JP5035657B2 - エンコーダ及びレーザ照射装置 - Google Patents
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また、本発明は、第2の観点からすると、所定方向に沿って配列されたパターンに光を照射する発光器を有する光源と、前記パターンを介した前記光を受光する受光部と、一端を前記光源のベースに固定され他端を前記発光器に固定され、前記光の出射位置及び出射角度の少なくとも一方を変化させるために前記発光器の位置を前記光の出射方向に直交する前記所定方向に周期的に変動させる振動子と、を備えることを特徴とするエンコーダである。
また、本発明は、第4の観点からすると、所定方向に沿って配列されたパターンに光を射出する光源と、前記光を所定幅の平行光に変換するコリメータレンズ及び平行平板の少なくとも一方を有する光学系と、前記パターンを介した前記光を受光する受光部と、一端をヘッド部に固定され他端を前記コリメータレンズ又は前記平行平板に固定され、前記コリメータレンズの位置又は前記平行平板の位置を前記光の出射方向に直交する前記所定方向に周期的に変動させる振動子と、を備えることを特徴とするエンコーダである。
以下、本発明の第1の実施形態について説明する。図1には、本発明の第1の実施形態に係るエンコーダ100の主要部の概略構成が示されている。エンコーダ100は、X軸方向に移動可能な不図示の移動する物体(移動体)に固設されたスケール20にレーザビームを照射して、その反射光に基づいて、移動体の変位情報を検出する光学式エンコーダである。
次に、本発明の第2の実施形態に基づいて説明する。図4には、本発明の第2の実施形態に係るエンコーダ101の概略的な構成が示されている。図4に示されるように、エンコーダ101は、光源3の代わりに光源3’を備える点と、コリメータレンズ4をX軸方向に駆動するアクチュエータ30を備える点とが異なっている。
Claims (9)
- 所定方向に沿って配列されたパターンに光を照射する光源と、
前記パターンを介して、前記光を受光する受光部と、
前記光源と前記受光部との間で、前記光の通過位置の変動中心を監視する監視装置と、
該監視装置の監視結果に基づいて、前記光源からの前記光の出射位置及び出射角度の少なくとも一方を調整する調整装置と、を備え、
前記光源は、前記パターンに照射される前記光を、前記パターンが配列された前記所定方向に周期的に変動させるために、前記光の出射位置及び出射角度の少なくとも一方を変化させることを特徴とするエンコーダ。 - 前記光源は、前記光源及び前記受光部に対して前記パターンが前記所定方向に相対移動している間、前記光の出射位置及び出射角度の少なくとも一方を変化させることを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ。
- 前記光源は、光を発光する発光器と;
前記発光器の位置を前記光の出射方向に直交する方向に周期的に変動させる振動子と;を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のエンコーダ。 - 所定方向に沿って配列されたパターンに光を照射する発光器を有する光源と、
前記パターンを介した前記光を受光する受光部と、
一端を前記光源のベースに固定され他端を前記発光器に固定され、前記光の出射位置及び出射角度の少なくとも一方を変化させるために前記発光器の位置を前記光の出射方向に直交する前記所定方向に周期的に変動させる振動子と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。 - 前記発光器は、半導体レーザであり、
前記振動子は、圧電素子及び磁歪素子のいずれか一方であることを特徴とする請求項3又は4に記載のエンコーダ。 - 光を発光する発光器と、
前記発光器から発光された光を所定幅の平行光に変換する光学系と、
前記光学系で変換された平行光を、所定方向に沿って配列されたパターンに照射する対物光学素子と、
前記光の進行方向に直交する方向に関する前記光学系の位置及び角度のいずれか一方を、周期的に変動させる振動子と、
前記光学系の変動中心を監視する監視装置と、
前記監視装置の監視結果に基づいて、前記光学系の位置及び角度の少なくとも一方を周期的に変動させる制御装置と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。 - 前記光学系は、コリメータレンズ又は平行平板であることを特徴とする請求項6に記載のエンコーダ。
- 所定方向に沿って配列されたパターンに光を射出する光源と、
前記光を所定幅の平行光に変換するコリメータレンズ及び平行平板の少なくとも一方を有する光学系と、
前記パターンを介した前記光を受光する受光部と、
一端をヘッド部に固定され他端を前記コリメータレンズ又は前記平行平板に固定され、前記コリメータレンズの位置又は前記平行平板の位置を前記光の出射方向に直交する前記所定方向に周期的に変動させる振動子と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。 - 所定方向に沿って配列されたパターンにレーザ光を射出するレーザ発振器を有する光源と、
一端を前記光源のベースに固定され他端を前記レーザ発振器に固定され、前記レーザ発振器の位置を、前記レーザ光の出射方向に直交する前記所定方向に周期的に変動させる振動子と、を備え、
前記光源は、前記パターンを有するスケールに対して前記所定方向に相対移動が可能であって、
前記振動子は、前記光源が相対移動している間、前記レーザ光の出射位置及び出射角度の少なくとも一方を変化させる
ことを特徴とするレーザ照射装置。
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JP2005377595A JP5035657B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | エンコーダ及びレーザ照射装置 |
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