JP2007315823A - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】軸状に延びる検査ヘッド16の外周から被検査物100に向かって検査光を照射するとともに、被検査物100からの反射光を検査ヘッド16を介して受光し、該反射光の光量に対応した信号を出力する検出ユニット5と、検査ヘッド16を軸線方向に移動させる直線駆動機構30と、検査ヘッド16を軸線の回りに回転させる回転駆動機構30とを備えた表面検査装置1において、検査ヘッド16が通過可能な貫通孔37aを有するサンプルピース37を検査ヘッド16の軸線方向の移動経路上に配置する。検査ヘッド16を軸線の回りに回転させつつ軸線方向に移動させてサンプルピース37の内周面を検査光で走査したときの検出ユニット5の出力信号に基づいて動作状態を判別する。
【選択図】図1
Description
2 検査機構
3 制御部
5 検出ユニット(検出手段)
6 駆動ユニット
16 検査ヘッド
30 直線駆動機構(直線駆動手段)
37 サンプルピース
37a 貫通孔
37b、37c、37d、37e 疑似欠陥
37f 面取部(走査位置識別部)
37g エッジ(走査位置識別部)
40 回転駆動機構(回転駆動手段)
50 焦点調節機構
60 演算処理部
61 動作制御部
62 信号処理部
100 被検査物
100a 被検査物の内周面
AX 検査ヘッドの軸線
Claims (6)
- 軸状に延びる検査ヘッドの外周から被検査物に向かって検査光を照射するとともに、該検査光の照射に対する前記被検査物からの反射光を前記検査ヘッドを介して受光し、該反射光の光量に対応した信号を出力する検出手段と、前記検査ヘッドを軸線方向に移動させる直線駆動手段と、前記検査ヘッドをその軸線の回りに回転させる回転駆動手段と、を備えた表面検査装置において、
前記検査ヘッドの前記軸線方向に関する移動経路上に配置され、該検査ヘッドが通過可能な貫通孔を有するサンプルピースと、
前記検査ヘッドを前記軸線の回りに回転させつつ前記軸線方向に移動させて前記サンプルピースの前記貫通孔の内周面を前記検査光で走査したときの前記検出手段の出力信号に基づいて、表面検査装置の動作状態を判別する状態判別手段と、
をさらに備えたことを特徴とする表面検査装置。 - 前記状態判別手段は、前記検出手段の出力信号に基づいて前記サンプルピースの前記貫通孔の内周面の画像を生成し、得られた画像に基づいて前記動作状態を判別することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記サンプルピースの前記内周面には疑似欠陥が設けられ、前記状態判別手段は前記内周面の画像に含まれる前記疑似欠陥の画像に基づいて前記動作状態を判別することを特徴とする請求項2に記載の表面検査装置。
- 前記サンプルピースの前記内周面には、前記反射光に変化を生じさせる複数の走査位置識別部が前記軸線方向に距離をおいて設けられ、前記状態判別手段は、前記検出手段の出力信号に基づいて前記走査位置識別部間を走査するに要した時間を検出し、検出された時間に基づいて前記検査ヘッドの前記軸線方向に関する動作状態を判別することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 前記回転駆動手段には前記検査ヘッドの回転量に対応した信号を出力する回転検出手段が設けられ、前記状態判別手段は、前記回転検出手段の出力信号に基づいて、前記走査位置識別部間の走査に要した時間内における前記検査ヘッドの回転数を検出し、検出された回転数に基づいて前記検査ヘッドの回転方向に関する動作状態を判別することを特徴とする請求項4に記載の表面検査装置。
- 前記状態判別手段は、前記内周面の走査中の前記検出手段の出力信号に基づいて、前記検出手段における前記検査光の発光又は前記反射光の受光に関する動作状態を判別することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
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JP2006143418A JP2007315823A (ja) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | 表面検査装置 |
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Family
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Family Applications (1)
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JP2006143418A Pending JP2007315823A (ja) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007315823A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009128157A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Kirin Techno-System Co Ltd | 表面検査装置の検査システム |
JP2009162575A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Kirin Techno-System Co Ltd | 容器検査システムの診断方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS50108985A (ja) * | 1974-01-31 | 1975-08-27 | ||
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JPH0466364A (ja) * | 1990-07-05 | 1992-03-02 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 配管内走行ロボット |
-
2006
- 2006-05-23 JP JP2006143418A patent/JP2007315823A/ja active Pending
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