JP5367990B2 - レーザーダイシングシートおよびチップ体の製造方法 - Google Patents
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Description
(7)前記粘着剤層の25℃における貯蔵弾性率が1×104〜1×107Paである(1)に記載のレーザーダイシングシート。
レーザー光によりワークを個片化してチップを作製する、チップ体の製造方法。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
・ 装置 :Nd−YAGレーザー
・ チャックテーブル材質:石英
・ 波長 :355nm(第3高調波)
・ 出力 :5.5W
・ 繰り返し周波数 :10kHz
・ パルス幅 :35nsec
・ 照射回数 :2回/1ライン
・ カット速度 :200mm/sec
・ デフォーカス量 :テープ表面上から+50μm(ウエハの表面上に焦点)
・ ウエハ材質 :シリコン
・ ウエハ厚 :50μm
・ ウエハサイズ :6インチ
・ カットチップサイズ :5mm□
・ ウエハ外にレーザー光が走査する距離:5mm
[切込深さ評価]
レーザーダイシングが終了した後にカットラインを断面観察し、粘着剤層の切込深さを計測した(観察部位はウエハが貼られていない、レーザーが直射される部分)。粘着剤層が切断されてしまったものは「切断」と表記した。
レーザーダイシングが終了した後にテーブル表面を目視で観察し、損傷がないか確認した。テーブルに損傷がなかったものを「A」、損傷があったものを「B」とした。
レーザーダイシング後に、プッシュプルゲージ(1ピン)でチップのピックアップを行った。チップを問題なくピックアップできた場合を「A」とし、チップをピックアップできなかったものを「B」とした。
実施例および比較例に記載した粘着剤について、シリコーン剥離処理を行った2枚のポリエチレンテレフタレートフィルム(剥離フィルム)で挟まれた粘着剤層を得た。片方の剥離フィルムを剥がし、粘着剤層が重なるように積層を繰り返し、厚みが4mmの粘着剤を得た。直径8mmの円柱形に型抜きして弾性率測定用の試料を作製した。両側の剥離フィルムを剥がし、この試料の25℃における貯蔵弾性率を、粘弾性測定装置(REOMETRIC社製DYNAMIC ANALYZER RDA-II)を用いて測定した。
2−ヒドロキシエチルアクリレート(2HEA)、イソホロンジイソシアナート(IPDI)およびポリプロピレングリコール(PPG:重量平均分子量2,000)を、2HEA:IPDI:PPG=2:7:6のモル比で用意した。始めにIPDIとPPGとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
2−ヒドロキシエチルアクリレート(2HEA)、ヘキサヒドロキシレンジイソシアネート(H6XDI)、ポリエチレングリコール(PEG:重量平均分子量4,000)およびポリプロピレングリコール(PPG:重量平均分子量4,000)を2HEA:H6XDI:PEG:PPG=2:7:3:3のモル比で用意した。始めにH6XDIとPEGとPPGとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
エチレングリコールとプロピレングリコールとを7:3のモル比で用意し、共重合してポリエーテル系ジオール(Diol:重量平均分子量3,500)を得た。
基材に下記ポリウレタンアクリレートフィルムを用いた以外は実施例1と同様にしてレーザーダイシングシートを得た。ポリウレタンアクリレートフィルムは、2−ヒドロキシエチルアクリレート(2HEA)、イソホロンジイソシアナート(IPDI)およびポリプロピレングリコール(PPG:重量平均分子量400)を2HEA:IPDI:PPG=2:4:3のモル比で用意した。始めにIPDIとPPGとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
ブチルアクリレート84重量部、メチルメタクリレート10重量部、アクリル酸1重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート5重量部からなる共重合体(重量平均分子量700,000)のトルエン30重量%溶液に対し、多価イソシアナート化合物(コロネートL(日本ポリウレタン社製))3重量部を混合し粘着剤組成物を得た。
ブチルアクリレート90重量部、アクリル酸10重量部からなる共重合体(重量平均分子量600,000)のトルエン30重量%溶液に対し、多価イソシアナート化合物(コロネートL(日本ポリウレタン社製))1重量部を混合し粘着剤組成物を得た。
2−ヒドロキシエチルアクリレート(2HEA)、イソホロンジイソシアナート(IPDI)およびポリプロピレングリコール(PPG:重量平均分子量400)を2HEA:IPDI:PPG=2:3:2のモル比で用意した。始めにIPDIとPPGとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
Claims (3)
- 基材と、その片面に形成されたポリウレタンアクリレートからなる粘着剤層とからなり、
粘着剤層を構成するポリウレタンアクリレートが、エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーとエネルギー線硬化性モノマーとを含有する配合物にエネルギー線を照射して得られ、
前記粘着剤層の25℃における貯蔵弾性率が1×10 4 〜1×10 7 Paであるレーザーダイシングシート。 - エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーが、ポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーである請求項1に記載のレーザーダイシングシート。
- 請求項1または2に記載のレーザーダイシングシートの粘着剤層にワークを貼付し、
レーザー光によりワークを個片化してチップを作製する、チップ体の製造方法。
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