JP5040243B2 - セラミック基板 - Google Patents
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まず、出発原料として、いずれも粒径2.0μm以下のSiO2、BaCO3、Al2O3、CaCO3およびMnCO3、ならびにCuOおよびCr2O3の各粉末を準備した。次に、これら出発原料粉末を、表1に示す組成比率となるように秤量し、湿式混合粉砕した後、乾燥し、得られた混合物を800〜1000℃で1〜3時間仮焼して原料粉末を得た。
実験例2では、実験例1において用いたCaCO3の少なくとも一部をZrO2で置換した組成について評価した。
実験例3では、希土類元素添加の効果について評価した。
2 誘電体セラミック層
3 積層体
4,5 外部導体膜
6 内部導体膜
7 ビアホール導体
Claims (3)
- 複数の誘電体セラミック層を積層してなる積層体を備え、前記積層体の表面および/または内部に銅を主成分とする所定の導体パターンを有する、セラミック基板であって、
前記誘電体セラミック層は、Si成分をSiO2に換算して25〜55重量%、Ba成分をBaCO3に換算して20〜50重量%、Al成分をAl2O3に換算して11〜25重量%、Ca成分および/またはZr成分を、Ca成分についてはCaCO3に換算して、およびZr成分についてはZrO2に換算して、0.3〜3重量%、ならびに、Mn成分をMnCO3に換算して5〜20重量%含み、SiO2、BaCO3、Al2O3、CaCO3、ZrO2およびMnCO3にそれぞれ換算した、前記Si成分、前記Ba成分、前記Al成分、前記Ca成分、前記Zr成分および前記Mn成分の合計100重量部に対して、CuOを0.05〜1重量部さらに含み、かつCr、BiおよびBを実質的に含まないとともに、出発原料にガラスを含まない、非ガラス系の誘電体セラミック組成物を焼結させてなるものである、セラミック基板。 - 前記誘電体セラミック組成物は、前記Si成分をSiO2に換算して34〜51重量%、前記Ba成分をBaCO3に換算して20〜43重量%、前記Al成分をAl2O3に換算して14〜25重量%、前記Ca成分および/またはZr成分を、Ca成分についてはCaCO3に換算して、およびZr成分についてはZrO2に換算して、0.3〜3重量%、ならびに、前記Mn成分をMnCO3に換算して5〜15重量%含む、請求項1に記載のセラミック基板。
- 前記誘電体セラミック層は、前記誘電体セラミック組成物100重量部に対して、さらに希土類元素(La、Ce、Pr、Nd、Sm、Dy、Ho、ErおよびYから選ばれる少なくとも1種)を希土類元素酸化物に換算して0.5〜8.0重量部含む、誘電体セラミック組成物を焼結させてなるものである、請求項1または2に記載のセラミック基板。
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