JP2015232539A - 光学式内面測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、一般に被測定物の内径形状幾何学精度は0.05μm(ミクロン)程度の高精度が要求されるが、この構成では中空モータ(26)が高速回転すると、回転軸に振れ(Run Out)または非再現振れ(Non Repeatable Run Out)が内径形状計測センサに要求される精度以上に多く生じるため、採集された被測定物の内周面の断面形状データに歪みやノイズが乗ってしまい、真の測定値が得られない。
しかし、該文献には光ビームを回転放射する機構は示されておらず、放射ビームの回転モータが高速回転すると回転軸に振れまたは非再現振れが生じて採集された被測定物の内周面の断面形状データにノイズが乗っていたり、またはデータに歪みが生じて真の測定値が得られなかった。
モータの回転軸部の振れ量を測定する変位検出手段とを備える構成としている。この構成により、被検査物から、光ファイバーを経て導き入れた反射光をコンピュータで計算して得た被検対象物の内周面の形状データを、振れ検出手段の変位量データで補正する。
この構成により、振れ検出手段の変位量データを用いて、回転部の振れに伴う測定誤差を補正することができるので、高精度での観察及び測定が可能である。
この構成により、振れ検出センサが、回転軸部の振れ量のデータを収集し、波形データの補正を行えることで、正しく精密な内径及び内周面の精度測定が可能である。
この構成によれば、回転軸部の振れや振動により生じた画像の歪みや振動を元波形データから除去し、より正しく精密な内径及び内周面の精度測定が可能である。
この構成により、被検査物の内周面の形状データに与えた画像の歪みや振動を収集した波形データから除去し、正しく精密は内径及び内周面の精度測定が可能である。
この構成によれば、モータの回転軸の振れ量、特に非再現振れが減少し、回転軸の振れが形状データに与える画像の歪みや振動が減少するので、より精密な内径及び内周面の精度測定が可能である。
この構成によれば、チューブに内蔵された光ファイバーの先端側であって、光路変換手段の近傍に、回転駆動源が配置されるかたちとなるので、回転軸の振れ量、特に、非再現振れが減少し、回転軸の振れが形状データに与える画像の歪みや振動が減少するので、より精密な内径及び内周面の精度測定が可能である。
この構成によれば、三次元的に光線を放射して走査する範囲内に、第1及び第2のモータの電線が存在しないため、光線に陰ができず、収集データに欠落がない高精度な測定が可能である。
この構成によれば、反射効率が高く光学的損失を減らして高精度な精度測定が可能である。
この構成によれば、光線の集光性が高く、光学的損失を減らして高精度な精度測定が可能である。
この構成によれば、モータと直動モータの動作により光線を三次元的に放射し、三次元的に形状データが収集でき、光線を放射して走査する範囲内に、第1及び直動モータの電線が存在しないため、光線に陰ができず、収集データに欠落がない高精度な測定が可能である。
図1〜図10は本発明に係る光学式内面測定装置の実施形態を示している。
〔A〕 図2に示す深穴61aの内面の三次元形状の表示を行う機能、及び、バリ、キズ等の外観検査機能
〔B〕 深穴61aの内周面に樹脂等の表面皮膜61bが施されている場合は、その皮膜厚さの測定、及びピンホール不良や突起発生不良の検査機能
〔C〕 図3に示す表面粗さ測定機能
〔D〕 図4の(1)に示す直径測定機能
〔E〕 図4の(2)に示す真円度測定機能
〔F〕 図4(2)の真円度測定データを長手方向に連続的にデータ収集し、三次元的に表示して得る円筒度測定機能
〔G〕 図4の(3)に示す内周面の凹凸高さ測定機能
〔H〕 図4の(4)に示す角度ピッチ測定機能
〔A〕 三次元形状の表示とキズ等の外観検査方法
図1に示す被測定物61の深穴61aからの反射光を光干渉解析部88に取り込み、コンピュータ89により計算し、図2に示す形状と同様の画像を表示するが、スライダ用モータ83がプローブ28を軸方向にスライドさせつつ反射光を三次元的に取り組むので、モニタ90に三次元画像を表示することができる。本発明では従来のCCDカメラや超音波センサ方式では得られなかった、高分解能で鮮明な内周面の立体画像を観察することができる。
また、バリ、キズが無い被測定物の基準データを別途事前にメモリしておき、取り込んだ被測定物61の表面状態と比較する事により外観不良品を検出する事が可能である。
〔B〕 次に、深穴61aの内周面に樹脂等の表面皮膜コーティングが施されている場合は、その表面層61bの厚さの測定、及びピンホール不良や突起発生不良は、近赤外光またはレーザ光が樹脂を半透過するため、皮膜を含む高分解能な三次元画像を得て、被膜厚さを検査する事ができる。
〔C〕 表面粗さ測定方法は、図8に示す様にサンプリング長さ範囲〔例えば100μm(ミクロン)〕の被測定物61内周面の表面の元波形データ(図中上側の破線波形)を収集し、これと同時に中空回転軸10の外周振れを振れ検出手段(図5においてはセンサ22a、22b)が取込んだシャフト振れ波形データ(図中下側の波形)を収集し、元波形データからシャフト振れデータを差し引きした補正後データ(図中上側の細実線波形)を得ることができる。この補正後データの最大値と最小値の幅が真の最大表面粗さ値になる。このように中空回転軸10の外周振れデータを得て補正する事により高精度は表面粗さの測定が行える。
〔D〕 直径測定方法は次のとおりである。図9の外周に破線で示す波形は第1光路変換手段3から全周に放出された光線の反射光をコンピュータ89で計算して求めた被測定物61の内周面の形状を示す元波形であり、図中の内周の太実線波形に示す振れ検出手段(図5ではセンサ22a、22b)から得たシャフト振れ変位量データを差し引きし、同図外径側の細実線に示す補正後データを得て、この補正後データから必要な内径寸法を得ることができる。
〔E〕 真円度測定方法は、先に説明した同図外径側に示す細実線が補正後データであり、これに対する内接円と外接円を計算で求め、これら2つの円の半径差を真円度と定義できるものである。
〔F〕円筒度の測定方法は、スライド用モータ83がスライダ82と共にプローブ28を直線性精度が0.1μm(ミクロン)以下の高精度に摺動させ、真円度測定データを長手方向に連続的にデータ収集して得る円筒の三次元画像の、内接円筒と外接円筒の半径差を円筒度と定義できる。
〔G〕 内周面の凹凸高さの測定は、例えば動圧軸受内周面に加工された動圧溝の深さなどの測定が該当するが、この測定方法は先に説明した表面粗さの測定方法と同じである。
〔H〕角度ピッチ測定方法は、第1モータ12が第1光路変換手段3を回転させるときに、第1モータ12の回転速度ムラ(ジッターまたはワウフラッターと呼ばれている)が生じているため、図10に示す真の角度θの角度が、最大θpmaxから最小θpminの範囲で測定ばらつきが生じる課題を解決する必要があり、その対処方法として、この測定を十分な回数だけ繰り返し測定し、コンピュータで平均化して真値をもとめる事ができる。
このとき、透明部材内周面21aまたは、透明部材外周面21bのいずれかから取り込んだ、360度全周の形状データが図9の二重の形状データの内、内周側に示す第1光路変換手段3振れ量に相当し、この測定により被検査物の内周面の形状データに与えた画像の歪みや振動を収集した波形データから除去または補正することができる。
図19と図20では、被測定物の内部で透明部材21を含むプローブ28の位置がずれているが、第1光路変換手段は回転しながら全周の形状データを取込むのでもいずれの場合も問題なく内径形状の測定を行うことができる。
図12は本発明の第2の実施の形態に係る光学式内面測定装置の断面図である。プローブ59の後端側から先端側に光線を導く固定側光ファイバー31は十分に長いチューブ36の穴の中に挿通され、光ファイバー固定具34により固定されている。
図17は本発明の実施の形態に係る光学式内面測定装置の断面図である。プローブ59の先端側(透光部材21の方向側)と後方側との間で光を伝える固定側光ファイバー1はチューブ36に内蔵されると共に、固定側光ファイバー1の先端側に例えばボールレンズ等からなる集光レンズ24を備えている。
第1中空回転軸10には、ロータ磁石11が固定されると共に、第1光路変換手段33が一体的に取り付けられている。
ここで図1のプローブ28は、図17ではプローブ59が対応している。また、図1のチューブ6は図17ではチューブ36が対応している。
32 回転側光ファイバー
3、33a、33b 第1光路変換手段(ミラー)
34 光ファイバー固定具
35 遮蔽板
6、36 チューブ
7、37 モータコイル
8、38、68 モータケース
9a、9b、39a、39b 第1軸受
9c 動圧発生溝
10、40 第1中空回転軸
10a ホルダー部
11、41 ロータ磁石
12、42 第1モータ
20 スライドガイド
21、51 透光部材
21a 透明部材内周面
21b 透明部材外周面
22a、22b、53a、63a 振れ検出センサ
23、47 電線
24 集光レンズ
25、55 走査範囲
26 光線
28、59 プローブ
43 第2回転軸
44、54 可振子
44a 穴
45、55 電歪素子
46、56 パターン電極
48a、48b、58a、58b 第2軸受
49 第2モータ
50、50a、50b 第2光路変換手段(プリズム等)
52 回転光コネクター(光ロータリコネクター)
57 スライド第2軸
61 被測定物
61a 深穴
61b 表面層
62 直動モータ
64a、64b、64c Z軸位置センサ
70a、70b チューブ内周面反射光
71a、71b チューブ外周面反射光
72a、72b、72C 被測定物反射光
80 ベース
81 スタンド
82 スライダ
83 スライダ用モータ
84 接続部
85 測定機本体
86 第1モータドライバ回路
87 第2モータドライバ回路
88 光干渉解析部
89 コンピュータ
90 モニタ
Claims (10)
- 干渉光学法を用いて被検対象物の観察および測定を行う光学式内面測定装置において、
チューブに内蔵された光ファイバーと、
前記光ファイバーの先端側に配置された少なくとも1つの光路変換手段と、
前記光ファイバーと前記光路変換手段との一方又は両方を回転駆動させるモータと、
前記モータの回転軸部の振れ量を測定する変位検出手段とを備えることを特徴とする光学式内面測定装置。
- 前記変位検出手段は、前記回転軸部の外周面に対向させて、すくなくとも1個の検出センサを配置したものであることを特徴とする請求項1記載の光学式内面測定装置。
- 前記光ファイバーを経て得た被検対象物からの反射光を、コンピュータで計算して得た被検査物の内周面の形状データと前記変位検出手段の変位量データとを基にして補正することを特徴とする請求項1または2記載の光学式内面測定装置。
- 前記変位検出手段は、前記チューブの内周の基準形状データと、前記回転軸の回転中に得られる前記チューブ内周面または外周面の測定データの差異を前記振れ量として検出することを特徴とする請求項1から3何れか1項記載の光学式内面測定装置。
- 前記回転軸部を支える軸受は動圧溝付きの動圧軸受であることを特徴とする請求項1から4何れか1項記載の光学式内面測定装置。
- 前記モータの前記回転軸部は中空形状であり、
前記光路変換手段は 前記回転軸部と一体的に回転可能に配置されており、
前記光ファイバーは、前記回転軸部と相対的に回転自在に、前記回転駆動軸の中空穴に挿通されていることを特徴とする請求項1から5何れか1項記載の光学式内面測定装置。
- 前記モータは、第1モータと、前記第1モータの後方側に配置された第2モータとがあり、
前記光路変換手段は、前記第1モータにより動作する第1光路変換手段と、前記第2モータにより動作する第2光路変換手段とがあり、
前記光ファイバーは、前記第2モータの後方側で、固定具を介して前記チューブ内に回転不能に配置された固定側光ファイバーと、前記第1モータ又は前記第2モータの前記回転軸部と一体的に回転する回転側光ファイバーとで構成されており、
前記第1モータ及び前記第2モータの前記回転軸部は、各々が中空形状をしており、
前記回転側光ファイバーは、先端側の少なくとも一部が前記第1モータの回転軸部の中空穴に挿通されるとともに、後方側の少なくとも一部が前記第2モータの回転軸部の中空穴に固定されており、
前記第1光路変換手段は、前記第2光路変換手段の先端側で、前記第1モータの回転軸部と一体的に回転可能に配置されており、
前記第2光路変換手段は、前記回転側光ファイバーの先端に備わることを特徴とする請求項1から5何れか1項記載の光学式内面測定装置。
- 前記第1光路変換手段は回転可能なミラー又はプリズムであることを特徴とする請求項7記載の光学式内面測定装置。
- 前記第2光路変換手段は先端に傾斜する略平面を有するプリズムであることを特徴とする請求項7記載の光学式内面測定装置。
- 前記モータの前記回転軸部は中空形状であり、
前記回転軸の中空穴には前記光ファイバーが、該回転軸に対して相対回転自在に挿通され、
前記モータは後方側に伸びる中空の摺動軸部を有し、
前記摺動軸部を出力軸とする直動アクチュエータを備え、
前記摺動軸部の中空穴に前記光ファイバーを固定し、
前記直動アクチュエータの前記出力軸が前記光ファイバーを押し引きすると同時に、前記光路変換手段と前記モータと先端側近傍の前記光ファイバーとを軸方向にスライドさせることを特徴とする請求項1から5何れか1項記載の光学式内面測定装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017006848A1 (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-12 | 並木精密宝石株式会社 | 光学式測定装置、光学式測定装置の校正方法及び光学式測定方法 |
JP2017187335A (ja) * | 2016-04-04 | 2017-10-12 | 並木精密宝石株式会社 | 光学式内面測定装置 |
KR101859717B1 (ko) * | 2016-12-22 | 2018-06-01 | 테라셈 주식회사 | 내시경 장치 및 이것의 제어 방법 |
JP2018146321A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 本田技研工業株式会社 | 非接触式内径測定装置 |
CN108801752A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-11-13 | 佛山科学技术学院 | 一种样品装载装置以及样品驱动装置 |
JP2020085468A (ja) * | 2018-11-15 | 2020-06-04 | アダマンド並木精密宝石株式会社 | 光学式内周面表面気孔測定装置及び気孔率の測定方法 |
US10900773B2 (en) | 2017-06-06 | 2021-01-26 | Hitachi, Ltd. | Distance measuring device and three-dimensional shape measuring apparatus |
CN112648937A (zh) * | 2019-10-13 | 2021-04-13 | 中北大学 | 带有防转机构的孔检测装置与检测方法 |
JPWO2021100792A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | ||
WO2021182033A1 (ja) * | 2020-03-10 | 2021-09-16 | 株式会社Xtia | 計測装置、プログラム及び計測方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000097845A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 光イメージング装置 |
JP2007183145A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Ntn Corp | 筒状内径測定方法および筒状内径測定装置 |
US20110178409A1 (en) * | 2004-02-27 | 2011-07-21 | Optiscan Pty Ltd | Optical Element |
JP2012052813A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Sophia School Corp | 回転体の回転軸心の運動の軌跡を計測する方法及び計測システム |
-
2014
- 2014-12-01 JP JP2014243143A patent/JP6232550B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000097845A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 光イメージング装置 |
US20110178409A1 (en) * | 2004-02-27 | 2011-07-21 | Optiscan Pty Ltd | Optical Element |
JP2007183145A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Ntn Corp | 筒状内径測定方法および筒状内径測定装置 |
JP2012052813A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Sophia School Corp | 回転体の回転軸心の運動の軌跡を計測する方法及び計測システム |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10422621B2 (en) | 2015-07-03 | 2019-09-24 | Adamant Namiki Precision Jewel Co., Ltd. | Optical measurement device having a plurality of rotary shafts and displacement detectors for detecting axial displacement of each rotary shaft and using the detected axial displacement for three-dimensional image correction |
WO2017006848A1 (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-12 | 並木精密宝石株式会社 | 光学式測定装置、光学式測定装置の校正方法及び光学式測定方法 |
JP2017187335A (ja) * | 2016-04-04 | 2017-10-12 | 並木精密宝石株式会社 | 光学式内面測定装置 |
KR101859717B1 (ko) * | 2016-12-22 | 2018-06-01 | 테라셈 주식회사 | 내시경 장치 및 이것의 제어 방법 |
JP2018146321A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 本田技研工業株式会社 | 非接触式内径測定装置 |
US10900773B2 (en) | 2017-06-06 | 2021-01-26 | Hitachi, Ltd. | Distance measuring device and three-dimensional shape measuring apparatus |
CN108801752B (zh) * | 2018-08-02 | 2023-11-28 | 佛山科学技术学院 | 一种样品装载装置以及样品驱动装置 |
CN108801752A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-11-13 | 佛山科学技术学院 | 一种样品装载装置以及样品驱动装置 |
JP2020085468A (ja) * | 2018-11-15 | 2020-06-04 | アダマンド並木精密宝石株式会社 | 光学式内周面表面気孔測定装置及び気孔率の測定方法 |
CN112648937A (zh) * | 2019-10-13 | 2021-04-13 | 中北大学 | 带有防转机构的孔检测装置与检测方法 |
JPWO2021100792A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | ||
WO2021100792A1 (ja) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | アダマンド並木精密宝石株式会社 | 光学式内面測定装置及び光学式内面測定方法 |
JP7223457B2 (ja) | 2019-11-21 | 2023-02-16 | Orbray株式会社 | 光学式内面測定装置及び光学式内面測定方法 |
WO2021182033A1 (ja) * | 2020-03-10 | 2021-09-16 | 株式会社Xtia | 計測装置、プログラム及び計測方法 |
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