JPH0358014A - ビームスキャニング装置 - Google Patents
ビームスキャニング装置Info
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- JPH0358014A JPH0358014A JP1196064A JP19606489A JPH0358014A JP H0358014 A JPH0358014 A JP H0358014A JP 1196064 A JP1196064 A JP 1196064A JP 19606489 A JP19606489 A JP 19606489A JP H0358014 A JPH0358014 A JP H0358014A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 27
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 1
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- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、レーザプリンタ、バーコードリーダなどに用
いられるビームスキャニング装置に関する. 《従来の技術〉 従来のビームスキャニング装置を第5図に示す.この装
置は、光源から出射された光ビームをポリゴン處ラー(
多面鏡)11に入射し、ポリゴンミラ−11で反射され
る光ビームの方向を、モータ12でポリゴンミラ−11
を回転させることによって変化させ、光ビームのスキャ
ンを行うものである。13,14はシリンドリカルレン
ズ、15は集光走査レンズである. く発明が解決しようとする課題〉 上記構或の従来例のビームスキャニング装置には、次の
ような問題点がある. +83 個々の部品が比較的大きく、ことに、ポリゴ
ンξラー11とモータ12の存在のために全体が大型化
していて、小型化するにも一定の濯界がある.(bl
ポリゴンミラ−11は、複数の反射面11aが順次切
り換えられるものであるが、どの反射面1laでも全く
同じように光ビームを反射させなければならない関係上
、すべての反射面11afJ<厳密に等価的に加工され
ていなければならず、そのようなポリゴンaラー11の
製作または入手に要する費用が高くつ《. (c) ポリゴンミラ−11の1つの反射面11aに
ついての中心角によって光ビームのスキャン角度がある
角度に固定的に決まってしまい、スキャン角度を制御す
ることができない. fdl ボリゴン藁ラー11が常時同一方向に回転す
るから、光ビームのスキャン方向が右一左あるいは左一
右のいずれか一方向に限定されている.本発明は、この
ような事情に鑑みてなされたものであって、充分に小型
でロウコストであり、スキャン角度の制御が可能である
とともに、スキャン方向を往復二方向とできるビームス
キャニング装置を提供することを目的とする。
いられるビームスキャニング装置に関する. 《従来の技術〉 従来のビームスキャニング装置を第5図に示す.この装
置は、光源から出射された光ビームをポリゴン處ラー(
多面鏡)11に入射し、ポリゴンミラ−11で反射され
る光ビームの方向を、モータ12でポリゴンミラ−11
を回転させることによって変化させ、光ビームのスキャ
ンを行うものである。13,14はシリンドリカルレン
ズ、15は集光走査レンズである. く発明が解決しようとする課題〉 上記構或の従来例のビームスキャニング装置には、次の
ような問題点がある. +83 個々の部品が比較的大きく、ことに、ポリゴ
ンξラー11とモータ12の存在のために全体が大型化
していて、小型化するにも一定の濯界がある.(bl
ポリゴンミラ−11は、複数の反射面11aが順次切
り換えられるものであるが、どの反射面1laでも全く
同じように光ビームを反射させなければならない関係上
、すべての反射面11afJ<厳密に等価的に加工され
ていなければならず、そのようなポリゴンaラー11の
製作または入手に要する費用が高くつ《. (c) ポリゴンミラ−11の1つの反射面11aに
ついての中心角によって光ビームのスキャン角度がある
角度に固定的に決まってしまい、スキャン角度を制御す
ることができない. fdl ボリゴン藁ラー11が常時同一方向に回転す
るから、光ビームのスキャン方向が右一左あるいは左一
右のいずれか一方向に限定されている.本発明は、この
ような事情に鑑みてなされたものであって、充分に小型
でロウコストであり、スキャン角度の制御が可能である
とともに、スキャン方向を往復二方向とできるビームス
キャニング装置を提供することを目的とする。
く諜題を解決するための手段〉
本発明は、このような目的を達戒するために、次のよう
な構戒をとる. すなわち、本発明のビームスキャニング装置は、発光素
子と、この発光素子の光軸と平行な光軸をもつ状態で発
光素子の前面に配置されたレンズと、これら発光素子と
レンズとのいずれか一方を光軸に対してほぼ直交する方
向に往復変位させる変位機構とを備えたものである. く作用〉 本発明の上記構戒による作用は、次のとおりである. すなわち、変位機構によって変位されるのが発光素子、
レンズの何れである場合も、レンズを中心に考えた場合
、レンズが発光素子に対して相対的に変位されると考え
てよい。レンズの配置がその光軸を発光素子の光軸と平
行にしたものであり、レンズの相対的変位の方向は発光
素子の光軸に対してほぼ直交する方向である.したがっ
て、レンズの相対的変位によって、kンズの光軸が発光
素子の光軸に対する平行性を保ちながら、発光素子の出
射点とレンズの中心とを結ぶ直線が発光素子の光軸に対
して傾斜する.この傾斜した直線の方向が光ビームの出
射方向である.レンズの相対変位量が増加/減少するに
従って、光ビームの傾斜角度も増加/fiIi少するか
ら、光ビームがスキャンされる. 変位機構としては、回転ではなく単に往復移動させるも
のでよいから、例えば静電誘導によるクーロン力を利用
する一対の静電電極や、電磁力を利用したソレノイドコ
イルや、圧電素子などを採用することが可能となる.こ
のような変位機構は、回転のためのモータとは違っては
るかに小さく構或できる. レンズとしては、集光レンズでもグレーティングレンズ
(フレネルレンズ)でもよく、いずれもポリゴンもラー
に比べて要求される加工精度が低い.すなわち、発光素
子に対して相対変位するレンズは、ポリゴンミラーのよ
うに複数の反射面を順次切り換えるものではなく、常に
同じ部分で光ビームを透過させるものであるから、ポリ
ゴンξラーのようにすべての反射面を厳密に等価的に加
工するといった必要性がなく、その製作あるいは入手に
要する費用が安くてすむ. また、レンズは、ポリゴンξラーのように複数の反射面
を必要とするものではないから、ポリゴンミラーに比べ
て充分に小さいものでよい.変位機構を前述のように静
電電極、ソレノイドコイル、圧電素子のいずれで構或す
るにしても、それに与える電気量(電圧または電流)の
制御によって変位量を調整することが可能であり、した
がって、光ビームのスキャン角度も制御可能とな変位機
構によるレンズの相対的変位が往復変位であるため、ス
キャン方向が往復二方向となる.く実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
. 玉上大崖班 第1図に示すように、ほli字状の絶縁性のステム1の
横板部分にレーザダイオードや発光ダイオードを利用し
た発光素子2が実装されている。
な構戒をとる. すなわち、本発明のビームスキャニング装置は、発光素
子と、この発光素子の光軸と平行な光軸をもつ状態で発
光素子の前面に配置されたレンズと、これら発光素子と
レンズとのいずれか一方を光軸に対してほぼ直交する方
向に往復変位させる変位機構とを備えたものである. く作用〉 本発明の上記構戒による作用は、次のとおりである. すなわち、変位機構によって変位されるのが発光素子、
レンズの何れである場合も、レンズを中心に考えた場合
、レンズが発光素子に対して相対的に変位されると考え
てよい。レンズの配置がその光軸を発光素子の光軸と平
行にしたものであり、レンズの相対的変位の方向は発光
素子の光軸に対してほぼ直交する方向である.したがっ
て、レンズの相対的変位によって、kンズの光軸が発光
素子の光軸に対する平行性を保ちながら、発光素子の出
射点とレンズの中心とを結ぶ直線が発光素子の光軸に対
して傾斜する.この傾斜した直線の方向が光ビームの出
射方向である.レンズの相対変位量が増加/減少するに
従って、光ビームの傾斜角度も増加/fiIi少するか
ら、光ビームがスキャンされる. 変位機構としては、回転ではなく単に往復移動させるも
のでよいから、例えば静電誘導によるクーロン力を利用
する一対の静電電極や、電磁力を利用したソレノイドコ
イルや、圧電素子などを採用することが可能となる.こ
のような変位機構は、回転のためのモータとは違っては
るかに小さく構或できる. レンズとしては、集光レンズでもグレーティングレンズ
(フレネルレンズ)でもよく、いずれもポリゴンもラー
に比べて要求される加工精度が低い.すなわち、発光素
子に対して相対変位するレンズは、ポリゴンミラーのよ
うに複数の反射面を順次切り換えるものではなく、常に
同じ部分で光ビームを透過させるものであるから、ポリ
ゴンξラーのようにすべての反射面を厳密に等価的に加
工するといった必要性がなく、その製作あるいは入手に
要する費用が安くてすむ. また、レンズは、ポリゴンξラーのように複数の反射面
を必要とするものではないから、ポリゴンミラーに比べ
て充分に小さいものでよい.変位機構を前述のように静
電電極、ソレノイドコイル、圧電素子のいずれで構或す
るにしても、それに与える電気量(電圧または電流)の
制御によって変位量を調整することが可能であり、した
がって、光ビームのスキャン角度も制御可能とな変位機
構によるレンズの相対的変位が往復変位であるため、ス
キャン方向が往復二方向となる.く実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
. 玉上大崖班 第1図に示すように、ほli字状の絶縁性のステム1の
横板部分にレーザダイオードや発光ダイオードを利用し
た発光素子2が実装されている。
発光素子2の光軸に平行な板バネ3の下端がステム1の
段部に固定され、その上端に発光素子2の光軸に対して
直交する方向に変位可能な可動片4が取り付けられ、光
軸を発光素子2の光軸と一致させたグレーティングレン
ズ(フレネルレンズ)5が発光素子2の前面に位置する
状態で可動片4に取り付けられている.グレーティング
レンズ5は、その焦点が発光素子2の出射点に位置する
ように取り付けられる.ステムlの縦坂部分の上端と可
動片4との間には隙間が存在し、その隙間に臨む状態で
縦仮部分と可動片4のそれぞれに互いに対向する静電t
極6.7が取り付けられ、この静電電極6.7に電圧制
御回路8が接続されている。この実施例の場合、対向す
る静電電極6.7が変位機構a1を構或する. 発光素子2に電流を供給して発光素子2から光ビームを
出射させると、発光素子2の出射点にグレーティングレ
ンズ5の焦点が位置しているので、グレーティングレン
ズ5を透過した光ビームは平行光となる. そして、電圧制御回路8から静電t極6,7に矩形波を
印加すると、その矩形波の“H0レベルの状態で、静電
電極6,7間に静電誘導によるクーロン力が働き、板バ
ネ3の弾性に抗して静電電極7が静電電極6に引き寄せ
られる.その結果、可動片4とともにグレーティングレ
ンズ5が第2図の(a)に示すように、発光素子2の光
軸に対して直交する方向で右側に変位する.グレーティ
ングレンズ5の焦点が発光素子2の出射点に位置してい
るので、グレーティングレンズ5の変位置のいかんにか
かわらず、グレーティングレンズ5を透過した光ビーム
の方向は、発光素子2の出射点とグレーティングレンズ
5の中心とを結ぶ直線に平行な方向となる。発光素子2
の光軸を基準とするグレーティングレンズ5の最大変位
量をΔXとし、グレーティングレンズ5の焦点距離をf
とすると、右側への最大スキャン角度θ,は、θB −
tan刊(Δx / f )となる. 矩形波が@L″レベルになるとクーロン力が無《なり、
仮バネ30弾性復帰力によって可動片4とともにグレー
ティングレンズ5が第2図の(b)に示す発光素子2の
光軸の位置を通過し、さらに第2図の(c)に示すよう
に左側に変位する.この左側への変位量は右側への変位
量と実質的に同一である.左側への最大スキャン角度θ
,は、θL − − tan引(一Δx / f )と
なる. したがって、左右両側にわたるスキャン角度θは、 θ一θ,+θL −2 tan−’ (Δx/f)
となる. 静電電極6.7に矩形波の1H″レベル、1L1レベル
が繰り返し与えられるので、グレーティングレンズ5は
発光素子2の光軸を中心としてその左右に往復変位し、
光ビームのスキャンが行われる。このスキャンは、ポリ
ゴンミラーの一方向スキャンとは違って左右二方向の往
復スキャンとなる.!圧制御回路8から出力する矩形波
の電圧または周期の調整によって、スキャン角度θを制
御することができる. 玉1夾施班 この実施例は、グレーティングレンズを固定とし、発光
素子を変位させるようにしたものである.すなわち、第
3図に示すように、ステム1の縦板部分にグレーティン
グレンズ5を固定するとともに、ステム1の段部から延
出した板バネ3の遊端に可動片4を介して発光素子2を
取り付け、ステム1の横板部分と可動片4とに互いに対
向する状態で変位機構a,である静電電極6.7を取り
付けたものである.静電電極6.7に電圧を印加しない
状態において、発光素子2の光軸とグレーティングレン
ズ5の光軸とは一致する。
段部に固定され、その上端に発光素子2の光軸に対して
直交する方向に変位可能な可動片4が取り付けられ、光
軸を発光素子2の光軸と一致させたグレーティングレン
ズ(フレネルレンズ)5が発光素子2の前面に位置する
状態で可動片4に取り付けられている.グレーティング
レンズ5は、その焦点が発光素子2の出射点に位置する
ように取り付けられる.ステムlの縦坂部分の上端と可
動片4との間には隙間が存在し、その隙間に臨む状態で
縦仮部分と可動片4のそれぞれに互いに対向する静電t
極6.7が取り付けられ、この静電電極6.7に電圧制
御回路8が接続されている。この実施例の場合、対向す
る静電電極6.7が変位機構a1を構或する. 発光素子2に電流を供給して発光素子2から光ビームを
出射させると、発光素子2の出射点にグレーティングレ
ンズ5の焦点が位置しているので、グレーティングレン
ズ5を透過した光ビームは平行光となる. そして、電圧制御回路8から静電t極6,7に矩形波を
印加すると、その矩形波の“H0レベルの状態で、静電
電極6,7間に静電誘導によるクーロン力が働き、板バ
ネ3の弾性に抗して静電電極7が静電電極6に引き寄せ
られる.その結果、可動片4とともにグレーティングレ
ンズ5が第2図の(a)に示すように、発光素子2の光
軸に対して直交する方向で右側に変位する.グレーティ
ングレンズ5の焦点が発光素子2の出射点に位置してい
るので、グレーティングレンズ5の変位置のいかんにか
かわらず、グレーティングレンズ5を透過した光ビーム
の方向は、発光素子2の出射点とグレーティングレンズ
5の中心とを結ぶ直線に平行な方向となる。発光素子2
の光軸を基準とするグレーティングレンズ5の最大変位
量をΔXとし、グレーティングレンズ5の焦点距離をf
とすると、右側への最大スキャン角度θ,は、θB −
tan刊(Δx / f )となる. 矩形波が@L″レベルになるとクーロン力が無《なり、
仮バネ30弾性復帰力によって可動片4とともにグレー
ティングレンズ5が第2図の(b)に示す発光素子2の
光軸の位置を通過し、さらに第2図の(c)に示すよう
に左側に変位する.この左側への変位量は右側への変位
量と実質的に同一である.左側への最大スキャン角度θ
,は、θL − − tan引(一Δx / f )と
なる. したがって、左右両側にわたるスキャン角度θは、 θ一θ,+θL −2 tan−’ (Δx/f)
となる. 静電電極6.7に矩形波の1H″レベル、1L1レベル
が繰り返し与えられるので、グレーティングレンズ5は
発光素子2の光軸を中心としてその左右に往復変位し、
光ビームのスキャンが行われる。このスキャンは、ポリ
ゴンミラーの一方向スキャンとは違って左右二方向の往
復スキャンとなる.!圧制御回路8から出力する矩形波
の電圧または周期の調整によって、スキャン角度θを制
御することができる. 玉1夾施班 この実施例は、グレーティングレンズを固定とし、発光
素子を変位させるようにしたものである.すなわち、第
3図に示すように、ステム1の縦板部分にグレーティン
グレンズ5を固定するとともに、ステム1の段部から延
出した板バネ3の遊端に可動片4を介して発光素子2を
取り付け、ステム1の横板部分と可動片4とに互いに対
向する状態で変位機構a,である静電電極6.7を取り
付けたものである.静電電極6.7に電圧を印加しない
状態において、発光素子2の光軸とグレーティングレン
ズ5の光軸とは一致する。
動作については、静電電@6,7への矩形波印加に伴っ
て発光素子2が変位するという点を除いて、基本的に第
1実施例と同様である。
て発光素子2が変位するという点を除いて、基本的に第
1実施例と同様である。
星主叉鳳班
この実施例は第4図に示すように、基本的には第I実施
例と同様の構造を有しており、変位機横a,として圧電
素子9を採用したものである。その他の構或は第1実施
例と同様であるので、対応する部分に同一符号を付すに
とどめ、説明を省略する. なお、図示を省略するが、変位機構としては、上記の静
電電極6.7や圧電素子9以外に、ソレノイドコイルを
用いてもよい. また、光ビームを平行化するグレーティングレンズ5に
代えて、光ビームを集束する集束レンズを用いてもよい
。
例と同様の構造を有しており、変位機横a,として圧電
素子9を採用したものである。その他の構或は第1実施
例と同様であるので、対応する部分に同一符号を付すに
とどめ、説明を省略する. なお、図示を省略するが、変位機構としては、上記の静
電電極6.7や圧電素子9以外に、ソレノイドコイルを
用いてもよい. また、光ビームを平行化するグレーティングレンズ5に
代えて、光ビームを集束する集束レンズを用いてもよい
。
なお、板バネ3と可動片4とをもう一組設けることによ
り、従来例では不可能であった前後左右の二次元方向で
光ビームをスーキャンさせることも可能である. く発明の効果〉 以上のことから、本発明によれば、次のような効果が発
揮される. ■ 光ビームスキャンのために発光素子に対して相対的
にレンズを変位させる変位機構として、静電誘導による
クーロン力を利用する静電電極や、電磁力を利用するソ
レノイドコイルや、圧電素子などを採用することができ
、また、レンズは、ポリゴンaラーのように複数の反射
面を必要とするものではないから、ポリゴンミラーに比
べて充分に小さいものでよく、ポリゴンミラーおよびモ
ータを使用する従来例に比べて全体構造の大幅な小型化
を達威することができる. ■ 相対変位されるレンズとして、要求される加工精度
がポリゴンミラーに比べてはるかに低くてよい集光レン
ズやグレーティングレンズを採用でき、ロウコスト化を
図ることができる.■ 変位機構に対する出力制御によ
って相対的変位量の調整が可能であり、光ビームのスキ
ャン角度を制御することができる. ■ 変位機構によるレンズの相対的変位が往復変位であ
るため、スキャン方向を往復二方向とすることができる
.
り、従来例では不可能であった前後左右の二次元方向で
光ビームをスーキャンさせることも可能である. く発明の効果〉 以上のことから、本発明によれば、次のような効果が発
揮される. ■ 光ビームスキャンのために発光素子に対して相対的
にレンズを変位させる変位機構として、静電誘導による
クーロン力を利用する静電電極や、電磁力を利用するソ
レノイドコイルや、圧電素子などを採用することができ
、また、レンズは、ポリゴンaラーのように複数の反射
面を必要とするものではないから、ポリゴンミラーに比
べて充分に小さいものでよく、ポリゴンミラーおよびモ
ータを使用する従来例に比べて全体構造の大幅な小型化
を達威することができる. ■ 相対変位されるレンズとして、要求される加工精度
がポリゴンミラーに比べてはるかに低くてよい集光レン
ズやグレーティングレンズを採用でき、ロウコスト化を
図ることができる.■ 変位機構に対する出力制御によ
って相対的変位量の調整が可能であり、光ビームのスキ
ャン角度を制御することができる. ■ 変位機構によるレンズの相対的変位が往復変位であ
るため、スキャン方向を往復二方向とすることができる
.
第1図は本発明の第.1実施例に係るビームスキャニン
グ装置を示す正面図、第2図はその動作説明図、第3図
は第2実施例の正面図、第4図は第3実施例の正面図、
第5図は従来例の構或図である. 6, 1・・・ステム、 3・・・板バネ、 5・・・グレーティ 7・・・静電電極、 9・・・圧電素子、 2・・・発光素子、 4・・・可動片、 ングレンズ、 8・・・電圧制御回路、 alga!・・・変位機構
グ装置を示す正面図、第2図はその動作説明図、第3図
は第2実施例の正面図、第4図は第3実施例の正面図、
第5図は従来例の構或図である. 6, 1・・・ステム、 3・・・板バネ、 5・・・グレーティ 7・・・静電電極、 9・・・圧電素子、 2・・・発光素子、 4・・・可動片、 ングレンズ、 8・・・電圧制御回路、 alga!・・・変位機構
Claims (1)
- (1)発光素子と、この発光素子の光軸と平行な光軸を
もつ状態で発光素子の前面に配置されたレンズと、これ
ら発光素子とレンズとのいずれか一方を光軸に対してほ
ぼ直交する方向に往復変位させる変位機構とを備えたビ
ームスキャニング装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1196064A JPH0358014A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | ビームスキャニング装置 |
US07/558,425 US5097354A (en) | 1989-07-27 | 1990-07-27 | Beam scanner |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1196064A JPH0358014A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | ビームスキャニング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0358014A true JPH0358014A (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=16351600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1196064A Pending JPH0358014A (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | ビームスキャニング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0358014A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05288857A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Nec Corp | レーザレーダ装置 |
JP2000097864A (ja) * | 1998-09-21 | 2000-04-07 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査用投光装置 |
JP2006284954A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Nhk Spring Co Ltd | 光走査用アクチュエータ |
JP2007178278A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Sendai Nikon:Kk | エンコーダ及びレーザ照射装置 |
JP2007256692A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Sendai Nikon:Kk | 光走査モジュール及びエンコーダ |
JP2009063503A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Olympus Imaging Corp | 車両用光スキャン装置 |
-
1989
- 1989-07-27 JP JP1196064A patent/JPH0358014A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH05288857A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Nec Corp | レーザレーダ装置 |
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JP4576006B2 (ja) * | 1998-09-21 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | 外観検査用投光装置 |
JP2006284954A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Nhk Spring Co Ltd | 光走査用アクチュエータ |
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