JP5075065B2 - 円筒体の表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents

Description

この発明は、円筒体を回転させつつ、表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査装置および表面検査方法に関する。

感光ドラム用基体等の円筒体では、高い表面精度が求められるため、キズ、凹凸の形成や、異物の付着（汚れ）等の表面欠陥を検出するための表面検査を行うのが通例である。

例えば下記特許文献１に開示される円筒体の表面検査装置は、円筒体の外周面に接触する駆動ローラを回転駆動させることによって、円筒体を従動回転させながら、円筒体表面に検査光を照射して、その反射光に基づいて、円筒体表面の表面欠陥を検出するようにしている。
特開平７−１４００７９号（特許請求の範囲、図１−３）

ところが、上記従来の円筒体の表面検査装置において、滑り等の回転異常によって円筒体が正常に回転していない状態では、表面欠陥を精度良く検出することができず、正確な表面検査を行うことができない。このため例えば、表面検査中に、回転異常が発生すると、表面欠陥がなくとも、表面欠陥があると誤って判定される場合があり、検査精度が低下するという問題が発生する。

この発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、円筒体の表面検査を精度良く行うことができる円筒体の表面検査装置および表面検査方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は以下の構成を要旨とするものである。

［１］ 円筒体における一端側の周面に駆動ローラを接触させるとともに、他端側の周面に従動ローラを接触させた状態で、駆動手段により前記駆動ローラを回転させて、その回転力によって、円筒体および前記従動ローラを従動回転させつつ、円筒体の表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査装置であって、
前記駆動ローラおよび前記従動ローラの回転状況の差異に基づいて、円筒体の回転異常の有無を判定する回転異常判定手段と、
円筒体を回転させつつ、表面状態を検査する初期検査実行手段と、
先行の検査による表面状態の検査中に、前記回転異常判定手段によって回転異常があったと判定された場合には、円筒体を回転させつつ、表面状態を再度検査する再検査実行手段と、を備えたことを特徴とする円筒体の表面検査装置。

［２］ 前記再検査実行手段は、先行の検査により全周の表面状態を検査した後、全周の表面状態を検査する前項１に記載の円筒体の表面検査装置。

［３］ 前記再検査実行手段は、前記初期検査実行手段による検査と同様に表面状態を検査する前項１または２に記載の円筒体の表面検査装置。

［４］ 前記再検査実行手段は、先行の表面状態の検査を途中で中止した後、全周の表面状態を検査する前項１に記載の円筒体の表面検査装置。

［５］ 前記再検査実行手段は、先行の表面状態の検査において、前記回転異常判定手段によって回転異常がなくなったと判定された時点から、検査を開始する前項４に記載の円筒体の表面検査装置。

［６］ 先行の検査により表面状態が検査された回転体の外周面のうち、前記再検査実行手段による再検査が必要な要再検査領域を特定する検査領域特定手段を備え、
前記再検査実行手段は、先行の検査により全周の表面状態を検査した後、前記検査領域特定手段により特定された要再検査領域のみを検査する前項１に記載の円筒体の表面検査装置。

［７］ 前記検査領域特定手段は、先行の検査において、円筒体の外周面のうち、回転異常があった状態で検査されていた領域を、要再検査領域として特定する前項６に記載の円筒体の表面検査装置。

［８］ 先行の検査から再検査にかけて、回転体の回転が連続して行われる前項１〜７のいずれか１項に記載の円筒体の表面検査装置。

［９］ 先行の表面状態の検査において、前記回転異常判定手段によって回転異常があったと判断された際に、前記駆動ローラおよび前記従動ローラの回転状況の差異に基づいて、回転異常の原因を特定する回転異常原因特定手段と、
前記回転異常原因特定手段によって特定された回転異常原因が、回転体自体および表面検査装置自体の少なくともいずれか一方の不良に起因する場合には、前記再検査実行手段による再検査を行わずに、表面検査を中止する検査中止手段と、を備えた前項１〜８のいずれか１項に記載の円筒体の表面検査装置。

［１０］ 円筒体における一端側の周面に駆動ローラを接触させるとともに、他端側の周面に従動ローラを接触させた状態で、駆動手段により前記駆動ローラを回転させて、その回転力によって、円筒体および前記従動ローラを従動回転させつつ、円筒体の表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査方法であって、
前記駆動ローラおよび前記従動ローラの回転状況の差異に基づいて、円筒体の回転異常の有無を判定する回転異常判定手段を設けておき、
円筒体を回転させつつ、表面状態を検査する初期検査を行う一方、
先行の検査による表面状態の検査中に、前記回転異常判定手段によって回転異常があったと判定された場合には、円筒体を回転させつつ、表面状態を再度検査するようにしたことを特徴とする円筒体の表面検査方法。

発明［１］の円筒体の表面検査装置によれば、回転異常のない状態で円筒体の表面状態を検査できるため、検査精度を向上させることができる。

発明［２］［３］の円筒体の表面検査装置によれば、上記の効果を確実に得ることができる。

発明［４］［５］の円筒体の表面検査装置によれば、表面状態の検査を効率良く行うことができる。

発明［６］［７］の円筒体の表面検査装置によれば、表面状態の検査を一層効率良く行うことができる。

発明［８］の円筒体の表面検査装置によれば、表面状態の検査をより一層効率良く行うことができる。

発明［９］の円筒体の表面検査装置によれば、不良円筒体の検査や不良設備での再検査等の不要な検査を省略できて、表面状態の検査をなお一層効率良く行うことができる。

発明［１０］によれば、上記と同様の効果を奏する円筒体の表面検査方法を提供することができる。

＜第１実施形態＞
図１はこの発明の第１実施形態である円筒体の表面検査装置を示す概略正面図、図２は概略側面図である。

両図に示すように、この表面検査装置は、検査対象物（ワーク）としての円筒体（管体Ｗ）を軸心回りに回転させながら、円筒体（Ｗ）の表面を検査するようにしている。

検査対象物としての円筒体（Ｗ）は例えば、電子写真システムを構成する複写機、プリンタ、ファクシミリ、これらの複合機等において、感光ドラム、転写ローラ、現像ローラ、その他各部に利用されるものである。

このような部材を構成可能な円筒体のうち、本実施形態では特に、電子写真システムを採用した複写機やプリンタ等における感光ドラム用の素管や基体として用いられる円筒体（Ｗ）を好適な例として挙げることができる。なお、感光ドラム用の基体とは、切削加工や引抜加工等が行われた後の管体であって、感光層の形成前の管体を言う。また、感光ドラム用基体に感光層を形成した後の管体も、本発明の検査対象たる円筒体として構成することができる。

円筒体（Ｗ）の製造方法としては、押出成形および引抜成形の組み合わせを挙げることができる。なお言うまでもなく本発明においては、円筒体（Ｗ）の製造方法はこれだけに限定されるものではなく、押出成形、引抜成形、鋳造、鍛造、射出成形、切削加工またはこれらの組み合わせ等、管体を製造できる方法であればどのような方法も採用することができる。

また、円筒体（Ｗ）の材質は特に限定されるものではなく、各種の金属材料の他、合成樹脂等も適用することができ、例えばアルミニウムおよびアルミニウム合金（１０００〜７０００系）、銅および銅合金、鋼材、マグネシウムおよびマグネシウム合金を挙げることができる。中でも特にアルミニウム合金製の円筒体（Ｗ）は、本発明の検査対象として好適である。

この構成の円筒体（Ｗ）を検査するための第１実施形態の表面検査装置は、円筒体（Ｗ）をその両端部において、駆動ローラ（１ａ）、従動ローラ（１ｂ）、支持ローラ（３ａ）（３ａ）（３ｂ）（３ｂ）によって支持するものである。

駆動ローラ（１ａ）は、円筒体（Ｗ）の一端側に、軸心を円筒体（Ｗ）の軸心に対し平行に配置した状態で軸心回りに回転自在に設けられて、表面検査時には円筒体（Ｗ）の内周面上側に接触した状態に配置される。

さらに第１実施形態において、駆動手段としての駆動モータ（４）が設けられている。この駆動モータ（４）の回転駆動軸は、駆動ローラ（１ａ）に連結されており、駆動モータ（４）を駆動することによって、駆動ローラ（１ａ）が回転駆動するようになっている。そして駆動ローラ（１ａ）が回転駆動すると後述するように、その回転力によって、円筒体（Ｗ）が連れ回されるように従動回転する。

図３に示すように、駆動ローラ（１ａ）には、駆動ローラ（１ａ）の回転量を検出するための駆動側回転量検出器（２ａ）が設けられている。この検出器（２ａ）は、光学式の反射型ロータリーエンコーダによって構成されている。すなわちこの検査器（２ａ）は、駆動ローラ（１ａ）のローラ軸に固定され、かつ駆動ローラ（１ａ）と同期して回転するロータリーディスク（２１）と、そのロータリーディスク（２１）の回転量を検出するための回転量検出センサ（２５）とを備えている。

ロータリーディスク（２１）は、光を反射可能な反射板をもって構成されており、径方向に延びる長孔状のスリット（２２）が周方向に沿って等間隔おきに多数形成されることにより、隣合うスリット（２２）の各間が反射部（２３）としてそれぞれ形成されている。

回転量検出センサ（２５）は、発光ダイオード等により構成される発光素子と、フォトダイオード等によって構成される受光素子とを備え、発光素子から照射された検出光がロータリーディスク（２２）の反射部（２３）で反射された際に、その反射光を受光素子によって受光できるようになっている。そしてロータリーディスク（２１）の回転時には、発光素子から照射れた検出光は、スリット（２２）を透過したり、反射部（２３）で反射したりすることにより、反射光が間欠的に受光素子に受光され、受光素子への入射光（反射光）に光量の強弱が生じる。そして受光素子から、光量の強弱に応じた波形のサイクル信号（パルス信号）、つまり反射部（２３）の移動量（通過数）に相当するパルス信号（出力情報）が出力されるようになっている（図５等参照）。従ってこのパルス信号に基づいて、反射部（２３）の移動量、つまりロータリーディスク（２１）の回転量（駆動ローラ１ａの回転量）を検出できるようになっている。

従動ローラ（１ｂ）は、円筒体（Ｗ）の他端側に、軸心を円筒体（Ｗ）の軸心に対し平行に配置された状態で軸心回りに回転自在に設けられており、検査時には円筒体（Ｗ）の内周面の上側に接触した状態に配置される。この従動ローラ（１ｂ）は、上記駆動ローラ（１ａ）と大きさや形状が等しく、実質的に同じ構成を有している。そして円筒体（Ｗ）の回転時には、円筒体（Ｗ）の回転力によって、従動ローラ（１ｂ）が連れ回されるように従動回転する。従って本実施形態において理想的には、駆動ローラ（１ａ）の回転量、回転速度、回転周期、回転動作のタイミング等の回転状況は、従動ローラ（１ｂ）と一致するものである。

また従動ローラ（１ｂ）には、従動ローラ（１ｂ）の回転量を検出するための光学式の反射型ロータリーエンコーダによって構成される従動側回転量検出器（２ｂ）が設けられている。この検出器（２ｂ）は、上記駆動側回転量検出器（２ａ）に対し実質的に同じ構成を有し、上記と同様、従動ローラ（１ｂ）のローラ軸に固定されるスリット付きのロータリーディスク（２１）と、ロータリーディスク（２１）の回転量を検出するための回転量検出センサ（２５）とを備えている。従って、従動側回転量検出器（２ｂ）は上記と同様にロータリーディスク（２１）の回転量、つまり従動ローラ（１ｂ）の回転量に関する情報（パルス信号）が出力されるようになっている。

また本実施形態においては、円筒体（Ｗ）の回転異常の有無を判定したり、回転異常の原因を特定するサブコントローラ（５）が設けられている。このサブコントローラ（５）は、駆動側回転量検出器（２ａ）および従動側回転量検出器（２ｂ）からの出力情報に基づいて、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）の各回転速度や、各位相（回転動作のタイミング）等の回転状況を求めて、同一時間帯における互いの回転状況を比較照合して、その差異に基づいて、回転異常の有無を判定するとともに、回転異常のある場合にはさらに、回転異常の原因を特定するものである。なお判定方法および特定方法の具体的な説明は後述する。

本実施形態において、サブコントローラ（５）は例えば、マイクロコンピュータ等によって構成されており、回転異常の有無を判定するための回転異常判定手段、および回転異常の原因を特定するための回転異常原因特定手段として機能する。

なお本実施形態において、サブコントローラ（５）等の回転異常検出手段および回転異常原因特定手段は、表面検査装置全体の動作を制御する後述のメインコントローラ（主制御装置７）によって兼用させることも可能である。

また本実施形態において、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）は、内径基準の基準ローラとして機能するものである。すなわち駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）は、表面検査時の高さ位置が一定となるように支持されており、表面検査における円筒体（Ｗ）の高さ位置を決定するものである。

また駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）は、円筒体（Ｗ）の軸心方向に沿ってそれぞれ外側に移動可能に支持されており、円筒体（Ｗ）が検査位置に対し搬入または搬出される際に、円筒体（Ｗ）の両外側に待避できるようになっている。

一方、両側の支持ローラ（３ａ）（３ａ）（３ｂ）（３ｂ）は、その軸心を円筒体（Ｗ）の軸心に対し平行に配置した状態で、円筒体（Ｗ）の両側において軸心回りに回転自在に設けられている。さらに支持ローラ（３ａ）（３ａ）（３ｂ）（３ｂ）は検査時に、円筒体（Ｗ）における内周面の下部両側に接触して、円筒体（Ｗ）を下方に付勢することにより、円筒体（Ｗ）の内周面上部を上記駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）に確実に接触させることができるようになっている。

また支持ローラ（３ａ）（３ａ）（３ｂ）（３ｂ）は、高さ位置を変更可能に支持されており、表面検査時には、円筒体（Ｗ）の内周面上側が駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）に精度良く接触するように、高さ位置が変更されるようになっている。

また支持ローラ（３ａ）（３ａ）（３ｂ）（３ｂ）は、円筒体（Ｗ）の軸心方向に沿ってそれぞれ外側に移動可能に支持されており、円筒体（Ｗ）が検査位置に対し搬入または搬出される際に、円筒体（Ｗ）の両外側に待避できるようになっている。

さらに支持ローラ（３ａ）（３ａ）（３ｂ）（３ｂ）は、円筒体（Ｗ）の回転時には、その回転力によって、連れ回されるように従動回転するようになっている。

なお支持ローラ（３ａ）（３ａ）（３ｂ）（３ｂ）は、円筒体（Ｗ）の内周面と接触する小径部と、その外側の大径部とを有し、小径部および大径部間の立ち上がり部において、円筒体（Ｗ）の両端面と接触係止するようになっている。これにより検査時において、円筒体（Ｗ）を軸心方向について位置決めし、適切な姿勢で表面状態を検査できるようになっている。

また本実施形態の表面検査装置は、円筒体（Ｗ）の表面状態を検出するための表面状態検出器（６）を備えている。この表面状態検出器（６）は、円筒体（Ｗ）の外周面に検査照明光を照明する照明装置（６１）と、円筒体（Ｗ）からの反射光を撮像するラインセンサカメラ等によって構成されるカメラ（６２）とを備えている。そして円筒体（Ｗ）を回転させつつ、カメラ（６２）によって撮像することにより、円筒体（Ｗ）の全周の画像情報を取得し、この画像情報に基づいて、円筒体全周の表面状態（表面欠陥）、例えばキズ、凹み、汚れ、変色、変質等を検出できるよういなっている。

また本実施形態の表面検査装置においては、サブコントローラ（５）や表面状態検出器（６）等からの出力情報を処理するとともに、駆動モータ（４）や表面状態検出器（６）等の動作を制御するメインコントローラ（７）が設けられており、メインコントローラ（７）によって、後述する表面検査動作が自動的に行われるようになっている。メインコントローラ（７）は例えば、マイクロコンピュータによって構成されている。

本実施形態において、メインコントローラ（７）は、後述する初期検査や再検査を実行するための初期検査実行手段および再検査実行手段、さらには回転異常原因に応じて、再検査を行わずに表面検査を終了（中止）するための検査中止手段として機能する。

以上のように構成された本実施形態の表面検査装置において、円筒体（Ｗ）の表面状態を検査する場合にはまず、円筒体（Ｗ）をセットする。

すなわち各ローラ（１ａ）（１ｂ）（３ａ）（３ｂ）を、円筒体検査位置から両側に待避させるとともに、支持ローラ（３ａ）（３ｂ）を駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）に接近させて、各ローラ（１ａ）（１ｂ）（３ａ）（３ｂ）を円筒体（Ｗ）の両端から内部に挿入できる状態に配置しておく。

その状態で、検査対象物としての円筒体（Ｗ）を検査位置まで搬入して、各ローラ（１ａ）（１ｂ）（３ａ）（３ｂ）を円筒体（Ｗ）の両端から内部に挿入して、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）を円筒体（Ｗ）の内周面上側に接触させる。続いて支持ローラ（３ａ）（３ｂ）を降下させて各支持ローラ（３ａ）（３ｂ）を円筒体（Ｗ）の内周面下部両側に接触させる。これにより各ローラ（１ａ）（１ｂ）（３ａ）（３ｂ）が円筒体（Ｗ）の内周面に確実に接触し、円筒体（Ｗ）が駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）によって安定状態に支持される。

そしてその状態で、円筒体（Ｗ）における表面状態の検査を開始すると、駆動モータ（４）が駆動して、駆動ローラ（１ａ）が回転し、その回転力によって、円筒体（Ｗ）が従動回転しさらに、円筒体（Ｗ）の回転力によって、従動ローラ（１ｂ）および支持ローラ（３ａ）（３ｂ）が従動回転する。

こうして円筒体（Ｗ）を回転させつつ、表面状態検出器（６）によって円筒体（Ｗ）の表面状態が測定される。この測定時には、円筒体（Ｗ）を１回転させて、表面状態検出器（６）のカメラ（６２）によって、円筒体（２）の全周を撮像する（初期検査）。言うまでもなく、検査時の円筒体（２）の回転数を１回転以上に設定することにより、同一領域を重複するように撮像して、重複撮像領域の中から適当な撮像領域（画像情報）を抽出するようにすることも可能である。

表面状態検出器（６）によって取得される円筒体（Ｗ）の検査情報（画像情報）は、メインコントローラ（７）に送信される。そしてその検査情報に基づいて、メインコントローラ（７）は、上記したように円筒体（Ｗ）の表面欠陥を検出し、検出された表面欠陥の数や大きさ等が、予め設定された基準値と比較照合されて、合格（表面正常）および不合格（表面異常）の判断が行われる。

一方、円筒体（Ｗ）の表面検査を行っている間、円筒体（Ｗ）の回転動作に異常がなかったかが判定される。

すなわち本実施形態の表面検査装置においては図５等に示すように円筒体（Ｗ）の表面検査時に、駆動側回転量検出器（２ａ）および従動側回転量検出器（２ｂ）から駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）の回転量に相当するパルス信号が出力されており、サブコントローラ（５）によって、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）間で各パルス信号の周期（周波数）やタイミング等の回転状況が比較照合されて、両者が一致する場合には、円筒体（Ｗ）の回転動作が正常であると判定され、両者が不一致の場合には、円筒体の回転動作に異常（回転異常）があると判定される。例えば検査中における回転動作に異常がなく終始正常であった場合には、その旨の信号がメインコントローラ（７）に出力されて、メインコントローラ（７）は、正常な回転の下で、上記の表面検査（初期検査）が正常に行われたものと判断し、表面検査を終了する。

こうして円筒体（Ｗ）の表面検査が終了すると、駆動ローラ（１ａ）の回転が停止されて、円筒体（Ｗ）および他のローラ（１ｂ）（３ａ）（３ｂ）の回転が停止される。その後、上記と逆手順によって、円筒体（Ｗ）を表面検査装置から取り外される。そして表面検査に合格した円筒体（Ｗ）は次工程へと送り込まれるとともに、不合格の円筒体（Ｗ）は廃棄される。

サブコントローラ（５）によって、円筒体（Ｗ）の表面検査中に円筒体（Ｗ）の回転動作に異常があったと判定された場合、つまり両ローラ（１ａ）（１ｂ）の回転状況が不一致の場合には、サブコントローラ（５）は、両ローラ（１ａ）（１ｂ）の回転状況の差異に基づいて、回転異常の原因を特定する。そしてその回転異常の原因が、一過性の場合、つまり回転動作が自然に正常に戻る可能性の高い場合には、後述する再検査が行われる一方、回転異常の原因が、回転体（Ｗ）の不良や、表面検査装置（設備）自体の不良に起因する場合、つまり再検査しても、回転動作が正常となる可能性が低い場合には、再検査が行われることなく直ちに、表面検査を中止させるものである。

ここで回転異常原因が一過性のものとしては例えば、回転開始直後の従動ローラ（１ｂ）の滑り、円筒体（Ｗ）の一時的な回転停止、設備振動、電機系のノイズ、検出器（２ａ）（２ｂ）におけるロータリディスク（２１）の偏芯回転、両ローラ（１ａ）（１ｂ）間での遊び等による回転遅延等を挙げることができる。

また円筒体（Ｗ）や設備の不良に起因するものとしては、円筒体（Ｗ）やローラ（１ａ）（１ｂ）に広範囲にわたって多量の油等が付着していたり、円筒体（Ｗ）に大きいバリが存在している場合等を挙げることができる。なお回転異常原因の特定方法については、後に説明するものとする。

第１実施形態において再検査は、上記初期検査と同様に、円筒体（Ｗ）を１回転させて、表面状態検出器（６）によって、円筒体（２）の全周を検査するものである。

さらにこの再検査中においても、上記と同様に、円筒体（Ｗ）の回転動作に異常がなかったかが判定されて、異常がない場合には、再検査の結果が、表面検査の結果となり、表面検査が終了する。

また再検査中に、回転異常があった場合には再度、検査（再々検査）を行うようにしても良いし、再々検査は行わずに、表面検査を終了するようにしても良い。例えば再検査の回数を予め設定しておき、その回数分、再検査を行っても常に、回転異常があったような場合には、当該円筒体（Ｗ）の表面検査を終了させるようにしても良い。

なお回転異常により表面検査の結果が得られなかった場合、当該円筒体（Ｗ）は、表面検査が不合格であると認定しても良いが、表面検査が正常にできなかった（検査結果未定）として、回転異常原因を究明する等、円筒体（Ｗ）毎に個別に対処するのが良い。

本発明において、先行の検査とは、主として初期検査のことであるが、再検査も含まれるものである。

こうして円筒体（Ｗ）の表面検査が終了し、表面検査に合格した円筒体（Ｗ）は次工程へと送り込まれるとともに、不合格の円筒体（Ｗ）は廃棄される。なお、円筒体自体や表面検査装置（設備）自体に回転異常原因があるとして、再検査されずに、表面検査を中止した際に、回転異常の原因が、円筒体（Ｗ）の不良による場合には、当該円筒体（Ｗ）は、不合格品として処理される一方、設備の不良による場合には、設備の修復が行われた後、当該円筒体（Ｗ）に対し再度検査を行うようにしている。

以上のように、本実施形態の表面検査装置によれば、表面検査時に円筒体（Ｗ）の回転動作に異常が生じた場合には、改めて表面検査を行うようにしているため、高い検出精度を得ることができる。

すなわち表面検査時に回転不良によって回転動作が不安定になると、表面状態検出器（６）のスキャン速度にバラツキ等が生じるため、表面欠陥部の形状や大きさ等を正確に検出することができず、検査精度が低下してしまい、実際には表面状態が良好（合格）であるにもかかわらず、表面検査によって表面状態が不良（不合格）であると誤って判定されたり、実際には表面状態が不良であるにもかかわらず、表面検査によって表面状態が良好であると誤って判定される場合がある。

そこで本実施形態の表面検査装置では、回転異常が生じた際には、再検査を行って、正常な回転状態の下で表面検査を行うようにしているため、表面検査による表面状態の判断を正確に行うことができ、検査精度を向上させることができる。従って良品を誤って廃棄してしまったり、不良品を誤って出荷するような不具合を防止でき、生産効率（歩留まり）および製品品質の向上を図ることができる。

さらに正常な回転動作の下で確実に表面検査を行うことができるため、円筒体（Ｗ）の全周全域を表面検査するのに必要な適正な回転量を正確に得ることができ、検査漏れのない信頼性の高い検査を効率良く行うことができる。

また本実施形態においては、駆動側回転量検出器（２ａ）と、従動側回転量検出器（２ｂ）とを同一種類の構成のものを用いて、同一種類の信号を出力させるようにしているため、両出力信号の比較照合を簡単かつ精度良く行うことができ、一層検査精度を向上させることができる。

もっとも本発明においては必ずしも、駆動側回転量検出器（２ａ）と、従動側回転量検出器（２ｂ）とを同一種類の構成のものを用いる必要はない。

また本実施形態の円筒体表面検査装置によれば、駆動ローラ（１ａ）、従動ローラ（１ｂ）、支持ローラ（３ａ）（３ｂ）を円筒体（Ｗ）の内部に配置するものであるため、表面検査中に、ローラ等の装置構成部品が円筒体（Ｗ）の外部に配置されることがない。このため円筒体外周面に、ローラ等の影が映し出されて、表面検査が制約される等の不具合を確実に防止することができ、なお一層検査精度を向上させることができる。

また言うまでもなく、本実施形態では、正常な回転で行われた初期の表面検査において、検査結果が不良の場合には、再検査を行う必要はない。

ここで本実施形態において、回転異常の具体的な判断方法について以下に説明する。

例えば表面検査が開始された後図５に示すように、予定していた検査時間（ローラが１回転する分の時間）において、サブコントローラ（５）は、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）側から出力される各パルス信号の周波数（周期）を計測するとともに、各パルス信号のタイミング（パルスの立ち上がり時点等のタイミング）を監視している。そして同図の例では、駆動側および従動側の各パルス信号における周期（ｔ１）〜（ｔ４）は全て同じで、各周波数も全て同じであり、対応し合うパルス信号のタイミング（位相）も一致しているため、サブコントローラ（５）によって、円筒体（Ｗ）の回転動作が正常であると判定される。

なお本実施形態において、全てのパルス信号のうち、しきい値を超えるものだけを正規のパルス信号として取り扱うものとしている。

さらに本実施形態においては、発明の理解を容易にするため、検査時間内（単位時間当たり）のパルス数を少なくしているが、実際の測定においては、検査時間内のパルス数は多いものである。

また図６の例では、同図（ａ）に示すように検査時間において駆動側における３番目のパルス信号の周期（ｔ３）に対し、同図（ｂ）に示すように従動側における３番目のパルス信号の周期（ｔ３）が長く周波数が低くなっている。このように駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）間で一部のパルス信号の周波数（Ｈｚ）が不一致であるため、円筒体（Ｗ）の回転動作に異常があると判定される。

なお同図において、周波数（Ｈｚ）は、所定の範囲内（正規と判定できる範囲内）のものは「１」とし、その範囲に満たないものは「０」としている。

また、上記図６の回転異常は、パルス信号の周波数（Ｈｚ）の一部が異なるものであるため、この場合における異常原因（異常種別）としては、円筒体（Ｗ）と両ローラ（１ａ）（１ｂ）のいずれかとの間での滑りの発生、両ローラ（１ａ）（１ｂ）の円筒体（Ｗ）に対する転がり接触面への異物の存在、周期的（所定のタイミング）での設備振動の発生、回転量検出器（２ｂ）におけるロータリーディスク（２１）のスリット（２２）を遮蔽（反射）させる異物の存在、さらには駆動モータ（４）の不安定な駆動等が例示され、中でも特に滑りの発生が主原因と考えられる。従ってこの回転異常の原因は、一過性のものであると考えられ、再検査の対象となる。

なお本実施形態において、円筒体（Ｗ）の回転状況を検査している検査時間は、円筒体（Ｗ）の表面検査を行っている全ての時間を対象としているが、それだけに限られず、本発明においては、表面検査を行っている間の一部の時間帯を対象としても良い。さらに回転状況の検査時間を一部の時間帯とする場合には、その時間帯を複数設けるようにしても良い。また言うまでもなく駆動側の検査時間と、従動側の検査時間とは同じ時間帯となる。

一方、図７の例では、同図（ａ）に示すように、検査時間において駆動側の各パルス信号の周期（ｔ１）〜（ｔ４）に対し、同図（ｂ）に示すように従動側の各パルス信号の周期（ｔ１）〜（ｔ４）がそれぞれ少しずつ間延びしている。このように駆動ローラ（１ａ）側に対し従動ローラ（１ｂ）側が、全体的にパルス信号の周期（ｔ１）〜（ｔ４）が長く、各周波数（Ｈｚ）が短くなるため、円筒体（Ｗ）の回転動作に異常があると判定される。

さらに同図の例のように、検査時間の全般にわたって滑りが生じているような場合には、その滑りの要因としては、円筒体（Ｗ）と両ローラ（１ａ）（１ｂ）との間の摩擦抵抗（転がり摩擦抵抗）が不十分である場合具体的には、両者間の接触圧（圧力）が不十分であったり、両者間に摩擦抵抗を低減させる油等が多く付着している等の要因を挙げることができる。従ってこの回転異常の原因は、一過性でなく、円筒体（Ｗ）や設備自体の不良に起因するものであるため、再検査の対象とならず、表面検査を直ちに中止することとなる。

ここで第１実施形態において実使用状態での具体例を説明する。上記第１実施形態の円筒体の表面検査装置において、円筒体（Ｗ）の回転時（表面検査時）には、駆動ローラ（１ａ）側および従動ローラ（１ｂ）側から出力されるパルス信号の光度と、円筒体（Ｗ）の回転量（経過時間）との関係が算出されている。そして１回目の検査時（初期検査時）において、図８（ａ）に示すように従動ローラ（１ｂ）側の出力情報が取得された場合、つまり従動ローラ（１ｂ）が、滑り等の原因によって、途中で回転異常が認められた場合、検査開始時点（０回転の位置）から円筒体（Ｗ）が１回転する時点（３６０°回転した位置）まで待って、図８（ｂ）に示すように、１回転した時点から改めて、回転体（Ｗ）を１回転させて全周の再検査（２回目検査）を行う。

そして再検査中に回転異常が認められなかった場合には、表面検査を終了させて、再検査による検査結果が、正規の検査結果として採用される。

なお同図において、「ｔ０」は検査開始時点であり、「ｔ１０」は検査開始時点（ｔ０）から円筒体（Ｗ）が１回転した時点である（以下の図１３，１４においても同じ）。

一方、本実施形態において回転異常原因の特定方法の具体例を説明する。図９（ａ）に示す駆動ローラ（１ａ）側の出力情報に対し、同図（ｂ）に示す従動ローラ（１ｂ）側の出力情報が取得された場合において、同図（ａ）の駆動側出力情報（パルス信号）に対し、同図（ｂ）の従動側出力情報（パルス信号）が全体的に遅れが生じて、全体的に位相がズレている場合には、回転異常の原因として、ローラ（１ａ）（１ｂ）の回転開始直後の遊びや、回転開始直後のローラ（１ａ）（１ｂ）の円筒体（Ｗ）に対する滑り等を挙げることができる。この異常原因は、一過性のものと考えられるため、上記のように再検査が行われることになる。

なおこの場合、回転開始時にローラ（１ａ）（１ｂ）が接触している位置（０°の位置）が、異常原因が発生している位置として特定される。

また上記図９（ａ）と同様な駆動側の出力情報に対し、図１０に示すように従動ローラ（１ｂ）の出力状態において、検査時間の一時期に短時間、周期が長くなっているような場合には、回転異常の原因として、円筒体（Ｗ）の異物付着によるローラ（１ａ）（１ｂ）の乗り上げ等が異常原因として挙げられる。すなわち円筒体（Ｗ）のローラ（１ａ）（１ｂ）との背職面に残存する異物やバリに、ローラ（１ａ）（１ｂ）が引っ掛かると、上記ような乗り上げが生じる可能性が高いため、円筒体（Ｗ）の異物残存が異常原因となる。この異常原因は、円筒体（Ｗ）の不良によるものであるため、再検査は行われずに直ちに、表面検査が終了することとなる。

なお同図に示す異常原因の場合、ローラ（１ａ）（１ｂ）側に異物が付着していることも十分に考えられるため、このような回転異常が発生した場合には、ローラ（１ａ）（１ｂ）側（検査装置側）の検査も行って、必要に応じて、異常原因を取り除くようにするのが良い。さらにこのように設備側の不良により検査を中止した場合には、検査を途中で中止した円筒体（Ｗ）に対しては、設備を修復後、再度表面検査を行うのが通例である。この検査は、初期の検査から始めるようにすれば良い。

また上記と同様な駆動側の出力情報に対し（図９（ａ）参照）、図１１に示すように従動側の出力情報において、検査時間の一時期に長時間、光度（光量）にバラツキが生じている場合には、円筒体（Ｗ）の一時停止や、円筒体（Ｗ）およびローラ（１ａ）（１ｂ）間の滑りが、回転異常の原因として挙げられる。この異常原因は、一過性のものと考えられるため、上記のように再検査が行われることになる。

また上記と同様な駆動側の出力情報に対し（図９（ａ）参照）、図１２に示すように従動側の出力状態において、不定期で瞬間的に短時間、光量が増加したような場合には、回転動作に異常はなく、ノイズとして処理される。このノイズの原因としては、設備振動によるノイズ、電機的なノイズ、回転量検出器におけるロータリーディスク（２１）の回転が偏芯することによるノイズ等を挙げることができる。このようなノイズの発生は、一過性のものであり、再検査が行われることとなる。

なお本実施形態においては、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）間において周期（周波数）やタイミング（位相）等を比較照合することによって、円筒体（Ｗ）の回転異常の有無を判定するとともに、回転異常の原因を特定するようにしているが、それだけに限られず、本発明においては、回転速度や回転量等の他の回転状況を比較照合することによって、回転異常の有無判定や、回転異常原因の特定を行うようにしても良い。この回転速度や回転量は、どのような方法で算出しても良いが例えば、回転速度は、計測時間と回転量から算出することができる。

また言うまでもなく、上記図５〜７および図９〜１２に示す回転異常の判定方法や異常原因の特定方法等は、以下の第２，３実施形態にも同様に適用することができる。

＜第２実施形態＞
第２実施形態における円筒体の表面検査装置は、上記図１〜４に示す第１実施形態の表面検査装置に対し同じ構造を備えるものの、検査時の制御方法が異なっている。

この第２実施形態の表面検査装置では、初期検査において回転異常が発生した場合に、その回転異常が解消された時点から、円筒体（Ｗ）を１回転させつつ、表面検査を行うものである。

すなわち円筒体（Ｗ）が表面検査装置にセットされて、表面検査が開始されると、駆動モータ（４）が駆動して、駆動ローラ（１ａ）、円筒体（Ｗ）、従動ローラ（１ｂ）および支持ローラ（３ａ）（３ｂ）が回転する。

こうして円筒体（Ｗ）を回転させつつ、表面状態検出器（６）によって円筒体（Ｗ）の表面状態が検出されていく。そして円筒体（Ｗ）が１回転する間（表面状態検出中）に、サブコントローラ（５）によって回転異常が認められなかった場合には、上記と同様に、適切な回転条件で検査が行われたものとして、表面状態の合否が判定されて表面検査が終了する。

また検査中に、サブコントローラ（５）によって、回転異常の発生が認められた場合には、上記と同様に、異常原因が特定される。この異常原因が、一過性のものである場合には、再検査が行われる。

すなわち、回転異常が発生すると、表面状態検出器（６）による初期の表面検査が中止されるものの、円筒体（Ｗ）の回転は停止されずに、回転状況が継続して検出される。そしてサブコントローラ（５）によって、回転異常の発生が認められなくなった時点（回転異常が解消された時点）から、表面状態の検出（再検査）が改めて開始される。その後、検査開始から、円筒体（Ｗ）が１回転するまで、円筒体（Ｗ）の表面が表面状態検出器（６）によって表面状態が検出される。つまり回転異常が解消された時点から、円筒体（Ｗ）の１周期分（全周）の表面検査を行うものである。

また再検査中に、回転異常が発生した場合には、上記と同様に、表面検査が中止されて、回転異常が解消されるまで待機することになる。なお表面検査が何度も中止されたり、回転異常が一向に解消されないような場合には例えば、表面検査を終了し、当該円筒体（Ｗ）の表面検査が正常に行えなかったものとして処理すれば良い。

一方、回転異常の原因が、円筒体（Ｗ）や設備の不良による場合には、上記第１実施形態と同様に、表面検査を直ちに中止して、上記と同様に処理する。

またこの第２実施形態においても、上記第１実施形態と同様、初期の表面検査で、不良と判定された場合には、再検査を行う必要はない。

ここで図１３に示すようにこの第２実施形態において実使用状態での具体例を説明する。同図に示すように、従動側の出力情報において、検査開始時点（ｔ０）で、回転異常が発生すると、直ちに表面状態検出器（６）による表面状態の検出が停止される。そして回転異常原因が特定されて、一過性のものである場合には、円筒体（Ｗ）の回転状況が継続して検出される。その後同図に示すように、回転異常が認められなくなった時点（ｔ０１）から、表面状態検出器（６）による表面状態の検出（再検査）が改めて開始される。この表面状態の検出は、回転異常が解消された時点（ｔ０１）から円筒体（Ｗ）が１回転する時点（ｔ１０＋ｔ０１）まで行われる。つまり、円筒体（Ｗ）は、回転異常が解消されてから１回転するまでの間、表面状態の検出が行われて、表面検査が終了する。

以上のように、本第２実施形態の表面検査装置においては、回転異常が発生した際に、その異常が解消された時点から、円筒体全周を再検査するようにしているため、回転異常が解消された後の待機時間がなくなり、その分、検査に要する時間が短くなり、より一層生産効率を向上させることができる。

＜第３実施形態＞
第３実施形態における円筒体の表面検査装置は、上記第１，２実施形態の表面検査装置に対し、検査時の制御方法が異なっている。さらにこの表面検査装置においては、回転異常があった場合に、その回転異常があった時間帯に、表面状態を検出していた領域を特定するための再検査領域特定手段が設けられている。この再検査領域特定手段は例えば、円筒体（Ｗ）の検査開始時点における表面状態検出器（６）による検出位置（カメラ位置）を基準（０回転）として、検出開始位置からの回転量によって特定することができる。例えば回転異常があった場合、検査開始時点から回転異常が始まった時点までの時間（異常開始時間）と、検査開始時点から回転異常が収まった時点までの時間（異常収束時間）とを計測しておく。さらに駆動ローラ（１ａ）または従動ローラ（１ｂ）の回転量（周速）から求められる円筒体（Ｗ）の回転量と、上記異常開始時間および異常収束時間とに基づいて、検出開始位置に対する異常開始位置と、異常収束位置とを算出することにより、回転異常時に表面状態を検出していた領域（要再検査領域）を特定することができる。

なお本実施形態においては、メインコントローラ（７）が、再検査領域特定手段として機能するものであり、メインコントローラ（７）によって、異常開始時間、異常収束時間、異常開始位置、異常収束位置および要再検査領域が求められる。

そして、この第３実施形態の表面検査装置では、回転異常が生じた場合には、その異常原因を特定し、その回転異常の原因が一過性のものである場合には、初期検査を一通り行って、回転異常があった時間帯に、表面状態を検出していた領域（要再検査領域）のみを再検査する。一方、回転異常の原因が、円筒体（Ｗ）や設備の不良による場合には、上記実施形態と同様に、表面検査を中止するものである。

すなわち円筒体（Ｗ）がセットされて、表面検査が開始されると、モータ（４）が駆動して、各ローラ（１ａ）（１ｂ）（３ａ）（３ｂ）および円筒体（Ｗ）が回転する。

こうして円筒体（Ｗ）を回転させつつ、表面状態検出器（６）によって円筒体（Ｗ）の表面状態が検出されていく。そして円筒体（Ｗ）が１回転する間（表面状態検出中）に、サブコントローラ（５）によって回転異常が認められなかった場合には、適切な回転条件で検査が行われたものとして、表面状態の合否が判定されて検査が終了する。

また検査中に、サブコントローラ（５）によって回転異常が認められたとしても、その異常原因が一過性のものである場合には、円筒体（Ｗ）が１回転する間、表面状態の検出が行われる（初期検査）。さらに表面状態の検出が行われている間に、上記したようにメインコントローラ（７）によって、異常開始位置および異常収束位置が算出されて、要再検査領域が特定される。

さらに初期検査が終了した後一旦、表面状態検出器（６）による表面状態の検出が停止されるものの、円筒体（Ｗ）の回転は継続して行われる。そして要再検査領域が、カメラ位置に進入した時点で、表面状態検出器（６）により表面状態の検出が開始されて、要再検査領域が、カメラ位置を通り超した時点で、表面状態検出器（６）による検出が終了される（再検査手段）。

そして本実施形態においては、初期検査での要再検査領域を除く部分の検査結果と、再検査による要再検査領域の検査結果とが繋ぎ合わされて、円筒体全周における表面検査の最終結果が得られるものである。

一方、回転異常の原因が、円筒体（Ｗ）や設備の不良による場合には、上記実施形態と同様に、表面検査が直ちに中止されて、同様に処理される。

なお本実施形態においては、要再検査領域と、駆動ローラ（１ａ）または従動ローラ（１ｂ）の回転速度（円筒体の回転速度）に基づいて、メインコントローラ（７）により、要再検査領域がカメラ位置に進入する時点や、通り過ぎる時点を算出するものであり、このメインコントローラ（７）が再検査手段として機能する。

また要再検査領域を再検査している際に、回転異常が発生した場合には、円筒体（Ｗ）をさらに１回転させて再度、要再検査領域がカメラ位置に到達した際に再検査するようにすれば良い。

なお再検査を何度行っても、回転異常が発生するような場合には例えば、表面検査を終了し、当該円筒体（Ｗ）の表面検査が正常に行えなかったものとして処理すれば良い。

またこの第３実施形態においても、上記実施形態と同様、初期の表面検査で、不良と判定された場合には、再検査を行う必要はない。

ここでこの第３実施形態において実使用状態での具体例を説明する。図１４に示すように従動側の出力情報において、表面状態の検出が開始された後、その開始時点（ｔ０）から円筒体（Ｗ）が所定量回転した時点（ｔ０２）で一過性による回転異常が認められて、さらに所定量回転した時点（ｔ０３）で回転異常が解消された場合、検査開始時点（ｔ０）から円筒体（Ｗ）が１回転する時点（ｔ１０）までは通常通り、円筒体（Ｗ）の表面検査が行われる。さらに１回転した時点（ｔ１０）からも、円筒体（Ｗ）の回転は継続して行われるものの、表面状態の検出は停止される。そして１回転後、回転体（Ｗ）の要再検査領域が、カメラ位置に進入した時点（ｔ１０＋ｔ０２）で、表面状態の検出が開始されて、要再検査領域が、カメラ位置を通り過ぎた時点（ｔ１０＋ｔ０３）で、表面状態の検出（再検査）が終了し、表面検査が終了する。このように１回転後に要再検査領域のみを検査するものである。

そして、初期検査での検査結果と、再検査による検査結果とが繋ぎ合わされて、円筒体全周の検査結果が得られるものである。

一方、回転異常が検出された際に、その異常が円筒体（Ｗ）や設備の不良による場合には、上記したように表面検査が中止される。

また上記の具体例では、時刻を基準に説明したが、カメラ位置に対する円筒体（Ｗ）の回転角度で説明すると以下のようになる。すなわち図１４の括弧付きの符号に示すように、円筒体の回転角度が、例えば「３０°」になった時点で、一過性による回転異常が認められて、回転角度が、例えば「６０°」になった時点で、その回転異常が解消されたとすると、回転角度が「３６０°」、つまり円筒体（Ｗ）が１回転するまでは通常通り、円筒体（Ｗ）の表面検査が行われる。その後、回転角度が「３６０°＋３０°＝３９０°」になるまでは、表面状態の検出は停止される。そして、回転角度が「３６０°＋３０°＝３９０°」から「３６０°＋６０°＝４２０°」までの間、表面状態が検出されて、表面検査が終了するものである。

以上のように、この第３実施形態の表面検査装置においては、１回目の検査（初期検査）で回転異常により正確に検査できなかった領域（要再検査領域）のみを、再検査によって検査するようにしているため、実際に表面状態を検出する領域を少なくすることができ、その分、検査効率を向上させることができ、生産性をより一層向上させることができる。

＜変形例＞
図１５はこの発明の変形例である円筒体の表面検査装置を示す概略正面図、図１６は概略側面図である。

両図に示すように、この表面検査装置においては、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）が円筒体（Ｗ）の外周面に接触している点と、さらに駆動ローラ（１ａ）の回転量を検出するための駆動側回転量検出器（２ａ）が駆動モータ（４）に組み込まれている点とが、上記実施形態の表面検査装置と大きく相違している。

すなわちこの変形例の表面検査装置において表面検査時には、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）は、円筒体（Ｗ）の両側部外周面における上側に接触した状態に配置されている。

また駆動ローラ（１ａ）を回転させるための駆動モータ（４）としては、サーボモータが用いられている。この駆動モータ（４）は、回転量（回転速度）を検出するためのロータリーエンコーダ等の駆動側回転量検出器（２ａ）が内部に組み込まれており、その検出器（２ａ）を介して、駆動ローラ（１ａ）の回転量を、上記と同様なパルス信号として検出できるようになっている。

そして駆動モータ（４）の駆動により、駆動ローラ（１ａ）が回転駆動すると、その回転に伴って円筒体（Ｗ）が従動回転しさらに、円筒体（Ｗ）の回転に伴って、従動ローラ（１ｂ）が従動回転するようになっている。

なお本実施形態において、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）は、外径基準の基準ローラとして機能するものであり、表面検査時の高さ位置が一定となるように支持されており、表面検査における円筒体（Ｗ）の高さ位置を決定できるようになっている。

また従動ローラ（１ｂ）には、上記と同様の従動側回転量検出器（２ｂ）が設けられている。

また支持ローラ（３ａ）（３ｂ）は検査時に、円筒体（Ｗ）の両側端部内周面の上側に接触した状態に配置されて、円筒体（Ｗ）の荷重を支持できるようになっている。

支持ローラ（３ａ）（３ｂ）の円筒体（Ｗ）に対する接触部分は、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）に対向する部分であって、円筒体（Ｗ）を上方に付勢することによって、円筒体（Ｗ）の外周面上部を駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）に確実に接触させるようにしている。

支持ローラ（３ａ）（３ｂ）は、高さ位置を変更可能に支持されており、表面検査時には、円筒体（Ｗ）の外周面上側が駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）に精度良く接触するように、高さ位置が変更されるようになっている。

さらに支持ローラ（３ａ）（３ｂ）は表面検査時に、円筒体（Ｗ）の回転力によって、従動回転するようになっている。

また支持ローラ（３ａ）（３ｂ）は、円筒体（Ｗ）の軸心方向に沿ってそれぞれ外側に移動可能に支持されており、円筒体（Ｗ）が検査位置に対し搬入または搬出される際に、円筒体（Ｗ）の両外側に待避できるようになっている。

また上記実施形態と同様に、回転異常の有無の判定や、異常原因の特定を行うサブコントローラ（５）や、表面状態検出器（図示省略）が設けられている。さらにサブコントローラ（５）や表面状態検出器等からの出力情報を処理するとともに、駆動モータ（４）や表面状態検出器等の動作を制御するメインコントローラ（７）が設けられており、メインコントローラ（７）によって表面検査動作が自動的に行われるようになっている。

以上の構成の表面検査装置において、円筒体（Ｗ）をセットするには、支持ローラ（３ａ）（３ｂ）を、両側に待避させて、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）から離間させた状態で、円筒体（Ｗ）を検査位置まで搬入して、円筒体（Ｗ）の外周面上側を駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）に接触させる。続いて、支持ローラ（３ａ）（３ｂ）を円筒体（Ｗ）の両端から内部に挿入して、その支持ローラ（３ａ）（３ｂ）を上昇させて円筒体（Ｗ）の内周面上側に接触させる。これにより円筒体（Ｗ）がローラ（１ａ）（１ｂ）と、支持ローラ（３ａ）（３ｂ）とで挟持されて安定状態に支持される。

そしてその状態で、駆動モータ（４）の駆動によって、駆動ローラ（１ａ）が回転し、その回転に伴って、円筒体（Ｗ）が従動回転しさらに、円筒体（Ｗ）の回転に伴って、従動ローラ（１ｂ）および支持ローラ（３ａ）（３ｂ）が従動回転する。

こうして円筒体（Ｗ）を回転させつつ、上記と同様に表面状態を検査する。なお検査方法は、上記第１〜３実施形態で説明した方法と同様な方法を用いることができる。

この変形例の表面検査装置においても、上記実施形態の表面検査装置と同様に、同様の作用効果を得ることができる。

さらにこの変形例においては、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）を円筒体（Ｗ）の外部に配置するものであるため、表面検査時の障害とならないように、これらのローラ（１ａ）（１ｂ）として小さいサイズのものを用いるのが好ましいが、サイズの小さいローラ（１ａ）（１ｂ）は実際上、円筒体（Ｗ）に対する接触面積が小さくなるため、滑りが発生し易く、検出精度の低下が懸念されるところである。しかしこの場合には表面状態検出器（６）の検出範囲に駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）が入らないように、表面状態検出器（６）、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）を配置するようにすれば良い。例えば図１５，１６においては、表面状態検出器（６）を円筒体（Ｗ）の下方に配置するようにすれば良い。

なお上記実施形態等においては、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）を円筒体（Ｗ）の位置基準となる基準ローラとして構成しているが、駆動ローラおよび従動ローラは、必ずしも基準ローラを構成する必要はなく、例えば支持ローラを基準ローラとして構成するようにしても良い。さらに本発明においては、駆動ローラおよび従動ローラのいずれか一方のみを基準ローラとして構成するようにしても良い。

また上記実施形態等においては、回転量検出器（２ａ）（２ｂ）として反射式のロータリーエンコーダを用いているが、それだけに限られず、本発明の回転量検出器としては、ロータリーディスクを挟んで投光器（発光素子）と受光器（受光素子）とが配置された透過式のロータリーエンコーダを用いても良い。

さらに本発明において、ローラの回転量を検出するための検出手段としては、ロータリーエンコーダ以外の回転量検出手段を用いるようにしても良い。

例えば駆動ローラ（１ａ）側の回転量を検出する場合、駆動モータ（４）の駆動を制御する制御信号等に基づき、駆動モータ（４）の駆動量を取得し、その駆動量から駆動ローラ（１ａ）の回転量を算出するようにしても良い。

また上記実施形態等においては、支持ローラが円筒体の内部に配置される装置を例に挙げて説明したが、それだけに限られず、本発明においては、支持ローラが円筒体の外部、例えば円筒体の外周面下部両側に設けられて、その支持ローラによって円筒体を載置状態で支持できるようにした装置にも適用することができる。

さらに本実施形態においては、駆動ローラ（１ａ）および従動ローラ（１ｂ）間において周期（周波数）やタイミング（位相）等を比較照合することによって、円筒体（Ｗ）の回転異常の有無を判定して、回転異常原因等を特定するようにしているが、それだけに限られず、本発明においては、回転速度や回転量等の他の回転状況を比較照合することによって、回転動作の正否判定を行うようにしても良い。

この発明の円筒体の表面検査装置は、円筒体の表面状態を検査する際に用いることができる。

この発明の第１実施形態である円筒体の表面検査装置を示す概略正面図である。 第１実施形態の表面検査装置を示す概略側面図である。 第１実施形態の表面検査装置に適用された回転量検出器を示す正面図である。 第１実施形態の回転量検出器に適用されたロータリーディスクを示す側面図である。 第１実施形態において回転異常がない場合に回転量検出器から出力されるパルス信号の一例を示すグラフであって、同図（ａ）は駆動側のグラフ、同図（ｂ）は従動側のグラフである。 第１実施形態において回転異常がある場合に回転量検出器から出力されるパルス信号の一例を示すグラフであって、同図（ａ）は駆動側のグラフ、同図（ｂ）は従動側のグラフである。 第１実施形態において回転異常がある場合に回転量検出器から出力されるパルス信号の他の例を示すグラフであって、同図（ａ）は駆動側のグラフ、同図（ｂ）は従動側のグラフである。 同図（ａ）は第１実施形態において表面検査時の円筒体回転状況としてのパルス信号を示すグラフであって、同図（ａ）は初期検査で回転異常がある場合のグラフ、同図（ｂ）は再検査でのグラフである。 第１実施形態において位相のズレが発生した場合に回転量検出器から出力される情報の一例を示すグラフであって、同図（ａ）は駆動側のグラフ、同図（ｂ）は従動側のグラフである。 第１実施形態においてローラの乗り上げが発生した場合に従動側回転量検出器から出力される情報の一例を示すグラフである。 第１実施形態においてローラの一時停止が発生した場合に従動側回転量検出器から出力される情報の一例を示すグラフである。 第１実施形態においてノイズが発生した場合に従動側回転量検出器から出力される情報の一例を示すグラフである。 第２実施形態において初期検査で回転異常がある場合の円筒体回転状況としてのパルス信号を示すグラフである。 第３実施形態において初期検査で回転異常がある場合の円筒体回転状況としてのパルス信号を示すグラフである。 この発明の変形例である円筒体の表面検査装置を示す概略正面図である。 変形例の表面検査装置を示す概略側面図である。

符号の説明

１ａ…駆動ローラ
１ｂ…従動ローラ
４…駆動モータ（駆動手段）
Ｗ…円筒体

Claims (10)

1. 円筒体における一端側の周面に駆動ローラを接触させるとともに、他端側の周面に従動ローラを接触させた状態で、駆動手段により前記駆動ローラを回転させて、その回転力によって、円筒体および前記従動ローラを従動回転させつつ、円筒体の表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査装置であって、
   前記駆動ローラおよび前記従動ローラの回転状況の差異に基づいて、円筒体の回転異常の有無を判定する回転異常判定手段と、
   円筒体を回転させつつ、表面状態を検査する初期検査実行手段と、
   先行の検査による表面状態の検査中に、前記回転異常判定手段によって回転異常があったと判定された場合には、円筒体を回転させつつ、表面状態を再度検査する再検査実行手段と、を備えたことを特徴とする円筒体の表面検査装置。
2. 前記再検査実行手段は、先行の検査により全周の表面状態を検査した後、全周の表面状態を検査する請求項１に記載の円筒体の表面検査装置。
3. 前記再検査実行手段は、前記初期検査実行手段による検査と同様に表面状態を検査する請求項１または２に記載の円筒体の表面検査装置。
4. 前記再検査実行手段は、先行の表面状態の検査を途中で中止した後、全周の表面状態を検査する請求項１に記載の円筒体の表面検査装置。
5. 前記再検査実行手段は、先行の表面状態の検査において、前記回転異常判定手段によって回転異常がなくなったと判定された時点から、検査を開始する請求項４に記載の円筒体の表面検査装置。
6. 先行の検査により表面状態が検査された回転体の外周面のうち、前記再検査実行手段による再検査が必要な要再検査領域を特定する検査領域特定手段を備え、
   前記再検査実行手段は、先行の検査により全周の表面状態を検査した後、前記検査領域特定手段により特定された要再検査領域のみを検査する請求項１に記載の円筒体の表面検査装置。
7. 前記検査領域特定手段は、先行の検査において、円筒体の外周面のうち、回転異常があった状態で検査されていた領域を、要再検査領域として特定する請求項６に記載の円筒体の表面検査装置。
8. 先行の検査から再検査にかけて、回転体の回転が連続して行われる請求項１〜７のいずれか１項に記載の円筒体の表面検査装置。
9. 先行の表面状態の検査において、前記回転異常判定手段によって回転異常があったと判断された際に、前記駆動ローラおよび前記従動ローラの回転状況の差異に基づいて、回転異常の原因を特定する回転異常原因特定手段と、
   前記回転異常原因特定手段によって特定された回転異常原因が、回転体自体および表面検査装置自体の少なくともいずれか一方の不良に起因する場合には、前記再検査実行手段による再検査を行わずに、表面検査を中止する検査中止手段と、を備えた請求項１〜８のいずれか１項に記載の円筒体の表面検査装置。
10. 円筒体における一端側の周面に駆動ローラを接触させるとともに、他端側の周面に従動ローラを接触させた状態で、駆動手段により前記駆動ローラを回転させて、その回転力によって、円筒体および前記従動ローラを従動回転させつつ、円筒体の表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査方法であって、
    前記駆動ローラおよび前記従動ローラの回転状況の差異に基づいて、円筒体の回転異常の有無を判定する回転異常判定手段を設けておき、
    円筒体を回転させつつ、表面状態を検査する初期検査を行う一方、
    先行の検査による表面状態の検査中に、前記回転異常判定手段によって回転異常があったと判定された場合には、円筒体を回転させつつ、表面状態を再度検査するようにしたことを特徴とする円筒体の表面検査方法。

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