JP6755553B2 - 光学式測定装置 - Google Patents
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Description
しかしながらこの構成では、2個のモータの回転数を同期させておらず、また、モータからの回転検出パルスを利用していないため、光線の方向を変えることしか行えない。したがって、光線を螺旋状に放射することができないため、前方から得られた反射光をコンピュータに捉え、計算して立体画像を得る事ができなかった。また、外套管は回転自在ではあるが軸方向(長手方向)に回転ガタや遊び(例えば10ミクロン)が設けられているために軸方向に振動しながら回転する。そのため、ガタや遊びの距離分だけ、センサーユニットと被検体の距離が変わってしまうために、被検体までの正しい距離が測定できず、画像の解像度も悪かった。
この構成によれば、モータの回転振動をリアルタイムで検出して、回転走査部に振れに伴う測定誤差を補正することができるので、高精度での測定が可能である。
この構成により、被検査物底面の形状データの中から、軸方向のガタや振動量を簡単な構成で、リアルタイムで除去し、正しく精密な穴底面の精度測定が可能である。
この構成によれば、第1モータまたは第2モータの軸方向のガタおよび回転振動がリアルタイムで検出でき、回転走査部の振れに伴う測定誤差を補正することができるので、高精度での測定が可能である。
この構成によれば、第1光路変換手段、及び第2光路変換手段の回転角度の組合せにより光線を前方の広範囲に放射することができる。
この校正方法により、測定及び補正を行う上での絶対的な基準を得られるので、光学式測定装置を用いた高精度な測定が可能となる。
この測定方法によれば、測定誤差を補正することができるので、高精度な3次元測定が可能である。
図1は本発明の実施の形態に係る光学式測定装置の光プローブの断面図であり、プローブの後端側から先端側に光線を導く固定側光ファイバー1は十分に長いチューブ(カテーテル)6の内部の略中心に挿通されている。
図2のモータドライバ回路86から電力が供給されて回転駆動され、第2モータ19は第2モータドライバ回路87から電圧が印加されて回転駆動される。また、第1モータ12は図4に示す第1パルス発生手段25からのパルス信号により回転速度を調整し、第2モータ19は図5に示す第2パルス発生手段24からのパルス信号により回転速度を事前に設定された数値に合わせることができる。
この状態では、光線の放射方向は軸線に対して大きく曲げられており、放射角度は、(θ1+θ2)の下向きになる。
図中Stand byに示す時間帯は、第1モータ12と第2モータ19が同一の回転数で回転しながら走査開始信号を待っている状態である。
図16は校正時の各測定寸法の説明図、図17は各測定時の説明図である。
Ds:既知である校正ブロック30までの真の距離
D2:校正前のプローブによる各点の測定値
L2:透光性基準板21までの測定距離
ターゲット間距離 :T 、 T=(D2−L2)
透光性基準板の基準値:Ls 、 Ls=(Ds+T) である。
L2:透光性基準板21までの測定距離
D2:被測定物26までの測定距離
被測定物26までの補正後の真値:D、 D=Ls+(D2−L2)=Ls+T
または、
軸方向変位量は、(Ls−L2)であり、
補正後の真値D; D=D2−(L2−Ls) である。
2 回転側光ファイバー
3、3a、3b 第1光路変換手段(プリズムまたはレンズ)
4 光ファイバー固定具
5 遮蔽板
6、チューブ(カテーテル)
7 モータコイル
8 モータケース
9a、9b 第1軸受
10 中空回転軸
10a ホルダー部
11 ロータ磁石
12 第1モータ
13 第2回転軸
14 可振子
15 電歪素子
16 パターン電極
17、23 電線
18a,18b 第2軸受
19 第2モータ
20、20a、20b、120、220 第2光路変換手段
20c、220c 集光レンズ
20d、120a、220d、220e プリズム
21 透光性基準板
21a 平板部
22 回転光コネクター
24、24a、24b 第2パルス発生手段
25、25a、25b 第1パルス発生手段
26 被測定物
27 深穴
29 走査範囲
30 校正ブロック
80 ベース
81 スタンド
82 スライダ
83 スライダ用モータ
84 接続部
85 本体
86 第1モータドライバ回路
87 第2モータドライバ回路
88 光干渉解析部
89 コンピュータ
90 モニタ
Claims (3)
- プローブの先端側から光線を3次元放射して立体画像を得る光学式測定装置において、
プローブは、透光性基準板と、複数のモータと、前記モータの回転軸と一体に回転する回転側光ファイバー及び/又は光路変換手段と、を備え、
前記回転軸の軸方向の微小変位を検出する変位検出手段を有し、
前記プローブの本体外装はチューブであって、
前記モータは、第1モータと第2モータとがあり、
前記光路変換手段は、前記第1モータの回転軸と一体に回転する第1光路変換手段と、前記第2モータの回転軸と一体に回転する第2光路変換手段とがあり、
前記チューブ内に、固定側光ファイバーを内蔵し、
前記固定側光ファイバーと前記回転側光ファイバーとは、回転光コネクターにより光学的に接続され、
前記第1光路変換手段は、前記回転側光ファイバーの先端側に位置し、第1モータにより回転駆動させられ、光線を回転中心に対して角度を傾けて前方に回転放射し、
前記第2光路変換手段は、前記回転側光ファイバーの先端側に一体に配置され、前記固定側光ファイバーと前記第1光路変換手段の間に位置し、第2モータにより回転駆動させられ、光線を回転中心に対して光路を微小角度傾けて回転放射して前記第1光路手段に向けて照射し、
光線を固定側光ファイバーから、回転光コネクター、第2光路変換手段、第1光路変換手段の順に透過させ、前方に放射させることを特徴とする光学式測定装置。 - 前記第1モータの回転角に応じて少なくとも1回転に1回以上のパルスを発生する第1パルス発生手段と、
前記第2モータの回転角に応じて少なくとも1回転に1回以上のパルスを発生する第2パルス発生手段を有し、
前記第1パルス発生手段及び前記第2パルス発生手段からのパルスにより第1及び第2モータの回転速度を調整する制御手段を有し、
第1モータの回転速度N1と第2モータの回転速度N2の関係を、N2=N1−X[回転/秒]で回転させることで、第1光路変換手段からN1[回転/秒]の回転速度で前方に放出させる共に、X[往復/秒]の速度で光線の回転中心に対する放出角を変化させることを特徴とする請求項1記載の光学式測定装置。 - 前記変位検出手段は、予め定めた前記透光性基準板までの3次元距離情報を基準値とし、前記モータの回転中に得られる前記測定距離データの実際の測定値と、予め定めた前記基準値との差を変位量として検出することを特徴とする請求項1又は2記載の光学式測定装置。
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