JP5058717B2 - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

液体吐出ヘッドおよびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5058717B2
JP5058717B2 JP2007222486A JP2007222486A JP5058717B2 JP 5058717 B2 JP5058717 B2 JP 5058717B2 JP 2007222486 A JP2007222486 A JP 2007222486A JP 2007222486 A JP2007222486 A JP 2007222486A JP 5058717 B2 JP5058717 B2 JP 5058717B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
piezoelectric
lower electrode
ink
pressure chambers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007222486A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2008087471A5 (enrdf_load_stackoverflow
JP2008087471A (ja
Inventor
博之 徳永
宏一郎 中西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2007222486A priority Critical patent/JP5058717B2/ja
Publication of JP2008087471A publication Critical patent/JP2008087471A/ja
Publication of JP2008087471A5 publication Critical patent/JP2008087471A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5058717B2 publication Critical patent/JP5058717B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
JP2007222486A 2006-09-08 2007-08-29 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 Active JP5058717B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007222486A JP5058717B2 (ja) 2006-09-08 2007-08-29 液体吐出ヘッドおよびその製造方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006244150 2006-09-08
JP2006244150 2006-09-08
JP2007222486A JP5058717B2 (ja) 2006-09-08 2007-08-29 液体吐出ヘッドおよびその製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2008087471A JP2008087471A (ja) 2008-04-17
JP2008087471A5 JP2008087471A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2010-10-07
JP5058717B2 true JP5058717B2 (ja) 2012-10-24

Family

ID=39372094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007222486A Active JP5058717B2 (ja) 2006-09-08 2007-08-29 液体吐出ヘッドおよびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5058717B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012196873A (ja) * 2011-03-22 2012-10-18 Seiko Epson Corp 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置
JP5664410B2 (ja) * 2011-03-30 2015-02-04 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド
JP5626250B2 (ja) * 2012-03-30 2014-11-19 ブラザー工業株式会社 液滴噴射装置及び圧電アクチュエータ
JP6698383B2 (ja) * 2016-03-08 2020-05-27 富士フイルム株式会社 圧電素子
JP2018167576A (ja) * 2017-03-29 2018-11-01 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
JP6945058B2 (ja) 2017-10-19 2021-10-06 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. 流体ダイ

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3473610B2 (ja) * 1992-04-23 2003-12-08 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
JP3451623B2 (ja) * 1996-10-28 2003-09-29 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JPH10166571A (ja) * 1996-12-09 1998-06-23 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JPH11300961A (ja) * 1998-04-17 1999-11-02 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
JP3738804B2 (ja) * 1998-07-22 2006-01-25 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
JP2003163387A (ja) * 2001-11-29 2003-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 強誘電体素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット式記録装置
JP4344929B2 (ja) * 2004-01-29 2009-10-14 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2006281777A (ja) * 2005-03-08 2006-10-19 Fuji Xerox Co Ltd 液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008087471A (ja) 2008-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100892197B1 (ko) 액추에이터 장치 및 액체 분사 헤드
JPH10286953A (ja) インクジェット記録装置とその製造方法
JP5058717B2 (ja) 液体吐出ヘッドおよびその製造方法
US7963640B2 (en) Liquid discharge head and method for manufacturing the liquid discharge head
JP2019166677A (ja) 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP5737535B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2008055871A (ja) 圧電体素子
JP5382323B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5098656B2 (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法
JP2006044083A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド
JP2012106342A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5737534B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2009160923A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置
JP2009061729A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2009029012A (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2010000728A (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエータ
JP5038065B2 (ja) 液体吐出ヘッド及びその製造方法
JP2005219243A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド
JP2008062451A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
JP3666506B2 (ja) インクジェット記録装置の製造方法
JP3826587B2 (ja) インクジェットヘッドの駆動装置
JP2008087271A (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法
JP3377766B2 (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JP4985943B2 (ja) 液体噴射ヘッドの製造方法
JP5382324B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100823

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100823

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120308

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120321

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120521

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120703

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120801

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5058717

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810

Year of fee payment: 3