JP2008153321A - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008153321A JP2008153321A JP2006337761A JP2006337761A JP2008153321A JP 2008153321 A JP2008153321 A JP 2008153321A JP 2006337761 A JP2006337761 A JP 2006337761A JP 2006337761 A JP2006337761 A JP 2006337761A JP 2008153321 A JP2008153321 A JP 2008153321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination light
- objective lens
- inspection apparatus
- wafer
- diameter portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】対物レンズ鏡筒24の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤26が設けられ、照明光導出用リング盤26から導出された照明光Pによって対物レンズ25の光軸Oとウエハ22との交差部位Qを含めてその周囲を照明して検査を行うものにおいて、照明光導出用リング盤26にウエハ22に向かって拡径されて先方が開口されたテーパ形状の傾斜凹部27が形成され、傾斜凹部27の壁面に対物レンズ鏡筒24の周回り方向から交差部位Qを含めてその周囲を照明する照明光Pを出射する照明光出射用輪帯部28が設けられると共に、交差部位Qを含めてその周囲に気流を吹き付けるための気体噴射ノズル30が設けられている。
【選択図】図4
Description
24…対物レンズ鏡筒
25…対物レンズ
26…照明光導出用リング盤
27…傾斜凹部
28…照明光出射用輪帯部
30…気体噴射ノズル
Claims (4)
- 対物レンズを有する対物レンズ鏡筒の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤が設けられ、照明光導出用リング盤から導出された照明光によって対物レンズの光軸と検査対象物との交差部位を含めてその周囲を照明して検査を行うものにおいて、前記照明光導出用リング盤には検査対象物に向かって拡径されて先方が開口されたテーパ形状の傾斜凹部が形成され、該傾斜凹部の壁面には前記対物レンズ鏡筒の周回り方向から前記対物レンズの光軸と前記検査対象物との交差部位を含めてその周囲を照明するための照明光を出射する照明光出射用輪帯部が設けられると共に、前記交差部位を含めてその周囲に気流を吹き付けるための気体噴射ノズルが設けられていることを特徴とする検査装置。
- 前記傾斜凹部に吸引装置に連通する吸引口が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記気体噴射ノズルの基部は前記傾斜凹部の縮径部に設けられ、前記吸引開口は前記傾斜凹部の拡径部に設けられ、前記照明光出射用輪帯部は、前記縮径部と前記拡径部との中間部分に設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の検査装置。
- 前記傾斜凹部の壁面が研磨されて照明光の反射作用を果たすことを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006337761A JP5038701B2 (ja) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006337761A JP5038701B2 (ja) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008153321A true JP2008153321A (ja) | 2008-07-03 |
JP5038701B2 JP5038701B2 (ja) | 2012-10-03 |
Family
ID=39655214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006337761A Expired - Fee Related JP5038701B2 (ja) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5038701B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011106815A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Arc Harima Kk | 表面検査方法および表面検査装置 |
JP2012052991A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Topcon Corp | 検査装置 |
JP2013234969A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置 |
KR101754020B1 (ko) | 2016-03-30 | 2017-07-06 | 가톨릭대학교 산학협력단 | 비산 석면농도 측정을 위한 이미지데이터 취득장치의 슬릿 세척 방법 |
JP2020136569A (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置及びクリーニング方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6124232A (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-01 | Hitachi Ltd | パタ−ン検査方法 |
JPH01264231A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Hitachi Ltd | 光学検査装置 |
JPH03264231A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-25 | Amada Co Ltd | クランプ自動位置決め装置 |
JPH11174333A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 光学顕微鏡 |
JP2002011641A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の撮像機構 |
JP2003065970A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Nec Corp | 異物検査方法およびその装置 |
-
2006
- 2006-12-15 JP JP2006337761A patent/JP5038701B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6124232A (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-01 | Hitachi Ltd | パタ−ン検査方法 |
JPH01264231A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Hitachi Ltd | 光学検査装置 |
JPH03264231A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-25 | Amada Co Ltd | クランプ自動位置決め装置 |
JPH11174333A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 光学顕微鏡 |
JP2002011641A (ja) * | 2000-06-28 | 2002-01-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の撮像機構 |
JP2003065970A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Nec Corp | 異物検査方法およびその装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011106815A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Arc Harima Kk | 表面検査方法および表面検査装置 |
JP2012052991A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-15 | Topcon Corp | 検査装置 |
JP2013234969A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置 |
KR101754020B1 (ko) | 2016-03-30 | 2017-07-06 | 가톨릭대학교 산학협력단 | 비산 석면농도 측정을 위한 이미지데이터 취득장치의 슬릿 세척 방법 |
JP2020136569A (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置及びクリーニング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5038701B2 (ja) | 2012-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5038701B2 (ja) | 検査装置 | |
JP4495086B2 (ja) | 固浸レンズホルダ | |
JP5043571B2 (ja) | 内面検査装置 | |
JP5664167B2 (ja) | 検査装置 | |
KR20130132281A (ko) | 광학식 입자 검출 장치 및 입자 검출 방법 | |
JP2001108633A (ja) | 蓋のない飲料容器を光学的に検査するための装置および方法 | |
US8582202B2 (en) | Observing device and method | |
JP5559644B2 (ja) | 検査装置 | |
JPH11345865A (ja) | 半導体製造装置 | |
US9759669B2 (en) | Inspection device | |
EP1724666A2 (en) | Optical mouse and method for removing contaminants in an optical mouse | |
TW202016587A (zh) | 照明裝置 | |
US11256079B2 (en) | Solid immersion lens unit and semiconductor detector device | |
US20230278137A1 (en) | Laser processing device and nozzle inspection method | |
JP5646922B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2006038825A (ja) | 微細パターン観察装置およびそれを用いた微細パターン修正装置 | |
KR20170029954A (ko) | 관 내부 검사용 광학장치 | |
JP2006011045A (ja) | 全反射顕微鏡 | |
JP6020369B2 (ja) | 顕微鏡観察用試料の固定用治具 | |
JP2013024584A (ja) | 検査装置 | |
JP5359705B2 (ja) | ミラーユニットおよびこれを備えた孔内検査装置 | |
JP2022064816A (ja) | レーザ加工装置及びノズル検査方法 | |
JPH10314968A (ja) | レーザビーム加工装置 | |
JP2023045854A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2006039418A (ja) | 光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120124 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120323 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120706 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |