JP5040346B2 - Method for manufacturing printed wiring board - Google Patents

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Description

本発明は、表面実装部品、特にベアチップ等の電子部品を実装するプリント配線板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board on which surface-mounted components, particularly electronic components such as bare chips, are mounted.

最近の情報、通信端末を中心とした電子機器の高機能化と小型、軽量化の要求により、半導体の高集積化および高速化技術が急速に進展している。   Due to recent demands for higher functionality, smaller size, and lighter electronic devices such as information terminals and communication terminals, high integration and high speed technologies for semiconductors are rapidly progressing.

そのため、これら小型化、軽量化を達成するためのベアチップ等の電子部品を実装するプリント配線板に対しても高密度配線および高密度実装が可能な製品が求められている。   For this reason, products capable of high-density wiring and high-density mounting are also demanded for printed wiring boards on which electronic components such as bare chips for achieving miniaturization and weight reduction are mounted.

高密度配線および高密度実装を可能とするためにプリント配線板は配線層の線幅、線間幅を小さくするとともに、配線層間の接続に用いられるビアホールにおいても、より小さいビアホール径が要求されている。これらの要求を満たすプリント配線板としてビルドアップ法を用いた多層プリント配線板が実用化され普及している。   In order to enable high-density wiring and high-density mounting, printed wiring boards are required to reduce the wiring layer line width and line-to-line width, and also to make smaller via hole diameters for via holes used for connection between wiring layers. Yes. As a printed wiring board that satisfies these requirements, a multilayer printed wiring board using a build-up method has been put into practical use and is widely used.

ビルドアッププリント配線板の製造方法の一例を図6、図7に示す。   An example of a method for manufacturing a build-up printed wiring board is shown in FIGS.

まず、銅張積層板32の両面にフォトプロセスおよびエッチングにより両面に配線パターン33、34を形成した内層基板30を作製する{図6(a)参照}。   First, the inner substrate 30 having the wiring patterns 33 and 34 formed on both sides of the copper-clad laminate 32 by a photo process and etching is prepared {see FIG. 6A}.

次に、内層基板30の表裏の面に絶縁基材35と銅はく36を積層し真空熱プレス機で加熱加圧して4層基板31を作製する{図6(b)参照}。   Next, the insulating base material 35 and the copper foil 36 are laminated on the front and back surfaces of the inner layer substrate 30 and heated and pressed with a vacuum hot press machine to produce a four-layer substrate 31 {see FIG. 6B}.

次に、表裏の銅はく36の所定位置にフォトプロセスおよびエッチングにより絶縁基材35が露出するよう開口部37が設けられたコンフォーマルマスク38を形成する{図6(c)参照}。   Next, a conformal mask 38 having an opening 37 is formed at a predetermined position of the front and back copper foils 36 by a photo process and etching so that the insulating base 35 is exposed {see FIG. 6 (c)}.

次に、開口部37が設けられたコンフォーマルマスク38をマスクにしてレーザを照射し層間接続ビアホールとなる穴39をあける{図6(d)参照}。なおレーザ穴あけ後の穴39の底面となる内層の配線パターン33の上面には絶縁樹脂の残渣が付着していることがあるため、(過マンガン酸カリウム等の薬品により)穴内を洗浄する。   Next, the conformal mask 38 provided with the opening 37 is used as a mask to irradiate a laser to open a hole 39 serving as an interlayer connection via hole {see FIG. 6 (d)}. Since the residue of the insulating resin may adhere to the upper surface of the inner wiring pattern 33 which becomes the bottom surface of the hole 39 after laser drilling, the inside of the hole is cleaned (by chemicals such as potassium permanganate).

次に、内層の配線パターンと外層の配線パターンとの層間接続をとるため、銅めっき層を形成する。まず、4層基板31の表裏全面とビアホール用の穴39の内面に無電解銅めっき層40を形成して、導電性を付与する{図6(e)参照}。そして、無電解銅めっき層40の上に電解銅めっき層41を形成する{図6(f)参照}。   Next, a copper plating layer is formed in order to establish an interlayer connection between the inner layer wiring pattern and the outer layer wiring pattern. First, the electroless copper plating layer 40 is formed on the entire front and back surfaces of the four-layer substrate 31 and the inner surface of the hole 39 for via holes to impart conductivity {see FIG. 6 (e)}. Then, an electrolytic copper plating layer 41 is formed on the electroless copper plating layer 40 {see FIG. 6 (f)}.

次に、層間接続された4層基板31の表裏の面に対してフォトプロセスによりエッチングレジスト42を形成する{図7(g)参照}。そして塩化第二銅などのエッチング液により不要な銅層を除去してビアホール43と外層の配線パターン44を形成した後、水酸化ナトリウムなどの溶液によりエッチングレジスト42を剥離する{図7(h)参照}。   Next, an etching resist 42 is formed on the front and back surfaces of the four-layer substrate 31 connected between the layers by a photo process {see FIG. 7G}. Then, an unnecessary copper layer is removed with an etchant such as cupric chloride to form the via hole 43 and the outer wiring pattern 44, and then the etching resist 42 is peeled off with a solution such as sodium hydroxide {FIG. 7 (h) reference}.

その後、必要に応じて4層基板31の表面に電子部品実装部分を残してソルダレジスト45を塗布することもある{図7(i)参照}。   Thereafter, a solder resist 45 may be applied on the surface of the four-layer substrate 31 as needed, leaving the electronic component mounting portion {see FIG. 7 (i)}.

最後に仕上げ処理として、電子部品実装の際、接続電極となるランドパターン等の銅露出部分を防錆することを目的として金めっき処理または水溶性耐熱プリフラックス処理を施す。   Finally, as a finishing process, a gold plating process or a water-soluble heat-resistant preflux process is performed for the purpose of rust-proofing the exposed copper portion of the land pattern or the like serving as a connection electrode when mounting an electronic component.

図7(j)には金めっき処理を示しており、まず、銅露出部分に無電解ニッケルめっき層46、さらにその上に無電解金めっき層47を形成し4層のビルドアッププリント配線板を得ることができる。   FIG. 7 (j) shows a gold plating process. First, an electroless nickel plating layer 46 is formed on the exposed copper portion, and an electroless gold plating layer 47 is further formed thereon to form a four-layer build-up printed wiring board. Obtainable.

また、ビルドアッププリント配線板の他の製造方法の例を図8、図9に示す。   Moreover, the example of the other manufacturing method of a buildup printed wiring board is shown in FIG. 8, FIG.

この方法では、まず、前記の図6で説明した方法と同様にして銅張り積層板32の両面にフォトプロセスおよびエッチングにより両面に配線パターン33、34を形成した内層基板30を作製する{図8(a)参照}。   In this method, first, in the same manner as the method described with reference to FIG. 6, the inner substrate 30 having the wiring patterns 33 and 34 formed on both sides of the copper-clad laminate 32 by photo process and etching is prepared {FIG. 8 (A) Reference}.

次に、内層基板30の表裏の面に絶縁樹脂層48を形成する{図8(b)参照}。この絶縁樹脂層48の形成方法としては熱硬化性樹脂を主成分とする材料を用い、カーテンコータ、スロットコータ、スクリーン印刷等の工法により内層基板30の表裏の面に塗布した後、熱硬化炉で樹脂を硬化して形成することができる。なお、絶縁樹脂層として光硬化性の感光性樹脂を用いた場合はフォトプロセスによりフォトビアホールを一括で作製することもできる。   Next, an insulating resin layer 48 is formed on the front and back surfaces of the inner layer substrate 30 {see FIG. 8B}. The insulating resin layer 48 is formed using a material mainly composed of a thermosetting resin, applied to the front and back surfaces of the inner layer substrate 30 by a method such as curtain coater, slot coater, or screen printing, and then a thermosetting furnace. Can be formed by curing the resin. In the case where a photo-curable photosensitive resin is used as the insulating resin layer, photo via holes can also be manufactured in a batch by a photo process.

次に、絶縁樹脂層48の表面の所定位置に直接レーザを照射し、層間接続ビアホールとなる穴39をあける{図8(c)参照}。   Next, a laser is directly irradiated to a predetermined position on the surface of the insulating resin layer 48 to form a hole 39 serving as an interlayer connection via hole {see FIG. 8C}.

前記の図6で説明したコンフォーマルマスクを使用してレーザ加工する場合、レーザのビーム径はコンフォーマルマスクの開口径より若干大きくしていた。これはレーザ加工後のビアホールの位置精度と仕上がり径はコンフォーマルマスクの開口部の位置精度と仕上がり径に依存することからレーザ加工のビーム径と位置精度には余裕度をもたせることができるからである。   When laser processing is performed using the conformal mask described with reference to FIG. 6, the beam diameter of the laser is slightly larger than the opening diameter of the conformal mask. This is because the position accuracy and finish diameter of the via hole after laser processing depend on the position accuracy and finish diameter of the opening of the conformal mask, so that a margin can be given to the beam diameter and position accuracy of laser processing. is there.

しかし、この製造方法においては、コンフォーマルマスクを使用せずにレーザを直接、絶縁樹脂層48に照射するため、レーザ加工の位置と穴径は高い精度が要求される。   However, since this manufacturing method directly irradiates the insulating resin layer 48 with a laser without using a conformal mask, the laser processing position and hole diameter are required to have high accuracy.

次に、内層の配線パターンと外層の配線パターンとの層間接続をとるため、銅めっき層を形成する。まず、レーザ穴あけ後の穴39の底面に付着している絶縁樹脂の残渣を洗浄除去する。   Next, a copper plating layer is formed in order to establish an interlayer connection between the inner layer wiring pattern and the outer layer wiring pattern. First, the insulating resin residue adhering to the bottom surface of the hole 39 after laser drilling is washed away.

次に、表面が粗面化された絶縁樹脂層48とビアホール用の穴39の内面に無電解銅めっき層40を形成して、導電性を付与し{図8(d)参照}、無電解銅めっき層40の上に電解銅めっき層41を形成する{図8(e)参照}。   Next, the electroless copper plating layer 40 is formed on the inner surface of the insulating resin layer 48 whose surface is roughened and the hole 39 for the via hole to impart conductivity {see FIG. 8 (d)}. An electrolytic copper plating layer 41 is formed on the copper plating layer 40 {see FIG. 8 (e)}.

次に、層間接続された4層基板31の表裏の面に対してフォトプロセスによりエッチングレジスト42を形成する{図9(f)参照}。そして塩化第二銅などのエッチング液により不要な銅層を除去してビアホール43と外層の配線パターン44を形成した後、水酸化ナトリウムなどの溶液によりエッチングレジスト42を剥離する{図9(g)参照}。   Next, an etching resist 42 is formed on the front and back surfaces of the four-layer substrate 31 connected between the layers by a photo process {see FIG. 9F}. Then, an unnecessary copper layer is removed with an etchant such as cupric chloride to form the via hole 43 and the outer wiring pattern 44, and then the etching resist 42 is peeled off with a solution of sodium hydroxide or the like {FIG. 9 (g) reference}.

その後、必要に応じて4層基板31の表面に電子部品実装部分を残してソルダレジスト45を塗布することもある{図9(h)参照}。   Thereafter, if necessary, the solder resist 45 may be applied to the surface of the four-layer board 31 leaving the electronic component mounting portion {see FIG. 9 (h)}.

最後に仕上げ処理として、電子部品実装の際、接続電極となるランドパターン等の銅露出部分を防錆することを目的として金めっき処理または水溶性耐熱プリフラックス処理を施す。{図9(i)}には金めっき処理を示しており、まず、銅露出部分に無電解ニッケルめっき層46、さらにその上に無電解金めっき層47を形成し4層のビルドアッププリント配線板を得ることができる。   Finally, as a finishing process, a gold plating process or a water-soluble heat-resistant preflux process is performed for the purpose of rust-proofing the exposed copper portion of the land pattern or the like serving as a connection electrode when mounting an electronic component. {FIG. 9 (i)} shows a gold plating process. First, an electroless nickel plating layer 46 is formed on a copper exposed portion, and an electroless gold plating layer 47 is further formed thereon, thereby forming a four-layer build-up printed wiring. A board can be obtained.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献資料としては、例えば、特許文献1が知られている。
特公平4−3676号公報
As a prior art document related to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
Japanese Patent Publication No. 4-3676

図6、7で説明したプリント配線板は外層の配線パターン44を形成する際、銅はく36と無電解銅めっき層40および電解銅めっき層41の和がエッチング代となり、エッチング代が厚い。そのため微細配線の形成が困難であり、今後要求される高密度配線および高密度実装には充分対応できないという問題があった。   6 and 7, when forming the outer layer wiring pattern 44, the sum of the copper foil 36, the electroless copper plating layer 40, and the electrolytic copper plating layer 41 becomes an etching allowance, and the etching allowance is thick. Therefore, it is difficult to form fine wiring, and there is a problem that it cannot sufficiently cope with high-density wiring and high-density mounting that will be required in the future.

また、図8、9で説明したプリント配線板は外層の配線パターン44を形成する際、無電解銅めっき層40と電解銅めっき層41がエッチング代であり、銅はくは使用していないため、エッチング代が薄い。そのため微細配線の形成が可能であり、プリント配線板の高密度化には有利である。   8 and 9, when forming the outer layer wiring pattern 44, the electroless copper plating layer 40 and the electrolytic copper plating layer 41 are used for etching, and copper foil is not used. The etching cost is thin. Therefore, fine wiring can be formed, which is advantageous for increasing the density of the printed wiring board.

しかしながら、この工法で形成された外層の配線パターン44およびビアホール43は無電解銅めっき層40と電解銅めっき層41からなるものであり、無電解銅めっき層40は絶縁樹脂層48の表面に直接形成されていることから、外層の配線パターン44およびビアホール43は絶縁樹脂層48との接合力が低く、剥がれやすい。   However, the outer layer wiring pattern 44 and via hole 43 formed by this method are composed of the electroless copper plating layer 40 and the electrolytic copper plating layer 41, and the electroless copper plating layer 40 is directly on the surface of the insulating resin layer 48. Since it is formed, the outer wiring pattern 44 and the via hole 43 have a low bonding force with the insulating resin layer 48 and are easily peeled off.

特に、外層の配線パターンおよびビアホールのうち電子部品が実装された実装用のランドパターンは、衝撃や電子部品交換時の補修などで剥がれやすくなるという問題があった。   In particular, the wiring pattern of the outer layer and the mounting land pattern on which the electronic component is mounted out of the via hole have a problem of being easily peeled off due to impact or repair at the time of electronic component replacement.

本発明は上記問題点を解決するものであり、微細配線の形成を可能とし、かつ、電子部品実装用のランドパターンの接合力を低下させることのないプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described problems, and provides a method for manufacturing a printed wiring board that enables formation of fine wiring and does not reduce the bonding force of a land pattern for mounting electronic components. Objective.

上記目的を達成するために、本発明のプリント配線板の製造方法は、内層配線パターンを有する内層基板に絶縁基材と銅はくあるいは樹脂付き銅はくを積層し加熱加圧する工程と、前記銅はくに開口部を有するコンフォーマルマスクおよび外層配線パターンを形成する工程と、前記開口部にレーザーを照射し絶縁基材に層間接続ビアホール用の穴をあける工程と、前記穴内を洗浄するとともに表層を粗面化する工程と、前記穴内を除いて外層配線パターンを選択的に被覆するソルダレジスト形成工程と、前記穴内および前記ソルダレジスト上を含む表裏全面に導電層を形成する工程と、選択的にエッチングレジストを形成する工程と、前記エッチングレジストの非形成部に露出した前記導電層及び前記ソルダレジスト上に形成された前記導電層をエッチングにより除去する工程と、前記エッチングレジストを剥離する工程とを備えることを特徴とするというものである。これにより、高密度基板やベアチップ実装用基板において、微細配線の形成が可能で、かつ、電子部品実装用のランドパターンの接合力も低下することのないプリント配線板の製造方法を提供することができる。 In order to achieve the above object, the printed wiring board manufacturing method of the present invention includes a step of laminating an insulating base material and copper foil or resin-coated copper foil on an inner layer substrate having an inner layer wiring pattern, and heating and pressurizing, A step of forming a conformal mask having an opening in the copper foil and an outer layer wiring pattern; a step of irradiating the opening with a laser to form a hole for an interlayer connection via hole in the insulating substrate; and cleaning the inside of the hole and a surface layer and a step of roughening the solder resist forming step of selectively covering the outer layer wiring pattern except for the hole, forming a conductive layer on the front and back over the entire surface including the hole and the solder resist above, selective step and the conductive formed on the said conductive layer is exposed to the non-formation portion of the etching resist and on the solder resist forming an etching resist And removing by etching, it is that characterized by comprising a step of removing the etching resist. As a result, it is possible to provide a method for manufacturing a printed wiring board that can form fine wiring on a high-density substrate or a bare chip mounting substrate and that does not reduce the bonding force of land patterns for mounting electronic components. .

また、本発明のプリント配線板の製造方法は、内層配線パターンを有する内層基板に絶縁基材と銅はくあるいは樹脂付き銅はくを積層し加熱加圧する工程と、前記銅はくに開口部を有するコンフォーマルマスクおよび外層配線パターンを形成する工程と、前記開口部にレーザーを照射し絶縁基材に層間接続ビアホール用の穴をあける工程と、前記穴内を洗浄するとともに表層を粗面化する工程と、前記穴内を除いて外層配線パターンを選択的に被覆するソルダレジスト形成工程と、前記穴内および前記ソルダレジスト上を含む表裏全面に導電層を形成する工程と、前記導電層が形成された穴に穴埋め用樹脂を充填する工程と、前記ソルダレジストに形成された前記導電層を除去する工程とを備えることを特徴とするというものである。これにより、高密度基板やベアチップ実装用基板において、微細配線の形成が可能で、かつ、電子部品実装用のランドパターンの接合力も低下することのないプリント配線板の製造方法を提供することができる。 The printed wiring board manufacturing method of the present invention includes a step of laminating an insulating base material and copper foil or resin-coated copper foil on an inner layer substrate having an inner layer wiring pattern and heating and pressing, and an opening in the copper foil. A step of forming a conformal mask and an outer layer wiring pattern, a step of irradiating the opening with a laser to open a hole for an interlayer connection via hole in the insulating base, and a step of cleaning the inside of the hole and roughening the surface layer When the solder resist forming step of selectively covering the outer layer wiring pattern except for the hole, forming a conductive layer on the front and back over the entire surface including the hole and the solder resist above a hole wherein the conductive layer is formed is that characterized by comprising the step of filling the hole filling resin, and removing the conductive layer formed on the solder resist. As a result, it is possible to provide a method for manufacturing a printed wiring board that can form fine wiring on a high-density substrate or a bare chip mounting substrate and that does not reduce the bonding force of land patterns for mounting electronic components. .

特に、穴埋め用樹脂は、熱硬化性樹脂であり、充填した後それを加熱することにより、ソルダレジストの表面硬化性を向上させることができ、後工程の導電層の除去を容易に行うことができる。   In particular, the hole filling resin is a thermosetting resin, and by heating it after filling, the surface curability of the solder resist can be improved, and the conductive layer in the subsequent process can be easily removed. it can.

また、本発明のプリント配線板の製造方法は、内層配線パターンを有する内層基板に絶縁基材と銅はくあるいは樹脂付き銅はくを積層し加熱加圧する工程と、前記銅はくに開口部を有するコンフォーマルマスクおよび外層配線パターンを形成する工程と、前記開口部にレーザーを照射し絶縁基材に層間接続ビアホール用の穴をあける工程と、前記穴内を洗浄するとともに表層を粗面化する工程と、前記穴内を除いて外層配線パターンを選択的に被覆するソルダレジスト形成工程と、記穴内および前記ソルダレジスト上を含む表裏全面に無電解銅めっきによる導電層を形成する工程と、前記穴を除いて選択的にめっきレジストを形成する工程と、前記めっきレジストの非形成部に電解銅めっき層を形成する工程と、前記電解銅めっき層の上に電解ニッケル層および電解金めっき層を形成する工程と、前記めっきレジスト及び前記ソルダレジスト上の無電解銅めっきによる導電層を除去する工程とを備えることを特徴とするというものである。これにより、高密度基板やベアチップ実装用基板において、微細配線の形成が可能で、かつ、電子部品実装用のランドパターンの接合力も低下することのないプリント配線板の製造方法を提供することができる。 The printed wiring board manufacturing method of the present invention includes a step of laminating an insulating base material and copper foil or resin-coated copper foil on an inner layer substrate having an inner layer wiring pattern and heating and pressing, and an opening in the copper foil. A step of forming a conformal mask and an outer layer wiring pattern, a step of irradiating the opening with a laser to open a hole for an interlayer connection via hole in the insulating base, and a step of cleaning the inside of the hole and roughening the surface layer When the step of forming the solder resist forming step of selectively covering the outer layer wiring pattern, the conductive layer by electroless copper plating on the front and back over the entire surface before Symbol bore and including the solder resist above except the bore, the bore A step of selectively forming a plating resist except the step, a step of forming an electrolytic copper plating layer on a portion where the plating resist is not formed, and a top of the electrolytic copper plating layer Forming a solution of nickel layer and electroless gold plating layer, it is that characterized by comprising a step of removing the conductive layer by electroless copper plating on the plating resist and the solder resist. As a result, it is possible to provide a method for manufacturing a printed wiring board that can form fine wiring on a high-density substrate or a bare chip mounting substrate and that does not reduce the bonding force of land patterns for mounting electronic components. .

また、開口部を有するコンフォーマルマスクおよび外層配線パターンは同一プロセスで同時に形成する構成を特徴とする。これにより、生産性を高めるとともに、エッチング代が薄い状態でエッチングを行うことができ、微細配線の形成を容易に行うことができる。   In addition, the conformal mask having the opening and the outer layer wiring pattern are formed simultaneously in the same process. As a result, productivity can be improved, etching can be performed with a small etching allowance, and fine wiring can be easily formed.

また、ソルダレジスト形成工程において、硬化してその表面を光沢状態に形成するものであり、その光沢度(JIS Z8741)は30〜60の範囲であることを特徴とする。これにより、後工程の導電層の除去を容易に行うことができる。   In the solder resist formation step, the surface is cured to form a glossy state, and the glossiness (JIS Z8741) is in the range of 30-60. Thereby, the removal of the conductive layer in a later step can be easily performed.

また、前記コンフォーマルマスクおよび前記穴内および前記ソルダレジストを含む表層に導電層を形成する工程において、前記穴内に導電体を充填する工程を含むことを特徴とする。これにより、導電体が埋まった形態のビアホールであれば、それを電子部品実装用のランドパターンとして用いることもでき、さらに、電子部品実装用のランドパターンの接合力を高めることもできる。特に、電解銅めっきにより充填することにより、外層配線パターンおよび層間の導通接続用のめっき工程にて行うことができるため、プリント配線板の生産効率を高めることができる。   Further, the step of forming a conductive layer in the conformal mask, the hole, and a surface layer including the solder resist includes a step of filling the hole with a conductor. Thereby, if it is a via hole of the form with which the conductor was embedded, it can also be used as a land pattern for electronic component mounting, and also the joining force of the land pattern for electronic component mounting can be heightened. In particular, filling with electrolytic copper plating can be performed in a plating process for connecting the outer layer wiring pattern and the interlayer, so that the production efficiency of the printed wiring board can be increased.

また、前記穴内を洗浄するとともに表層を粗面化する工程において、過マンガン酸カリウムで絶縁基材を粗化し、硫酸及び過酸化水素を含む薬液で内層配線パターン、外層配線パターンを表面粗さ(JIS B0601)を2.0〜5.0μmの範囲に粗化することを特徴とする。これにより、後に形成するソルダレジストと外層配線パターンの密着を高め、さらにその後の工程での導電層の除去においても剥がれることのないソルダレジストを形成するとともに、ビアホール用の穴内および内層配線パターンとの接続性能を高めることができる。   Further, in the step of cleaning the inside of the hole and roughening the surface layer, the insulating base material is roughened with potassium permanganate, and the inner layer wiring pattern and the outer layer wiring pattern are surface-roughened with a chemical solution containing sulfuric acid and hydrogen peroxide ( JIS B0601) is roughened in the range of 2.0 to 5.0 μm. This enhances the adhesion between the solder resist to be formed later and the outer layer wiring pattern, and further forms a solder resist that does not peel off even in the removal of the conductive layer in the subsequent process. Connection performance can be improved.

また、導電層を形成する工程において、無電解銅めっきを施したのち電解銅めっき層を形成することを特徴とする。これにより、内層配線パターンと外層配線パターンとの接続を強固にし、さらに、その上に電解ニッケルめっき層および電解金めっき層を容易に形成することができる。これにより、鉛を含まないプリント配線板を提供することができる。   In the step of forming a conductive layer, an electroless copper plating layer is formed after electroless copper plating. Thereby, the connection between the inner layer wiring pattern and the outer layer wiring pattern can be strengthened, and the electrolytic nickel plating layer and the electrolytic gold plating layer can be easily formed thereon. Thereby, the printed wiring board which does not contain lead can be provided.

また、露出した前記導電層をエッチングにより除去する工程において、前記ソルダレジストを硬化して表面硬化性を向上させた後行うことを特徴とする。これにより、導電層の除去をより容易に行うことができる。   Further, the step of removing the exposed conductive layer by etching is performed after the solder resist is cured to improve surface curability. Thereby, the conductive layer can be removed more easily.

また、前記ソルダレジスト表層に形成された導電層を除去する工程において、前記導電層をエッチング液で溶解させながら研磨ブラシにて除去することを特徴とする。これにより、導電層の除去をより容易に行うことができる。   Further, in the step of removing the conductive layer formed on the surface of the solder resist, the conductive layer is removed with a polishing brush while being dissolved with an etching solution. Thereby, the conductive layer can be removed more easily.

さらに、内層配線パターンを有する内層基板を、導電性ペーストが充填された導通孔により層間接続がなされている多層基板とすることにより、配線収容性が高く、かつ電子部品実装用のランドパターンの接合力も高いプリント配線板を提供することができる。   Furthermore, the inner layer substrate having the inner layer wiring pattern is a multi-layer substrate in which interlayer connection is made by a conductive hole filled with a conductive paste, so that the wiring capacity is high and the bonding of the land pattern for mounting electronic components is performed. A printed wiring board having high strength can be provided.

本発明を採用することにより、高密度基板やベアチップ実装用基板において、微細配線の形成が可能で、かつ、電子部品実装用のランドパターンの接合力も低下することのないプリント配線板の製造方法を提供することができる。   By adopting the present invention, a printed wiring board manufacturing method capable of forming fine wiring on a high-density substrate or a bare chip mounting substrate and not reducing the bonding force of land patterns for mounting electronic components. Can be provided.

(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1について図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1)
Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1、2は本発明の実施の形態1におけるプリント配線板の製造工程図である。   1 and 2 are manufacturing process diagrams of the printed wiring board according to Embodiment 1 of the present invention.

図1、2において、本実施形態では内層基板として、基材には例えばガラスエポキシ基板の両面に銅はくを貼り付けてなる銅張積層板で、積層前にガラスエポキシ基材にレーザで穴あけ後、導電性ペーストを充填して表裏の導通接続がとれている内層基板を使用している。   1 and 2, in this embodiment, as an inner layer substrate, the base material is a copper-clad laminate in which, for example, copper foil is pasted on both sides of a glass epoxy substrate, and laser drilling is performed on the glass epoxy substrate before lamination. Thereafter, an inner layer substrate filled with a conductive paste and having a conductive connection on the front and back sides is used.

この銅張積層板1の両面にフォトプロセスおよびエッチングにより両面に内層配線パターン3、4を形成した内層基板10を作製する{図1(a)参照}。   An inner layer substrate 10 in which inner layer wiring patterns 3 and 4 are formed on both sides of the copper clad laminate 1 by a photo process and etching is prepared {see FIG. 1 (a)}.

次に、内層基板10の表裏の面に絶縁基材5と銅はく6を積層し真空熱プレス機で加熱加圧して4層基板11を作製する{図1(b)参照}。   Next, the insulating base material 5 and the copper foil 6 are laminated on the front and back surfaces of the inner layer substrate 10 and heated and pressurized with a vacuum hot press machine to produce a four-layer substrate 11 {see FIG. 1 (b)}.

なお、絶縁基材5と銅はく6を積層するかわりに銅はくに絶縁樹脂が塗布された樹脂付き銅はくを内層基板10の表裏の面に積層してもよい。また、内層基板10は、導電性ペーストを充填して層間の導通接続がなされている多層基板であってもよい。   Instead of laminating the insulating base material 5 and the copper foil 6, a copper foil with resin in which an insulating resin is applied to the copper foil may be laminated on the front and back surfaces of the inner layer substrate 10. Further, the inner layer substrate 10 may be a multilayer substrate in which conductive connection is made by filling a conductive paste.

次に、表裏の銅はく6の所定位置にフォトプロセスおよびエッチングにより絶縁基材5が露出するよう開口部7が設けられたコンフォーマルマスク8および外層配線パターン9を同一のプロセスで同時に形成する{図1(c)参照}。   Next, a conformal mask 8 and an outer layer wiring pattern 9 each having an opening 7 so as to expose the insulating base material 5 at a predetermined position of the front and back copper foils 6 by a photo process and etching are simultaneously formed by the same process. {See FIG. 1 (c)}.

次に、開口部7が設けられたコンフォーマルマスク8をマスクにしてレーザを照射し層間接続ビアホール用の穴12をあける{図1(d)参照}。なお、レーザ穴あけ後の穴12の底面となる内層の配線パターン3の上面には絶縁樹脂の残渣が付着していることがあるため、過マンガン酸カリウム等の薬品により穴内を洗浄するとともに4層基板11の基材表面を粗面化する。   Next, the conformal mask 8 provided with the opening 7 is used as a mask to irradiate a laser to open a hole 12 for an interlayer connection via hole {see FIG. 1 (d)}. In addition, since the residue of the insulating resin may adhere to the upper surface of the inner wiring pattern 3 that becomes the bottom surface of the hole 12 after laser drilling, the inside of the hole is cleaned with chemicals such as potassium permanganate and the four layers. The base material surface of the substrate 11 is roughened.

この工程は、穴12内を洗浄するとともに絶縁基材5を粗化し、さらに硫酸及び過酸化水素を含む薬液で内層配線パターン3、4、外層配線パターン9を粗面粗さ(JIS B0601)を2.0〜5.0μmの範囲に粗化するものである。   In this step, the inside of the hole 12 is cleaned and the insulating base material 5 is roughened, and the inner layer wiring patterns 3 and 4 and the outer layer wiring pattern 9 are roughened with a chemical solution containing sulfuric acid and hydrogen peroxide (JIS B0601). It roughens in the range of 2.0-5.0 micrometers.

この処理により、後の工程で形成するソルダレジストとの密着を高め、さらに後工程での導電層の除去においても剥がれることのないソルダレジストを形成するものである。また、内層配線パターンと外層配線パターンとの層間の接続性能を高めることを意図するものである。   By this treatment, adhesion with a solder resist formed in a later step is enhanced, and a solder resist that does not peel off even when the conductive layer is removed in a later step is formed. Further, it is intended to improve the connection performance between the inner layer wiring pattern and the outer layer wiring pattern.

なお、表面粗さが2.0μm以下の場合は、配線パターンとソルダレジストとの密着性が低下し、表面粗さが5.0μm以上の場合は、耐薬品性や環境特性が低下するため、上記の範囲であることが望ましい。   In addition, when the surface roughness is 2.0 μm or less, the adhesion between the wiring pattern and the solder resist is reduced, and when the surface roughness is 5.0 μm or more, chemical resistance and environmental characteristics are reduced. The above range is desirable.

次に、4層基板11の表裏の面において、コンフォーマルマスク8と穴12の内面および電子部品実装部分に当たるランドパターン等を除いて外層配線パターン9を選択的に被覆するようにソルダレジスト13を形成する{図1(e)参照}。   Next, on the front and back surfaces of the four-layer substrate 11, a solder resist 13 is selectively applied so as to selectively cover the outer layer wiring pattern 9 except for the land pattern corresponding to the inner surface of the conformal mask 8 and the hole 12 and the electronic component mounting portion. Form {see FIG. 1 (e)}.

なお、ソルダレジスト13は、硬化してその表面を光沢状態に形成することが望ましい。具体的には、ソルダレジスト13表面の光沢度(JIS Z8741)は30〜60の範囲であることが望ましい。光沢度30以下の場合は、ソルダレジスト13と後述する導電層15との密着力が増すため、後工程で行う導電層15を容易に除去することが困難となる。一方、光沢度60以上の場合は、後工程にて行う無電解銅めっき層14が形成後剥がれやすくなり、製造工程での基板の取り扱いや搬送等に一層の注意を要する。   The solder resist 13 is preferably cured to form a glossy surface. Specifically, the glossiness (JIS Z8741) of the surface of the solder resist 13 is desirably in the range of 30-60. When the glossiness is 30 or less, the adhesion between the solder resist 13 and the conductive layer 15 described later increases, so that it is difficult to easily remove the conductive layer 15 performed in a later step. On the other hand, when the glossiness is 60 or more, the electroless copper plating layer 14 formed in the subsequent process is easily peeled off after formation, and further attention is required for handling and transport of the substrate in the manufacturing process.

ソルダレジスト13表面の光沢度は30〜60の範囲、ソルダレジスト13に含有されているフィラー等の充填剤の種類や量、あるいはレベリング剤等の添加剤を選定する方法、あるいは、ソルダレジスト13の熱硬化の条件設定、あるいは紫外線照射の条件設定により上記範囲内に形成することが可能である。   The glossiness of the solder resist 13 surface ranges from 30 to 60, the type and amount of fillers such as fillers contained in the solder resist 13, or a method of selecting an additive such as a leveling agent, or the solder resist 13 It can be formed within the above range by setting conditions for thermosetting or setting conditions for ultraviolet irradiation.

次に、内層配線パターンと外層配線パターンとの層間接続をとるため、銅めっき層を形成する。   Next, a copper plating layer is formed in order to establish an interlayer connection between the inner layer wiring pattern and the outer layer wiring pattern.

まず、4層基板11のソルダレジスト13を含む表裏全面とビアホール用の穴12の内面に無電解銅めっき層14を形成して、導電性を付与し{図1(f)参照}、無電解銅めっき層14の上に電解銅めっき層を施し導電層15を形成する{図2(g)参照}。   First, an electroless copper plating layer 14 is formed on the entire front and back surfaces of the four-layer substrate 11 including the solder resist 13 and the inner surface of the hole 12 for via holes to impart conductivity {see FIG. 1 (f)}. An electrolytic copper plating layer is applied on the copper plating layer 14 to form a conductive layer 15 {see FIG. 2 (g)}.

上記の図2(g)に示す工程と異なる形態として、穴12内にペースト等の導電体を充填する工程を別途設けることも可能である。特に、導電体を充填する工程として、電解銅めっきにより充填するものであれば、図2(g)における電解銅めっき層の形成工程をそのまま継続することによって、導電体が埋まった状態のビアホールを形成することができる。   As a form different from the process shown in FIG. 2G, a process of filling the hole 12 with a conductor such as a paste can be provided separately. In particular, if the step of filling the conductor is performed by electrolytic copper plating, the process of forming the electrolytic copper plating layer in FIG. Can be formed.

次に、層間接続された4層基板11の表裏の面に対してフォトプロセスにより選択的にエッチングレジスト16を形成する{図2(h)参照}。   Next, an etching resist 16 is selectively formed on the front and back surfaces of the four-layer substrate 11 connected between the layers by a photo process {see FIG. 2 (h)}.

次に、エッチングレジスト16の非形成部に露出した導電層15を塩化第二銅などのエッチング液により除去してビアホール17を形成する。   Next, the conductive layer 15 exposed in the portion where the etching resist 16 is not formed is removed with an etchant such as cupric chloride to form a via hole 17.

そして、水酸化ナトリウムなどの溶液によりエッチングレジスト16を剥離する{図2(i)参照}。   Then, the etching resist 16 is removed with a solution such as sodium hydroxide {see FIG. 2 (i)}.

特に、前述の導電体が埋まった形態のビアホールであれば、それを電子部品実装用のランドパターンとして用いることもできる。   In particular, if the above-described via hole is filled with a conductor, it can be used as a land pattern for mounting an electronic component.

なお、エッチングで除去する導電層15の下地であるソルダレジスト13は硬化して表面が光沢状態となっている。従って、光沢状態であるソルダレジストの上に析出した無電解銅めっき層14はソルダレジスト13との密着力が弱く、エッチングで容易に除去できる状態となっている。   Note that the solder resist 13 which is the base of the conductive layer 15 to be removed by etching is cured and the surface is glossy. Therefore, the electroless copper plating layer 14 deposited on the solder resist that is in a glossy state has a weak adhesion with the solder resist 13 and can be easily removed by etching.

また、前記導電層をエッチングにより除去する前に、ソルダレジストを硬化して表面硬化性を向上させた後行うことにより、導電層15の除去をより容易に行うことができる。   Further, the conductive layer 15 can be removed more easily by removing the conductive layer by etching and then curing the solder resist to improve the surface curability.

具体的には、基板を加熱してソルダレジストを硬化することにより行うことができる。   Specifically, it can be carried out by heating the substrate and curing the solder resist.

最後に仕上げ処理として、電子部品実装の際、接続電極となるランドパターンおよびビアホール等の銅露出部分を防錆することを目的として金めっき処理または水溶性耐熱プリフラックス処理を施す。   Finally, as a finishing process, a gold plating process or a water-soluble heat-resistant preflux process is performed for the purpose of rust-proofing the exposed portions of copper such as land patterns and via holes as connection electrodes when mounting electronic components.

図2(j)の工程は、金めっき処理を示しており、まず、銅露出部分に無電解ニッケルめっき層18、さらにその上に無電解金めっき層19を形成し4層のビルドアッププリント配線板を得ることができる。   The step of FIG. 2 (j) shows a gold plating process. First, an electroless nickel plating layer 18 is formed on an exposed copper portion, and an electroless gold plating layer 19 is further formed thereon, thereby forming a four-layer build-up printed wiring. A board can be obtained.

このように本実施の形態におけるプリント配線板の構成および製造方法によれば次のような効果が得られる。
(1)外層の配線パターン9を形成する際、銅はく6のみがエッチング代であることから、微細配線の形成が可能である。特に、銅はく6の厚みが薄く、かつ、基材に接する面の粗化度の低い、すなわちロープロファイルの銅はくを使用すればエッチングの際、パターンエッジ部の切れがよくなるため、狭ピッチの配線パターンが可能で、今後要求が高まる高密度配線のプリント配線板の製造に有利である。
(2)外層の配線パターン9およびビアホール17は、銅はく6をエッチングして形成されたものであり、また、銅はく6は絶縁基材5と真空熱プレス機により加熱加圧して積層されたものであるため強く接着されており、外層の配線パターン9およびビアホール17のピール強度、プル強度は非常に高く、衝撃による電子部品の脱落を解消することが可能となる。
(3)過マンガン酸カリウム等の薬品により、レーザ穴あけ後の穴12の底面に付着している絶縁樹脂の残渣を取り除くとともに、4層基板11の基材表面を粗面化することにより、ソルダレジスト13との密着力が強くなる。これにより、ソルダレジストが剥がれにくくなる。その結果、プリント配線板の製造工程における運搬等に起因するソルダレジストの剥がれや傷の発生を大幅に減少することができる。
Thus, according to the configuration and the manufacturing method of the printed wiring board in the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) When forming the wiring pattern 9 of the outer layer, since only the copper foil 6 is an etching allowance, fine wiring can be formed. In particular, the thickness of the copper foil 6 is thin and the roughness of the surface in contact with the base material is low, that is, if low profile copper foil is used, the pattern edge portion is more easily cut during etching. Pitch wiring patterns are possible, which is advantageous for manufacturing printed wiring boards for high-density wiring, which will be increasingly demanded in the future.
(2) The outer layer wiring pattern 9 and the via hole 17 are formed by etching the copper foil 6, and the copper foil 6 is laminated by heating and pressing with the insulating base material 5 and a vacuum hot press. Therefore, the peel strength and pull strength of the outer layer wiring pattern 9 and the via hole 17 are very high, and it is possible to eliminate the dropout of electronic components due to impact.
(3) Solder by removing the residue of the insulating resin adhering to the bottom surface of the hole 12 after laser drilling with a chemical such as potassium permanganate and roughening the base material surface of the four-layer substrate 11 The adhesion with the resist 13 is increased. This makes it difficult for the solder resist to peel off. As a result, it is possible to greatly reduce the occurrence of peeling of the solder resist and scratches caused by transportation in the manufacturing process of the printed wiring board.

なお、上記の事例においては、フォトプロセスにより選択的にエッチングレジスト16を形成する方法を示したが、エッチングレジスト16に換えて、穴埋め用樹脂を導電層15が形成された穴12に充填することも可能である。   In the above example, the method of selectively forming the etching resist 16 by the photo process is shown. However, instead of the etching resist 16, the hole filling resin is filled in the hole 12 in which the conductive layer 15 is formed. Is also possible.

具体的には、まず、熱硬化性でかつアルカリ可溶型の穴埋め用樹脂のインキをロールコーター等の方法により基板全面を含む穴12に充填し、基板を加熱することにより、穴埋め用樹脂を硬化する。その際、ソルダレジスト13も硬化されることで表面硬化性を向上させることができる。   Specifically, first, a thermosetting and alkali-soluble resin for filling a hole is filled into the holes 12 including the entire surface of the substrate by a method such as a roll coater, and the substrate is heated to obtain a resin for filling a hole. Harden. At that time, the solder resist 13 is also cured, whereby the surface curability can be improved.

その後、研磨ブラシで表面に塗布された穴埋め用樹脂を除去するとともに、エッチング液を当て導電層15を溶解させながら研磨ブラシに表面を研磨することで、ソルダレジスト13上の導電層15も容易に除去することができる。   Thereafter, the hole filling resin applied to the surface with a polishing brush is removed, and the conductive layer 15 on the solder resist 13 is easily polished by polishing the surface with an etching solution while dissolving the conductive layer 15. Can be removed.

なお、ソルダレジスト13で被覆されていない外層の配線パターンは、その上に導電層15が形成されるものの、ソルダレジスト13上の導電層15は容易に除去することができる。このため、前記導電層15は当初の50%〜70%の厚みで残存することとなるが、プリント配線板として機能を損なうものではないことは当然である。   In addition, although the conductive layer 15 is formed on the wiring pattern of the outer layer that is not covered with the solder resist 13, the conductive layer 15 on the solder resist 13 can be easily removed. For this reason, although the said conductive layer 15 will remain by the thickness of 50%-70% of the beginning, it is natural that the function as a printed wiring board is not impaired.

また、独立した2以上の外層配線パターンであって、ソルダレジスト13を被覆しない場合は、外層配線パターン間の絶縁基材上にソルダレジスト13を隙間なく形成することが望ましい。これにより、外層配線パターン上以外に導電層15を残存させることがなく、回路の短絡やマイグレーション等を防止することができる。   Further, when two or more independent outer layer wiring patterns are not covered with the solder resist 13, it is desirable to form the solder resist 13 on the insulating substrate between the outer layer wiring patterns without a gap. Thereby, the conductive layer 15 is not left except on the outer layer wiring pattern, and a short circuit or migration of the circuit can be prevented.

(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2について図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 2)
Embodiment 2 of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図3は本発明の実施の形態2におけるプリント配線板の製造工程図である。   FIG. 3 is a manufacturing process diagram of the printed wiring board according to Embodiment 2 of the present invention.

本実施形態では実施の形態1の図1(f)までは同様にして作製するので説明を省略する。   In the present embodiment, the process up to FIG.

まず、4層基板11の表裏全面とビアホール用の穴12の内面に無電解銅めっき層を形成して、導電層14とする。その後、層間接続をとるための穴12とコンフォーマルマスク8および電子部品実装の際、接続電極となるランドパターンを除いた部分にめっきレジスト20をフォトプロセスにより選択的に形成する{図3(a)参照}。   First, an electroless copper plating layer is formed on the entire front and back surfaces of the four-layer substrate 11 and the inner surface of the via hole hole 12 to form the conductive layer 14. After that, when mounting the hole 12, the conformal mask 8 and the electronic component for the interlayer connection, a plating resist 20 is selectively formed by a photo process in a portion excluding the land pattern to be a connection electrode {FIG. )reference}.

次に、めっきレジスト20の非形成部に電解銅めっき層21を形成する{図3(b)参照}。   Next, an electrolytic copper plating layer 21 is formed on a portion where the plating resist 20 is not formed {see FIG. 3B}.

次に、電解銅めっき層21の上に電解ニッケルめっき層22を形成し、さらにその上に電解金めっき層23を形成する{図3(c)参照}。   Next, an electrolytic nickel plating layer 22 is formed on the electrolytic copper plating layer 21, and an electrolytic gold plating layer 23 is further formed thereon {see FIG. 3 (c)}.

次に、めっきレジスト20を水酸化ナトリウム等の溶液で剥離した後、電解ニッケルめっき層22および電解金めっき層23をエッチングレジストとして、銅アンモニウム錯イオンを主成分とするアルカリエッチング液により不要な部分の無電解銅めっき層である導電層14を除去し、4層のビルドアッププリント配線板を得ることができる{図3(d)参照}。   Next, after the plating resist 20 is peeled off with a solution such as sodium hydroxide, unnecessary portions are removed with an alkaline etching solution mainly composed of copper ammonium complex ions using the electrolytic nickel plating layer 22 and the electrolytic gold plating layer 23 as etching resists. The conductive layer 14 which is the electroless copper plating layer can be removed to obtain a four-layer build-up printed wiring board {see FIG. 3 (d)}.

本実施の形態における導電層14の除去は、実施の形態1の場合と異なり、厚さ数ミクロンの無電解銅めっき層のみを除去すればよい。特に、ソルダレジストが実施の形態1と同様に光沢状態を備えて形成されていることと併せて考えると、導電層14の除去はさらに短時間で容易にできることは当然である。   Unlike the case of the first embodiment, the conductive layer 14 in the present embodiment may be removed only by removing the electroless copper plating layer having a thickness of several microns. In particular, considering that the solder resist is formed with a glossy state as in the first embodiment, it is natural that the conductive layer 14 can be easily removed in a shorter time.

このように本実施の形態におけるプリント配線板の構成および製造方法によれば次のような効果が得られる。
(1)実施の形態1と同様に、外層配線パターン9を形成する際、銅はく6のみがエッチング代であることから、微細配線の形成が可能である。
(2)実施の形態1と同様に、外層配線パターン9およびビアホール17は、銅はく6をエッチングして形成されたものであり、また、銅はく6は絶縁基材5と真空熱プレス機により加熱加圧して積層されたものであることから強く接着されており、外層の配線パターン9およびビアホール17のピール強度、プル強度は非常に高く、衝撃による電子部品の脱落を解消することが可能となる。
(3)本実施の形態におけるプリント配線板の仕上げの表面処理は、電解ニッケルめっき、電解金めっき処理である。通常、高密度基板やベアチップ実装用基板では仕上げの表面処理としてニッケル、金めっきが多用されている。ニッケル、金めっきには電解めっきと無電解めっきがあり、電解めっきの場合、通電のための引き回し線が必要であるが、高密度基板では引き回し線を収容するだけのスペースがないため、無電解めっきによるものが多い。
Thus, according to the configuration and the manufacturing method of the printed wiring board in the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) When the outer layer wiring pattern 9 is formed as in the first embodiment, only the copper foil 6 is used for etching, so that fine wiring can be formed.
(2) As in the first embodiment, the outer layer wiring pattern 9 and the via hole 17 are formed by etching the copper foil 6, and the copper foil 6 is formed by the insulating substrate 5 and the vacuum hot press. It is strongly bonded because it is laminated by heating and pressing with a machine, and the peel strength and pull strength of the outer layer wiring pattern 9 and via hole 17 are very high, and it is possible to eliminate the dropout of electronic components due to impact. It becomes possible.
(3) The surface treatment for finishing the printed wiring board in the present embodiment is electrolytic nickel plating or electrolytic gold plating. Normally, nickel and gold plating are frequently used as finishing surface treatments for high-density substrates and bare chip mounting substrates. There are two types of nickel and gold plating: electroplating and electroless plating. In the case of electrolytic plating, a lead wire is required for energization, but a high-density board does not have enough space to accommodate the lead wire. Many are due to plating.

ところが無電解ニッケルめっきは、めっき浴に結晶調整剤、分散防止剤、光沢剤としての添加剤に鉛を含有していることにより、析出したニッケルめっき層にも鉛が含まれてしまう。   However, in electroless nickel plating, lead is also contained in the deposited nickel plating layer because the plating bath contains lead as an additive as a crystal modifier, a dispersion inhibitor, and a brightener.

このニッケルめっき層中の鉛濃度を誘導結合−プラズマ発光分光分析装置(ICP−AES,ICP−OES)で分析したところ、400〜1200ppmであった。これは2006年7月に施行される環境規制であるRoHS指令(電気・電子機器中の特定有害物質の使用制限指令:Restriction of the use of certain Hazardous Substances)の最大許容濃度である0.1wt%(1000ppm)を超えることがあると同時に、ELV指令(使用済み自動車から発生する有害物質規制指令:End of Life Vehicles)においては最大許容濃度が同じく0.1wt%であるが、この値は非意図的添加の場合に限られるため、たとえ1000ppm未満でおさまったとしても、意図的に鉛が含有した添加剤を使用していることから、ELV指令を逸脱していると判断される可能性が高い。   When the lead concentration in the nickel plating layer was analyzed by an inductively coupled plasma emission spectrometer (ICP-AES, ICP-OES), it was 400 to 1200 ppm. This is 0.1 wt% which is the maximum allowable concentration of the RoHS Directive (Restriction of the use of certain Hazardous Substitutes), which is an environmental regulation that will be enforced in July 2006 (1000 ppm) may be exceeded, and at the same time, the maximum permissible concentration is 0.1 wt% in the ELV Directive (End of Life Vehicles), but this value is not intended. Because it is limited to the case of addition, it is highly possible that it is judged that the ELV directive has been deviated from the intentional use of an additive containing lead even if it is less than 1000 ppm. .

本実施の形態におけるプリント配線板の仕上げの表面処理は、電解ニッケルめっきであることから、ニッケル皮膜中には鉛をまったく含んでいない。このため、RoHS指令、ELV指令にも対応した環境にやさしいプリント配線板である。   Since the surface treatment for finishing the printed wiring board in the present embodiment is electrolytic nickel plating, the nickel coating does not contain lead at all. For this reason, it is an environmentally friendly printed wiring board that also supports the RoHS command and the ELV command.

また、金めっきの形成が無電解めっきの場合、厚く緻密に析出させることは困難である。このことから、析出した金めっきの表面には多数のピンホールが存在する。このピンホールの部分は、金とニッケルの接触による局部電池が形成され、金とニッケル間に非常に大きな電位差が生じ、これにより腐食が発生する。この腐食は時間の経過とともに進行するため、長期保存ができない。   In addition, when the gold plating is formed by electroless plating, it is difficult to deposit thick and dense. For this reason, a large number of pinholes exist on the surface of the deposited gold plating. In this pinhole portion, a local battery is formed by contact between gold and nickel, and a very large potential difference is generated between gold and nickel, thereby causing corrosion. Since this corrosion progresses with time, it cannot be stored for a long time.

本実施の形態におけるプリント配線板の仕上げの表面処理は、電解金めっきである。このことから、ピンホールのない緻密な層を形成することができるだけでなく、金めっきの厚みもめっき条件により容易にコントロールができる。これにより、長時間経過しても電子部品実装時のはんだ濡れ性が劣ることのない、長期在庫の可能なプリント配線板を提供することができる。   The surface treatment for finishing the printed wiring board in the present embodiment is electrolytic gold plating. From this, not only a dense layer without pinholes can be formed, but also the gold plating thickness can be easily controlled by the plating conditions. As a result, it is possible to provide a printed wiring board that can be stocked for a long time without inferior solder wettability when electronic components are mounted even after a long period of time.

(実施の形態3)
以下、本発明の実施の形態3について図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 3)
The third embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図4、5は、本発明の実施の形態3におけるプリント配線板の製造工程図である。   4 and 5 are manufacturing process diagrams of the printed wiring board according to Embodiment 3 of the present invention.

本実施の形態においては、実施の形態1の図1(d)までは同様にして作製するので説明を省略する。   In the present embodiment, the process up to FIG. 1D of the first embodiment is performed in the same manner, and thus the description thereof is omitted.

まず、過マンガン酸カリウム等の薬品によりレーザ穴あけ後の穴内を洗浄するとともに4層基板11の基材表面を粗面化した後、4層基板11の表裏全面とビアホール用の穴12の内面に無電解銅めっき層を形成して、導電層14とする{図4(a)参照}。   First, the inside of the hole after laser drilling is cleaned with a chemical such as potassium permanganate and the base material surface of the four-layer substrate 11 is roughened, and then the entire front and back surfaces of the four-layer substrate 11 and the inner surface of the via hole hole 12 are formed. An electroless copper plating layer is formed to form a conductive layer 14 (see FIG. 4A).

次に、層間接続を図るための穴12とコンフォーマルマスク8および電子部品実装の際、接続電極となるランドパターンを除いた部分にめっきレジスト20をフォトプロセスにより選択的に形成する{図4(b)参照}。   Next, when mounting the hole 12, the conformal mask 8 and the electronic component for the interlayer connection, a plating resist 20 is selectively formed by a photo process in a portion excluding the land pattern to be a connection electrode {FIG. b) Reference}.

次に、めっきレジスト20の非形成部に電解銅めっき層21を形成する{図4(c)参照}。   Next, an electrolytic copper plating layer 21 is formed on a portion where the plating resist 20 is not formed {see FIG. 4C}.

次に、電解銅めっき層21の上に電解ニッケルめっき層22を形成し、さらにその上に電解金めっき層23を形成する{図4(d)参照}。   Next, an electrolytic nickel plating layer 22 is formed on the electrolytic copper plating layer 21, and an electrolytic gold plating layer 23 is further formed thereon {see FIG. 4 (d)}.

次に、めっきレジスト20を水酸化ナトリウム等の溶液で剥離した後、電解ニッケルめっき層22および電解金めっき層23をエッチングレジストとして、銅アンモニウム錯イオンを主成分とするアルカリエッチング液により不要な部分の無電解銅めっき層である導電層14を除去する{図5(e)参照}。   Next, after the plating resist 20 is peeled off with a solution such as sodium hydroxide, unnecessary portions are removed with an alkaline etching solution mainly composed of copper ammonium complex ions using the electrolytic nickel plating layer 22 and the electrolytic gold plating layer 23 as etching resists. The conductive layer 14 which is the electroless copper plating layer is removed {see FIG. 5 (e)}.

そして、4層基板11の表裏の面において、電子部品の実装部分を残して外層の配線パターン9を覆うようにソルダレジスト13を塗布し、4層のビルドアッププリント配線板を得ることができる{図5(f)参照}。   Then, on the front and back surfaces of the four-layer substrate 11, a solder resist 13 is applied so as to cover the outer-layer wiring pattern 9 while leaving the mounting parts of the electronic components, and a four-layer build-up printed wiring board can be obtained { See FIG. 5F}.

このように本実施の形態におけるプリント配線板の構成および製造方法によれば次のような効果が得られる。
(1)実施の形態1、2と同様に、外層の配線パターン9を形成する際、銅はく6のみがエッチング代であることから、微細配線の形成が可能である。
(2)実施の形態1、2と同様に、外層の配線パターン9およびビアホール17は銅はく6をエッチングして形成されたものであり、また、銅はく6は絶縁基材5と真空熱プレス機により加熱加圧して積層されたものであることから強く接着されている。このことから、外層の配線パターン9およびビアホール17のピール強度、プル強度は極めて高く、衝撃による電子部品の脱落を解消することが可能となる。
(3)実施の形態2と同様に、本実施の形態によるプリント配線板の仕上げの表面処理は電解ニッケルめっきである。このことから、ニッケル皮膜中には鉛をまったく含んでいないため、RoHS指令、ELV指令にも対応した環境にやさしいプリント配線板である。
Thus, according to the configuration and the manufacturing method of the printed wiring board in the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) As in the first and second embodiments, when the outer layer wiring pattern 9 is formed, only the copper foil 6 is used for etching, so that fine wiring can be formed.
(2) As in the first and second embodiments, the outer layer wiring pattern 9 and the via hole 17 are formed by etching the copper foil 6, and the copper foil 6 is vacuumed with the insulating substrate 5. It is strongly bonded because it is laminated by heating and pressing with a hot press. For this reason, the peel strength and pull strength of the wiring pattern 9 and the via hole 17 in the outer layer are extremely high, and it is possible to eliminate the dropout of the electronic component due to the impact.
(3) Similar to the second embodiment, the surface treatment for finishing the printed wiring board according to the present embodiment is electrolytic nickel plating. For this reason, since the nickel film does not contain lead at all, it is an environment-friendly printed wiring board that also supports the RoHS command and the ELV command.

また、金めっきの形成が電解めっきであることから、ピンホールのない緻密な層を形成することができるだけでなく、金めっきの厚みもめっき条件により容易にコントロールができる。このことから、長時間経過しても電子部品実装時のはんだ濡れ性が劣ることのない長期在庫の可能なプリント配線板を提供することができる。   Moreover, since the formation of gold plating is electrolytic plating, it is possible not only to form a dense layer without pinholes, but also to easily control the thickness of the gold plating depending on the plating conditions. Therefore, it is possible to provide a printed wiring board that can be stocked for a long time without inferior solder wettability when electronic components are mounted even after a long time has passed.

なお、上記の実施の形態1〜3において、内層基板10は、表裏の2層の導通接続を有する両面の回路基板の事例を示したが、4層、6層等の多層基板であってもよい。   In the first to third embodiments, the inner layer substrate 10 is an example of a double-sided circuit substrate having two layers of conductive connections on the front and back sides. Good.

特に、内層基板10の構造として、導電性ペーストが充填された導通孔より各層の層間接続がなされている多層基板を用いることが望ましい。これにより、配線収容性が高く、かつ電子部品実装用のランドパターンの接合力も高いプリント配線板を提供することができる。   In particular, as the structure of the inner layer substrate 10, it is desirable to use a multilayer substrate in which interlayer connection of each layer is made through a conduction hole filled with a conductive paste. Thereby, it is possible to provide a printed wiring board that has high wiring capacity and high bonding strength of land patterns for mounting electronic components.

以上のように、本発明は、高密度基板やベアチップ実装用のプリント配線板において、微細配線の形成が可能で、かつ、電子部品実装用のランドパターンの接合力を向上させることのできるプリント配線板の製造方法を提供するものであり、これにより、産業上の利用可能性は大であるといえる。   As described above, the present invention is capable of forming fine wiring on a high-density board or a printed wiring board for bare chip mounting, and can improve the bonding force of a land pattern for mounting an electronic component. The present invention provides a method for manufacturing a plate, and it can be said that industrial applicability is great.

本発明の実施の形態1におけるプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional drawing which shows the manufacturing method of the printed wiring board in Embodiment 1 of this invention 同実施の形態1におけるプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional drawing which shows the manufacturing method of the printed wiring board in Embodiment 1 本発明の実施の形態2におけるプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional drawing which shows the manufacturing method of the printed wiring board in Embodiment 2 of this invention 本発明の実施の形態3におけるプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional drawing which shows the manufacturing method of the printed wiring board in Embodiment 3 of this invention 同実施の形態3におけるプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional drawing which shows the manufacturing method of the printed wiring board in the same Embodiment 3 従来のプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional drawing which shows the manufacturing method of the conventional printed wiring board 同従来のプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional view showing the conventional method of manufacturing a printed wiring board 同従来のプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional view showing the conventional method of manufacturing a printed wiring board 同従来のプリント配線板の製造方法を示す工程断面図Process sectional view showing the conventional method of manufacturing a printed wiring board

符号の説明Explanation of symbols

1 銅張積層板
2 導電性ペースト
3、4、9 配線パターン
5 絶縁基材
6 銅はく
7 開口部
8 コンフォーマルマスク
10 内層基板
11 4層基板
12 穴(ビアホール用)
13 ソルダレジスト
14 無電解銅めっき層
15、21 電解銅めっき層
16 エッチングレジスト
17 ビアホール
18 無電解ニッケルめっき層
19 無電解金めっき層
20 めっきレジスト
22 電解ニッケルめっき層
23 電解金めっき層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Copper clad laminated board 2 Conductive paste 3, 4, 9 Wiring pattern 5 Insulation base material 6 Copper foil 7 Opening part 8 Conformal mask 10 Inner layer board | substrate 11 4 layer board | substrate 12 hole (for via holes)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 Solder resist 14 Electroless copper plating layer 15, 21 Electrolytic copper plating layer 16 Etching resist 17 Via hole 18 Electroless nickel plating layer 19 Electroless gold plating layer 20 Plating resist 22 Electrolytic nickel plating layer 23 Electrolytic gold plating layer

Claims (8)

内層配線パターンを有する内層基板に絶縁基材と銅はくあるいは樹脂付き銅はくを積層し加熱加圧する工程と、
前記銅はくに開口部を有するコンフォーマルマスクおよび外層配線パターンを形成する工程と、
前記開口部にレーザーを照射し絶縁基材に層間接続ビアホール用の穴をあける工程と、
前記穴内を洗浄するとともに表層を粗面化する工程と、
前記穴内を除いて外層配線パターンを選択的に被覆するソルダレジスト形成工程と、
前記穴内および前記ソルダレジスト上を含む表裏全面に導電層を形成する工程と、
選択的にエッチングレジストを形成する工程と、
前記エッチングレジストの非形成部に露出した前記導電層及び前記ソルダレジスト上に形成された前記導電層をエッチングにより除去する工程と、
前記エッチングレジストを剥離する工程とを
備えることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
A step of laminating an insulating base material and copper foil or resin-coated copper foil on an inner layer substrate having an inner layer wiring pattern and heating and pressing; and
Forming a conformal mask having an opening in the copper foil and an outer layer wiring pattern;
Irradiating the opening with a laser to form a hole for an interlayer connection via hole in an insulating base;
Cleaning the inside of the hole and roughening the surface layer;
And the solder resist forming step of selectively covering the outer layer wiring pattern except for the hole,
Forming a conductive layer on the front and back over the entire surface including the hole and the solder resist above,
Selectively forming an etching resist;
Removing the conductive layer exposed on the non-formed portion of the etching resist and the conductive layer formed on the solder resist by etching;
And a step of stripping the etching resist.
内層配線パターンを有する内層基板に絶縁基材と銅はくあるいは樹脂付き銅はくを積層し加熱加圧する工程と、
前記銅はくに開口部を有するコンフォーマルマスクおよび外層配線パターンを形成する工程と、
前記開口部にレーザーを照射し絶縁基材に層間接続ビアホール用の穴をあける工程と、
前記穴内を洗浄するとともに表層を粗面化する工程と、
前記穴内を除いて外層配線パターンを選択的に被覆するソルダレジスト形成工程と、
前記穴内および前記ソルダレジスト上を含む表裏全面に導電層を形成する工程と、
前記導電層が形成された穴に穴埋め用樹脂を充填する工程と、
前記ソルダレジストに形成された前記導電層を除去する工程とを
備えることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
A step of laminating an insulating base material and copper foil or resin-coated copper foil on an inner layer substrate having an inner layer wiring pattern and heating and pressing; and
Forming a conformal mask having an opening in the copper foil and an outer layer wiring pattern;
Irradiating the opening with a laser to form a hole for an interlayer connection via hole in an insulating base;
Cleaning the inside of the hole and roughening the surface layer;
And the solder resist forming step of selectively covering the outer layer wiring pattern except for the hole,
Forming a conductive layer on the front and back over the entire surface including the hole and the solder resist above,
Filling the hole in which the conductive layer is formed with a filling resin;
Method for manufacturing a printed wiring board, characterized in that it comprises a step of removing the conductive layer formed on the solder resist.
内層配線パターンを有する内層基板に絶縁基材と銅はくあるいは樹脂付き銅はくを積層し加熱加圧する工程と、
前記銅はくに開口部を有するコンフォーマルマスクおよび外層配線パターンを形成する工程と、
前記開口部にレーザーを照射し絶縁基材に層間接続ビアホール用の穴をあける工程と、
前記穴内を洗浄するとともに表層を粗面化する工程と、
前記穴内を除いて外層配線パターンを選択的に被覆するソルダレジスト形成工程と、
前記穴内および前記ソルダレジスト上を含む表裏全面に無電解銅めっきによる導電層を形成する工程と、
前記穴を除いて選択的にめっきレジストを形成する工程と、前記めっきレジストの非形成部に電解銅めっき層を形成する工程と、
前記電解銅めっき層の上に電解ニッケル層および電解金めっき層を形成する工程と、
前記めっきレジスト及び前記ソルダレジスト上の無電解銅めっきによる導電層を除去する工程とを
備えることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
A step of laminating an insulating base material and copper foil or resin-coated copper foil on an inner layer substrate having an inner layer wiring pattern and heating and pressing; and
Forming a conformal mask having an opening in the copper foil and an outer layer wiring pattern;
Irradiating the opening with a laser to form a hole for an interlayer connection via hole in an insulating base;
Cleaning the inside of the hole and roughening the surface layer;
And the solder resist forming step of selectively covering the outer layer wiring pattern except for the hole,
Forming a conductive layer by electroless copper plating on the front and back over the entire surface including the hole and the solder resist above,
A step of selectively forming a plating resist except for the holes; a step of forming an electrolytic copper plating layer on a non-forming portion of the plating resist;
Forming an electrolytic nickel layer and an electrolytic gold plating layer on the electrolytic copper plating layer;
And a step of removing a conductive layer by electroless copper plating on the plating resist and the solder resist .
開口部を有するコンフォーマルマスクおよび外層配線パターンは同一プロセスで同時に形成することを特徴とする請求項1〜に記載のプリント配線板の製造方法。 Method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1-3 conformal mask and the outer layer wiring pattern, characterized in that the simultaneously formed by the same process with an opening. ソルダレジスト形成工程は、硬化してその表面を光沢状態に形成するものであり、その光沢度(JIS Z8741)は30〜60の範囲であることを特徴とする請求項1〜3に記載のプリント配線板の製造方法。 The print according to any one of claims 1 to 3, wherein the solder resist forming step cures and forms the surface in a glossy state, and the glossiness (JIS Z8741) is in the range of 30-60. A method for manufacturing a wiring board. 前記穴内および前記ソルダレジスト上を含む表裏全面に導電層を形成する工程は、前記穴内に導電体を充填するものであることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板の製造方法。 2. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 1, wherein the step of forming a conductive layer on the entire front and back surfaces including in the hole and on the solder resist is to fill the hole with a conductor. 前記ソルダレジストに形成された前記導電層を除去する工程は、前記導電層をエッチング液で溶解させながら研磨ブラシにて除去するものであることを特徴とする請求項2に記載のプリント配線板の製造方法。 Removing the conductive layer formed on the solder resist, printed circuit board according to claim 2, characterized in that the conductive layer is intended to remove by polishing brush while dissolved in an etchant Manufacturing method. 内層配線パターンを有する内層基板は、導電性ペーストが充填された導通孔により層間接続がなされている多層基板であることを特徴とする請求項1〜に記載のプリント配線板の製造方法。 Inner substrate having an inner layer wiring pattern, a method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1 to 3, characterized in that the conductive paste is a multilayer substrate in which interlayer connection is made by introducing hole filled.
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