JP5038701B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
24…対物レンズ鏡筒
25…対物レンズ
26…照明光導出用リング盤
27…傾斜凹部
28…照明光出射用輪帯部
30…気体噴射ノズル
Claims (2)
- 対物レンズを有する対物レンズ鏡筒の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤が設けられ、照明光導出用リング盤から導出された照明光によって対物レンズの光軸と検査対象物との交差部位を含めてその周囲を照明して検査を行うものにおいて、前記照明光導出用リング盤には検査対象物に向かって拡径されて先方が開口されたテーパ形状の傾斜凹部が形成され、該傾斜凹部の壁面には前記対物レンズ鏡筒の周回り方向から前記対物レンズの光軸と前記検査対象物との交差部位を含めてその周囲を照明するための照明光を出射する照明光出射用輪帯部が設けられると共に、前記交差部位を含めてその周囲に気流を吹き付けるための気体噴射ノズルが設けられ、前記傾斜凹部に吸引装置に連通する吸引開口が設けられ、前記気体噴射ノズルの基部は前記傾斜凹部の縮径部に設けられ、前記吸引開口は前記傾斜凹部の拡径部に設けられ、前記照明光出射用輪帯部は、前記縮径部と前記拡径部との中間部分に設けられていることを特徴とする検査装置。
- 前記傾斜凹部の壁面が研磨されて照明光の反射作用を果たすことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
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