JP2008087471A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012196873A (ja) * 2011-03-22 2012-10-18 Seiko Epson Corp 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置
JP5664410B2 (ja) * 2011-03-30 2015-02-04 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド
JP5626250B2 (ja) * 2012-03-30 2014-11-19 ブラザー工業株式会社 液滴噴射装置及び圧電アクチュエータ
JP6698383B2 (ja) * 2016-03-08 2020-05-27 富士フイルム株式会社 圧電素子
JP2018167576A (ja) * 2017-03-29 2018-11-01 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
JP6945058B2 (ja) 2017-10-19 2021-10-06 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー．Ｈｅｗｌｅｔｔ‐Ｐａｃｋａｒｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｃｏｍｐａｎｙ， Ｌ．Ｐ． 流体ダイ

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3473610B2 (ja) * 1992-04-23 2003-12-08 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置
JP3451623B2 (ja) * 1996-10-28 2003-09-29 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JPH10166571A (ja) * 1996-12-09 1998-06-23 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド
JPH11300961A (ja) * 1998-04-17 1999-11-02 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
JP3738804B2 (ja) * 1998-07-22 2006-01-25 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
JP2003163387A (ja) * 2001-11-29 2003-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 強誘電体素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット式記録装置
JP4344929B2 (ja) * 2004-01-29 2009-10-14 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2006281777A (ja) * 2005-03-08 2006-10-19 Fuji Xerox Co Ltd 液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置

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