する二つのビア開口パターン101間の最小間隔d1は、ビア開口パターン101の中心点を固定して回転させることにより各辺を第一の方向および第二の方向に対して平行または直交するようにビア開口パターン101を配置した場合のビア開口パターン101間の最小間隔よりも大きい、レチクル。
【選択図】図1
【解決手段】第一の配線103と、第二の配線105とを接続する複数のビアを形成するために用いられるレチクルであって、第一の配線103と第二の配線105は互いに直交し、複数のビアを形成するための複数のビア開口パターン101は矩形状であり、ビア開口パターン101の各辺が配線方向に対して斜めになるように配置され、斜め方向に配置された隣接する二つのビア開口パターン101間の最小間隔d1は、ビア開口パターン101の中心点を固定して回転させることにより各辺を第一の方向および第二の方向に対して平行または直交するようにビア開口パターン101を配置した場合のビア開口パターン101間の最小間隔よりも大きい、レチクル。
【選択図】図1
Description
本発明は、レチクル、配線およびビアのレイアウト方法、および半導体装置の製造方法に関する。
近年、半導体装置の微細化が進むにつれ、配線間距離を狭くして、配線密度を高くしたいという要望がある(特許文献1)。これに伴い、上下の配線層の配線間の接続のために形成されるビアに関しても、集積度を上げる必要がある。一方、素子の微細化により集積度を上げると、ビアを設計通りに形成することが困難となる場合がある。
図4に、従来の配線およびビアのレイアウト方法の一例を示す。互いに直交する第一の方向および第二の方向の少なくとも一の方向に沿って設けられた、第一の配線103を有する第一の配線層と第二の配線105を有する第二の配線層とが示されている。かかる配線構造において、配線ピッチおよびビアピッチが同一の最小寸法を取り得るようにビアが配置されている。また、矩形状のビアの各辺は、第一および第二の配線に平行または直交するように配置されている。このようなビア配置において、多数のビアが近接して配置された場合、フォトリソグラフィーにより、露光してビア開口パターンを形成する際、集積化の進展により、ビア開口パターンの解像が困難になってきている。また解像することができてもビア−ビア間のレジスト形状が崩れてしまい、半導体装置の動作時にビア間ショートが発生する頻度が上がっている。例えば、図6に示すように、ビア−ビア間の距離が小さい場合には、現像後にビアホール107同士が結合する場合があった。その結果、半導体装置の動作時に密集ビア部のビア−ビア間ショートが発生するという問題があった。さらに、ビアの歪みが発生し、配線材料の埋設に支障をきたす場合があった。
上記のような問題が発生する理由のひとつとして、フォトリソグラフィーによるビアホールの形成工程において、露光に用いられる光波長と比較して、レチクル上のビア開口パターンが近接してきたことが挙げられる。フォトリソグラフィーにより、密集したビアや配線のパターンを形成する際には、光の干渉現象を利用している。ビアや配線のパターン間の光の干渉効果を利用することで、図7に示すように有効コントラスト比を高くすることができる。そのため、解像力を向上させることができる。しかしながら、露光に用いる波長よりもビア開口パターンの間隔が小さい場合、隣接するビア開口パターンの解像が困難になる。ビア開口パターン間隔が近接するにつれて、この傾向は顕著になる。この理由は、次の通りである。露光に用いる波長よりも隣接するビア開口パターンの間隔が小さい場合、図8に示すように回折波同士が近づき、合成波の振幅が小さくなる。ビア開口パターン間隔が近接すればするするほど、合成波の振幅は小さくなるため、その結果、有効コントラスト比が減少してしまう。したがって、ビア開口パターンの間隔が近接していくと、あるところでビア開口パターン同士が十分に解像できなくなる。解像が不十分だと、レジストにビア開口パターンを露光した後、現像する際に本来なら溶解させたくない部分も溶解してしまう可能性がある。その結果、ビア形状に歪みが生じ、最悪の場合にはビア同士のショートが発生してしまう場合がある。以上の理由により、露光に用いる波長よりもビア開口パターンの間隔が小さい場合にはビア−ビア間の距離は、少しでも離して配置したいというプロセス上の要求がある。
また、ビアが解像されたとしても、ビア形状に歪がある場合には、半導体装置の動作時の初期故障電圧の低下を招く可能性がある。その結果、半導体装置の歩留まりや信頼性を低下させる場合がある。
図9は、従来のビア配置(図4)のLSIにおける、ビア開口パターン間の最小間隔とLSIの初期故障電圧との関係を示すグラフである。測定は、最小ビア間隔130nm、140nm、150nm、および160nmで作成した各ウェハから20サンプル程度を抽出して組み立て、電圧を走査することにより行った。各サンプルについてLSIが故障した時の電圧の平均値を初期故障電圧とした。最小ビア間隔が160nmから130nmに狭くなると、初期故障電圧は75Vから2Vへ低下する。つまり、最小ビア間隔が約0.8倍になると、初期故障電圧は、約1/40程度も低下する。また、最小ビア間隔が140nmから130nmに狭くなると、初期故障電圧は7Vから2Vへ低下する。つまり、最小ビア間隔が1割弱狭くなっただけで、初期故障電圧は0.3倍以下まで低下する。逆に言うと、図9のデータは、最小ビア間隔を少しでも広くできるようなビア配置が可能ならば、初期故障電圧は大幅に改善できることを示している。以上から、ビア間隔は、半導体装置の歩留まりおよび信頼性に極めて大きく影響することがわかる。
ここで、回路の集積度を向上させるためには配線ピッチは露光機限界の最小ピッチで形成する必要がある。一方、ビアは配線と同じピッチが必要になるわけではない。このことから、今後は、ビアの最小ピッチ寸法が配線の最小ピッチ寸法よりも大きくなるように配置する、すなわち千鳥状に配置することが主流になると予想できる。このようなビア−ビア間の距離をできるだけ広くするための配置としては、例えば特許文献2に示すような配置がある。特許文献2には、図5に示すように、上下に積層された配線とこれを接続するビアコンタクトとを含む多層配線構造において、ビアを千鳥状に配置することにより、コンタクトの最小ピッチ寸法が最小配線寸法よりも大きくなる構成が記載されている。特許文献2においては、かかる構造により、コンタクト形成におけるプロセスマージンをある程度大きく確保することができるとしている。
しかしながら、近年におけるさらなる微細化の進展により、ビア−ビア間の最小距離がさらに小さくなってきている。そのため、ビアを図5に示すような配置とした場合にも、ビアの歪みや、半導体装置の動作時における故障原因のひとつであるビア−ビア間のショートの問題が依然としてある。このため、ビア埋設不良や、製品の歩留まり低下を引き起こす可能性があった。このような問題を改善するため、ビア−ビア間の距離はさらに離して配置した方が、解像度およびビア−ビア間ショート、ビア歪み等には有利に作用する。一方、ビア−ビア間の距離を広げると、ビアの集積度が低下するという問題がある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、配線間を接続するビアの集積度を落とすことなく、ビア形状の歪みを抑制し、半導体装置の歩留まりおよび信頼性を向上させようとするものである。そして、半導体装置の動作時における故障原因のひとつであるビア−ビア間のショートを抑制することができるレチクルを提供するものである。また、本発明のレチクルを用いる配線およびビアのレイアウト方法、並びに半導体装置を提供するものである。
本発明によれば、第一の配線層中に設けられる複数の第一の配線と、前記第一の配線層の上部に形成される第二の配線層中に設けられる複数の第二の配線とを接続する複数のビアを形成するために用いられるレチクルであって、前記第一の配線および前記第二の配線は第一の方向または第二の方向に沿うように設けられ、前記第一の方向および前記第二の方向は互いに直交し、前記レチクルは、前記複数のビアを形成するための複数のビア開口パターンを有し、前記複数のビア開口パターンは矩形状であり、前記複数のビア開口パターンは前記ビア開口パターンの各辺が前記第一の方向および前記第二の方向に対して斜めになるように配置され、前記第一の方向および前記第二の方向に対して斜めに配置された隣接する二つの前記ビア開口パターン間の最小間隔d1が、前記ビア開口パターンの中心点を固定して回転させることにより各辺を前記第一の方向および前記第二の方向に対して平行または直交するように前記ビア開口パターンを配置した場合の前記ビア開口パターン間の最小間隔d2よりも大きくなるよう配置される、レチクルが提供される。
本発明では、所望の配線密度およびビア集積度を得るために、所定のレイアウトで配線およびビアを配置する。さらに、本発明におけるレチクルは、ビア開口パターンが所定の形状で設けられることにより、配線間を接続するビアの集積度を落とすことなく、隣接ビア開口パターン間の最短距離を広げることができる。その結果、ビア形状の歪み等を抑制することができ、ビア−ビア間のショートを抑制することができるレチクルが提供される。
また、本発明によれば、第一の配線層中に複数の第一の配線を設ける工程と、レチクルを用いて露光により前記複数の第一の配線に接続される複数のビアを形成する工程と、前記第一の配線層と異なる第二の配線層中に、前記ビアと接続される複数の第二の配線を設ける工程と、を含む、配線およびビアのレイアウト方法であって、前記第一の配線および前記第二の配線は第一の方向または第二の方向に沿うように設けられ、前記第一の方向および前記第二の方向は互いに直交し、前記レチクルは、前記複数のビアを形成するための複数のビア開口パターンを有し、前記複数のビア開口パターンは矩形状であって、平面視で、前記複数のビア開口パターンは前記ビア開口パターンの各辺が前記第一の方向および前記第二の方向に対して斜めになるように配置され、前記第一の方向および前記第二の方向に対して斜めに配置された隣接する二つの前記ビア開口パターン間の最短距離d1は、前記ビア開口パターンの中心点を固定して回転させることにより各辺を前記第一の方向および前記第二の方向に対して平行または直交するように前記ビア開口パターンを配置した場合の前記ビア開口パターン間の最小間隔d2よりも大きい、配線およびビアのレイアウト方法が提供される。
また、本発明によれば、本発明のレチクルを用いる半導体装置の製造方法が提供される。本発明により製造される半導体装置は、ビア−ビア間のショートが抑制され、また、ビア埋設性が向上されるため、製品の歩留まり、信頼性、および寿命が向上される。
本発明のレチクル、配線およびビアのレイアウト方法を用いることにより、露光する際、ビア開口パターン間の距離が露光に用いる光波長よりも近接している場合であっても、隣接するビア開口パターン間のビアの解像度が向上する。これにより、配線間を接続するビアの集積度を落とすことなく、ビア形状の歪みを抑制することができる。その結果、半導体装置の動作時における故障原因のひとつであるビア−ビア間のショートを抑制することができる。また、ビア埋設性が向上し、製品の歩留まりが向上する。したがって、本発明によれば、歩留まり、信頼性、および寿命の向上された半導体装置の製造方法が提供される。
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
図1は、本実施形態に係る配線およびビアのレイアウト方法の一例を示す平面図である。図1において、第一の配線層中に設けられる複数の第一の配線103と、前記第一の配線層の上部に形成される第二の配線層中に設けられる複数の第二の配線105とを含む配線構造を示す。図中、左下がりの斜線部は第一の配線103を示し、右下がりの斜線部は第二の配線105を示す。さらに、かかる配線構造上に、本実施形態で用いられるレチクルにおけるビア開口パターン101を重ねて示す。以下、第一の配線103と第二の配線105とを接続する複数のビアコンタクト(以下「ビア」という。)を形成するために用いられるレチクルについて説明する。また、かかるレチクルを用いる配線およびビアのレイアウト方法について説明する。
図1に示すように、複数の第一の配線103および第二の配線105は第一の方向または第二の方向に沿うように設けられる。ここで、第一の方向および第二の方向は互いに直交する。例えば、図中、第一の方向は横方向に延びる方向であり、第二の方向は縦方向に延び、第一の方向に直交する方向である。第一の配線103および第二の配線105は、種々の配置で設けてよく、第一の方向および第二の方向のいずれか一方の方向にのみ沿って形成されていてもよく、または第一の方向および第二の方向の両方の方向に沿って形成されていてもよい。さらに、第一の配線103および第二の配線105は互いに直交するように形成されていてもよいが、必ずしも直交する必要はない。
また、第一の配線103および第二の配線105はそれぞれ異なる配線層内に設けられ、例えば第一の配線103は第一の配線層中、および第二の配線105は第二の配線層中に設けられる。例えば、第一の配線層は下層配線層であり、第二の配線層は上層配線層である。
さらに、本実施形態におけるレチクルについて説明する。本実施形態において用いられるレチクルは、第一の配線103と第二の配線105とを接続する複数のビアを形成するための複数のビア開口パターン101を有する。ビア開口パターン101の形状は矩形状であり、好ましくは正方形である。ここで、ビア開口パターン101は矩形状であるが、フォトリソグラフィを用いて実際に形成されるビアの断面形状は、通常、円形状となる。
複数のビア開口パターン101はビア開口パターン101の各辺が第一の方向および第二の方向に対して斜めになるように配置される。すなわち、従来例として示す図5のように、ビア開口パターン101の各辺が配線に対して平行または垂直である配置から、同じ位置で、ビア開口パターン101の中心点を固定してビア開口パターン101を回転させる。言いかえると、図5において、正方形で示されるビア開口パターン101を中心点を固定して回転させて、図1のように配線に対して斜めに配置されるビア開口パターン101となるようにする。好ましくは、ビア開口パターン101の各辺が、第一の方向および第二の方向に対して、30度以上60以下または120度以上150度以下傾くようにし、より好ましくは、45度または135度傾くようにする。傾きが第一の方向および第二の方向に対して45度または135度となったときに、ビア開口パターン間の間隔は最大となる。
さらに、本実施形態におけるレチクルは、複数のビア開口パターン101が以下の条件を満たすよう配置される。第一の方向および第二の方向に対して斜めに配置された隣接する二つのビア開口パターン101間の最小間隔d1は、ビア開口パターンの中心点を固定して回転させることによりビア開口パターン101の各辺を第一の方向および第二の方向に対して平行または直交するようにビア開口パターン101を配置した場合の隣接ビア開口パターン101間の最小間隔d2よりも大きい(図1および5)。すなわち、二つの隣接ビア開口パターン101間の最小間隔について、ビア開口パターンの各辺が第一の方向および第二の方向に対して斜めとなっている場合の最小間隔をd1とし、ビア開口パターンの各辺が第一の方向および第二の方向に対して平行または直交する場合の最小間隔をd2とする。そして、本実施形態のレチクルにおいては、隣接ビア開口パターン間の最小間隔をそれぞれのビア開口パターンの中心点を固定して回転させて比較した場合に、d1>d2となる位置にビア開口パターンを配置する。このような配置とすることで、ビア集積度を落とすことなく、隣接ビア開口パターン間の間隔を広くすることができる。
本実施形態において、上記の条件を満たす複数のビア開口パターン101の配置方法としては、以下のものが挙げられる。例えば、ビアの最小ピッチ寸法が第一の配線103または第二の配線105の最小配線ピッチ寸法よりも大きく、かつレチクルにおけるビア開口パターン101の各辺が第一の方向および第二の方向に対して斜めになるように配置されたレチクルである。ここでいう最小配線ピッチとは、配線間の間隔のうち最小間隔と、配線幅とを足したものをいう。例えば、図2に示すように、第一の配線103間の間隔のうち最小間隔をS1とし、第一の配線幅をW1とすると、第一の最小配線ピッチP1はS1+W1で表される。また、第二の配線105間の間隔のうち最小間隔をS2とし、第二の配線幅をW2とすると、第二の最小配線ピッチP2はS2+W2で表される。さらに、最小ビアピッチP3は(ビア間の最小間隔S3)+(ビア幅R3)で表される。本実施形態においては、ビアの最小ピッチ寸法が、第一の配線103または第二の配線105の最小配線ピッチ寸法よりも大きくなる。具体的には、ビア層において、最近接する一対のビアは互いに対角方向、好ましくは配線に対して約45度斜め方向に配置される。
上記において、二つの隣接する配線が一の方向に沿って配置されている場合、すなわち互いに平行に配置されている場合の配線ピッチについて説明した。しかしながら、二つの隣接する配線がそれぞれ第一の方向および第二の方向に沿って配置されていてもよい。かかる配置においても、二つの配線が直交しない場合の配線ピッチは、隣接する二つの配線間の最小間隔と配線幅とを足したもので表される。ここでいう配線幅とは、配線が延在する方向の配線の長さを配線長さLとしたとき、配線長さLに対して垂直方向の配線の幅をいう。
上記のような配置において、好ましくは隣接する二つのビア開口パターンにおける最小ビアピッチP3は、第一の最小配線ピッチP1または第二の最小配線ピッチP2の21/2倍以上であり、より好ましくは21/2倍である。本実施形態において、ビア最小ピッチが配線ピッチの21/2倍になるようにビア開口パターン101を設けた場合、ビアの集積度がより高くなる。
本実施形態においては、上記のような配置において、ビア開口パターン101が配線に対して斜めに形成されているため、ビア集積度を高めつつ、ビアのプロセスマージンを向上させることができる。このようなビア開口パターン101のレイアウト方法の他の例としては、図3に示すようなレイアウトが挙げられる。図3においては、第一の配線層中の第一の配線103と第二の配線層中の第二の配線105とが直交している。また、第一の配線103と第二の配線105とが重なる位置にビアが配置されるようにビア開口パターン101が設けられている。
また、本実施形態において、最近接する二つの隣接ビア開口パターン101は最小間隔において、辺同士または一方が辺および他方が角で向かい合うレイアウトとなる。本実施形態では、隣接ビア開口パターン間の最小間隔は、隣接ビア開口パターンが角同士で向かい合う場合の最小間隔よりも大きくなる。好ましくは、本実施形態において、最近接する二つの隣接ビア開口パターン101は最小間隔において辺同士で向かい合い、対向する辺同士が略平行である(図2等)。
本実施形態において、矩形状のビア開口パターンの各辺の長さは、配線幅や配線間距離に応じて適宜設定されるが、好ましくは30nm以上200nm以下であり、より好ましくは50nm以上180nm以下であり、さらにより好ましくは50nm以上100nm以下である。好ましくは、ビア開口パターンの各辺の長さは、配線幅と等しい。
ここで、配線間隔は特に限定されないが、配線密度を高くするために、小さいほうが好ましい。また、特に配線間隔が小さい配線レイアウトにおいて、本実施形態の効果が顕著である。例えば、好ましくは、同じ配線層内における配線群の配線間隔は、30nm以上200nm以下であり、より好ましくは50nm以上180nm以下であり、さらにより好ましくは70nm以上170nm以下である。配線密度が上記範囲内であると、配線間の適度な間隔を保ちつつ、配線密度を高いものとすることができる。また、配線間隔は、配線間毎に異なっていてもよく、または配線群における配線間距離は等間隔であってもよい。
また、配線幅は特に限定されないが、素子の微細化の観点から、小さいほうが好ましい。例えば、配線幅は、配線間隔、ビア径等も考慮して、30nm以上200nm以下であり、好ましくは50nm以上180nm以下である。また、配線幅は、配線毎に異なっていてもよく、同じであってもよい。
本実施形態において、半導体装置の微細化のため、配線密度はできる限り高いほうが好ましい。第一の配線103および第二の配線105は、例えば最小配線ピッチを有していてもよい。ここで最小配線ピッチは、例えばLSIのデザインルールで、世代毎に規定される値である。
上記配線構造において、本実施形態のレチクルを用いることにより、第一の配線103と第二の配線105とを接続する複数のビアが形成される。ビアを形成するためのビアホールは、本実施形態のレチクルを用いて、露光により、形成することができる。露光時に用いる光波長(λ)は、配線間距離、ビア径、ビア間距離等に応じて適宜調整されるが、好ましくは、200nm以下であり、特に限定されないが、例えば、30nm以上200nm以下とすることができる。
本実施形態においては、レチクルにおけるビア開口パターン101を特定の配置とすることで、ビアの集積度を落とすことなく、ビア開口パターン101間の最小間隔を広くすることができる。特に、ビア開口パターン101の各辺の配線に対する傾きを上記の範囲内とすることで、ビア開口パターンの位置が同じあっても、より広い最小間隔とすることができる。そのため、本実施形態のレチクルを用いることにより、ビアの解像度が向上される。したがって、本実施形態では、配線密度が高い配線構造においても、良好なビア形状を効率よく形成することが可能となる。
図7に示すように、ビア開口パターン間の間隔を広げることにより、露光時の有効コントラストを増大させることができる。図8に示す有効コントラストと比較して、図7では、有効コントラスが増大し、ビアの解像度が向上する。本実施形態では、ビア集積度が同じ従来のビア開口パターンの配置と比較して、露光時の光強度がはっきりと区別される。そのため、現像時の溶解によるビア形状の歪みも生じにくくなる。したがって、ビア−ビア間のショート、ビア形状の歪み等を抑制でき、製品の歩留まり、信頼性、および寿命を向上させることができる。
ビア開口パターンの各辺が配線に対して斜めとなるようなレチクルの作製方法としては、特に限定されないが、例えば以下のような方法が挙げられる。第一に、レチクルを斜めに回転させることにより、EBポイントビームを用いて、レチクルの各辺に対して矩形状のビア開口パターンを斜めに描画する方法である。第二に、レチクルは回転させずに、ビア開口パターンの各辺がレチクルの各辺に対して斜めになるように矩形状のビアを描画する方法である。この場合、斜めビア形状のハンコのようなビームを形成し、一括描画する。
通常、レチクルのビア開口パターンはEBのポイントビームを走査させる方法により形成される。このような方法により、ビア開口パターンは矩形状、かつ各辺が配線に対して平行または垂直となるように形成されることが一般的であった。さらに、通常は、作業効率、レチクル価格の低減等も考慮すると、ビア開口パターンはすべて同一形状で形成される。したがって、配線およびレチクルの各辺に対して斜めにビア開口パターンを形成した場合、孤立ビアも斜めビアになってしまう。また、斜めの矩形状ビア開口パターンを作製するには、従来法に別途作業を加えることが必要であったり、斜めの矩形状ビア開口パターンを作製することが困難であった。したがって、このようなレチクルの作製は種々の労力を伴うものであって、本実施形態の特定の配置を有するビア開口パターンを形成することは行われていないのが現状であった。
しかしながら本実施形態は、上述の通り、ビア開口パターンの各辺を配線に対して斜めにすることにより得られる新たな効果を見出したものである。
しかしながら本実施形態は、上述の通り、ビア開口パターンの各辺を配線に対して斜めにすることにより得られる新たな効果を見出したものである。
次に、本実施形態のレチクルを用いて、ビアを所定の位置に形成する、半導体装置の製造方法について説明する。本実施形態において製造される半導体装置は、第一の配線を含む第一の配線層と、第二の配線を含む第二の配線層とを含み、さらに第一の配線および第二の配線とを接続するビアを備えている。さらに、第一の配線および第二の配線は第一の方向または第二の方向に沿うように設けられ、第一の方向および第二の方向は互いに直交する。
本実施形態の半導体装置の製造方法において、まず、シリコン基板の表面またはその上部に第一の配線を含む第一の配線層を形成する。次いで、第一の配線層の全面に第一の配線層を覆う層間絶縁膜を形成する。層間絶縁膜としては、公知の材料を用いることができる。さらに、層間絶縁膜上にレジスト膜を形成する。
次に、フォトリソグラフィ技術を用いて、図1に示すように、所定の配置を有するビアホールを形成する。具体的には、本実施形態のレチクルを用いて露光を行う。その後、現像を行うことにより、レジスト膜に凹部を形成する。かかる凹部は、平面視で、第一の配線103と第二の配線105とが重なる位置に配置されており、ビアホールを形成するために使用される。
さらに、凹部の形成されたレジスト膜をマスクとして、層間絶縁膜をエッチングする。これにより、第一の配線と接続するビアホールが形成される。ここで、矩形状のビア開口パターンによって実際に層間絶縁膜に形成されるビアホールの断面形状は、円形状になる。
ビアホール形成後、ビアホールの内部に導電膜を埋設し、ビアを形成する。その後、ビアおよび層間絶縁膜上に、ビアと接続する第二の配線を含む第二の配線層を形成する。
以上の方法により、第一の配線と第二の配線とを接続するビアを備えた、本実施形態にかかる半導体装置を製造することができる。本実施形態の半導体装置においては、本実施形態のレチクル、および配線およびビアのレイアウト方法を用いることにより、ビア形状の歪みおよびビア−ビア間のショートが抑制される。したがって、歩留まりおよび寿命の向上された半導体装置を製造することができる。
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
(実施例1)
図1に示す配線およびビアのレイアウトを用いて、フォトリソグラフィによりビアホールを形成した。本実施例で用いた条件は以下の通りである。ビア開口パターンの形状は正方形であり、隣接ビア開口パターンの最小間隔d1は、配線間隔をSとして、(2×21/2−1)×Sとなる。
図1に示す配線およびビアのレイアウトを用いて、フォトリソグラフィによりビアホールを形成した。本実施例で用いた条件は以下の通りである。ビア開口パターンの形状は正方形であり、隣接ビア開口パターンの最小間隔d1は、配線間隔をSとして、(2×21/2−1)×Sとなる。
具体的な条件は、配線間隔Sを70nm、配線幅Wを70nm、配線ピッチPを140nm、ビア開口パターンの各辺の長さRを70nm、ビア開口パターンの各辺の配線に対する角度を45度または135度とした。この配置においては、隣接ビア開口パターンの最小間隔d1は(2×21/2−1)×S=128nmとなる。また、露光時の光波長(λ)は193nmとした。
リソグラフィ後に形成されたビアホールは円形状で、ビア間のつながりの発生は見られなかった。したがって、良好なビアホールが形成された。
(実施例2)
図3に示す配線およびビアのレイアウトを用いて、フォトリソグラフィによりビアホールを形成した。本実施例においては、第一の配線103と第2の配線105とを直交配置した以外は、実施例1と同様である。本実施例で用いた条件も実施例1と同様である。したがって、ビア開口パターン間の最小間隔d1は、配線間隔をSとして、(2×21/2−1)×Sとなり、128nmであった。
図3に示す配線およびビアのレイアウトを用いて、フォトリソグラフィによりビアホールを形成した。本実施例においては、第一の配線103と第2の配線105とを直交配置した以外は、実施例1と同様である。本実施例で用いた条件も実施例1と同様である。したがって、ビア開口パターン間の最小間隔d1は、配線間隔をSとして、(2×21/2−1)×Sとなり、128nmであった。
リソグラフィ後に形成されたビアホールは円形状で、ビア間のつながりの発生は見られなかった。したがって、良好なビアホールが形成された。
(比較例1)
図4に示す配線およびビアのレイアウトを用いた以外は、実施例1と同様の条件を用いてビアホールを形成した。すなわち、本比較例では、レチクルとして、ビア開口パターンの各辺が配線に平行または垂直となっているものを用いた。ビア開口パターン間の最小間隔d2は配線間の最小間隔Sと等しく、70nmであった。
図4に示す配線およびビアのレイアウトを用いた以外は、実施例1と同様の条件を用いてビアホールを形成した。すなわち、本比較例では、レチクルとして、ビア開口パターンの各辺が配線に平行または垂直となっているものを用いた。ビア開口パターン間の最小間隔d2は配線間の最小間隔Sと等しく、70nmであった。
リソグラフィ後に形成されたビアホールは、形状に崩れが発生した。また、最小間隔を隔てて配置された隣接ビア間で、完全に繋がっているものが観察された。
(比較例2)
図5に示す配線およびビアのレイアウトを用いた以外は、実施例1と同様の条件を用いてビアホールを形成した。すなわち、本比較例では、レチクルとして、ビア開口部の各辺が配線に平行または垂直となっているものを用いた。ビア開口パターン間の最小間隔d2は配線間の最小間隔をSとして、21/2×Sとなり、99nmであった。
図5に示す配線およびビアのレイアウトを用いた以外は、実施例1と同様の条件を用いてビアホールを形成した。すなわち、本比較例では、レチクルとして、ビア開口部の各辺が配線に平行または垂直となっているものを用いた。ビア開口パターン間の最小間隔d2は配線間の最小間隔をSとして、21/2×Sとなり、99nmであった。
形成されたビアホールは円形状であったが、一部、ビアトップ形状の崩れが発生した。また、最小間隔を隔てて配置された隣接ビア間で、一部繋がりが観察された。
実施例1および2、比較例1および2はいずれにおいても、最終的に得られたビア断面形状は円形であった。しかしながら、比較例1および2においては、一部ビア−ビア間のつながりの発生が見られた。このように、ビア−ビア間でつながりが生じると、ビア−ビア間のショートが発生し、半導体装置の動作不良の原因となる。仮に、比較例1および比較例2において、ビアービア間がつながるまでには至らなかったとしても、形状の崩れたビアは、半導体装置の動作時にビア−ビア間ショートによる初期故障電圧の低下を招くことが予測される。
実施例1および実施例2においては、隣接ビア開口パターンの最小間隔d1は、(2×21/2−1)×Sである。これに対し、比較例1では、図4に示すように隣接ビア開口パターンの最小間隔d2=Sである。また、比較例2では、図5に示すように隣接ビア開口パターンの最小間隔d2は=21/2×Sである。つまり、実施例1および実施例2における隣接ビア開口パターンの最小間隔d1は、図4に示す従来のビア配置の約1.8倍、図5に示す従来のビア配置の約1.3倍に拡がっている。実施例1および2、比較例1および2は、いずれも露光に用いる光波長よりもビア開口パターン間の最小間隔が小さい。この場合、上述のように隣接ビア開口パターン間の最小間隔が、従来のビア配置の1.3倍および1.8倍に拡がることによる解像力向上の効果は極めて大きい。
従来のビア配置(図4のビア配置)を有する半導体装置のデータである図9によれば、ビア開口パターン間の最小間隔を130nmから140nmに拡げると、初期故障電圧は約2Vから約7Vへ上がる。すなわちビア開口パターン間の間隔を約1割拡げるだけで、初期故障電圧は約3.5倍も向上する。また、ビア間隔が130nmから160nmに拡げると、初期故障電圧は約2Vから約75Vへ上がる。つまり、ビア開口パターン間の間隔を約1.2倍に拡げると、初期故障電圧は40倍近くも向上する。本実施例では、比較例と比較してビア開口パターン間の間隔が約1.3倍に拡がっていることから、初期故障電圧が大幅に向上していることが予測される。
101 ビア開口パターン
103 第一の配線
105 第二の配線
107 ビアホール
103 第一の配線
105 第二の配線
107 ビアホール
Claims (12)
- 第一の配線層中に設けられる複数の第一の配線と、前記第一の配線層の上部に形成される第二の配線層中に設けられる複数の第二の配線とを接続する複数のビアを形成するために用いられるレチクルであって、
前記第一の配線および前記第二の配線は第一の方向または第二の方向に沿うように設けられ、前記第一の方向および前記第二の方向は互いに直交し、
前記レチクルは、前記複数のビアを形成するための複数のビア開口パターンを有し、
前記複数のビア開口パターンは矩形状であり、
前記複数のビア開口パターンは前記ビア開口パターンの各辺が前記第一の方向および前記第二の方向に対して斜めになるように配置され、
前記第一の方向および前記第二の方向に対して斜めに配置された隣接する二つの前記ビア開口パターン間の最小間隔d1が、前記ビア開口パターンの中心点を固定して回転させることにより各辺を前記第一の方向および前記第二の方向に対して平行または直交するように前記ビア開口パターンを配置した場合の前記ビア開口パターン間の最小間隔d2よりも大きくなるよう配置される、レチクル。 - 前記複数のビア開口パターンが正方形である、請求項1に記載のレチクル。
- 前記複数のビア開口パターンの各辺が、前記第一および第二の方向に対して45度または135度傾いて形成されている、請求項1または2に記載のレチクル。
- 隣接する二つの前記ビア開口パターンの最小ビアピッチは、隣接する前記複数の第一の配線間の間隔のうち最小間隔と、前記第一の配線幅とを足した第一の最小配線ピッチよりも大きく、または隣接する前記複数の第二の配線間の間隔のうち最小間隔と、前記第二の配線幅とを足した第二の最小配線ピッチよりも大きい、請求項1乃至3のいずれかに記載のレチクル。
- 前記最小ビアピッチは、前記第一の最小配線ピッチまたは前記第二の最小配線ピッチの21/2倍以上である、請求項4に記載のレチクル。
- 平面視で、前記複数のビア開口パターンは、前記第一の配線および前記第二の配線が重なる位置に千鳥状に配置されるように設けられている、請求項1乃至5のいずれかに記載のレチクル。
- 第一の配線層中に複数の第一の配線を設ける工程と、レチクルを用いて露光により前記複数の第一の配線に接続される複数のビアを形成する工程と、前記第一の配線層と異なる第二の配線層中に、前記ビアと接続される複数の第二の配線を設ける工程と、を含む、配線およびビアのレイアウト方法であって、
前記第一の配線および前記第二の配線は第一の方向または第二の方向に沿うように設けられ、前記第一の方向および前記第二の方向は互いに直交し、
前記レチクルは、前記複数のビアを形成するための複数のビア開口パターンを有し、
前記複数のビア開口パターンは矩形状であって、
平面視で、前記複数のビア開口パターンは前記ビア開口パターンの各辺が前記第一の方向および前記第二の方向に対して斜めになるように配置され、
前記第一の方向および前記第二の方向に対して斜めに配置された隣接する二つの前記ビア開口パターン間の最短距離d1は、前記ビア開口パターンの中心点を固定して回転させることにより各辺を前記第一の方向および前記第二の方向に対して平行または直交するように前記ビア開口パターンを配置した場合の前記ビア開口パターン間の最小間隔d2よりも大きい、配線およびビアのレイアウト方法。 - 前記ビア開口パターンが正方形である、請求項7に記載の配線およびビアのレイアウト方法。
- 前記ビア開口パターンの各辺が、前記第一および第二の配線に対して45度または135度傾いて形成されている、請求項7または8に記載の配線およびビアのレイアウト方法。
- 前記第一の配線と前記第二の配線とが互いに直交している請求項7乃至9のいずれかに記載の配線およびビアのレイアウト方法。
- 前記第一の配線および第二の配線が最小配線ピッチを有する請求項7乃至10のいずれかに記載の配線およびビアのレイアウト方法。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載のレチクルを用いる半導体装置の製造方法であって、
半導体基板上に第一の配線を含む第一の配線層を形成する工程と、
前記第一の配線層を覆う層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜上にレジスト膜を形成する工程と、
前記レチクルを用いて露光を行った後、現像を行うことにより、前記レジスト膜に凹部を形成する工程と、
前記凹部の形成された前記レジスト膜をマスクとして、前記層間絶縁膜をエッチングし、前記第一の配線と接続するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホールの内部に導電膜を埋設し、ビアを形成する工程と、
前記ビアおよび前記層間絶縁膜上に、前記ビアと接続する第二の配線を含む第二の配線層を形成する工程と、
を含み、
前記第一の配線および前記第二の配線は第一の方向または第二の方向に沿うように設けられ、前記第一の方向および前記第二の方向は互いに直交する、
半導体装置の製造方法。
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