JP2008053458A - 半導体装置の設計方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置の歩留まりを向上出来る半導体装置の設計方法を提供すること。
【解決手段】 第1の設計手法により第1配線パターン10を得るステップS10と、パーティクルの存在確率D(x)と、前記第1配線パターン10において配線に断線が発生する面積分布g(x)との積を、前記パーティクルの大きさについて積分して第1断線面積CA1(OP)を求めるステップS20と、第2の設計手法により第2配線パターン20を得るステップS30とを具備し、前記第2の設計手法は、前記パーティクルの存在確率D(x)と、前記第2配線パターン20を有する半導体装置において前記配線の断線が発生する面積分布g(x)との積を積分して得られる第2断線面積CA2(SH)が、前記第1断線面積CA1(SH)よりも小さくなるように前記第1配線パターンを再設計する。
【選択図】図5
【解決手段】 第1の設計手法により第1配線パターン10を得るステップS10と、パーティクルの存在確率D(x)と、前記第1配線パターン10において配線に断線が発生する面積分布g(x)との積を、前記パーティクルの大きさについて積分して第1断線面積CA1(OP)を求めるステップS20と、第2の設計手法により第2配線パターン20を得るステップS30とを具備し、前記第2の設計手法は、前記パーティクルの存在確率D(x)と、前記第2配線パターン20を有する半導体装置において前記配線の断線が発生する面積分布g(x)との積を積分して得られる第2断線面積CA2(SH)が、前記第1断線面積CA1(SH)よりも小さくなるように前記第1配線パターンを再設計する。
【選択図】図5
Description
この発明は半導体装置の設計方法に関し、例えばLSIの金属配線のレイアウト方法に関するものである。
近年の半導体装置の製造プロセスの微細化に伴い、RET(Resolution Enhanced Technique、超高解像度技術)技術を用いた高コントラストの解像によるパターンの微細化が進められている。これは、リソグラフィプロセスで用いられる光の波長の短波長化が困難になってきているからである。更にリソグラフィプロセスにおいては、光の近接効果をシミュレーションにより補正するOPC(Optical Proximity effect Correction)が導入されている。
また、半導体の製造プロセス中に発生する微細なゴミ(パーティクル)は、半導体素子や配線の断線(オープン)・ショートを生じさせる原因となる。そのため、パーティクルの発生確率やサイズの削減をはじめとして、パーティクルに対する取り組みがなされてきた(例えば特許文献1、2参照)。
しかし、微細化が進行した半導体装置の製造プロセスにおいては、パーティクルに対する対策は必ずしも十分ではない。そのため、パーティクルによる配線のオープンやショートを効果的に防止出来ず、LSIの製造歩留まりが低下するという問題があった。
特開2002−148645号公報
特開2002−158409号公報
この発明は、半導体装置の歩留まりを向上出来る半導体装置の設計方法を提供する。
この発明の一態様に係る半導体装置の設計方法は、半導体装置に含まれる配線のパターンを第1の設計手法により設計し、第1配線パターンを得るステップと、製造プロセス中におけるパーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第1配線パターンを有する前記半導体装置において前記パーティクルの存在により配線の断線が発生する面積分布との積を、前記パーティクルの大きさについて積分して第1断線面積を求めるステップと、第2の設計手法により前記第1配線パターンを再設計し、第2配線パターンを得るステップとを具備し、前記第2の設計手法は、前記パーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第2配線パターンを有する前記半導体装置において前記パーティクルの存在により前記配線の断線が発生する面積分布との積を前記パーティクルの大きさについて積分して得られる第2断線面積が、前記第1断線面積よりも小さくなるように前記第1配線パターンを再設計する。
この発明によれば、半導体装置の歩留まりを向上出来る半導体装置の設計方法を提供できる。
以下、この発明の実施形態を図面を参照して説明する。この説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
[第1の実施形態]
この発明の第1の実施形態に係る半導体装置の設計方法について図1を用いて説明する。図1は、本実施形態に係るLSIの、特に配線パターンの設計方法のフローチャートである。
この発明の第1の実施形態に係る半導体装置の設計方法について図1を用いて説明する。図1は、本実施形態に係るLSIの、特に配線パターンの設計方法のフローチャートである。
まず第1の設計手法により配線パターンを設計する(ステップS10)。第1の設計手法とは、従来から用いられている設計手法であり、LSIの性能を最大化させることを主眼においた設計手法である。ステップS10の結果得られる配線パターンを第1配線パターン10と呼ぶことにする。図2は第1配線パターン10の模式図である。図2では一例としてLSI1に3本の配線が設計された様子を示している。図示するように、平行に配置された3本の配線2、3、4は、半導体素子5、5間を電気的に接続する。配線2、3、4の配線幅w1は通常、最小加工寸法(設計ルール)で形成される。また配線2、3、4は半導体素子5、5間を最短距離で接続するように設けられる。従って、配線2、3の間隔d1と配線3、4の間隔d2との間には特に関連は無く、d1≒d2の場合もあれば、d1>>d2の場合もある。図2ではd1<<d2の場合を示している。このように、第1配線パターン10では各配線間隔は特に考慮されず、配線が最短距離となるようにレイアウトされるので、配線の疎密が発生する場合がある。
第1配線パターン10が得られた後、第1配線パターン10におけるクリティカルエリア(Critical area)を算出する(ステップS20)。ここで、クリティカルエリアについて説明する。クリティカルエリアとは、製造プロセス中におけるパーティクルの存在を原因としてLSIの電気的不良をクリティカルに引き起こす領域の面積のことである。パーティクルによる電気的不良の原因としては、配線の断線とショートがある。図3は第1配線パターン10の模式図であり、パーティクルによって配線に断線及びショートが生じている様子を示している。図示するように、例えば配線4の線幅よりも大きいサイズのパーティクル6が配線4上に存在したとする。すると、このパーティクルによって配線4はパーティクル6を境に断線するおそれがある。また配線2、3間にパーティクル6が存在したとする。すると、パーティクル6のサイズが配線2、3の間隔よりも大きかったとすると、配線2、3がショートするおそれがある。LSI1には様々な領域が存在し、配線が非常に密な領域と疎な領域とが含まれる。配線が密である領域では小さなパーティクルであっても電気的不良を引き起こしやすく、疎である領域では電気的不良は起きにくい。従って、本実施形態に係るLSI1内におけるクリティカルエリアとは、クリティカルサイズのパーティクル6により断線やショート等による電気的不良を起こすおそれのある領域の面積となる。クリティカルサイズとは、最小加工寸法により形成されたラインアンドスペース(line and space)のパターンにおいて不良を発生させるパーティクルのサイズの臨界値である。すなわち、クリティカルサイズ=最小加工寸法と言うことが出来る。クリティカルエリアが小さいほどLSIはパーティクルの影響を受けづらく、LSI1の製造歩留まりは向上する。そして、クリティカルエリアには、配線の断線を原因とした不良に対する値と、ショートを原因とした不良に対する値とがある。以降、前者を断線のクリティカルエリア、後者をショートのクリティカルエリアと呼ぶことにする。
クリティカルエリアの具体的な算出方法について図4を用いて説明する。図4はパーティクルのサイズxに対するパーティクルの存在確率分布D(x)と、それを原因とした電気的不良の発生する領域の面積g(x)のグラフである。図示するように、パーティクルの存在確率Dは、パーティクルサイズxが大きくなるほど低下する。逆に電気的不良の発生する領域の面積gは、パーティクルサイズxが大きくなると増大する。すなわちパーティクルは、サイズが大きいものほど存在確率は低いが、他方、広い領域にわたってLSIに電気的不良を発生させる。逆にサイズが小さいほど存在確率は高いが、それによって不良が発生させる箇所は少ない。そして、不良の発生する領域の面積g(x)と存在確率分布D(x)とを掛けたものをパーティクルサイズxで積分することで、クリティカルエリアCAが算出される。なお、クリティカルエリアCAにクリティカルサイズADを掛けることで、パーティクルによるLSIの電気的不良の発生率が算出される。もちろん、確率分布D(x)及び面積g(x)は、断線の場合とショートの場合とで異なるから、断線のクリティカルエリアCA(OP)と、ショートのクリティカルエリアCA(SH)とがそれぞれ求められる。以下、第1配線パターンにおける断線及びショートのクリティカルエリアを、それぞれクリティカルエリアCA1(OP)、CA1(SH)と呼ぶことにする。
第1配線パターンに関するクリティカルエリアCA1(OP)、CA1(SH)が求められた後、次に、第2の設計手法により第1配線パターンを再設計する(ステップS30)。第2の設計手法とは、LSIの製造歩留まりに着目した設計手法である。第2の設計手法について図5を用いて説明する。図5は第2の設計手法のフローチャートである。
まず、ステップS10で得られた第1配線パターン10を、少なくとも断線のクリティカルエリアが減少するように再設計する(ステップS31)。その結果、第2配線パターン20が得られる。次に、得られた第2配線パターン20について、上記説明した方法によりクリティカルエリアを算出する(ステップS32)。すなわち、第2配線パターン20において不良の発生する領域の面積と存在確率分布とを掛けたものをパーティクルサイズで積分する。ステップS32の結果、第2配線パターン20に関するショートのクリティカルエリアCA2(SH)と断線のクリティカルエリアCA2(OP)が得られる。
次に、ステップS32で得た第2配線パターン20に関するクリティカルエリアと、ステップS20で得られた第1配線パターン10に関するクリティカルエリアとを比較する(ステップS33)。具体的には、第1配線パターン10と第2配線パターン20との間における断線のクリティカルエリアの差と、ショートのクリティカルエリアの差とを比較する。
そして、(CA2(OP)−CA1(OP))>(CA2(SH)−CA1(SH))が満たされれば(ステップS34)、ステップS31で得られた第2配線パターン20を最終的な第2配線パターン20として、配線の設計が終了する。満たされない場合は(ステップS34)、再びステップS31に戻って再設計をやり直す。
第2配線パターン20の一例について図6を用いて説明する。図6は第2配線パターンの模式図であり、特に図2で説明した第1配線パターンをステップS34の条件を満たすように再設計した場合の一例について示している。なお、図中の破線は、第1配線パターン10における配線2、3、4を示している。
図示するように第1配線パターン10における配線2、3、4はそれぞれ、第2配線パターン20における配線7、8、9として再設計される。配線7、8、9の配線幅w2、w3、w4は、いずれも配線2、3、4の配線幅w1よりも大きくされる。また、3本の配線7、8、9は、配線2、3、4よりも均等な間隔を有して配置される。図6の例であると、配線7、8の間隔をd3、配線8、9の間隔をd4(>d3)とすると、d2>d4となる。すなわち、第2配線パターン20において隣接する配線間隔の最大値は、第1配線パターン10における配線間隔の最大値よりも小さくされる。換言すれば、第2配線パターンにおける配線の疎密の程度は、第1配線パターン10における配線の疎密の程度よりも小さくなる。勿論、配線間隔が均一であることが望ましいが、ステップS34の条件が満たされれば十分である。
上記のようにして第2配線パターン20が得られた後、LSIの製造が行われる。配線7、8の製造方法について図7乃至図11を用いて説明する。図7乃至図11は配線の製造方法を順次示す斜視図である。
まず図7に示すように、半導体基板30上に図示せぬMOSトランジスタなどの半導体素子を形成した後、これらの半導体素子を被覆するようにして半導体基板30上に層間絶縁膜31が形成される。層間絶縁膜31は例えばシリコン酸化膜(SiO2)などを用いて形成される。引き続き層間絶縁膜31上に犠牲膜32が形成される。犠牲膜32には、例えばレジストなどが用いられる。
次に図8に示すように、フォトリソグラフィ技術を用いてレジスト32がパターニングされる。これにより、配線7、8を形成すべき領域の層間絶縁膜31が露出される。
次に図9に示すように、レジスト32をマスクに用いたRIE(Reactive Ion Etching)等の異方性のエッチング技術により、層間絶縁膜31がエッチングされる。その結果、配線7、8の形状を有する溝34が層間絶縁膜31内に形成される。
次に図10に示すように、レジスト32を除去した後、層間絶縁膜31に形成された溝34を埋め込むようにして、金属層33が形成される。金属層33は例えば銅(Cu)等を用いて形成される。その後、例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing)法等を用いて金属層33が研磨されることにより、図11に示すような配線7、8が形成される。
上記のように、この発明の第1の実施形態に係る半導体装置の設計方法であると、半導体装置の製造歩留まりを向上出来る。なぜなら、まずLSIの性能に着目して第1配線パターンを設計した後、第1配線パターンをクリティカルエリアが小さくなるように再設計して第2配線パターンを設計し、この第2配線パターンに基づいてLSIを製造するからである。図12はLSIの模式図であり、第1配線パターンを第2配線パターンに再設計することでクリティカルエリアが減少している様子を示す。クリティカルエリアが減少するということは、すなわち、断線やショートによってLSIに電気的不良の発生するおそれの無い領域が増大するということである。従って、LSIの製造歩留まりを向上できる。
なお、上記実施形態では少なくとも断線のクリティカルエリアが減少すれば良く、ショートのクリティカルエリアについては考慮していない。これは図7乃至図11で説明したように、配線をダマシンプロセスによって形成するからである。この点につき図13及び図14を用いて説明する。図14は、RIEによって配線形成用の溝を形成する際の半導体装置の斜視図である。図示するように、半導体基板40上に層間絶縁膜41が設けられ、層間絶縁膜41上にパターニングされたレジスト42が設けられている。この際、配線の形成予定領域上にパーティクル43が存在したとする。すると、その後のRIE工程でエッチングを行った際、パーティクル43がマスク材として機能するため、パーティクル43直下の層間絶縁膜41はエッチングされない。その結果、図14に示すように、RIEで形成された溝を金属層44で埋め込んだ際、パーティクル43が存在した領域では配線が断線することになる。
このように、ダマシンプロセスを用いて配線を形成する場合には、パーティクルの存在はショートよりも断線の原因となりやすい。従って、断線のクリティカルエリアが減少するように設計を行えば良い。勿論、断線のクリティカルエリアだけでなくショートのクリティカルエリアも減少することがより好ましい。この場合には、ショートのクリティカルエリアの減少量よりも断線のクリティカルエリアの減少量の方が大きければよい。
[第2の実施形態]
次にこの発明の第2の実施形態に係る半導体装置の設計方法について説明する。本実施形態は、上記第1の実施形態において配線の折れ曲がり部分に対する対策に関するものである。図15は本実施形態に係る半導体装置の設計方法のフローチャートである。
次にこの発明の第2の実施形態に係る半導体装置の設計方法について説明する。本実施形態は、上記第1の実施形態において配線の折れ曲がり部分に対する対策に関するものである。図15は本実施形態に係る半導体装置の設計方法のフローチャートである。
図5で説明したステップS31の後、配線に折れ曲がる箇所があるか否かを検出する(ステップS35)。図16は第2配線パターンの模式図であり、3本の配線7、8、9が領域A1において折れ曲がっている。3本の配線7、8、9のそれぞれの直線部分の配線幅をw5、w6、w7、折れ曲がり部分の配線幅をw8、w9、w10とし、直線部分の配線7、8間距離及び配線8、9間距離をそれぞれd5、d6、折れ曲がり部分の配線7、8間距離及び配線8、9間距離をそれぞれd7、d8と呼ぶことにする。
配線に折れ曲がり箇所がある場合、折れ曲がり箇所A1における配線幅を直線部分よりも大きくし(ステップS36)、また折れ曲がり箇所A1における配線間隔を直線部分よりも大きくする(ステップS37)。図16の配線パターンについてステップS36、S37の処理を行って得られる配線パターンの模式図を図17に示す。図示するように、配線幅w8、w9、w10はそれぞれw8>w5、w9>w6、w10>w7とされる。また、配線間隔d7、d8はそれぞれd7>d5、d8>d6とされる。その後、図5におけるステップS32へ進む。
以上のように、本実施形態に係る半導体装置の設計方法であると、第1の実施形態に比べて更に半導体装置の製造歩留まりを向上出来る。通常、配線が折れ曲がる箇所は近接領域の同一性及び均一性が崩れる領域である。そのため、直線部分に比べてパターニングの際のマージンが少なく、不良が発生しやすい。しかしながら本実施形態であると、折れ曲がり箇所の配線幅及び配線間隔を直線部分よりも大きくしている。従ってパターニングの際のマージンを十分確保出来、その結果不良の発生を抑制し、LSIの製造歩留まりを向上出来る。
なお、図16、図17では配線の曲がり角度が90°である場合を例に説明したが、90°に限られるものではなく、30°や60°など、他の角度を有する場合にも適用出来る。図18に一例として45°である場合について示す。この場合でもw8>w5、w9>w6、w10>w7、d7>d5、d8>d6とすることで同様の効果が得られる。
[第3の実施形態]
次にこの発明の第3の実施形態に係る半導体装置の設計方法について説明する。本実施形態は、上記第1、第2の実施形態においてコンタクトプラグを有する領域に関するものである。図19は、本実施形態に係る第2配線パターンの模式図である。
次にこの発明の第3の実施形態に係る半導体装置の設計方法について説明する。本実施形態は、上記第1、第2の実施形態においてコンタクトプラグを有する領域に関するものである。図19は、本実施形態に係る第2配線パターンの模式図である。
図示するように、第1方向に沿ったストライプ形状の配線50が設けられ、配線50よりも上のレベルに第2方向に沿ったストライプ形状の配線51が設けられている。配線50、51は、上記第1、第2の実施形態で説明した方法により設計される。図19では第1方向と第2方向とのなす角度は90°であるが、この角度に限定されるものではない。配線51の端部は第1方向に折れ曲がっており、その領域で配線50とオーバーラップしている。そして両者がオーバーラップした領域において、両者はコンタクトプラグ52、53によって接続されている。また、配線51と同一のレベルに、第2方向に沿ったストライプ形状の配線54、55が設けられている。配線54、55は配線51を挟むようにして設けられている。また配線51の折れ曲がり部は、配線55側でなく配線54側に凸となるように設けられている。
図20は図19におけるY1−Y1’線に沿った断面図である。図示するように半導体基板56上に層間絶縁膜57が形成され、層間絶縁膜57上に配線50となる金属配線層が形成されている。層間絶縁膜57上には、配線50を被覆するようにして層間絶縁膜58が形成されている。層間絶縁膜58中には、コンタクトプラグ52、53が設けられている。コンタクトプラグ52、53は配線50上に形成されている。層間絶縁膜58上には配線51、54、55となる金属配線層が形成されている。配線51は、コンタクトプラグ52、53に接触するように、配線50の端部とオーバーラップしている。そして層間絶縁膜58上に配線51、54を被覆するようにして層間絶縁膜59が形成されている。
上記構成において配線51端部の配線幅w12が、配線51の直線部分の配線幅w11よりも大きくなるよう設計される。また、配線51において配線54側に凸となる部分の端部と配線54との間隔d9は、配線51、55間の間隔d10よりも大きくなるように設計される。
本実施形態に係る半導体装置の設計方法について図21のフローチャートを用いて説明する。図5で説明したステップS31の後、配線においてコンタクトプラグに接触させるための領域があるか否かを検出する(ステップS38)。コンタクトプラグに接触させるための領域とは、例えば図19の配線51において、第1方向に凸とされた領域のことである。当該領域がある場合、当該領域における配線幅を他の部分よりも大きくし(ステップS39)、当該領域における配線間隔(図19におけるd9)を他の部分(図19におけるd10)よりも大きくする(ステップS40)。その後、図5におけるステップS32へ進む。
上記のように、本実施形態に係る半導体装置の設計方法であると、上記第1、第2の実施形態に比べて更に半導体装置の製造歩留まりを向上出来る。この点につき以下詳細に説明する。図22は、配線の断線またはショートに起因する不良と、コンタクトプラグまたはビアホール(via hole)に起因する不良との比率を、世代(設計ルール=最小加工寸法)毎にプロットしたグラフである。
図示するように、130nm世代以降、微細化が進むにつれて、配線の断線またはショートよりも配線間の接続部におけるコンタクトプラグやビアホールの不良が、LSIの電気的不良の主たる要因となってきた。コンタクトプラグ及びビアホールは、一般に各世代の面積縮小効果の逆数で増加する傾向にある。従って、コンタクトプラグやビアホールにおける不良を抑制するために、コンタクトプラグやビアホールを1カ所に2個配置する等の取り組みが行われているが、対策としては十分ではなく、今後の歩留まり低下の大きな問題となっている。
しかし本実施形態に係る設計方法であると、配線において、コンタクトプラグに接する領域の配線幅をその他の部分の配線幅よりも大きくしている。従って、コンタクトプラグやビアホールを形成する際のマージンを十分に取ることが出来る。またコンタクトプラグに接する領域と隣接する配線との間の間隔を、その他の領域における配線間隔よりも大きくしている。従って、コンタクトプラグに接する配線を加工する際のマージンを十分に取ることが出来る。上記の結果、コンタクトプラグやビアホールに不良が発生することを効果的に抑制出来、LSIの製造歩留まりを向上出来る。
なお図19及び図20の例では2層のレベルにある2つの配線50、51において、上層のレベルにある配線51についてのみ配線幅と配線間隔を大きくする場合について説明した。しかし、勿論、下層のレベルにある配線50についても同様に設計することがより好ましい。
[第4の実施形態]
次にこの発明の第4の実施形態に係る半導体装置の設計方法について説明する。本実施形態は、上記第1乃至第3の実施形態を用いつつ、更にMOSトランジスタにおける不良発生を抑制するための設計方法に関する。図23は本実施形態に係るMOSトランジスタの平面図であり、図24は図23におけるX1−X1’線に沿った断面図である。
次にこの発明の第4の実施形態に係る半導体装置の設計方法について説明する。本実施形態は、上記第1乃至第3の実施形態を用いつつ、更にMOSトランジスタにおける不良発生を抑制するための設計方法に関する。図23は本実施形態に係るMOSトランジスタの平面図であり、図24は図23におけるX1−X1’線に沿った断面図である。
図示するように、半導体基板60中には素子分離領域STIが形成され、素子分離領域STIに周囲を囲まれた素子領域AAの表面領域内に、互いに離隔して不純物拡散層61、62が形成されている。不純物拡散層61、62はそれぞれMOSトランジスタのソース及びドレインとして機能する。そしてソース、ドレイン間の半導体基板60上にはゲート絶縁膜を介在してゲート電極63が形成されている。
以上のようにしてMOSトランジスタが形成されている。そして半導体基板60上に、上記MOSトランジスタを被覆するようにして層間絶縁膜64が形成され、層間絶縁膜64中にはコンタクトプラグ65、66、67が形成されている。コンタクトプラグ65、66はソース61上に形成され、コンタクトプラグ67はドレイン62上に形成されている。層間絶縁膜64上にはソース配線68及びドレイン配線69が形成されている。ソース配線68はコンタクトプラグ65、66に接続され、ドレイン配線69はコンタクトプラグ67に接続される。そして層間絶縁膜64上に、配線68、69を被覆するようにして層間絶縁膜70が形成されている。上記構成において、コンタクトプラグ65、66とソース61との間の接触面積は、コンタクトプラグ67とドレイン62との間の接触面積よりも大きい。また図23に示すように、素子領域AAにおいてソース61が形成される領域の面積は、ドレイン62が形成される領域の面積よりも大きい。
上記のように、本実施形態に係る半導体装置の設計方法であると、上記第1乃至第3の実施形態に比べて、より一層、半導体装置の製造歩留まりを向上出来る。本実施形態によれば、MOSトランジスタのソース上に複数のコンタクトプラグ65、66が設けられている。従って、ソース61とソース配線68との間でコンタクト不良が発生することを抑制出来る。またソース61の上面の面積はドレイン62の上面の面積よりも大きくされている。従って、複数のコンタクトプラグ65、66形成の為のビアホール形成工程時のマージンを十分に取ることが出来る。従ってビアホールにおいて不良が発生することを抑制出来る。従って、コンタクト部分における欠陥に起因してMOSトランジスタが不良となることを効果的に防止出来る。
なお、ドレインではなくソースに接するコンタクトプラグのみ数を増やすことが望ましい。なぜなら、コンタクトプラグを増やすと寄生容量も増えるからである。寄生容量の増加は半導体装置の動作速度の低下の原因となる。しかし、MOSトランジスタのソースは、通常電源電位が与えられ、負荷とはならない。従って、ソース側に寄生容量が増加したとしても、LSIの動作速度に殆ど影響を与えない。
また、図23及び図24の例ではソース61に接するコンタクトプラグの数をドレイン62に接するコンタクトプラグの数よりも多くする場合について説明したが、ソース61に接するコンタクトプラグの接触面積がドレイン62に接するコンタクトプラグの接触面積よりも大きければ良い。従って、ソース61上のコンタクトプラグとドレイン62上のコンタクトプラグとを同数にしつつ、前者の断面積を後者の断面積よりも大きくしても良い。更に、ソース61上の複数のコンタクトプラグは、ゲート電極63の長手方向に沿って設けられていても良い。
上記のように、この発明の第1乃至第4の実施形態に係る半導体装置の設計方法によれば、クリティカルエリアが減少するように、より具体的には、断線のクリティカルエリアの減少量がショートのクリティカルエリアの減少量よりも大きくなるように、配線パターンのレイアウトを設計している。従って、例えばダマシンプロセスを用いたLSIの製造歩留まりを向上出来る。
なお、断線のクリティカルエリアを減少させる結果、第2配線パターンの配線幅は第1配線パターンの配線幅より大きくなるが、このことは必ずしも配線の全領域において満たされなければならないわけではない。図25は第2配線パターンの模式図である。図示するように、配線8が半導体素子5と接続される領域では、配線幅を大きくすることが困難な場合もありうる。このような場合には、配線8を第1配線パターンにおける配線幅で引き出した後、第2の実施形態で説明した方法によって配線を折り曲げた後、配線幅を大きくすれば良い。
また、上記実施形態ではダマシンプロセスを用いる場合を例に説明したが、本プロセスを用いない場合にも適用出来る。この点につき図26乃至図28を用いて説明する。図26及び図26は配線の製造方法を順次示す斜視図である。図28は配線完成時の従来の半導体装置の斜視図である。図26に示すように、半導体基板80上に半導体素子が形成された後、これらの半導体素子を被覆するようにして半導体基板80上に層間絶縁膜81が形成される。その後、層間絶縁膜81上に、配線を形成するための金属層82が形成される。金属層82は例えばアルミニウム(Al)を材料に用いて形成される。引き続き金属層82上にレジストなどの犠牲膜83が設けられ、フォトリソグラフィ技術によって犠牲膜83が配線のパターンにパターニングされる。次に図26に示すように、犠牲膜83をマスクに用いたRIE法によって金属層82がエッチングされて、配線が完成する。上記のような製造方法によると、図26に示す工程において金属層82上にパーティクルが存在すると、従来方法では図28に示すように、金属層82がエッチングされずに残るため、配線がショートする場合がある。
上記のような場合にもこの発明の実施形態は適用できる。但し、ダマシンプロセスと異なり不良の主原因は断線ではなくショートである。従って、ショートのクリティカルエリアが減少するように第2配線パターンを設計する必要がある。すなわち、図5に示したステップS34は、(CA2(SH)−CA1(SH))>(CA2(OP)−CA1(OP))となる。
すなわち、上記実施形態に係る半導体装置の設計方法は、
1.半導体装置に含まれる配線のパターンを第1の設計手法により設計し、第1配線パターンを得るステップと、
製造プロセス中におけるパーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第1配線パターンを有する半導体装置において前記パーティクルの存在により配線の断線が発生する面積分布との積を、前記パーティクルの大きさについて積分して第1断線面積を求めるステップと、
第2の設計手法により前記第1配線パターンを再設計し、第2配線パターンを得るステップとを具備し、前記第2の設計手法は、前記パーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第2配線パターンを有する半導体装置において前記パーティクルの存在により前記配線の断線が発生する面積分布との積を前記パーティクルの大きさについて積分して得られる第2断線面積が、前記第1断線面積よりも小さくなるように前記第1配線パターンを再設計する。
2.上記1において、前記第2配線パターンにおいて隣接する前記配線同士の間隔の最大値は、前記第1配線パターンにおいて隣接する前記配線同士の間隔の最大値よりも小さい。
3.上記1において、隣接する前記配線の少なくとも2本は、第1方向に沿ったストライプ状の形状を有する第1配線部及び第2配線部と、
前記第2方向に沿ったストライプ状の形状を有し、前記第1配線部と前記第2配線部とを接続する第3配線部とを含み、前記第2の設計手法は、前記第3配線部の配線幅が前記第1、第2配線部の配線幅よりも大きく、且つ隣接する前記第3配線部同士の間隔が前記第1配線部同士及び前記第2配線部同士の間隔よりも大きくなるように前記第2配線パターンを形成する。
4.上記3において、前記第1方向と前記第2方向とのなす角度は45°である。
5.上記1において、前記配線のいずれかは、第1方向に沿ったストライプ状の形状を有する第1配線層と、
前記第1配線層よりも層間絶縁膜を介在して上方に設けられ、前記第1方向に直交する第2方向に沿ったストライプ状の形状を有し、前記第1配線層の端部と重なるようにして前記第1方向に折れ曲がった端部を有する第2配線層と、
前記層間絶縁膜内に設けられ、前記第1配線層の端部と前記第2配線層の端部とを接続する複数のコンタクトプラグとを含み、前記第2配線層の前記端部の配線幅は、該第2配線層の該端部以外の部分の配線幅よりも大きい。
6.上記1において、前記第1配線パターンを得た後、前記パーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第1配線パターンを有する半導体装置において前記パーティクルの存在により前記配線のショートが発生する面積分布との積を、前記パーティクルの大きさについて積分して第1ショート面積を求めるステップを更に備え、
前記第2の設計手法は、前記第1、第2断線面積の差が、前記パーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第2配線パターンを有する半導体装置において前記パーティクルの存在により前記配線のショートが発生する面積分布との積を前記パーティクルの大きさについて積分して得られる第2ショート面積と前記第1ショート面積との差よりも大きくなるように前記第1配線パターンを再設計する。
7.上記5において、前記第2配線層と同一の配線レベルに設けられ、前記第2配線層の前記端部に隣接する第3配線層と、
前記第2配線層と同一の配線レベルに設けられ、前記第2配線層の前記端部以外の部分に隣接する第4配線層とを更に備え、前記第3配線層と前記第2配線層との間隔は、前記第4配線層と前記第2配線層との間隔よりも大きい。
8.上記1において、前記半導体装置は、半導体基板上に設けられたMOSトランジスタと、前記配線のいずれかと前記MOSトランジスタのソースまたはドレインとを接続するコンタクトプラグとを備え、
前記ソースに接続されたコンタクトプラグ数は前記ドレインに接続された前記コンタクトプラグ数よりも多い。
9.上記1において、前記配線はダマシン法を用いて形成される。
また上記実施形態に係る半導体装置の製造方法は、
10.半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に犠牲膜を形成する工程と、
前記犠牲膜を、請求項1記載の半導体装置の設計方法により得られた第2配線パターンにパターニングする工程と、
前記犠牲膜をマスクに用いて前記絶縁膜をエッチングして、前記第2配線パターンを有する溝を形成する工程と、
前記前記溝内に金属層を埋め込んで金属配線層を形成する工程とを具備する。
11.上記10において、前記金属層は銅を含む。
1.半導体装置に含まれる配線のパターンを第1の設計手法により設計し、第1配線パターンを得るステップと、
製造プロセス中におけるパーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第1配線パターンを有する半導体装置において前記パーティクルの存在により配線の断線が発生する面積分布との積を、前記パーティクルの大きさについて積分して第1断線面積を求めるステップと、
第2の設計手法により前記第1配線パターンを再設計し、第2配線パターンを得るステップとを具備し、前記第2の設計手法は、前記パーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第2配線パターンを有する半導体装置において前記パーティクルの存在により前記配線の断線が発生する面積分布との積を前記パーティクルの大きさについて積分して得られる第2断線面積が、前記第1断線面積よりも小さくなるように前記第1配線パターンを再設計する。
2.上記1において、前記第2配線パターンにおいて隣接する前記配線同士の間隔の最大値は、前記第1配線パターンにおいて隣接する前記配線同士の間隔の最大値よりも小さい。
3.上記1において、隣接する前記配線の少なくとも2本は、第1方向に沿ったストライプ状の形状を有する第1配線部及び第2配線部と、
前記第2方向に沿ったストライプ状の形状を有し、前記第1配線部と前記第2配線部とを接続する第3配線部とを含み、前記第2の設計手法は、前記第3配線部の配線幅が前記第1、第2配線部の配線幅よりも大きく、且つ隣接する前記第3配線部同士の間隔が前記第1配線部同士及び前記第2配線部同士の間隔よりも大きくなるように前記第2配線パターンを形成する。
4.上記3において、前記第1方向と前記第2方向とのなす角度は45°である。
5.上記1において、前記配線のいずれかは、第1方向に沿ったストライプ状の形状を有する第1配線層と、
前記第1配線層よりも層間絶縁膜を介在して上方に設けられ、前記第1方向に直交する第2方向に沿ったストライプ状の形状を有し、前記第1配線層の端部と重なるようにして前記第1方向に折れ曲がった端部を有する第2配線層と、
前記層間絶縁膜内に設けられ、前記第1配線層の端部と前記第2配線層の端部とを接続する複数のコンタクトプラグとを含み、前記第2配線層の前記端部の配線幅は、該第2配線層の該端部以外の部分の配線幅よりも大きい。
6.上記1において、前記第1配線パターンを得た後、前記パーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第1配線パターンを有する半導体装置において前記パーティクルの存在により前記配線のショートが発生する面積分布との積を、前記パーティクルの大きさについて積分して第1ショート面積を求めるステップを更に備え、
前記第2の設計手法は、前記第1、第2断線面積の差が、前記パーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第2配線パターンを有する半導体装置において前記パーティクルの存在により前記配線のショートが発生する面積分布との積を前記パーティクルの大きさについて積分して得られる第2ショート面積と前記第1ショート面積との差よりも大きくなるように前記第1配線パターンを再設計する。
7.上記5において、前記第2配線層と同一の配線レベルに設けられ、前記第2配線層の前記端部に隣接する第3配線層と、
前記第2配線層と同一の配線レベルに設けられ、前記第2配線層の前記端部以外の部分に隣接する第4配線層とを更に備え、前記第3配線層と前記第2配線層との間隔は、前記第4配線層と前記第2配線層との間隔よりも大きい。
8.上記1において、前記半導体装置は、半導体基板上に設けられたMOSトランジスタと、前記配線のいずれかと前記MOSトランジスタのソースまたはドレインとを接続するコンタクトプラグとを備え、
前記ソースに接続されたコンタクトプラグ数は前記ドレインに接続された前記コンタクトプラグ数よりも多い。
9.上記1において、前記配線はダマシン法を用いて形成される。
また上記実施形態に係る半導体装置の製造方法は、
10.半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に犠牲膜を形成する工程と、
前記犠牲膜を、請求項1記載の半導体装置の設計方法により得られた第2配線パターンにパターニングする工程と、
前記犠牲膜をマスクに用いて前記絶縁膜をエッチングして、前記第2配線パターンを有する溝を形成する工程と、
前記前記溝内に金属層を埋め込んで金属配線層を形成する工程とを具備する。
11.上記10において、前記金属層は銅を含む。
なお、本願発明は上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。更に、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出されうる。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出されうる。
1…LSI、2〜4、7〜9、50、51、54、55、68、69…配線、5…半導体素子、6、43…パーティクル、10…第1配線パターン、11、21…クリティカルエリア、20…第2配線パターン、30、40、56、80…半導体基板、31、41、57〜59、64、70、81…層間絶縁膜、32、42、83…犠牲膜、33、44、68、69、82…金属層、34…溝、52、53、65、66…コンタクトホール、61…ソース領域、62…ドレイン領域、63…ゲート電極
Claims (5)
- 半導体装置に含まれる配線のパターンを第1の設計手法により設計し、第1配線パターンを得るステップと、
製造プロセス中におけるパーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第1配線パターンを有する前記半導体装置において前記パーティクルの存在により配線の断線が発生する面積分布との積を、前記パーティクルの大きさについて積分して第1断線面積を求めるステップと、
第2の設計手法により前記第1配線パターンを再設計し、第2配線パターンを得るステップと
を具備し、前記第2の設計手法は、前記パーティクルの大きさに対する該パーティクルの存在確率と、前記第2配線パターンを有する前記半導体装置において前記パーティクルの存在により前記配線の断線が発生する面積分布との積を前記パーティクルの大きさについて積分して得られる第2断線面積が、前記第1断線面積よりも小さくなるように前記第1配線パターンを再設計する
ことを特徴とする半導体装置の設計方法。 - 前記第2配線パターンにおいて隣接する前記配線同士の間隔の最大値は、前記第1配線パターンにおいて隣接する前記配線同士の間隔の最大値よりも小さい
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の設計方法。 - 隣接する前記配線の少なくとも2本は、第1方向に沿ったストライプ状の形状を有する第1配線部及び第2配線部と、
前記第2方向に沿ったストライプ状の形状を有し、前記第1配線部と前記第2配線部とを接続する第3配線部と
を含み、前記第2の設計手法は、前記第3配線部の配線幅が前記第1、第2配線部の配線幅よりも大きく、且つ隣接する前記第3配線部同士の間隔が前記第1配線部同士及び前記第2配線部同士の間隔よりも大きくなるように前記第2配線パターンを形成する
ことを特徴とする請求項1または2記載の半導体装置の設計方法。 - 前記第1方向と前記第2方向とのなす角度は45°である
ことを特徴とする請求項3記載の半導体装置の設計方法。 - 前記配線のいずれかは、第1方向に沿ったストライプ状の形状を有する第1配線層と、
前記第1配線層よりも層間絶縁膜を介在して上方に設けられ、前記第1方向に直交する第2方向に沿ったストライプ状の形状を有し、前記第1配線層の端部と重なるようにして前記第1方向に折れ曲がった端部を有する第2配線層と、
前記層間絶縁膜内に設けられ、前記第1配線層の端部と前記第2配線層の端部とを接続する複数のコンタクトプラグと
を含み、前記第2配線層の前記端部の配線幅は、該第2配線層の該端部以外の部分の配線幅よりも大きい
ことを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項記載の半導体装置の設計方法。
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JP2006228137A JP2008053458A (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | 半導体装置の設計方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010021366A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
-
2006
- 2006-08-24 JP JP2006228137A patent/JP2008053458A/ja active Pending
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