JP5059558B2 - レーザーダイシングシートおよびチップ体の製造方法 - Google Patents
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Description
(7)上記(1)〜(6)のいずれかに記載のレーザーダイシングシートの粘着剤層にワークを貼付し、
レーザー光によりワークを個片化してチップを作製する、チップ体の製造方法。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
ブチルアクリレート84重量部、メチルメタクリレート10重量部、アクリル酸1重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート5重量部からなる共重合体(重量平均分子量700,000)のトルエン30重量%溶液に対し、多価イソシアナート化合物(コロネートL(日本ポリウレタン社製))3重量部を混合し粘着剤組成物(1)を得た。
・ 装置 :Nd−YAGレーザー
・ チャックテーブル材質:石英
・ 波長 :355nm(第3高調波)
・ 出力 :5.5W
・ 繰り返し周波数 :10kHz
・ パルス幅 :35nsec
・ 照射回数 :2回/1ライン
・ カット速度 :200mm/sec
・ デフォーカス量 :テープ表面上から+50μm(ウエハの表面上に焦点)
・ ウエハ材質 :シリコン
・ ウエハ厚 :50μm
・ ウエハサイズ :6インチ
・ カットチップサイズ :5mm□
・ ウエハの外にレーザーが走査する距離:5mm
[レーザーダイシング条件(2)]
・ 装置 :Nd−YAGレーザー
・ チャックテーブル材質:石英
・ 波長 :355nm(第3高調波)
・ 出力 :8W
・ 繰り返し周波数 :10kHz
・ パルス幅 :35nsec
・ 照射回数 :8回/1ライン
・ カット速度 :150mm/sec
・ デフォーカス量 :テープ表面上から+100μm(ウエハの表面上に焦点)
・ ウエハ材質 :シリコン
・ ウエハ厚 :100μm
・ ウエハサイズ :6インチ
・ カットチップサイズ :5mm□
・ ウエハの外にレーザーが走査する距離:5mm
[切込深さ評価]
レーザーダイシングが終了した後にカットラインを断面観察し、粘着剤層を含むシート表面からの切込深さを計測した(観察部位はウエハが貼られていない、レーザーが直射される部分)。シートが完全に切断されてしまったものは「切断」と表記した。
レーザーダイシングが終了した後にテーブル表面を目視で観察し、損傷がないか確認した。テーブルに損傷がなかったものを「なし」とし、損傷があったものを「あり」とした。
レーザーダイシング後にレーザーダイシング装置内臓の搬送機構でダイシングテーブルからレーザーダイシングシート付きのウエハを取り出す際、搬送に問題がなかったものを融着「なし」とし、レーザーダイシングシートがテーブルに熱融着してスムーズな搬送が困難だったものを融着「あり」とした。
2−ヒドロキシエチルアクリレート(2HEA)、4,4’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアナート(H12MDI)および下記式で示されるポリエステルポリオール(Polyol:分子量826)を、2HEA:H12MDI:Polyol=2:4:3のモル比で用意した。始めにH12MDIとポリエステルポリオールとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
2−ヒドロキシエチルアクリレート(2HEA)、イソホロンジイソシアナート(IPDI)およびポリテトラメチレングリコール(PTMG:重量平均分子量2,000)を、2HEA:IPDI:PTMG=2:5:4のモル比で用意した。始めにIPDIとPTMGとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
2−ヒドロキシエチルアクリレート(2HEA)、イソホロンジイソシアナート(IPDI)およびポリプロピレングリコール(PPG: 重量平均分子量2,000)を、2HEA:IPDI:PPG=2:5:4のモル比で用意した。始めにIPDIとPPGとを反応させ、得られた反応生成物に、2HEAを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
「レーザーダイシング条件(2)」の条件でレーザーダイシングを行った以外は実施例3と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)、ポリプロピレングリコール(PPG:重量平均分子量2,000)を、MOI:PPG=2:1のモル比で用意した。PPGにMOIを付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
基材フィルムとして、厚さ100μmのポリ塩化ビニルフィルム(可塑剤としてジオクチルフタレートを25重量%含有)を用いた以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
基材フィルムとして、厚さ100μmのエチレン-メタクリル酸共重合体フィルム(メタクリル酸共重合比率9重量%)を用いた以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
Claims (5)
- ポリウレタンアクリレートからなる基材と、その片面に形成された粘着剤層とからなるレーザーダイシングシートであって、
前記基材を構成するポリウレタンアクリレートが、エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーとエネルギー線硬化性モノマーとを含有する配合物にエネルギー線を照射して得られる硬化物であり、
前記エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーが、ポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーであるレーザーダイシングシート。 - ポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーのエーテル結合部が、アルキレンオキシ基(-(-R-O-)n-:ただしRはアルキレン基であり、nは2〜200の整数)である請求項1に記載のレーザーダイシングシート。
- アルキレンオキシ基(-(-R-O-)n-)のアルキレン基Rが、炭素数1〜6のアルキレン基である請求項2に記載のレーザーダイシングシート。
- アルキレンオキシ基(-(-R-O-)n-)のアルキレン基Rが、エチレン、プロピレン、ブチレンまたはテトラメチレンである請求項3に記載のレーザーダイシングシート。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のレーザーダイシングシートの粘着剤層にワークを貼付し、
レーザー光によりワークを個片化してチップを作製する、チップ体の製造方法。
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