JP6739780B2 - 光学式内面測定装置 - Google Patents
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Description
しかしながらこの構成では、被測定物の表面が例えばリングゲージのように平滑な面であれば測定が可能であるが、一般的な複雑形状の機械部品の測定を行う場合には、小径穴(1)の内面の表面粗さや凹凸のキズにより反射光が発散し、正しい形状をカメラが捉えることができず、高精度な測定は不可能であった。また、被測定物(2)が想定以上に長い場合にも反射光を捉えることが出来ず測定が行えなかった。
しかしながら該文献には光ビームを回転放射する機構が記載されておらず、放射ビームの回転モータが高速回転すると回転軸に振れまたは非再現振れが生じて採集された被測定物の内周面の断面形状データにノイズがのっていた。また、管内検査装置(10)を螺旋状に走査させるために、長手方向にスライド動作させるためのモータや機構系の振動が一般には0.01μm程度以上も発生し、このノイズが測定データにのってしまい除去できないため、測定値の繰返し再現性が悪くなり、ナノメータオーダーの高精度な測定は行えていなかった。
しかしながら、この構成では、光学式プローブが第1の位置から第2の位置に向け、軸方向または長手方向に移動する間に、この移動手段になるリニアスライダーの直線性の悪さ(例えば0.01μm程度存在する)が平行度の計算に狂いを生じさせていた。また、光学式プローブを回転させる時に発生するサブミクロンの振動変位(例えば0.1μm程度以上)が光学式プローブから内周面の各位置までの距離を狂わせるため、正しい補正計算と高精度な測定ができていなかった。
この構成により、被検対象物内周面からの反射光を、光ファイバーを経て導き入れ、コンピュータで計算することにより得られた被検対象物の内周面の形状データを、光ファイバーの軸方向の移動を行わず、透光性基準パイプを固定した状態で三次元データの収集が可能になり、また、測定装置の軸方向送り精度の誤差、および透光性基準パイプの振動が排除でき、これにより画像データのばらつきや、ノイズを解消して、正しく精密な内径及び内周面の精度測定が可能である。
この構成により、干渉光学系のゆらぎ変動の影響、及び光線を被測定面に回転放射するモータの軸受振れの影響が排除でき、正しく精密な内径および内周面の幾何学精度測定が可能である。
この構成と方法により、前記透光性基準パイプが、内蔵モータの回転部分の遠心力による振れや振動を発生しても、この振動変位量を測定し相殺することが可能であり、正確な内径および内周面の精度測定が可能である。
この構成により、前記透光性基準パイプが、内蔵モータの回転部分の遠心力による振動を発生しても、この振動変位量を相殺し、正確な内径および内周面の精度測定が可能である。
この構成によれば、前記透光性基準パイプ22の先端の微振動量を基準パイプ押圧子53が減少させるため、より正しく精密な内径および内周面の精度測定が可能である。
この構成によれば、透光性基準パイプ22およびチューブ6をZ軸方向(長手方向)に移動せずに一定範囲内の三次元測定が行えるため、測定装置の軸方向送り精度の誤差を完全に排除することができ、高精度な測定が可能である。
図1〜図12は本発明に係る光学式内面測定装置の実施形態を示している。
即ち、真の半径測定値=S+(L1−L2)±R3 であり、
これが求める高精度な真の測定値である。
(I)透光性基準パイプを使わない測定では光学系のゆらぎ変動と、回転モータの振れ振動の影響により測定ばらつきが多く、その標準偏差(σ)は18.5μmと大変悪かった。
(II)しかし、図7に示すように透光性基準パイプ22から被検査物100aの内周面までの距離を測る方法ではその標準偏差(σ)は0.05μmに大幅に改善され、
(III)また、図9に示すように、透光性基準パイプ22自身の振れ振動をカメラ51で捉えてこれを加味した場合には、その標準偏差(σ)は0.02μmまで改善が進み、測定ばらつきの無い、大変高精度な測定が行えた。
図13の構成は図9とほぼ同様であるが、距離センサ52a、52bが、被検査物100Cと透光性基準パイプ22の相対位置関係を2方向から測定し、被検査物100に対する透光性基準パイプ22の中心位置の変化(±R3)を検出している
図14の構成は図7とほぼ同じであるが、被検対象物100dの穴の一方側から透光性基準パイプ22の先端を挿入し、穴の他方から基準パイプ押圧子53を挿入し透光性基準パイプ22の先端に当接させることで透光性基準パイプの揺れを防止した状態で、光線を三次元的に放射し、その反射光を検出するよう構成している。
2 回転側光ファイバー
3a、3b 第1光路変換手段(ミラー)
4 光ファイバー固定具
5 遮蔽板
6 チューブ
7 第1モータコイル
8 モータケース
9a、9b 第1軸受
10 第1中空回転軸
11 第1ロータ磁石
12 第1モータ
13 第2中空回転軸
13a 穴
14 第2ロータ磁石
15 第2モータコイル
16a、16b 第2軸受
17 第2モータ
18 第1電線
19 第2電線
20 回転光コネクター
21 第2光路変換手段(プリズム等)
22 透光性基準パイプ
23a 回転速度センサ
24 光プローブ
51 カメラ(相対位置検出手段)
52a、52b 距離センサ
53 基準パイプ押圧子
55 走査範囲
80、80a、80b、80c ベース
81 スタンド
82 スライダ
83 スライダ用モータ
84 接続部
85 測定機本体
86 第1モータドライバ回路
87 第2モータドライバ回路
88 光干渉解析部
89 コンピュータ
90 モニタ
100 内径リングゲージ
100a、100b、100c、100d 被検査物
100x 内周面輪郭
Claims (5)
- 干渉光学法を用いて被検対象物の観察および測定を行う光学式内面測定装置において、
チューブに内蔵された光ファイバーと、
前記光ファイバーの先端部に少なくとも2つの光路変換手段を有し、
前記2つの光路変換手段を回転駆動させるモータを有し、
前記チューブの先端部は硬質の透光性基準パイプが取り付けられ、
前記透光性基準パイプの半径方向の機械的振動を検出するセンサを有し、
被検対象物の内径に前記透光性基準パイプを挿入し、
前記2つの光路変換手段が前記光ファイバーから導いた光線を円周方向および軸方向に三次元的に光線を放射し、その反射光を検出するものであって、
前記透光性基準パイプの形状寸法(S)を予め測定しこのデータをコンピュータに記憶しておき、
被測定内周面(L1)と前記透光性基準パイプ間の距離データ(L1−L2)を、前記検出した反射光からコンピュータで計測し、
前記透光性基準パイプの寸法形状データ(S)に前記被測定内周面と前記透光性基準パイプ間の距離データを加えて前記被測定内周面の半径寸法=S+(L1−L2)を求めることを特徴とする光学式内面測定装置。 - 干渉光学法を用いて被検対象物の観察および測定を行う光学式内面測定装置において、
チューブに内蔵された光ファイバーと、
前記光ファイバーの先端部に少なくとも2つの光路変換手段を有し、
前記2つの光路変換手段を回転駆動させるモータを有し、
前記チューブの先端部は硬質の透光性基準パイプが取り付けられ、
前記透光性基準パイプの半径方向の機械的振動を検出するセンサを有し、
被検対象物の内径に前記透光性基準パイプを挿入し、
前記2つの光路変換手段が前記光ファイバーから導いた光線を円周方向および軸方向に三次元的に光線を放射し、その反射光を検出するものであって、
前記被検対象物の内周面輪郭と、前記透光性基準パイプ間の相対位置変化量(±R3)をカメラで検出し、
前記透光性基準パイプの寸法形状データ(S)に前記被測定内周面と前記透光性基準パイプ間の距離データを加えた前記被測定内周面の半径寸法=S+(L1−L2)に、前記透光性基準パイプ間の関係位置寸法(±R3)を加えて補正し、前記被測定内周面の半径寸法=S+(L1−L2)±R3 を求めて表示することを特徴とする光学式内面測定装置。 - 干渉光学法を用いて被検対象物の観察および測定を行う光学式内面測定装置において、
チューブに内蔵された光ファイバーと、
前記光ファイバーの先端部に少なくとも2つの光路変換手段を有し、
前記2つの光路変換手段を回転駆動させるモータを有し、
前記チューブの先端部は硬質の透光性基準パイプが取り付けられ、
前記透光性基準パイプの半径方向の機械的振動を検出するセンサを有し、
被検対象物の内径に前記透光性基準パイプを挿入し、
前記2つの光路変換手段が前記光ファイバーから導いた光線を円周方向および軸方向に三次元的に光線を放射し、その反射光を検出するものであって、
前記被検対象物の前記内周面輪郭と、前記透光性基準パイプ間の相対関置変化量(±R3)を被検対象物を固定しているベースに取り付けた距離センサで検出することを特徴とする光学式内面測定装置。
- 干渉光学法を用いて被検対象物の観察および測定を行う光学式内面測定装置において、
チューブに内蔵された光ファイバーと、
前記光ファイバーの先端部に少なくとも2つの光路変換手段を有し、
前記2つの光路変換手段を回転駆動させるモータを有し、
前記チューブの先端部は硬質の透光性基準パイプが取り付けられ、
前記透光性基準パイプの半径方向の機械的振動を検出するセンサを有し、
被検対象物の内径に前記透光性基準パイプを挿入し、
前記2つの光路変換手段が前記光ファイバーから導いた光線を円周方向および軸方向に三次元的に光線を放射し、その反射光を検出するものであって、
前記被検対象物の穴の片方から前記透光性基準パイプの先端を挿入し、
他方から基準パイプ押圧子を挿入し前記透光性基準パイプの先端に当接させた状態で、光線を円周方向および軸方向に三次元的に光線を放射し、反射光を検出するよう構成したことを特徴とする光学式内面測定装置。
- 前記モータは、第1モータと、前記第1モータの後方側に配置された第2モータとがあり、前記光路変換手段は、前記第1モータにより動作する第1光路変換手段と、前記第2モータにより動作する第2光路変換手段とがあり、前記光ファイバーは、前記第2モータの後方側で、固定具を介して前記チューブに回転不能に配置された固定側光ファイバーと、前記第1モータまたは前記第2モータの回転軸部と一体的に回転する回転側光ファイバーとで構成されており、前記第1モータおよび前記第2モータの前記回転軸部は、各々が中空形状をしており、前記回転側光ファイバーは、先端側の少なくとも一部が前記第1モータの回転軸部の中空穴に挿通されるとともに、後方側の少なくとも一部が前記第2モータの回転軸部の中空穴に固定されており、前記第1光路変換手段は、前記第2光路変換手段の先端側で、前記第1モータの回転軸部と一体的の回転可能に配置されており、前記第2光路変換手段は、前記回転側光ファイバーの先端に備わる構成としたことを特徴とする請求項1〜4何れか1項記載の光学式内面測定装置。
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