JP5059559B2 - レーザーダイシングシートおよびチップ体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、レーザー光でワークをダイシングしてチップ化する際にワークを固定するために好適に用いられるレーザーダイシングシート、および、該レーザーダイシングシートを用いて好適に行われるチップ体の製造方法に関する。

レーザーダイシングは、ブレードダイシングでは切断困難なワークも切断可能である場合があり、近年特に注目されている。そのようなレーザーダイシングに用いられるレーザーダイシングシートの一例は本出願人によって開示されている（特許文献１）。

レーザーダイシングにおいては、ダイシングシート上に固定されたワークにレーザー光を走査してワークを切断（ダイシング）している。この際、レーザー光の焦点は、次のように移動している。すなわち、ワークが貼付されていないダイシングシート表面（ワークの外縁部）から加速し、ワーク表面を一定速度で走査し、ワークの他方の外縁部で減速、停止する。その後、進行方向を反転し、加速後、ワーク表面を走査し、再度減速、停止、反転する。

したがって、レーザー光焦点の移動における加速・減速時には、ワークが貼付されていないダイシングシートの端部に直接レーザー光が照射されている。この際、レーザー光がダイシングシートを透過し、チャックテーブルを損傷するという問題が発生することがあった。さらに、レーザー光によって加熱されたチャックテーブルに接するダイシングシートの面が溶融し、チャックテーブルに融着するという問題が発生することもあった。

これらの問題を回避するために、厚いダイシングシートを用いて、ワークとチャックテーブル表面との距離を長くする手法がとられた（特許文献２）。この手法を用いれば、チャックテーブルに到達したレーザー光は焦点が合っておらず、したがってエネルギー密度が低いため、チャックテーブルの損傷には至らない。また、上記したダイシングシートの融着の問題も起こらない。しかし、基材が厚いため、ダイシング後のエキスパンドが困難になることがあった。

また、特許文献３には、ウレタンアクリレート系オリゴマー等の硬化性樹脂を製膜・硬化して得られる基材（以下、「ポリウレタンアクリレートフィルム」とよぶことがある）上に粘着剤層を設けてなるダイシングシートが開示されている。しかし、特許文献３では、ブレードダイシングへの適用が意図されており、上述したようなレーザーダイシングに特有の課題は認識されていない。

ポリウレタンアクリレートフィルムは、架橋密度が高いため、レーザー光の直射を受けてもフィルムが受ける損傷は比較的軽微であることが期待される。また、エキスパンド性も良好であるため、ダイシング後にエキスパンドし、チップ間隔を離間することも容易である。このため、上記のようなレーザーダイシングシートの基材として、ポリウレタンアクリレートフィルムを使用することが検討される。

しかし、ポリウレタンアクリレートフィルムをダイシングシートの基材として使用した場合、次のような問題点が懸念される。

通常、エキスパンド工程後、チップをピックアップした後、ダイシングシートはリングフレームに張設された状態で、回収カセットに収納され回収される。回収後、ダイシングシートを除去し、リングフレームは洗浄工程等を経て再使用される。エキスパンドによりダイシングシートは延伸されているため、リングフレームからダイシングシートが垂れ下がった状態にある。この状態では、たるんだダイシングシートが、回収カセットに収納される他のリングフレームやシートに接触するため、回収カセットへの収納が円滑に行われない。

例えば、ポリウレタンアクリレートフィルムはエキスパンド性に優れるものの、形状復元性に劣る。

したがって、ポリウレタンアクリレートフィルムは、レーザーダイシングシートの基材として優れた性質が期待されるものの、形状復元性に難点があり、実用化の障害となっていた。
特開２００２−３４３７４７号公報 特開２００６−２４５４８７号公報 特開２００２−１４１３０６号公報

本発明は上記のような従来技術に伴う問題を解決しようとするものである。すなわち、本発明は、レーザーダイシングにおいて、レーザー光によるダイシングシートの切断、チャックテーブルの損傷およびダイシングシートのチャックテーブルへの融着を防止しうるレーザーダイシングシートおよびそれを用いたレーザーダイシング法によるチップ体の製造方法を提供することを目的としている。特に、本発明は、レーザーダイシングにおいて優れた性質が期待されるポリウレタンアクリレートフィルムを使用した基材のエキスパンド後の形状復元性を改善することを目的としている。

このような課題の解決を目的とした本発明の要旨は以下のとおりである。

（１）ポリウレタンアクリレートフィルムと形状復元性フィルムとからなる基材と、該基材のポリウレタンアクリレートフィルム表面に形成された粘着剤層とからなるレーザーダイシングシート。

（２）基材を構成するポリウレタンアクリレートフィルムが、エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーとエネルギー線硬化性モノマーとを含有する配合物にエネルギー線を照射して得られる硬化物である（１）に記載のレーザーダイシングシート。

（３）エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーが、ポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーである（２）に記載のレーザーダイシングシート。

（４）ポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーのエーテル結合部が、アルキレンオキシ基（-(-R-O-)n-：ただしＲはアルキレン基であり、ｎは２〜２００の整数）である（３）に記載のレーザーダイシングシート。

（５）アルキレンオキシ基（-(-R-O-)n-）のアルキレン基Ｒが、炭素数１〜６のアルキレン基である（４）に記載のレーザーダイシングシート。

（６）アルキレンオキシ基（-(-R-O-)n-）のアルキレン基Ｒが、エチレン、プロピレン、ブチレンまたはテトラメチレンである（５）に記載のレーザーダイシングシート。
（７）形状復元性フィルムの応力除去後の歪み復元率が、８０〜１００％である（１）〜（６）の何れかに記載のレーザーダイシングシート。

（８）形状復元性フィルムが、ポリオレフィンフィルムである（７）に記載のレーザーダイシングシート。

（９）ポリオレフィンフィルムが、低密度ポリエチレンフィルム、直鎖状低密度ポリエチレンフィルム、軟質化ポリプロピレンフィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルムまたはエチレン・酢酸ビニル共重合体フィルムである（８）に記載のレーザーダイシングシート。

（１０）上記（１）〜（９）のいずれかに記載のレーザーダイシングシートの粘着剤層にワークを貼付し、
レーザー光によりワークを個片化してチップを作製し、
レーザーダイシングシートをエキスパンドしてチップ間隔を離間し、
チップをピックアップする、チップ体の製造方法。

本発明においては、基材の最上層としてポリウレタンアクリレートフィルムを用いているため、基材にレーザー光が照射されても、基材の受ける損傷は小さく切断されない。また基材は損傷を受けなくとも基材を透過してチャックテーブルにまで到達する光量は低減される。この結果、レーザーダイシングにおいて、レーザー光によるダイシングシートの切断、チャックテーブルの損傷およびダイシングシートのチャックテーブルへの融着が防止され、レーザーダイシングによるチップ体の製造工程が円滑に行われるようになる。また、基材の構成層として、ポリウレタンアクリレートフィルムに加えて形状復元性フィルムを使用しているため、シートのエキスパンド後の形状復元性が改善され、リングフレームの回収を円滑に行えるようになる。

以下、本発明についてさらに具体的に説明する。本発明に係るダイシングシートは、基材と、その上に形成された粘着剤層とからなる。

基材は、ポリウレタンアクリレートフィルムと形状復元性フィルムとからなる。

基材の構成層のひとつであるポリウレタンアクリレートフィルムは、ポリウレタンアクリレートを主たる構成成分とする樹脂フィルムである。ポリウレタンアクリレートフィルムは、エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーとエネルギー線硬化性モノマーとを含有する配合物を製膜後、これにエネルギー線を照射して得られる硬化物が好ましい。

エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーは、たとえばポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物とを反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有する（メタ）アクリレートを反応させて得られる。

ポリオール化合物は、アルキレンジオール、ポリエーテル型ポリオール、ポリエステル型ポリオール、ポリカーボネート型ポリオールの何れであってもよいが、ポリエーテル型ポリオールを用いることで、より良好な効果が得られる。また、ポリオールであれば特に限定はされず、２官能のジオール、３官能のトリオールであってよいが、入手の容易性、汎用性、反応性などの観点から、ジオールを使用することが特に好ましい。したがって、ポリエーテル型ジオールが好ましく使用される。

ポリエーテル型ジオールは、一般にHO-(-R-O-)n-Hで示される。ここで、Ｒは２価の炭化水素基、好ましくはアルキレン基であり、さらに好ましくは炭素数１〜６のアルキレン基、特に好ましくは炭素数２または３のアルキレン基である。また、炭素数１〜６のアルキレン基の中でも好ましくはエチレン、プロピレン、ブチレンまたはテトラメチレン、特に好ましくはエチレンまたはプロピレンである。また、ｎは好ましくは２〜２００，さらに好ましくは１０〜１００である。したがって、特に好ましいポリエーテル型ジオールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリブチレングリコール、ポリテトラメチレングリコールがあげられ、さらに特に好ましいポリエーテル型ジオールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールがあげられる。

ポリエーテル型ジオールは、多価イソシアナート化合物との反応により、エーテル結合部（-(-R-O-)n-）を誘導し、末端イソシアナートウレタンプレポリマーを生成する。このようなエーテル結合部は、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、テトラヒドロフラン等の環状エーテルの開環反応によって誘導される構造であってもよい。

多価イソシアナート化合物としては、たとえば４，４’-ジシクロヘキシルメタンジイソシアナート、イソホロンジイソシアナート、２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４’−ジイソシアナートなどが用いられ、特に好ましくは４，４’-ジシクロヘキシルメタンジイソシアナート、イソホロンジイソシアナート好ましく用いられる。

次いで、末端イソシアナートウレタンプレポリマーとヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートとを反応させて、ウレタンアクリレート系オリゴマーが得られる。ヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートとしては、たとえば２−ヒドロキシエチルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなどが用いられ、特に２−ヒドロキシエチルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリレートが用いられる。
ウレタンアクリレート系オリゴマーは、一般式：Ｚ−（Ｙ−（Ｘ−Ｙ）ｍ）−Ｚで示される（ここで、Ｘはポリエーテル型ジオールにより誘導される構成単位であり、Ｙはジイソシアナートから誘導される構成単位であり、Ｚはヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートから誘導される構成単位である）。上記一般式においてｍは、好ましくは１〜２００、さらに好ましくは１〜５０となるように選択される。

得られるウレタンアクリレート系オリゴマーは、分子内に光重合性の二重結合を有し、エネルギー線照射により重合硬化し、皮膜を形成する性質を有する。

本発明で好ましく用いられるウレタンアクリレート系オリゴマーの重量平均分子量は、１０００〜５００００、さらに好ましくは２０００〜４００００の範囲にある。上記のウレタンアクリレート系オリゴマーは一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。上記のようなウレタンアクリレート系オリゴマーのみでは、製膜が困難な場合が多いため、本発明では、エネルギー線硬化性のモノマーで稀釈して製膜した後、これを硬化してフィルムを得る。エネルギー線硬化性モノマーは、分子内にエネルギー線重合性の二重結合を有し、特に本発明では、比較的嵩高い基を有するアクリルエステル系化合物が好ましく用いられる。

このようなウレタンアクリレート系オリゴマーを稀釈するために用いられるエネルギー線硬化性のモノマーの具体例としては、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシ（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、アダマンタン（メタ）アクリレートなどの脂環式化合物、フェニルヒドロキシプロピルアクリレート、ベンジルアクリレート、フェノールエチレンオキシド変性アクリレートなどの芳香族化合物、もしくはテトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、モルホリンアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドンまたはＮ−ビニルカプロラクタムなどの複素環式化合物が挙げられる。また必要に応じて多官能（メタ）アクリレートを用いてもよい。このようなエネルギー線硬化性モノマーは単独で、あるいは複数を組合せて用いても良い。

上記エネルギー線硬化性モノマーは、ウレタンアクリレート系オリゴマー１００重量部に対して、好ましくは５〜９００重量部、さらに好ましくは１０〜５００重量部、特に好ましくは３０〜２００重量部の割合で用いられる。

基材を構成するポリウレタンアクリレートフィルムは、ウレタンアクリレート系オリゴマーおよびエネルギー線硬化性モノマーを含む配合物を製膜、硬化して得られる。この際、該配合物に光重合開始剤を混入することにより、エネルギー線照射による重合硬化時間ならびにエネルギー線照射量を少なくすることができる。このような光重合開始剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アシルフォスフィノキサイド化合物、チタノセン化合物、チオキサントン化合物、パーオキサイド化合物等の光開始剤、アミンやキノン等の光増感剤などが挙げられ、具体的には1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジアセチル、β-クロールアントラキノンなどが挙げられる。

光重合開始剤の使用量は、ウレタンアクリレート系オリゴマーおよびエネルギー線硬化性モノマーの合計１００重量部に対して、好ましくは０．０５〜１５重量部、さらに好ましくは０．１〜１０重量部、特に好ましくは０．３〜５重量部である。

また、上述の配合物中には、炭酸カルシウム、シリカ、雲母などの無機フィラー、鉄、鉛等の金属フィラーを添加してもよい。さらに、上記成分の他にも、基材には顔料や染料等の着色剤等の添加物が含有されていてもよい。

製膜方法としては、流延製膜（キャスト製膜）と呼ばれる手法が好ましく採用できる。具体的には、液状の配合物（硬化前の樹脂、樹脂の溶液等）を、たとえば工程シート上に薄膜状にキャストした後に、塗膜に紫外線、電子線などのエネルギー線を照射して重合硬化させてフィルム化する。このような製法によれば、製膜時に樹脂にかかる応力が少なく、フィッシュアイの形成が少ない。また、膜厚の均一性も高く、厚み精度は、通常２％以内になる。

上記のポリウレタンアクリレートフィルムは、後述する形状復元性フィルムと積層されて基材を構成する。基材のポリウレタンアクリレートフィルム上に粘着剤層が形成されて本発明のレーザーダイシングシートとなる。

基材の上面、すなわち粘着剤層が設けられるポリウレタンアクリレートフィルム表面には、粘着剤との密着性を向上するために、コロナ処理を施したり、エチレン酢酸ビニル共重合体等によりプライマー層を設けてもよい。

本発明のレーザーダイシングシートにおいて、ポリウレタンアクリレートフィルムの厚みは本発明の解決手段としては特に制限はないが、作業性などの面から、好ましくは１０〜５００μｍ、さらに好ましくは３０〜３００μｍ、特に好ましくは５０〜２００μｍである。ポリウレタンアクリレートフィルムは、単層であってもよく、また同種または異種のポリウレタンアクリレートフィルムの積層フィルムであってもよい。

形状復元性フィルムは、ある程度のエキスパンド性を有し、エキスパンド後にエキスパンド前の形状に近く復元する性質を有するフィルムである。そのような性質は下記に式で表すことができる。ここで、応力除去後の歪み復元率は、好ましくは９０〜１００％、さらに好ましくは、９５〜１００％である。

応力除去後の歪み復元率（％）＝（ｌ_ｅ−ｌ_ｘ）／（ｌ_ｅ−ｌ_０） ×１００
ｌ_０：初期の長さ
ｌ_ｅ：伸長した長さ
ｌ_ｘ：復元後の長さ
このような形状復元性フィルムとしては、具体的には低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、軟質化ポリプロピレン、延伸ポリプロピレン、非延伸ポリプロピレン、エチレンプ-ロピレン共重合体、エチレン-（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン-（メタ）アクリル酸エステル共重合体、エチレン-酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、ポリアミド、アイオノマー、フッ素樹脂等からなるフィルムが挙げられる。これらの中でも、ポリオレフィンフィルムが好ましく、具体的には特に低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、軟質化ポリプロピレン、エチレン-（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン-（メタ）アクリル酸エステル共重合体、エチレン-酢酸ビニル共重合体等からなるフィルムが好ましい。

本発明のダイシングシートにおいて、形状復元性フィルムの厚みは、好ましくは１０〜５００μｍ、さらに好ましくは２０〜３００μｍ、特に好ましくは３０〜２００μｍである。形状復元性フィルムは、単層であってもよく、また同種または異種の形状復元性フィルムの積層フィルムであってもよい。

フィルムの積層、すなわちポリウレタンアクリレートフィルム同士の積層、形状復元性フィルム同士の積層およびポリウレタンアクリレートフィルムと形状復元性フィルムとの積層は、公知の方法で行われ、たとえば接着剤、粘着剤を介した積層であってもよく、またドライラミネーションによる積層であってもよい。

なお、後述する粘着剤層を紫外線硬化型粘着剤により構成する場合には、基材の構成層（ポリウレタンアクリレートフィルムおよび形状復元層）は紫外線に対して透明である必要がある。

本発明に係るレーザーダイシングシートは、上記基材と、該基材のポリウレタンアクリレートフィルム上に形成された粘着剤層とからなる。

粘着剤層は、従来より公知の種々の粘着剤により形成され得る。このような粘着剤としては、何ら限定されるものではないが、たとえばゴム系、アクリル系、シリコーン系、ポリビニルエーテル等の粘着剤が用いられる。また、エネルギー線硬化型や加熱発泡型、水膨潤型の粘着剤も用いることができる。

エネルギー線硬化（紫外線硬化、電子線硬化）型粘着剤としては、特に紫外線硬化型粘着剤を用いることが好ましい。このようなエネルギー線硬化型粘着剤の具体例は、たとえば特開昭６０−１９６９５６号公報および特開昭６０−２２３１３９号公報に記載されている。また、水膨潤型粘着剤としては、たとえば特公平５−７７２８４号公報、特公平６−１０１４５５号公報等に記載のものが好ましく用いられる。

粘着剤層の厚さは、好ましくは１〜１００μｍ、さらに好ましくは３〜８０μｍ、特に好ましくは５〜５０μｍである。なお、粘着剤層には、その使用前に粘着剤層を保護するために剥離シートが積層されていてもよい。

剥離シートは、特に限定されるものではなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等の樹脂からなるフィルムまたはそれらの発泡フィルムや、グラシン紙、コート紙、ラミネート紙等の紙に、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル基含有カルバメート等の剥離剤で剥離処理したものを使用することができる。

基材表面に粘着剤層を設ける方法は、剥離シート上に所定の膜厚になるように塗布し形成した粘着剤層を基材表面に転写しても構わないし、基材表面に直接塗布して粘着剤層を形成しても構わない。

次に、本発明のレーザーダイシングシートを使用したチップ体の製造方法について説明する。

本発明のチップ体の製法では、上記レーザーダイシングシートの粘着剤層にワークを貼付し、ワーク表面をレーザー光で走査し、ワークを切断してチップ体を得る。このようなレーザーダイシング方法自体は公知である。レーザーダイシングにおいては、レーザー光の焦点は、次のように移動している。すなわち、ワークが貼付されていないダイシングシートの露出表面（ワークの外縁部）から加速し、ワーク表面を一定速度で走査し、ワークの他方の外縁部で減速、停止する。その後、進行方向を反転し、加速後、再度ワーク表面を走査し、再度減速、停止、反転する。通常は、ひとつのダイシングラインあたり、１〜複数回程度のレーザー光走査を行う。

レーザー光焦点の移動における加速・減速時には、ワークが貼付されていないダイシングシートの端部に直接レーザー光が照射されている。この際、レーザー光がダイシングシートを切断することがあった。また、レーザー光がダイシングシートを透過し、チャックテーブルを損傷するという問題が発生することがあった。さらに、レーザー光によって加熱されたチャックテーブルに接するダイシングシートの面が溶融し、チャックテーブルに融着するという問題が発生することもあった。

しかし、本発明においては、レーザーダイシングシートの基材の構成層として、上述したポリウレタンアクリレートフィルムを使用することで、上記の課題を解決している。すなわち、本発明のレーザーダイシングシートを使用した場合、たとえレーザー光がレーザーダイシングシートに直接照射されても、基材は、レーザー光による損傷を受けにくいことが確認された。具体的には、基材の最上層であるポリウレタンアクリレートフィルム表面の一部分がレーザー光により切り込まれるのみであり、基材が切断されることがない。また、高いエネルギーをもったレーザー光が基材を透過してチャックテーブルに至ることもなく、レーザーダイシングシートの融着も確認されなかった。

レーザーダイシングを終えた後、レーザーダイシングシートをエキスパンドして、チップ間隔を広げる。チップ間隔を広げることで、チップ同士の接触による損傷が低減される。その後、チップをピックアップして取り出し、チップ体を得る。なお、粘着剤層が紫外線硬化型粘着剤からなる場合は、必要に応じて、ピックアップ前に紫外線照射を行う。紫外線硬化型粘着剤は、紫外線の照射により重合硬化し、粘着力が低下するため、チップのピックアップを円滑に行えるようになる。

チップをピックアップした後、ダイシングシートはリングフレームに張設された状態で、回収カセットに収納され回収される。回収後、ダイシングシートを除去し、リングフレームは洗浄工程等を経て再使用される。エキスパンドによりダイシングシートは延伸されているため、形状復元性の低いダイシングシートは、リングフレームから垂れ下がった状態となる。この状態では、たるんだダイシングシートが回収カセットに収納される際に、他のリングフレームやシートに接触するため、回収カセットへの収納が円滑に行われない。例えば、ポリウレタンアクリレートフィルムはエキスパンド性に優れるものの、形状復元性に劣る。

しかし、本発明では、基材の構成層として、ポリウレタンアクリレートフィルムに加えて上記した形状復元性フィルムが含まれているため、ダイシングシートの垂れ下がりを簡便に解消できる。この結果、回収カセットへのリングフレームの収納が円滑になり、チップ体の生産効率が向上する。

本発明において適用可能なワークとしては、レーザー光によって切断処理を実施することができる限り、その素材に限定はなく、たとえば半導体ウエハ、ガラス基板、セラミック基板、ＦＰＣ等の有機材料基板、又は精密部品等の金属材料など種々の物品を挙げることができる。

レーザーは、波長及び位相が揃った光を発生させる装置であり、ＹＡＧ（基本波長＝１０６４ｎｍ）、もしくはルビー（基本波長＝６９４ｎｍ）などの固体レーザー、又はアルゴンイオンレーザー（基本波長＝１９３０ｎｍ）などの気体レーザーおよびこれらの高調波などが知られており、本発明ではそれらの種々のレーザーを用いることができる。

本発明においては、基材の最上層としてポリウレタンアクリレートフィルムを用いているため、基材にレーザー光が照射されても、基材の受ける損傷は小さく、また基材を透過してチャックテーブルにまで到達する光量は低減される。この結果、レーザーダイシングにおいて、レーザー光によるチャックテーブルの損傷およびダイシングシートのチャックテーブルへの融着が防止され、レーザーダイシングによるチップ体の製造工程が円滑に行われるようになる。また、基材の構成層として、ポリウレタンアクリレートフィルムに加えて形状復元性フィルムを使用しているため、シートのエキスパンド後の形状復元性が改善され、リングフレームの回収を円滑に行えるようになる。

（実施例）
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。

［形状復元性フィルムの応力除去後の歪み復元率］
形状復元性フィルムの応力除去後の歪み復元率は、以下の条件で行った。

応力除去後の歪み復元率（％）＝（ｌ_ｅ−ｌ_ｘ）／（ｌ_ｅ−ｌ_０） ×１００
ｌ_０：初期の長さ
ｌ_ｅ：伸長した長さ
ｌ_ｘ：復元後の長さ
フィルムを長さ140mm×幅15mm（厚さは実施例で用いられる厚さ）に切断し、２３℃湿度６５％の環境下で、掴み幅が100mm（ｌ_０）になるように引張り試験機に固定し、200mm/minの速度で掴み幅が150mm（ｌ_ｅ）になるまで伸長し、１分間保持した。その後、引張り試験機から外し、５分間静置した後にフィルムの長さ（ｌ_ｘ）を測定した。

基材がポリウレタンアクリレートフィルムまたは形状復元性フィルムのどちらかしかない場合、並びに、形状復元性フィルムに代えて別のフィルムを用いた場合には、そのフィルムの復元率を測定した。

なお、以下の実施例および比較例において、粘着剤として下記組成物を用いた。

［粘着剤組成物（１）］
ブチルアクリレート84重量部、メチルメタクリレート10重量部、アクリル酸1重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート5重量部からなる共重合体（重量平均分子量700,000）のトルエン30重量%溶液に対し、多価イソシアナート化合物（コロネートL（日本ポリウレタン社製））3重量部を混合し粘着剤組成物（１）を得た。

［粘着剤組成物（２）］
ブチルアクリレート90重量部、アクリル酸10重量部からなる共重合体（重量平均分子量600,000）のトルエン30重量%溶液に対し、多価イソシアナート化合物（コロネートL（日本ポリウレタン社製））1重量部を混合し粘着剤組成物（２）を得た。

また、レーザーダイシング条件およびダイシング結果の評価法を以下に示す。

［レーザーダイシング条件（１）］
・ 装置 ：Ｎｄ−ＹＡＧレーザー
・ チャックテーブル材質：石英
・ 波長 ：355nm（第３高調波）
・ 出力 ：5.5W
・ 繰り返し周波数 ：10kHz
・ パルス幅 ：35nsec
・ 照射回数 ：2回/1ライン
・ カット速度 ：200mm/sec
・ デフォーカス量 ：テープ表面上から+50μm（ウエハの表面上に焦点）
・ ウエハ材質 ：シリコン
・ ウエハ厚 ：50μm
・ ウエハサイズ ：6インチ
・ カットチップサイズ ：5mm□
・ ウエハの外にレーザーが走査する距離：5mm
［レーザーダイシング条件（２）］
・ 装置 ：Ｎｄ−ＹＡＧレーザー
・ チャックテーブル材質：石英
・ 波長 ：355nm（第３高調波）
・ 出力 ：8W
・ 繰り返し周波数 ：10kHz
・ パルス幅 ：35nsec
・ 照射回数 ：8回/1ライン
・ カット速度 ：150mm/sec
・ デフォーカス量 ：テープ表面上から+100μm（ウエハの表面上に焦点）
・ ウエハ材質 ：シリコン
・ ウエハ厚 ：100μm
・ ウエハサイズ ：6インチ
・ カットチップサイズ：5mm□
・ ウエハの外にレーザーが走査する距離：5mm
［切込深さ評価］
レーザーダイシングが終了した後にカットラインを断面観察し、粘着剤層を含むシート表面からの切込深さを計測した（観察部位はウエハが貼られていない、レーザーが直射される部分）。切断されてしまったものは「切断」と表記した。

［チャックテーブルの損傷］
レーザーダイシングが終了した後にテーブル表面を目視で観察し、損傷がないか確認した。テーブルに損傷がなかったものを「なし」とし、損傷があったものを「あり」とした。

［チャックテーブルへの融着］
レーザーダイシング後にレーザーダイシング装置内臓の搬送機構でダイシングテーブルからレーザーダイシングシート付きのウエハを取り出す際、搬送に問題がなかったものを融着「なし」とし、レーザーダイシングシートがテーブルに熱融着してスムーズな搬送が困難だったものを融着「あり」とした。

［エキスパンド性］
ウエハが貼られていないダイシングシートを２３℃湿度６５％の環境でNECマシナリー社製ダイボンダーCSP-100VXを用いて引き落とし量10mmでエキスパンドを試みた。エキスパンド可能であったものを「良好」、基材フィルムが強靭であるために装置が停止またはリングフレームからレーザーダイシングシートが脱落したものを「不良」とした。

［復元性］
エキスパンド状態で１分間保持し、装置から取り外し、５分間静置（２３℃、65％ＲＨ）した後、図１に示すように、リングフレームの下面に定義される平面と、レーザーダイシングシートとの最大距離（以下「たるみ量」）を計測した。たるみ量が8mm以下であるものを「良好」、8mmを超えるものを「不良」とした。

（実施例１）
2−ヒドロキシエチルアクリレート（2HEA）、4,4’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアナート（H₁₂MDI）および下記式で示されるポリエステルポリオール（Polyol:分子量826）を、2HEA：H₁₂MDI：Polyol＝2：4：3のモル比で用意した。始めにH₁₂MDIとポリエステルポリオールとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。

次いで、ウレタンアクリレート系オリゴマー５０重量部と、エネルギー線硬化性モノマー（イソボルニルアクリレート）５０重量部と、光開始剤（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製イルガキュア184）３重量部とを混合し、塗膜形成用のコーティング液を得た。

上記コーティング液をファウンテンダイ方式により、シリコーン剥離処理を行ったポリエチレンテレフタレート（PET）フィルム（リンテック社製SP-PET3801）上に厚みが50μｍとなるように塗工して樹脂組成物層を形成した。塗工直後に、樹脂組成物層の上に、同じシリコーン剥離処理を行ったPETフィルムをラミネートし、その後、高圧水銀ランプを用いて、照度250ｍW/cm²、光量600ｍＪ/cm²の条件でエネルギー線（紫外線）照射を行うことにより樹脂組成物層を架橋・硬化させて、厚さ50μｍのポリウレタンアクリレートフィルムを得た。

両面に積層された剥離フィルムは、後述する粘着剤層を転写する前に剥離した。

別に、粘着剤組成物（１）を、シリコーン剥離処理を行ったPETフィルム（リンテック社製SP-PET3801）上に乾燥膜厚が10μmとなるように塗布乾燥（100℃、1分間）し、PETフィルム上に粘着剤層（１）を形成した。

また別に、粘着剤組成物（２）を、シリコーン剥離処理を行ったPETフィルム（リンテック社製SP-PET3801）上に乾燥膜厚が10μmとなるように塗布乾燥（100℃、1分間）し、粘着剤層を60μm厚の直鎖状低密度ポリエチレンフィルム（形状復元性フィルム）上に転写して、粘着剤層（２）と直鎖状低密度ポリエチレンフィルムとの積層体を得た。

剥離フィルムを剥離したポリウレタンアクリレートフィルムの片面に、PETフィルム上の粘着剤層（１）を積層し、他面に直鎖状低密度ポリエチレンフィルム上の粘着剤層（２）を積層して、PETフィルム／粘着剤層（１）／ポリウレタンアクリレートフィルム／粘着剤層（２）／直鎖状低密度ポリエチレンフィルムの層構成を有するレーザーダイシングシートを得た。

粘着剤層（１）上のPETフィルム（リンテック社製SP-PET3801）を剥離して、50μm厚のシリコンウエハを貼付し「レーザーダイシング条件（１）」の条件でレーザーダイシングを行った。結果を表１に示す。

（実施例２）
2−ヒドロキシエチルアクリレート（2HEA）、イソホロンジイソシアナート（IPDI）およびポリプロピレングリコール（PPG：重量平均分子量2,000）を、2HEA：IPDI：PPG＝2：5：4のモル比で用意した。始めにIPDIとPPGとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。

次いで、ウレタンアクリレート系オリゴマー５０重量部と、エネルギー線硬化性モノマー（イソボルニルアクリレート）５０重量部と、光開始剤（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製ダロキュア1173）０．５重量部とを混合し、塗膜形成用のコーティング液を得た。

以下、得られたコーティング液を用いて実施例１と同様にしてポリウレタンアクリレートフィルムを製造した。

上記ポリウレタンアクリレートフィルムを用い、また形状復元性フィルムとして、厚さ60μｍのエチレン-メタクリル酸共重合体フィルム（メタクリル酸共重合体比率９重量％）を用いた以外は実施例１と同様の操作を行いレーザーダイシングシートを得た。結果を表１に示す。

（実施例３）
「レーザーダイシング条件（２）」の条件でレーザーダイシングを行った以外は実施例２と同様の操作を行った。結果を表１に示す。

（比較例１）
ポリウレタンアクリレートフィルムと形状復元性フィルムの積層フィルムに代えて、基材として厚さ100μmのエチレン-メタクリル酸共重合体フィルム（メタクリル酸共重合体比率９重量％）を用いた以外は、実施例１と同様の操作を行った。結果を表１に示す。

（比較例２）
ポリウレタンアクリレートフィルムと形状復元性フィルムの積層フィルムに代えて、基材として厚さ100μmのPET（ポリエチレンテレフタレート）フィルムを用いた以外は、実施例１と同様の操作を行った。結果を表１に示す。

（比較例３）
形状復元性フィルムとしてのエチレン-メタクリル酸共重合体フィルム（メタクリル酸共重合体比率９重量％）を積層せず、ポリウレタンアクリレートフィルムの厚さを１００μｍに変更した以外は実施例２と同様の操作を行いレーザーダイシングシートを得た。結果を表１に示す。

（比較例４）
形状復元性フィルムに代えて、厚さ５０μｍの実施例１のポリウレタンアクリレートフィルムを用いた以外は実施例２と同様の操作を行いレーザーダイシングシートを得た。結果を表１に示す。

（比較例５）
形状復元性フィルムに代えて、厚さ５０μｍのPETフィルムを用いた以外は実施例２と同様の操作を行いレーザーダイシングシートを得た。結果を表１に示す。

※基材がポリウレタンアクリレートフィルムまたは形状復元性フィルムのどちらかしかない場合、並びに、形状復元性フィルムに代えて別のフィルムを用いた場合には、そのフィルムの復元率を測定した。

実施例１〜３のレーザーダイシングシートは、切断されることもなく、チャックテーブルの損傷およびチャックテーブルへの融着もみられなかった。また、エキスパンド性および復元性も良好であった。比較例１および２のレーザーダイシングシートは、ポリウレタンアクリレートフィルムからなる層を有していないので、チャックテーブルの損傷およびチャックテーブルへの融着がみられた。比較例３のレーザーダイシングシートは、形状復元性フィルムからなる層を有しないので復元性が不良であった。比較例４のレーザーダイシングシートは、本発明の形状復元性フィルムからなる層を有しないので復元性が不良であった。比較例２および５のレーザーダイシングシートは、本発明の形状復元性フィルムからなる層を有しないのでレーザーダイシングシートがリングフレームから脱落しエキスパンドができなかった。

実施例において評価した「たるみ量」を説明する図面である。

Claims (8)

1. ポリウレタンアクリレートフィルムと形状復元性フィルムとからなる基材と、該基材のポリウレタンアクリレートフィルム表面に形成された粘着剤層とからなり、
   前記形状復元性フィルムが、低密度ポリエチレンフィルム、直鎖状低密度ポリエチレンフィルム、軟質化ポリプロピレンフィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルムまたはエチレン・酢酸ビニル共重合体フィルムであるレーザーダイシングシート。
2. 基材を構成するポリウレタンアクリレートフィルムが、エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーとエネルギー線硬化性モノマーとを含有する配合物にエネルギー線を照射して得られる硬化物である請求項1に記載のレーザーダイシングシート。
3. エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーが、ポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーである請求項２に記載のレーザーダイシングシート。
4. ポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーのエーテル結合部が、アルキレンオキシ基（-(-R-O-)n-：ただしＲはアルキレン基であり、ｎは２〜２００の整数）である請求項３に記載のレーザーダイシングシート。
5. アルキレンオキシ基（-(-R-O-)n-）のアルキレン基Ｒが、炭素数１〜６のアルキレン基である請求項４に記載のレーザーダイシングシート。
6. アルキレンオキシ基（-(-R-O-)n-）のアルキレン基Ｒが、エチレン、プロピレン、ブチレンまたはテトラメチレンである請求項５に記載のレーザーダイシングシート。
7. 形状復元性フィルムの応力除去後の歪み復元率が、８０〜１００％である請求項１〜６の何れかに記載のレーザーダイシングシート。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載のレーザーダイシングシートの粘着剤層にワークを貼付し、
   レーザー光によりワークを個片化してチップを作製し、
   レーザーダイシングシートをエキスパンドしてチップ間隔を離間し、
   チップをピックアップする、チップ体の製造方法。

Images