JP2010145283A - 表面検査装置の検査ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査ヘッド16は、中空筒状でその軸線AXの回りに回転されつつ被検査物100の内部に挿入されるセンサヘッド21を有し、センサヘッド21には、その先端側から、所定の内径を有する第1筒状部21aと、第1筒状部21aよりも大きい内径を有する第2筒状部21bと、が設けられ、かつ第1筒状部21aと第2筒状部21bとの間には、テーパ状に形成されたテーパ部21dが設けられ、検査光を集光するレンズ17を介してセンサヘッド21内に検査光を通過させ、第1筒状部21aの外周に設けられた開口部16aから内周面100aに検査光を照射する。
【選択図】図2
Description
tanθ=D/2a
となる。テーパ角度θは、各テーパ部21d、21eのテーパ面と平行な直線と軸線AXに平行な直線とのなす角である。センサヘッド21の形状は、レンズ17を通過する検査光及び反射光の光路を遮らないように設定される。このため、センサヘッド21の先端側の第1筒状部21aでは小径となり、本体側の第3筒状部21cでは大径となる。各筒状部21a〜21cの長さは、各筒状部21a〜21cの所望の外径に基づき求められる内径が光路と干渉しない長さに設定される。
16 検査ヘッド
16a 透光窓(開口部)
17 レンズ(集光レンズ)
21 センサヘッド
21a 第1筒状部
21b 第2筒状部
21d テーパ部
100 被検査物
100a 内周面
AX 軸線
Claims (3)
- 被検査物の内周面に検査光を照射し、その反射光の光量に基づいて前記内周面を検査する表面検査装置に適用される検査ヘッドであって、
前記検査ヘッドは、中空筒状でその軸線の回りに回転されつつ前記被検査物の内部に挿入されるセンサヘッドを有し、
前記センサヘッドには、その先端側から、所定の内径を有する第1筒状部と、前記第1筒状部よりも大きい内径を有する第2筒状部と、が設けられ、かつ前記第1筒状部と前記第2筒状部との間には、前記第2筒状部に向かって徐々に内径が大きくなるテーパ状に形成されたテーパ部が設けられ、
前記検査光を集光する集光レンズを介して前記センサヘッド内に前記検査光を通過させ、前記第1筒状部の外周に設けられた開口部から前記内周面に前記検査光を照射する、ことを特徴とする表面検査装置の検査ヘッド。 - 前記センサヘッドは、前記第2筒状部よりも大きい内径を有する第3筒状部をさらに備え、前記第2筒状部と前記第3筒状部との間には、前記第3筒状部に向かって徐々に内径が大きくなるテーパ状に形成された第2テーパ部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の検査ヘッド。
- 前記センサヘッドは、一体に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査ヘッド。
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