JP4997367B2 - 表面検査装置 - Google Patents
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Description
次に、本発明の表面検査装置の第二形態について説明する。図4は本発明の第二形態にかかる表面検査装置の検査ヘッド116を示した図である。なお、本形態と第一形態とは検査ヘッド116以外は同様であるので、検査ヘッド116以外の部分の説明は省略する。
16,116 検査ヘッド
18,118 ミラー(光路変更手段)
30 直線駆動機構(駆動手段)
40 回転駆動機構(駆動手段)
70,120 ヘッド本体
71,171 保持部
75,175 外筒体
75a,175a 一端
75b,175b 透光穴
76,176 内筒体
76a,176a 透光穴
76b,176b 透光部材
76c,176c スリット
181 挿入部
100 被検査物
AX 軸線
Claims (4)
- 先端に光路変更手段が設けられた軸状の検査ヘッドを駆動手段により軸線の回りに回転させつつ前記軸線に沿って移動させるとともに、前記検査ヘッド内に前記軸線に沿って入射した検査光の光路を前記光路変更手段により変更し、該光路が変更された検査光を被検査物に照射し、該被検査物で反射して該検査ヘッド内に再度入射した前記検査光の光量に基づいて前記被検査物の表面状態を検出する表面検査装置において、
前記検査ヘッドが、前記駆動手段に取り付けられるヘッド本体と、前記ヘッド本体に対して着脱可能に設けられ且つ前記光路変更手段を保持する保持部と、を備え、
前記保持部が、前記ヘッド本体に対して着脱可能な外筒体と、前記光路変更手段を保持し且つ該外筒体の内部に着脱可能な内筒体と、を備えていることを特徴とする表面検査装置。 - 前記保持部が前記検査ヘッドの先端側に限定して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記検査ヘッドが前記被検査物に挿入される挿入部を有し、前記保持部が、前記挿入部よりも前記駆動手段側まで延びていることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記外筒体は、その先端が閉じられ且つ筒状側面に透光穴が設けられ、
前記内筒体は、その両端が開口し且つ筒状側面に透光部材が嵌め込まれた透光穴が設けられるとともに、前記筒状側面の内面に前記透光穴に対して対称となるように前記内筒体の軸線に対して所定の角度でスリットが設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面検査装置。
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