JP2007183145A - 筒状内径測定方法および筒状内径測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 非接触式であって、筒状部品の内径全体を走査して形状を測定することができる筒状内径測定方法および筒状内径測定装置を提供する。
【解決手段】 筒状内径部Waを有する被測定物Wを保持して回転させる被測定物回転機構11を設ける。光学式の変位計2およびその光軸L上であって前記被測定物Wの前記筒状内径部Waに挿入される反射板3を有する光学式測定部1Aを設ける。被測定物Wを前記光学式測定部1Aに対して相対的に軸方向に移動させる軸方向移動機構9と、前記被測定物回転機構11の回転位置を監視する回転位置監視手段13と、前記軸方向移動機構9の軸方向位置を監視する軸方向位置監視手段12とを設ける。これら監視した回転位置および軸方向位置と前記変位計2の測定データとを関連付けて保存する測定データ保存手段14bを設ける。この筒状内径測定装置1により、回転方向連続走査あるいは軸方向連続走査を行い、筒状被測定物Wの内径全体を走査して形状を測定する。
【選択図】 図1
【解決手段】 筒状内径部Waを有する被測定物Wを保持して回転させる被測定物回転機構11を設ける。光学式の変位計2およびその光軸L上であって前記被測定物Wの前記筒状内径部Waに挿入される反射板3を有する光学式測定部1Aを設ける。被測定物Wを前記光学式測定部1Aに対して相対的に軸方向に移動させる軸方向移動機構9と、前記被測定物回転機構11の回転位置を監視する回転位置監視手段13と、前記軸方向移動機構9の軸方向位置を監視する軸方向位置監視手段12とを設ける。これら監視した回転位置および軸方向位置と前記変位計2の測定データとを関連付けて保存する測定データ保存手段14bを設ける。この筒状内径測定装置1により、回転方向連続走査あるいは軸方向連続走査を行い、筒状被測定物Wの内径全体を走査して形状を測定する。
【選択図】 図1
Description
この発明は、筒状部品の内径寸法あるいは内径形状を全周に渡り測定する方法とその装置に関する。
従来の筒状部品の筒状内径測定方法としては、接触式寸法測定機器による方法や、非接触の光学式変位測定機器による方法がある。前者は、接触式寸法測定機器の検出部を筒状内径部に挿入して内径面に接触させ直接内径の寸法を測定するものである。一方、後者は、光学式変位測定機器の光軸上に反射板を配置しかつ筒状内径部に挿入して光軸を屈曲させて測定するものである。前者の接触式測定方法の例としては、特許文献1ないし特許文献3に開示されたものが挙げられる。後者の非接触式測定方法の例としては、特許文献4ないし特許文献6に開示されたものが挙げられる。
特開平8−292010号公報
特開平9−311034号公報
特開2000−146506号公報
特開平4−95807号公報
特開平4−160303号公報
特開2003−42725号公報
しかし、上記のような従来の筒状内径測定方法における接触式の測定方法では、測定する筒状部形状の開口部が小さく奥行きが深い場合、触針の撓み等の影響で測定精度が悪化することがあった。また、接触式、非接触式に限らず、対象部品軸方向の1円周方向、または対象部品円周上の1軸方向を測定するのみであり、筒状内径全体を走査して形状を測定するものではなかった。
図5(A)(B)および図6(A)(B)(C)は、従来の非接触式筒状内径測定方法の原理を模式的に示すものであり、図5は円周方向の測定方法を、図6は軸方向の測定方法を示している。図5(A)における筒状内径測定装置100は、光学式変位計101と、この光学式変位計101の光軸上に配置される反射板102とよりなる。この筒状内径測定装置100において、被測定物としての筒状ワークWをその筒状内径部の中心回りに回転可能なチャックCに固定し、筒状ワークWの内径部に上記反射板102を挿入し、この反射板102による反射光軸を、軸方向位置監視基準点SLから軸方向Z0位置のワークWの内径面における所望の円周方向測定位置(軸方向位置)MLに合わせる。その上で、ワークWを白抜矢示(回転駆動機構および角度監視機能部分を有していることを示す)103のように回転(θ0〜θn)させながら、光学式変位計101から投光される光線(レーザ光線)を反射板102で反射させて上記円周方向測定位置MLに投光する。この円周方向測定位置MLからの反射光を、反射板102を経て光学式変位計101に受光させ、この受光した反射光の変位を検出することによって、円周方向測定位置MLにおける円周方向(θ0〜θn)の内径A(A0〜An)を測定する。図5(B)は、円周方向測定位置(Z0)MLにおける円周方向回転角(θ0〜θn)での内径測定結果(A0〜An)を示す。
また、図6(A)における筒状内径測定装置200は、上記と同様の光学式変位計201と、この光学式変位計201の光軸上に配置される反射板202とよりなる。この筒状内径測定装置200において、筒状ワークWをチャックCに固定し、筒状ワークWの内径部に上記反射板202を挿入し、この反射板202による反射光軸を、ワークWを下面視した図6(B)に示す円周方向角度監視原点SRから円周方向θ0の位置のワークWの内径面における所望の軸方向測定位置(円周方向角度)MRに合わせる。その上で、光学式変位計201および反射板202を白抜矢示(軸方向駆動機構および位置監視機能部分を有していることを示す)203のように軸方向(Z0〜Zn)に移動させながら、光学式変位計201から投光される光線(レーザ光線)を反射板202で反射させて上記軸方向測定位置MRに投光する。この軸方向測定位置MRからの反射光を、反射板202を経て光学式変位計201に受光させ、この受光した反射光の変位を検出することによって、軸方向測定位置MRにおける軸方向(Z0〜Zn)の内径A(A0〜An)を測定する。図6(C)は、軸方向測定位置(θ0)MRにおける軸方向位置(Z0〜Zn)での内径測定結果(A0〜An)を示す。
上記の非接触式の筒状内径測定方法の説明で明らかなように、前者では、ワークWの円周方向測定位置MLにおける円周方向(θ0〜θn)の内径A(A0〜An)のみが、後者では、軸方向測定位置MRにおける軸方向(Z0〜Zn)の内径A(A0〜An)のみが測定され、いずれもワークWの筒状内径全体を走査してその形状を測定するものではない。したがって、ワークWの全体形状を的確に把握することができず、さらなる改良が望まれるところであった。
この発明の目的は、非接触式であって、筒状部品の内径全体を走査して形状を測定することができ、さらには、開口部が小さく奥行きが深い場合でも測定精度が悪化することがない筒状内径測定方法および筒状内径測定装置を提供することである。
この発明の第1の筒状内径測定方法は、光学式の変位計の光軸上に配置された反射板を、これら変位計および反射板を備える光学式測定部の被測定物に対する相対移動によって被測定物の筒状内径部に挿入し、被測定物の筒状内径面における軸方向測定基準位置を、前記変位計により前記反射板を介して光線を投光することで測定し、この軸方向の位置で被測定物を回転させて1回転分の変位計の測定データを被測定物の角度情報と共に保存し、被測定物に対して前記光学式測定部の軸方向位置を所定量移動させた状態で、前記1回転分の変位計の測定データを被測定物の角度情報と共に保存する処理を、前記筒状内径面の軸方向の所定範囲につき繰り返し、得られた総測定データから、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面の評価を行うことを特徴とする。
この方法によると、被測定物に対して光学式測定部の軸方向位置を所定量移動させる毎に被測定物を回転させ、この1回転分の変位計の測定データを被測定物の角度情報と共に保存する処理を、筒状内径面の軸方向の所定範囲につき繰り返す。このようにして得られた総測定データから、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面の評価を行うようにしているから、筒状部品の内径全体を走査することになり、筒状部品の内径寸法あるいは内径形状を全周に渡り測定することができ、全体形状の的確な情報を得ることができる。
この発明の第2の筒状内径測定方法は、光学式の変位計の光軸上に配置された反射板を、これら変位計および反射板を備える光学式測定部の被測定物に対する相対移動によって被測定物の筒状内径部に挿入し、被測定物の筒状内径面における回転方向測定基準位置を、前記変位計により前記反射板を介して光線を投光することで測定し、この回転方向の位置で前記光学式測定部を軸方向に所定範囲走査して得られた測定データを軸方向位置と共に保存し、被測定物を回転方向に所定量回転させた状態で、前記軸方向の所定範囲の走査分の変位計の測定データを被測定物の軸方向位置と共に保存する処理を、前記筒状内径面の1回転分につき繰り返し、得られた総測定データから、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面の評価を行うことを特徴とする。
この方法によると、被測定物を回転方向に所定量回転させる毎に、軸方向の所定範囲の走査分の変位計の測定データを被測定物の軸方向位置と共に保存する処理を、前記筒状内径面の1回転分につき繰り返す。このようにして得られた総測定データから、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面の評価を行うようにしているから、第1の発明と同様に、筒状部品の内径全体を走査することになり、筒状部品の内径寸法あるいは内径形状を全周に渡り測定することができ、全体形状の的確な情報を得ることができる。
これら第1および第2の筒状内径測定方法は、円周方向の測定を筒状内径部の全体に渡って行うか、軸方向の測定を筒状内径部の全体に渡って行うかの違いであって、両者とも筒状部品の筒状内径全体を走査することになる。
これら第1および第2の筒状内径測定方法は、円周方向の測定を筒状内径部の全体に渡って行うか、軸方向の測定を筒状内径部の全体に渡って行うかの違いであって、両者とも筒状部品の筒状内径全体を走査することになる。
この発明の筒状内径測定装置は、筒状内径部を有する被測定物を保持して前記筒状内径部の中心回りに回転させる被測定物回転機構と、光学式の変位計およびこの変位計の光軸上に配置された反射板を有し前記反射板が前記被測定物の前記筒状内径部に挿入される光学式測定部と、前記被測定物回転機構に保持された被測定物を前記光学式測定部に対して相対的に軸方向に移動させる軸方向移動機構と、前記被測定物回転機構の回転位置を監視する回転位置監視手段と、前記軸方向移動機構の軸方向位置を監視する軸方向位置監視手段と、これら回転位置監視手段により監視した回転位置および軸方向位置検出手段で監視した軸方向位置と前記変位計の測定データとを関連付けて保存する測定データ保存手段とを備えることを特徴とする。
この発明の筒状内径測定装置によれば、筒状内径部を有する被測定物を保持してその中心回りに回転させる被測定物回転機構と、この被測定物回転機構に保持された被測定物を光学式測定部に対して相対的に軸方向に移動させる軸方向移動機構とを備え、さらに、回転位置監視手段、軸方向位置監視手段および測定データ保存手段を備えているから、上記第1の発明に係る回転方向連続走査方式および第2の発明に係る軸方向連続走査方式による筒状内径測定の実施が可能となる。そして、この回転方向連続走査および軸方向連続走査による測定データを総合評価することにより、一層精度の高い筒状内径測定結果が得られる。
この発明の筒状内径測定装置において、前記被測定物回転機構に保持された被測定物の外周面に対向して配置された外周振れ測定用の変位計と、この外周振れ測定用の変位計の測定値によって前記光学式測定部の測定値を補正する保持ずれ補正手段を設けても良い。 この構成によれば、被測定物の保持時のずれが外周振れ測定用の変位計によって測定され、この測定値に基づき補正手段によって保持時のずれが補正されるから、より精度の高い測定が可能となる。なお、ここでの外周振れ測定用の変位計としては、光学式はもとよりその他の公知の変位計が採用される。また、この外周振れ測定用の変位計は固定されていても良いし、被測定物に対する測定位置の軸方向移動に合わせて移動し、常に内径測定箇所の裏側を測定するようにしても良い。
この発明の筒状内径測定装置において、前記光学式測定部の前記変位計と反射板との間における投光側および受光側の光軸上に、変位計から投光された光線の角度を変えて反射板へ導く投光側光軸角度変更手段、および被測定物で反射してさらに反射板で反射した光線の角度を変えて前記変位計に導く受光側光軸角度変更手段を設けても良い。
この構成によれば、光学式変位計の投光・受光側各光軸上に投光側光軸角度変更手段および受光側光軸角度変更手段を設けることにより、光軸幅を絞ることができるから、小さな筒状内径および深い筒状内径であっても、筒状内径部での光学式測定部の走査ができ、その内径測定を支障なく実施することができる。
この構成によれば、光学式変位計の投光・受光側各光軸上に投光側光軸角度変更手段および受光側光軸角度変更手段を設けることにより、光軸幅を絞ることができるから、小さな筒状内径および深い筒状内径であっても、筒状内径部での光学式測定部の走査ができ、その内径測定を支障なく実施することができる。
この発明の第1の筒状内径測定方法によれば、回転方向を連続走査して内径の測定を行い、この測定を軸方向に所定量移動して繰り返す。第2の筒状内径測定方法では、軸方向を連続走査して内径の測定を行い、この測定を回転方向に所定量移動して繰り返す。このため、第1および第2の発明のいずれの筒状内径測定方法も、筒状内径部の全面を精度良く走査して様々な寸法・形状を測定することができる。
この発明の筒状内径測定装置は、この発明における第1または第2の筒状内径測定方法を実施することができ、これにより、筒状内径部の全面を精度良く走査して様々な寸法・形状を測定することができる。
この発明の筒状内径測定装置は、この発明における第1または第2の筒状内径測定方法を実施することができ、これにより、筒状内径部の全面を精度良く走査して様々な寸法・形状を測定することができる。
この発明の筒状内径測定方法および筒状内径測定装置を図1ないし図4と共に説明する。図1は、この発明の筒状内径測定装置の全体構成を制御ブロック図と共に説明する図である。図1における筒状内径測定装置1は、光学式変位計2と、この光学式変位計2の光軸L上に配置される反射板3と、この光学式変位計2および反射板3をこの配置関係に支持する正面視コの字形の上下動可能な可動フレーム4と、この可動フレーム4を上下動可能に支持する第1の固定フレーム5と、被測定物としての円筒状ワークWを支持してワークWをその中心回りに回転させる回転台6と、この回転台6を軸回転可能に支持する第2の固定フレーム7とよりなる。第1の固定フレーム5と第2の固定フレーム7とは、床面等に設置されるベース板8上に立設されている。上記光学式変位計2と、反射板3とにより光学式測定部1Aが構成される。
上記可動フレーム4の上辺部4aには、レーザ光の投光部とワークWの内径面からの反射レーザ光の受光部(いずれも図示せず)を備えた光学式変位計2が吊持され、また、可動フレーム4の下辺部4bには、反射板3が支柱3aを介し所定の角度(45°)でかつ上記光軸L上に配置されるよう保持されている。内径測定時には図のようにワークWの筒状内径部Waに挿入される。ここでの光軸Lは、投光部からの投光側光軸Laと上記反射による受光側光軸Lbとが複合された光軸であることを示す。可動フレーム4は、上記第1の固定フレーム5に対し、軸方向移動機構9を介して上下動可能に支持されている。この軸方向移動機構9は、第1の固定フレーム5の上辺に固設されたサーボモータ9aと、このサーボモータ9aの出力軸に連結された鉛直ボールねじ9bと、可動フレーム4の上辺部4aに固定されこのボールねじ9bに螺合するナット9cと、第1の固定フレーム5に対し可動フレーム4の上下動を円滑にさせる直動軸受9dとにより構成される。これにより、サーボモータ9aの作動に伴うボールねじ9bとナット9cとの相互の螺進・螺退により、可動フレーム4は直動軸受9dを介し第1の固定フレーム5の鉛直部分に沿って円滑に上下動する。
回転台6は、第2の固定フレーム7上に軸受6aを介し軸回転可能に支持され、この回転台6上にはワークWを同軸的に固定保持するためのチャック6bが設置されている。第2の固定フレーム7上には、回転台6を軸回転させるためのサーボモータ10が設置され、このサーボモータ10と回転台6とにより被測定物回転機構11が構成される。サーボモータ10の出力軸にはプーリー10aが取付けられ、このプーリー10aからベルトもしくはチェーン等10bによって、回転台6に回転駆動伝達される。
上記サーボモータ9a,10に対して、それぞれパルスコーダまたはエンコーダ等の位置検出手段およびその検出信号の監視手段からなる軸方向位置監視手段12および回転位置監視手段13が設けられる。これら軸方向位置監視手段12および回転位置監視手段13による検出情報は、パーソナルコンピュータ等からなる測定制御・処理手段14の測定制御手段14aに入力される。測定制御・処理手段14は、この測定制御手段14aと、測定データ保存手段14bと、測定データ評価手段14cとを備え、この筒状内径測定装置1の制御全般を司る。すなわち、測定制御手段14aは光学式変位計2の投光制御、サーボモータ9a,10のオン・オフ制御を行い、また、測定データ保存手段14bは、光学式変位計2の受光部で受光したワークWの筒状内径面Wbからの反射光の変位に基づく測定データ、軸方向位置監視手段12によるワークWの軸方向位置情報および回転位置監視手段13によるワークWの角度情報を関連付けて保存する。さらに、測定データ評価手段14cは、測定データ保存手段14bに保存された総測定データから、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面Wbの評価を行う。
図2(A)(B)(C)は上記筒状内径測定装置1を用いたワークWの内径測定の原理を説明する図である。図1および図2(A)を参照して筒状内径測定方法を説明する。
先ず、被測定物としての筒状ワークWをチャック6bに固定し、サーボモータ9aを作動させ可動フレーム4を上下動させて筒状ワークWの筒状内径部Waに上記反射板3を挿入すると共に反射板3による投光側光軸Laが軸方向測定基準位置S1に合致するよう光学式測定部1Aの位置調整をする。この位置で、被測定物回転機構11を作動させてワークWを白抜矢示Xのように回転させながら、光学式変位計2の投光部から反射板3を介しワークWの筒状内径面Wbの軸方向測定基準位置S1にレーザ光線を投光し、軸方向測定基準位置S1での反射光を反射板3を介し光学式変位計2の受光部に受光させて軸方向測定基準位置S1を測定する。この軸方向測定基準位置S1での1回転分の測定データを、回転位置監視手段13による角度情報と共に測定データ保存手段14bに保存する。
先ず、被測定物としての筒状ワークWをチャック6bに固定し、サーボモータ9aを作動させ可動フレーム4を上下動させて筒状ワークWの筒状内径部Waに上記反射板3を挿入すると共に反射板3による投光側光軸Laが軸方向測定基準位置S1に合致するよう光学式測定部1Aの位置調整をする。この位置で、被測定物回転機構11を作動させてワークWを白抜矢示Xのように回転させながら、光学式変位計2の投光部から反射板3を介しワークWの筒状内径面Wbの軸方向測定基準位置S1にレーザ光線を投光し、軸方向測定基準位置S1での反射光を反射板3を介し光学式変位計2の受光部に受光させて軸方向測定基準位置S1を測定する。この軸方向測定基準位置S1での1回転分の測定データを、回転位置監視手段13による角度情報と共に測定データ保存手段14bに保存する。
次いで、軸方向移動機構9を作動させて、光学式測定部1Aの軸方向位置を白抜矢示Y方向に所定量移動させた状態で、1回転分の光学式変位計2の測定データ(A0n〜Ann)をワークWの角度情報(θ0〜θn)と共に測定データ保存手段14bに保存する処理を、前記筒状内径面Wbの軸方向の所定範囲(Z0〜Zn)につき繰り返す。測定データ保存手段14bは、角度情報対応データ記憶部を多数(移動させる軸方向位置毎に)備えており、各軸方向位置毎に回転方向の連続走査がなされ、この各軸方向位置毎の走査データがそれぞれの角度情報対応データ記憶部に記憶保存されることになる。図2(C)はこのように保存された各データの関係を示す。そして、得られた総測定データから、測定データ評価手段14cにおいて、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面Wbの評価を行う。
上記は、回転方向連続走査式による測定方法であるが、軸方向連続走査式によって内径測定を実施することもできる。すなわち、上記同様被測定物としての筒状ワークWをチャック6bに固定し、サーボモータ9aを作動させ可動フレーム4を上下動させて筒状ワークWの筒状内径部Waに上記反射板3を挿入すると共にサーボモータ10を作動させて回転台6によりワークWを軸回転させ、反射板3による投光軸Laが、ワークWを下面視した図2(B)に示す回転方向測定基準位置S2に合致するよう光学式測定部1Aの位置調整をする。この位置で、軸方向移動機構9を作動させてワークWを白抜矢示Y方向の所定範囲(Z0〜Zn)に渡り移動させながら、光学式変位計2の投光部から反射板3を介しワークWの内径面の回転方向測定基準位置S2にレーザ光線を投光し、回転方向測定基準位置S2での反射光を反射板3を介し光学式変位計2の受光部に受光させて回転方向測定基準位置S2を測定する。この回転方向測定基準位置S2における上記所定範囲(Z0〜Zn)を走査して得られた測定データを、軸方向位置監視手段12による軸方向位置情報と共に測定データ保存手段14bに保存する。
次いで、被測定物回転機構11を作動させて、ワークWを回転方向に所定量回転させた状態(測定位置M)で、前記軸方向の所定範囲の走査分の光学式変位計2の測定データ(A0n〜Ann)をワークWの軸方向位置情報(Z0〜Zn)と共に測定データ保存手段14bに保存する処理を、前記筒状内径面Wbの1回転(θ0〜θn)分につき繰り返す。測定データ保存手段14bは、軸方向位置情報対応データ記憶部を多数(回転位置毎に)備えており、各回転位置毎に軸方向の所定範囲に渡り連続走査がなされ、この各回転位置毎の走査データがそれぞれの軸方向位置情報対応データ記憶部に記憶保存されることになる。図2(C)はこのように保存された各データの関係を示す。そして、得られた総測定データから、上記同様測定データ評価手段14cにおいて、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面Wbの評価を行う。
図3は別の実施形態を示し、被測定物回転機構11(図1参照)に保持されたワーク(被測定物)Wの外周面Wcに対向して配置された外周振れ測定用の変位計15と、この外周振れ測定用の変位計15の測定値によって前記光学式測定部1Aの測定値を補正する保持ずれ補正手段14dを設けたものである。保持ずれ補正手段14dは、前記パーソナルコンピュータ等からなる測定制御・処理手段14に設けられている。測定制御・処理手段14は、図1の例と同様に測定制御手段14a、測定データ保存手段14b、および測定データ評価手段14cを備えるが、これらは図3では図示を省略している。外周振れ測定用の変位計15は、チャック6bに保持されたワークWからの距離A´を、ワークWを回転させながら測定し、保持ずれ補正手段14dは、ワークWの保持時のずれを算出すると共に、前記内径測定の際にこのずれ分を補正して各測定データからキャンセルする。したがって、ワークWの保持時のずれがあってもその影響をなくし、精度の高い測定データが得られる。その他の構成は上記と同様であるのでその説明を省略する。
なお、図3では図1に示した白抜矢示Yの図示を省略しているが、光学式測定部1Aを上記と同様の軸方向移動機構9によって、軸方向に移動可能としても良いことは言うまでもない。
なお、図3では図1に示した白抜矢示Yの図示を省略しているが、光学式測定部1Aを上記と同様の軸方向移動機構9によって、軸方向に移動可能としても良いことは言うまでもない。
図4はさらに別の実施形態を示し、前記光学式測定部1Aの前記変位計2と反射板3との間における投光側および受光側の光軸La,Lb上に、光学式変位計2から投光された光線の角度を変えて反射板3へ導く投光側光軸角度変更手段16、およびワーク(被測定物)W´の筒状内径面Wb´で反射してさらに反射板3で反射した光線の角度を変えて前記変位計2に導く受光側光軸角度変更手段17を設けたものである。投光側光軸角度変更手段16は、投光側光軸角度変更板16aと、断面が二等辺三角形で線対象の等しい2面が反射面とされるプリズムPの一方の反射面16bとの組合せで構成され、また、受光側光軸角度変更手段17は、受光側光軸角度変更板17aと上記プリズムPの他方の反射面17bとの組合せで構成される。
この実施形態では、反射板3は上記と同様のワークW´の筒状内径部Wa´内に挿入されるが、上記投光側光軸角度変更板16a、受光側光軸角度変更板17aおよびプリズムPは図のようにワークW´の外側に配置され、プリズムPの対象軸線はワークW´の中心線と合致するよう配向される。光学式変位計2から投光されたレーザ光線は、投光側光軸角度変更板16aおよびプリズムPの反射面16bによって反射・屈折し、ワークW´の筒状内径部Wa´を経て反射板3に至りワークW´の筒状内径面Wb´に投光される。これにより、投光側光軸Laは図のような光跡を描く。また、筒状内径面Wb´で反射したレーザ光線は、反射板3で反射し、ワークW´の筒状内径部Wa´を経てプリズムPの反射面17bおよび受光側光軸角度変更板17aで反射・屈折し、光学式変位計2の受光部に至る。これにより、受光側光軸Lbは図のような光跡を描く。
したがって、ワークW´の筒状内径部Wa´では、光学式変位計2の光軸L(投光側光軸Laおよび受光側光軸Lb)の幅が、図のように絞られることになるから、開口部が小さく奥行きが深い筒状ワークW´であっても、支障なくその内径測定を実施することができる。その他の構成および内径測定の方法は上記と同様であるので、共通部分に同一の符号を付し、その説明は省略する。
なお、被測定物(ワーク)W,W´の形状は、図例では模式的に描いているが、種々の形状のもの、例えば、軸受の外輪、内輪、各種配管、スリーブ等の筒状部品等が対象とされることは言うまでもない。さらに、軸方向移動機構9や被測定物回転機構11等の構成も、上記と同様の機能を奏するものであれば他の構成を採用することができる。
1…筒状内径測定装置
1A…光学式測定部
2…光学式変位計
3…反射板
9…軸方向移動機構
11…被測定物回転機構
12…軸方向位置監視手段
13…回転位置監視手段
14…測定制御・処理手段
14b…測定データ保存手段
14c…測定データ評価手段
14d…保持ずれ補正手段
15…外周振れ測定用の変位計
16…投光側光軸角度変更手段
17…受光側光軸角度変更手段
L…光軸
La…投光側光軸
Lb…受光側光軸
S1…軸方向測定基準位置
S2…回転方向測定基準位置
W,W´…ワーク(被測定物)
Wa,Wa´…筒状内径部
Wb,Wb´…筒状内径面
Wc…外周面
Z0〜Zn…軸方向の所定範囲
1A…光学式測定部
2…光学式変位計
3…反射板
9…軸方向移動機構
11…被測定物回転機構
12…軸方向位置監視手段
13…回転位置監視手段
14…測定制御・処理手段
14b…測定データ保存手段
14c…測定データ評価手段
14d…保持ずれ補正手段
15…外周振れ測定用の変位計
16…投光側光軸角度変更手段
17…受光側光軸角度変更手段
L…光軸
La…投光側光軸
Lb…受光側光軸
S1…軸方向測定基準位置
S2…回転方向測定基準位置
W,W´…ワーク(被測定物)
Wa,Wa´…筒状内径部
Wb,Wb´…筒状内径面
Wc…外周面
Z0〜Zn…軸方向の所定範囲
Claims (5)
- 光学式の変位計の光軸上に配置された反射板を、これら変位計および反射板を備える光学式測定部の被測定物に対する相対移動によって被測定物の筒状内径部に挿入し、被測定物の筒状内径面における軸方向測定基準位置を、前記変位計により前記反射板を介して光線を投光することで測定し、この軸方向の位置で被測定物を回転させて1回転分の変位計の測定データを被測定物の角度情報と共に保存し、被測定物に対して前記光学式測定部の軸方向位置を所定量移動させた状態で、前記1回転分の変位計の測定データを被測定物の角度情報と共に保存する処理を、前記筒状内径面の軸方向の所定範囲につき繰り返し、得られた総測定データから、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面の評価を行う筒状内径測定方法。
- 光学式の変位計の光軸上に配置された反射板を、これら変位計および反射板を備える光学式測定部の被測定物に対する相対移動によって被測定物の筒状内径部に挿入し、被測定物の筒状内径面における回転方向測定基準位置を、前記変位計により前記反射板を介して光線を投光することで測定し、この回転方向の位置で前記光学式測定部を軸方向に所定範囲走査して得られた測定データを軸方向位置と共に保存し、被測定物を回転方向に所定量回転させた状態で、前記軸方向の所定範囲の走査分の変位計の測定データを被測定物の軸方向位置と共に保存する処理を、前記筒状内径面の1回転分につき繰り返し、得られた総測定データから、測定対象項目に必要となるデータを抽出して筒状内径面の評価を行う筒状内径測定方法。
- 筒状内径部を有する被測定物を保持して前記筒状内径部の中心回りに回転させる被測定物回転機構と、光学式の変位計およびこの変位計の光軸上に配置された反射板を有し前記反射板が前記被測定物の前記筒状内径部に挿入される光学式測定部と、前記被測定物回転機構に保持された被測定物を前記光学式測定部に対して相対的に軸方向に移動させる軸方向移動機構と、前記被測定物回転機構の回転位置を監視する回転位置監視手段と、前記軸方向移動機構の軸方向位置を監視する軸方向位置監視手段と、これら回転位置監視手段により監視した回転位置および軸方向位置検出手段で監視した軸方向位置と前記変位計の測定データとを関連付けて保存する測定データ保存手段とを備えた筒状内径測定装置。
- 請求項3において、前記被測定物回転機構に保持された被測定物の外周面に対向して配置された外周振れ測定用の変位計と、この外周振れ測定用の変位計の測定値によって前記光学式測定部の測定値を補正する保持ずれ補正手段を設けた筒状内径測定装置。
- 請求項3または請求項4において、前記光学式測定部の前記変位計と反射板との間における投光側および受光側の光軸上に、変位計から投光された光線の角度を変えて反射板へ導く投光側光軸角度変更手段、および被測定物で反射してさらに反射板で反射した光線の角度を変えて前記変位計に導く受光側光軸角度変更手段を設けた筒状内径測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006001129A JP2007183145A (ja) | 2006-01-06 | 2006-01-06 | 筒状内径測定方法および筒状内径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006001129A JP2007183145A (ja) | 2006-01-06 | 2006-01-06 | 筒状内径測定方法および筒状内径測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007183145A true JP2007183145A (ja) | 2007-07-19 |
Family
ID=38339376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006001129A Pending JP2007183145A (ja) | 2006-01-06 | 2006-01-06 | 筒状内径測定方法および筒状内径測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007183145A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009139176A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Nikon Corp | 測定装置およびその方法 |
KR101103810B1 (ko) | 2009-09-03 | 2012-01-10 | 한전케이피에스 주식회사 | 레이져를 이용한 상,하 홀 편차 측정시스템 |
KR101107302B1 (ko) * | 2007-08-21 | 2012-01-20 | 대진하이텍(주) | 링 기어 내경 측정 시스템 및 방법 |
JP2015232539A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-24 | 並木精密宝石株式会社 | 光学式内面測定装置 |
-
2006
- 2006-01-06 JP JP2006001129A patent/JP2007183145A/ja active Pending
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