JP5028475B2 - 光学走査プローブ - Google Patents
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Description
走査プローブは、3D面形状の対象物上で1秒に何千点も計測する非接触光学プローブである。大まかに3つのタイプの走査プローブ(点、ストライプ、および領域)が存在する。本発明はストライプ走査プローブに関する。大部分のストライプ走査プローブは、光学三角測量の原理を使用する。ストライプ走査プローブは、Metris(ベルギー)、3D Scanners(英国)、Romer(フランス)、Faro Technologies(米国)、Perceptron(米国)、Steinbichler(ドイツ)、Pulstec(日本)、Micro Epsilon(ドイツ)、SICK IVP(ドイツ)、Vitana(カナダ)、Laser Design(米国)、Datapixel(スペイン)、Optimet(イスラエル)、およびKreon(フランス)他によって提供または開発されている。
対象物の表面を走査するため、ストライプ走査プローブは、表面塗装用ペンキ刷毛の使用のされ方に似た方法で対象物の表面の上で動く必要がある。ストライプ走査プローブの動きは、手動または自動装置で達成され得る。
対象物の表面の正確なデータを得るためには、表面データがストライプ走査プローブによって捕捉されるとき、ストライプ走査プローブの位置と方向を登録するためのローカライザーが必要である。ローカライザーは、一般的には機械的またはリモートである。ローカライザーは、プローブを支持し/動かし、ならびにその位置および方向を提供する二機能を有することもできる。機械的ローカライザーには、3軸直交座標測定機械(cordinate measurement machines:CMMs)、手動CMMアーム(Manual CMM arms)、ロボットCMMアーム(Robot CMM arms)、およびベース端に対するプローブ端の位置と方向を正確に登録できる実質的に全タイプの組み合わせの連続する機械的リンケージが含まれ、ストライプ走査プローブは、プローブ端にしっかりと取り付けられる。リモートローカライザーには、光学追跡装置、光学CMM、磁気追跡装置、およびGPSシステムが含まれる。リモートローカライザーは、ストライプ走査プローブとリモートローカライザー装置との間でしばしば1以上の視線を必要とする。
手動CMMアームのストライプ走査プローブは、PCT/GB96/01868(特許文献5)等のいくつかの特許出願で本発明の発明者であるCramptonによって開示された。手動CMMアーム用ストライプ走査プローブは、例えば、Metris, 3D Scanners, Romer, Faro Technologies, Perceptron, Steinbichler, Pulstec および Kreon他によって提供され、または開発されている。これまでのところ、ストライプ走査プローブについて、精度が計測されるべき方法を規定する計測精度基準が存在していない。実際的な方法で精度を確認し、走査プローブタイプ間の比較ができる標準テストをすることができない状況に市場はある。ストライプ走査プローブは、主にはその計測範囲が短いことにより正確になってきている。概ね、ストライプ走査プローブは、ほぼ20−400mm程度の計測範囲にわたって計測データを集める。これは、しばしば手動CMMアームの端部から離れてなされる。最良のストライプ走査プローブと組み合わされた最良の手動CMMアームの精度は、短い計測範囲については、既に0.050mm(+/−2シグマ)より良く、0.010mm(+/−2シグマ)より良いこともある。ストライプ走査プローブは、通常、手動CMMアームの側部にずらせて取り付けられるか、またはそのプローブ端に取り付けられる。ストライプ走査プローブは、好ましい程度の精度に機械的に再現可能な取り付けシステムを使用して、通常、迅速に手動CMMアームから取り外しできる。
精度:ユーザーは、ストライプ走査プローブからかつて無い程高い精度とデータ品質を要求している。
スピード:表面が走査されるときサンプリングされる。表面再構築または計測の品質と自動化は、走査される生の点の数と密度に関係する。市場における最新センサの走査速度は、典型的には毎秒3,000点から20,000点である。毎秒200,000点を超える速度は、データ捕捉時間および処理作業後における人手の介在の両方を減らすことにより、ストライプ走査プローブの生産性を高めるであろう。
配線:少ない配線のストライプ走査プローブは、配線が多いストライプ走査プローブより有用性が高い。配線は、CMMのコストのうち益々増加する部分である。
小型化:組み込み加工され、別ボックスの電子部品および関連配線が無いストライプ走査プローブを提供することが望ましい。
コスト:市場はさらに競合的となりつつあり、ストライプ走査プローブの製造コストを下げるため、配線、部品の削減が望ましい。
市場の大部分のストライプ走査プローブは、アナログであり、ビデオCCD画像センサを使用している。この最新技術の映像技術では、精度、データ品質、速度、コスト、小型化という問題解決を制限していた。
本発明の一実施形態は、対象物を光ストライプで照射および対象物表面から反射した光を検出することにより、対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉するための走査プローブ(2)に関し、以下を備える:
(a)光ストライプ(55)を生成および発するストライプ生成手段(14);
(b)対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素の配列を有する画像センサを備えるカメラ(16);
(c)カメラ(16)により検出された強度に応じて、単一のフレームの取得中に光ストライプ(55)の強度を調節するための手段。
−異なる時間において異なる一部の画像センサ画素が、フレームの取得中にストライプから反射した光を検出するようにカメラ(16)および/またはストライプ生成手段(14)が構成されており、異なる一部が、検出された光ストライプの異なる位置に対応し、
−光の強度を調節するための手段が、一部の画素によって検出された強度に応じて、
フレームの取得中に強度を調節するように構成されている。
−異なる時間において異なる一部のセンサ画素が、フレームの取得中にストライプから反射した光を検出するように、ロールシャッターが構成されており、異なる一部が、検出されたストライプ上の異なる位置に対応し、および
−一部の画素によって検出された強度に応じて、ストライプ生成手段(14)が、ストライプの長手方向に亘って一定強度のストライプを生成するように構成されており、その全体の強度がフレームの取得中に調節可能である。
−少なくとも1つ前に投影された光ストライプについて、一部における画素(単数または複数)によって検出された光、および
−少なくとも1つ前に投影された光ストライプにおいて、一部について発した光の強度。
−単一のフレームの取得中にその個別の強度が調節可能である複数のスポットを備えるストライプ(55)を生成するように、ストライプ生成手段(14)が構成されており、
−異なる時間において、異なる一部のセンサ画像がフレームの取得中にストライプから反射した光を検出するように、スポットが別々に投影され、異なる一部が光ストライプ上の異なる位置に対応しており、
−個別のスポット強度が、一部の画素によって検出された強度に応じて調節される。
−ストライプにおける少なくとも1つ前に投影されたスポットについて、一部における画素(単数または複数)によって検出された光、および
−ストライプにおける少なくとも1つ前に投影されたスポットにおいて、一部について発した光の強度。
(a)光ストライプを生成および発する;
(b)画素の配列を備える画像センサを使用して、対象物表面から反射した光ストライプを検出する、
(c)画素によって検出された光の強度に応じて、単一のフレームの取得中に光の強度を調節する。
−異なる時間において異なる一部の画像センサ画素が、該フレームの取得中に該ストライプから反射した光を検出し、該異なる一部が該検出された光ストライプ上の異なる位置に対応し、各一部における該画素(単数または複数)によって検出された該光を決定し;および
−フレームの取得中に光の強度が、一部の画素によって検出された光の強度に応じて調節される。
−ストライプ生成手段が、ストライプの長手方向に亘って一定強度のストライプを生成し、その全体の強度が単一のフレームの取得中に調節される。
−各一部の画素について強度を、少なくとも1つ前に投影された光ストライプについて一部における画素(単数または複数)によって検出された光、および
−少なくとも1つ前に投影された光ストライプにおいて一部について発した光の強度。
−単一のフレームの取得中にその個別の強度が調節可能である複数のスポットを備えるストライプを、ストライプ生成手段が生成し、および
−異なる時間において異なる一部のセンサ画素が、フレームの取得中にストライプから反射した光を検出するように、スポットが別々に投影され、異なる一部が、検出された光ストライプ上の異なる位置に対応し、
−個別のスポット強度が、一部の画素によって検出された強度に応じて調節される。
−ストライプにおいて少なくとも1つ前に投影されたスポットについて一部において画素(単数または複数)によって検出された光、および
−ストライプにおいて少なくとも1つ前に投影されたスポットについて一部において発した光の出力。
(a)光ストライプを生成するためのストライプ生成手段;
(b)対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画像センサ;および
(c)ストライプ生成手段によって生成された光ストライプが発せられる開口であって、該開口がその異なる幅に設定されるとき、異なる長さの該光ストライプが生成されるように、該光ストライプが通過しなければならない第1の幅の開口および第2の幅の開口を提供するように変更できる開口。
開口が第1の幅かまたは第2の幅に設定されているかを検出するための手段;および
決定された幅に応じて、画像センサの検出フレームレートを設定するための手段。
(a)光を生成および発するための光生成手段;
(b)対象物表面から反射した光を検出するための画像センサ;および
(c)画像センサからの信号を処理するように作動可能であるデータ処理手段であって、
光生成手段および画像センサから隔離された区分室に設置されているデータ処理手段。
(a)光を生成および発するための光生成手段;
(b)撮像ウィンドウを介して、対象物表面から反射した光を検出するための複数の画素を有する画像センサ;および
(c)撮像ウィンドウをカバーする閉位置および撮像ウィンドウをカバーしない開位置の間で移動可能であるバイザー。
−任意でデジタル的にアドレス指定可能であり得る画像センサ;
−共に堅固に接続された、ストライプ投影およびストライプ撮像用の2つの隔離した筐体;
−スペシャリストの処理のための仲介ボックスを必要としないコンピュータへの接続。
(a)光ストライプを生成および発するストライプ生成手段;
(b)対象物の表面から反射した光ストライプを検出するための複数の画素を有するアドレス指定可能な画像センサ;
(c)異なる時間において異なる一部の画像センサ画素を読み取るためのセンサ読み取り手段であって、異なる一部が検出された光ストライプの異なる位置に対応している、各一部における該画素(単数または複数)によって検出された該光を決定する、センサ読み取り手段;および
(d)センサ読み取り手段により読み取られた一部の画素に応じて、光の出力を調節するための手段。
(a)光ストライプを生成および発する;
(b)複数の画素を有するアドレス可能な画像センサを使用して、対象物表面から反射した光ストライプを検出する;
(c)異なる時間で異なる一部の画像センサ画素を読み取って、各一部において画素(単数または複数)によって検出された光を決定し、異なる一部が検出された光ストライプ上の異なる位置に対応する、
(d)読み取られた一部の画素に応じて、光の出力を調節する。
(a)光ストライプを生成するためのストライプ生成手段;
(b)対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画像センサ;および
(c)ストライプ生成手段によって生成された光ストライプが発せられる開口であって、該開口がその異なる幅に設定されるとき、異なる長さの該光ストライプが生成されるように、該光ストライプが通過しなければならない第1の幅の開口および第2の幅の開口を提供するように変更できる開口。
開口が第1の幅または第2の幅に設定されていることを検出するための手段;および
決定された幅に応じて、画像センサの検出フレームレートを設定するための手段。
(a)光を生成および発するための光生成手段;
(b)対象物表面から反射した光を検出するための画像センサ;および
(c)画像センサからの信号を処理するように作動可能であるデータ処理手段であって、
光生成手段および画像センサから隔離された区分室に設置されているデータ処理手段。
(a)光を生成および発するための光生成手段;
(b)撮像ウィンドウを介して、対象物表面から反射した光を検出するための複数の画素を有する画像センサ;および
(c)撮像ウィンドウをカバーする閉位置および撮像ウィンドウをカバーしない開位置の間で移動可能であるバイザー。
別に規定が無ければ、本明細書で使用したすべての技術および科学用語は、当業者により通常理解されるものと同じ意味を有する。本明細書で参照した全刊行物は、参照により本明細書に引用したものとする。本明細書で参照する全ての米国の特許および特許出願は、図面を含みその全体が参照により本明細書に引用したものとする。
第1の実施形態のデジタルストライプ走査プローブを次に開示する。プローブが例えば、1つのフレームから次のものへと(例えば、DSPプロセッサまたはFPGAプロセッサを使用して)強度を算出するための、および/またはセンサによって記録されたデータをデジタルデータに変換するための処理機構を備えるという意味で、プローブは「デジタル」である。図1は、本発明の第1の実施形態に従った走査システム1のレイアウトである。走査システム1は、ローカライザー4に取り付けられたデジタルストライプ走査プローブ2および接触プローブ3を備える。ローカライザー4は、ケーブル6によりまたは無線通信によりコンピュータ5と連絡する。ローカライザー4および対象物7は、走査中に相対的な動きが無いように固体表面8に取り付けられている。これは、デジタルストライプ走査プローブ2を使用して構築され得るこのような走査システム1の一例であるが、ストライプ走査プローブを有する他のタイプの走査システムが代わりに採用されてもよいことが当業者に理解されよう。
図2は、デジタルストライプ走査プローブ2の図である。デジタルストライプ走査プローブ2は、撮像筐体11およびストライププロジェクタ筐体12を備える。筐体11、12は、硬質ベースプレート13のいずれか一端に取り付けられている。ストライププロジェクタ14は、硬質ベースプレート13の一端に取り付けられている。ストライププロジェクタ筐体12には、投影されたストライプの光経路22が、ストライププロジェクタ筐体12を出るためのウィンドウ15が設置されている。カメラ16およびレンズ17が硬質ベースプレート13のストライププロジェクタ14から他方端に取り付けられている。対象物(図示せず)のストライプを見るためにウィンドウ18が撮像筺体11に設置されている。処理ユニット19が、撮像筐体11の内部に取り付けられている。デジタルストライプ走査プローブ2をローカライザー4(図示せず)に取り付けるため、マウントプレート21がベースプレート13に設置されている。デジタルストライプ走査プローブ2にケーブルを接続するためのコネクタ20が設置されている。あるいは、デジタルストライプ走査プローブ2がマウントプレート21によってローカライザー4に取り付けられるとき、コネクタ20において自動的に電気的接続がなされてもよい。
光学部品を、互いとマウント21に対して再位置決めおよび/または再方向づけする過剰な熱的成長のために、過剰な熱および温度変化が、デジタルストライプ走査プローブ2を不正確にさせて、計測結果が不正確となることがある。最新型のストライプ走査プローブは、別のボックスにプローブから充分離れて配置された熱いコンピュータ処理装置を有する。このような「冷たい」最新型のプローブにおける温度上昇は小さく、かつ注意深く熱設計することで、起動時の熱的ドリフトを減らし、プローブがウォームアップ期間無しで直ちに使用されることを可能とした。デジタルストライプ走査プローブ2は、搭載処理ユニット19を有し、最新型ストライプ走査プローブよりも毎秒当り多くの点を生成することができる。この理由の1つは、搭載処理ユニット19がカメラ16に近接していることで、高帯域幅のケーブルを使用してカメラ16から搭載処理ユニットに、データが高速に伝達されることが可能となっていることである。他の理由を以下に記載する。搭載処理ユニット19が一体化され、かつこれが高い処理電力を有する必要があることは、デジタルストライプ走査プローブ2内で多くの熱が生成されることを意味する。デジタルストライプ走査プローブ2の精度を維持し、かつウォームアップ期間無しでこれを直ちに使用することを可能にするため、新規な熱制御システムが提供されている。そこでは、冷たいままである光学部品およびベースプレートから断熱されている熱区分室に、熱い処理ユニット19が置かれる。
我々の最新型走査プローブを使用する何百もの顧客での経験では、性能が劣る主な原因は、トレーニングを除けば、撮像ウィンドウ18が汚くなり、ユーザーによって充分にきれいにされないことであることが示された。撮像ウィンドウ18の主な汚れの元は、汚れた指紋からである。撮像ウィンドウ18は、光学的理由により大型である必要があり、触ることができないように充分に凹ませることが物理的に不可能である。
デジタルストライプ走査プローブ2が、詳細な領域を走査するために使用されているとき、過剰データを得ることが無いようにストライプ長を減らすことができると便利である。最新型の走査システムは、ストライプの各端部における点のうち最後の1/4ずつ破棄するソフトウェアを使用してストライプ長の50%減を達成している。オペレータは長いストライプを見るが短いストライプデータを捕捉するのみであるため、これはオペレータにとって紛らわしく、従って使用が難しい。また、コンピュータが、このソフトウェア機能をセットアップするために使用されなければならない。
図7は、デジタルストライプ走査プローブ2における電子回路の実施形態の図である。処理ユニット19は、4つのモジュールPCB、すなわちFPGAモジュール75、通信用DSPモジュール74、周辺機器接続モジュール73、および電源モジュール72を備える。4つのモジュールは、電源/データバス80に相互接続されている。カメラ16は、FPGAモジュール75に接続されている。周辺機器接続モジュール73は、温度センサ35、ファン31、距離計レーザースポット71、状態LED77、バイザー検出器42、およびストライププロジェクタ14に接続している。通信用DSPモジュール74は、WiFiモジュール76にリンクしている。バッテリー78が設置されている。プローブコネクタ20が、電源/データバス80にリンクしている。PSUモジュール72における回路がバッテリー78の再充電用に設けられている。FPGAモジュール75およびDSPモジュール74にメモリ79が設置されている。メモリ79は、静的および動的の両方である。スタティックメモリ79は、識別、較正、設定、およびメンテナンスを助ける使用履歴等の他の情報を格納するために使用される。スタティックメモリ79における設定は、通信バスを介してデジタルストライプ走査プローブ2への送信信号により変更され得る。少なくとも1つの正確なクロックがタイムスタンプ同期のために提供される。デジタルストライプ走査プローブ2の電子回路の他の実施形態が可能であることが当業者によって理解されるであろう。例えば、処理ユニット19のモジュールの全部または任意の一部が、単一のモジュールに物理的に組み合わされて実装要件に適合してもよい。符号31、35、14、77、42、71、76のいずれかが、処理ユニット19の任意のモジュールに接続または組み込まれてもよい。1以上のチップが、1つのチップに組み合わされてもよい。電源/データバス80は、設計要件を満たすように異なる装置で構成されていてもよい。バッテリー78は、永続的、再充電可能、取り替え可能であってよい。
図1の走査システムは、4つの主要な接続/通信要件を有している。
−ローカライザーまたはコンピュータからプローブへの電源/グラウンド
−ローカライザーおよびコンピュータ間のデータ通信
−プローブおよびローカライザー間の同期
−プローブおよびコンピュータ間のデータ通信
デジタルストライプ走査プローブ2は、デジタルストライプ走査プローブ2のハードウェアまたはファームウェアに必要な何らかの変更をすることなく複数の方法で同期化され得る。ローカライザー4は、さまざまな方法で作動する。異なるローカライザー4には異なるタイプの同期化が必要とされる。ローカライザー4とデジタルストライプ走査プローブ2との同期は精度のために重要である。デジタルストライプ走査プローブ2は、異なるタイプの同期信号の生成および受容を提供し、その中でデジタルストライプ走査プローブ2が、ローカライザー4に対してまたはマスタークロックに対して、マスターまたはスレイブのいずれかになることができる。同期信号には、単純なトリガ信号および符号化信号が含まれる。同期信号は、リアルタイム、事前同期または事後同期したものであってもよい。事前および事後同期は、タイムスタンプを利用することができる。同期信号と共に送られたコードは、準独自の識別コードおよび/またはタイムスタンプ情報であってもよい。少数のタイプの同期は、ほぼ全てのローカライザープローブ同期要件を充分カバーする。異なるタイプの同期化は、デジタルストライプ走査プローブ2に提供されている。オペレータは、ローカライザーと使用される同期のタイプを、デジタルストライプ走査プローブ2の設定を変更することで設定する。実施形態は、本明細書に開示の同期のタイプに限定されず、デジタルストライプ走査プローブ2およびローカライザー4の任意の形態の同期化が可能である。
カメラ16への最適入力光レベルのための投影されたレーザーストライプ55の強度は、表面色、表面反射率、デジタルストライプ走査プローブ2から対象物7の表面へのスタンドオフ距離、レーザーストライププロジェクタ14に対する表面法線、カメラ16に対する表面法線、ストライプに沿った点の位置および正反射等の要因によって数桁異なる。表面色が濃く反射的で(ストライプの端で)あり、カメラ16およびレーザーストライププロジェクタ14の両方からかなり離れて表面法線が向いており、かつ大きなスタンドオフがある場合は、高い投影強度が必要である。このような条件下では、投影されたレーザー出力は、カメラ16に散乱して戻ることがほとんどない。反射角における鏡面のストライプの中央および低いスタンドオフでは、低い投影強度が必要である。このような条件下では、実質的に全てのレーザー出力が、カメラ16に真っ直ぐに反射されて戻る。最適な投影レーザー強度における典型的なばらつきは、100,000:1の範囲に亘る。固定した設定の平均的CCDカメラでは、ストライプに沿った光レベルで1,000:1の範囲の品質の走査データをほとんど作り出すことができない。走査するとき、最良のデータ品質を達成するためには、ストライプに沿った各点について投影レーザー強度を最適化することが理想的である。静止レーザーストライプを有する最新型ストライプ走査プローブにおいては、全体のストライプがCCDカメラによって同時に撮像される。
(a)光ストライプ55を生成し発するためのストライプ生成手段14;
(b)対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素の配列を有する画像センサを備えるカメラ16;
(c)カメラ16によって検出された強度に応じて、フレームの取得中に光ストライプ55の強度を調節するための手段。
本発明の一実施形態に従って、カメラ16は、ロールシャッターを備えたものであり、レーザー強度が制御されて、ストライプまたはストライプ中の各点についてのレーザー強度および走査データが、任意の所与の捕捉されたフレームに対して最適の品質であるようにしている。レーザーストライププロジェクタ14は、レーザーダイオードおよびレンズからストライプを生成するためには、静止光学系(中実円筒型光学系または半導体マイクロミラーアレイ等)使用することができる。あるいは、レーザーストライププロジェクタ14は、機械的に駆動される可動光学系(可動ミラー等)を使用することができる。
別の実施形態によると、カメラ16は2D配列のセンサを有するCCDカメラであり、レーザーストライププロジェクタ14は、レーザーダイオードおよびレンズと組み合わせて、可動ミラーまたはマイクロミラーアレイを使用するものである。可動ミラーおよびマイクロミラーアレイは上述している。
モジュール74のDSPプロセッサは、前に生成した一式の投影した強度を、ストライプに沿った各点に対して1つの投影強度と共に取り込み、対応するレーザー出力値を周辺モジュール73のレーザー出力回路に出力するためのストライプ強度投射ファームウェア手順を実行する。レーザー出力値は、画像センサ81上のロールシャッターのタイミングまたはミラー/マイクロミラーの動きに同期して出力されることで、ストライプ上の各点について必要な、投影強度に対応するレーザー出力が提供されるようにしている。ロールシャッターシステムの場合は、画像センサ81上の対応する行がシャッターを開きながら、投影強度が提供される。可動ミラーシステムの場合は、投影強度は、ミラーの位置および投影されたスポットに同期して提供される。マイクロミラーシステムの場合は、投影強度は、ミラー振動周波数および投影されたスポットに同期して提供される。電子工学およびプロセッサソフトウェアの当業者にとって、このような機能を達成するための回路およびファームウェア手順を実行することは簡単なことである。
本発明の一実施形態に従って、1以上の前のストライプにおける各点について撮像された強度および1以上の前のストライプにおける各点についての既知の投影されたレーザーの強度を使用し、次のストライプに沿った各点について理想的な投影強度のレーザーが推定され、新たな推定へと繰り返される。
新たに投影された強度を計算するための簡単なアルゴリズムは、点についての前の撮像強度、および同じ点についての前の投影強度に応じている。前の撮像強度および前の投影強度の間の関係は、デジタルストライプ走査プローブ2の各設計について異なり、通常は非線形的である。楕円関係が良好な開始近似であることが見出されたが、方程式に基づく放物または他の関係がさらに良好であり得る。単一の関係は、全行における全点について概ね使用され得る。各点は、未知で、かつ通例変化する光反射率を有する。その光反射率についての前の座標は既知である。すなわち、前の撮像強度、前の投影強度である。関係は、2つの座標、すなわち(前の撮像強度、前の投影強度)および画像および投影強度の両方がゼロである(0,0)点を使用してスケーリングされる。この関係は、等式として表現されるかまたは参照表として埋め込まれることができる。図14は、撮像強度IIおよび投影強度IPの間の関係94についての図である。ゼロ点97ならびに前の撮像強度および前の投影強度の座標95の間で当てはまるように、関係94はスケーリングされている。スケーリングされた関係は、前の点から測定された光反射率に応じている。次の投影強度は、最適撮像強度IIOおよび座標96を介する関係94から算出される。最適撮像強度IIOは、前の撮像強度よりも実質的に大きいか小さいことがある。
ロールシャッターについての多くの異なるタイプおよび構成がある。露光時間は各フレームについて固定される。概ね、ロールシャッターは、行1上の最初の画素で開始し、最後の行上の最後の画素で終了し、その後、おそらく異なる露出時間で行1上の最初の画素で再び継続する。各画素は、特定の量の時間、すなわち露光時間で光を受容するため開放している。ロールシャッターの露光時間の長さは、画像センサ、その設定およびレーザー出力に依存する。毎秒100フレームおよび1000行で0.1ミリ秒の露光は10行をカバーする。これは、任意の時間で10行が撮像する光になるであろうことを意味する。理想的な状況は、その後、露光を0.01ミリ秒減らすことであるが、そのように短い時間では、充分な光が撮像されないであろう。レーザー強度は増加され得るが、レーザーストライプのオペレータ使用についての安全規制は、このような強度を制限する。実際には、異なる状況下で、1000行のうち1行から100行が任意の時間において画像光になるであろう。開示した適応的ストライプ強度制御法は改変される。点について投影された強度は、今度は、その点に対応する行上で、開口が開放していた間に投影された全ての投影強度の平均として計算される。複数行が同時に露光される場合の点について、新たに投影された強度を生成するための、多くの異なる方法および最適化が使用されてもよいことが当業者によって理解されるであろう。
本実施形態は、デジタルストライプ走査プローブ2が対象物7の表面の上を動くときの、表面組織および形状の急速な変化に適応する。急速な変化への応答時間は、通常は1ストライプであり、これは毎秒200ストライプで動作するシステム上では5ミリ秒に等しい。急速な変化がある場合は、データ品質は変化中に劣化することがある。各点についての撮像強度を算出する際、データ品質の指標を与えることが可能である。最も簡単な形態では、品質の閾値を超えないデータは、アプリケーションソフトウェアへのデータ出力の前に単に破壊されてもよい。適用によっては、各亜標準データ点に品質の程度を与えるラベルが貼られてもよい。1バイトのサイズのラベルを、0(劣)から255(優)までの品質にラベル付けすることができる。
別の実施形態において、レーザーストライプは、回転多面鏡または振動ガルバノメータミラー(oscillating galvanometer mirror)を使用して、レーザースポットを走査することで作製される。ロールシャッターと飛点が同期し、投影されたストライプに沿った各点についてレーザー出力が設定される。近距離または遠距離で同期した動作を可能にするためには、テレセントリックレンズが必要である。回転鏡の角速度は、精密な制御および同期を必要とするが当業者によって提供され得る。
本実施形態は、ストライプが全体のフレームではなく、その中に存在するトラッキング矩形ウィンドウを使用することで、デジタルストライプ走査プローブ2の毎秒当りのストライプの速度を増加させる。図13は、トラッキングウィンドウ84内に画像センサ81を下げるストライプ画像82の概略である。トラッキングウィンドウ84は、常に画像センサ81の全幅である。トラッキングウィンドウ84は、ストライプを追跡して上下に動く。トラッキングウィンドウ84の深さは、ストライプ画像82の形状が変化するとき増減し得る。トラッキングウィンドウ84は、ストライプ画像82によって占める矩形面積よりも大きく、この別のウィンドウ領域は、フレーム間でストライプが大幅に動いてもなお捕捉されていることを可能とする。この別のウィンドウ領域は、典型的には、頂部および底部において画像センサ81の高さの10%である。典型的には、画像センサ81配列の高さの25%である最小の高さのトラッキングウィンドウ84が存在する。走査の最初のフレームに対して、ウィンドウは全フレームのサイズである。次のフレームにおいて、ウィンドウはストライプ画像82の周囲に小さくなる。フレームが処理されるとき、ストライプ画像82上の最も低い点であるLおよびストライプ画像82の最も高い点であるHが算出される。次のフレームに対するウィンドウサイズが、H+0.1FからL−0.1Fとして与えられる。ここでFは画像センサ81内の列の数である。トラッキングの待ち時間は、画像センサ81およびカメラ16の設計によって制限され得る。
上記の実施形態において、走査プローブは、CMOSセンサおよびロールシャッターを備えるか、またはCCDを備える画像センサを有する。
上記の実施形態において、走査プローブのストライププロジェクタ14は、対象物表面を照射するためのレーザーを採用している。レーザーは、可視、赤外等、任意の部分の電磁スペクトルで光を発することができる。また、白色光源等の代替がレーザーの代わりに使用されてもよい。
上記の実施形態において、単一のストライププロジェクタ14および単一のカメラ16が使用されている。しかし、複数のカメラが単一のストライププロジェクタと組み合わせて使用されてもよい。あるいは、複数のカメラが複数のストライププロジェクタと使用されてもよく、例えば、各ストライププロジェクタがストライプを異なる方向に投影し、各カメラが各ストライプを検出してもよい。
2 デジタルストライプ走査プローブ
3 接触プローブ
4 ローカライザー
5 コンピュータ
6 ケーブル
7 対象物
8 固体表面
11 撮像筐体
12 ストライププロジェクタ筐体
13 硬質ベースプレート
14 ストライププロジェクタ
15 ウィンドウ
16 カメラ
17 レンズ
18 撮像ウィンドウ
19 処理ユニット
20 プローブコネクタ
21 マウントプレート
22 光径路
30 ダストフィルタ
31 ファン
32 熱障壁
33 冷区分室
34 熱区分室
35 温度センサ
36 出口孔部
37 入口孔部
41 バイザー
42 バイザー検出器
43 窪み
44 軸
45 バイザー
51 インジケータマーク
53 ストライプトリマー
54 回転ベアリング
55 ストライプ
56 位置決め窪み
57 矩形開口
71 距離計レーザースポット
72 PSU(電源モジュール)
73 周辺機器接続モジュール
74 DPSモジュール
75 FPGAモジュール
76 WiFiモジュール
77 状態LED
78 バッテリー
79 メモリ
80 電源/データバス
81 画像センサ
82 ストライプ画像
84 DPS COMMS
91 撮像強度受容
92 投影強度受容
93 新たに投影された強度を算出
94 関係
95 投影された強度の座標
96 座標
97 ゼロ点
131 ストライプ画像
132 画像センサ
133a 不完全なパターン
133b 不完全なパターン
133c 不完全なパターン
133d 不完全なパターン
133e 不完全なパターン
Claims (26)
- 対象物を光ストライプで照射し、かつ前記対象物表面から反射した光を検出することで、前記対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉するための走査プローブであって、
(a)光ストライプを生成および発するストライプ生成手段;
(b)前記対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素が2次元配列を有する画像センサを備えるカメラと;
(c)単一のフレームの取得中に異なる時間において、前記光ストライプを検出する前記画像センサーの画素が異なるように、前記単一のフレームの取得中の異なる時間において前記光ストライプから反射した光を検出するための前記画像センサの画素の一部を決定するための手段と、
(d)前記画素を決定するための手段によって決定される前記画素の一部から検出された強度に応じて、前記単一フレームの取得中に前記光ストライプの強度を調節するための手段とを有し、
−前記光ストライプの強度を調節するための手段は、前記一部の画素によって検出された強度に応じて、前記フレームの前記取得中に少なくとも一回の調節をするように構成される、走査プローブ。 - 請求項1に記載の走査プローブであって、それによって前記画像センサがロールシャッターを備えたCMOSであって:
−異なる時間において異なる一部の前記センサ画素が、前記単一フレームの取得中に前記光ストライプから反射した光を検出するように、前記ロールシャッターが構成されており、前記異なる時間において異なる一部の前記センサ画素が、前記検出された光ストライプ上の異なる位置に対応し、かつ
−前記異なる時間のときに選択された前記画素によって検出された強度に基づき、前記光ストライプの強度を調整するための手段は、前記ストライプ生成手段により、前記ストライプの長手方向に亘って一定強度のストライプの強度を前記単一フレームの取得中に調節可能とする、走査プローブ。 - 前記ストライプ生成手段が、静止光学系(static optics)を備える、請求項1または2のいずれかに記載の走査プローブ。
- 前記ストライプ生成手段が、レーザーおよび中実円筒光学系(solid cylindrical optics)を備える、請求項1〜3のいずれかに記載の走査プローブ。
- 前記ストライプ生成手段が、レーザーおよびマイクロミラーアレイを備える、請求項1〜4のいずれかに記載の走査プローブ。
- 前記光ストライプの強度を調節するための手段が、前記画像センサーの各一部の画素で検出された前記強度を基に、以下に応じて設定する、請求項1〜5のいずれかに記載の走査プローブであって:
−少なくとも1つ前の時間で前記光ストライプの一部を受光した前記画素(単数または複数)の強度に応じて、前記光ストライプの強度を設定する走査プローブ。 - −前記ストライプ生成手段が、前記単一のフレームの取得中にその個別の強度が調節可能である複数のスポットを備えることでストライプを生成するように、構成されており、および
−異なる時間において、前記異なる一部のセンサ画素が前記フレームの取得中に前記ストライプから反射した光を検出するように、前記スポットが別々に投影され、前記異なる一部が、前記検出された光ストライプ上の異なる位置に対応し、
−前記個別のスポット強度が、前記一部の画素によって検出された強度に応じて調節される、請求項1に記載の走査プローブ。 - 前記ストライプ生成手段が、レーザーおよびマイクロミラーアレイを備える、請求項7に記載の走査プローブ。
- 前記ストライプ生成手段が、可動光学系(moving optics)を備える、請求項7に記載の走査プローブ。
- 前記ストライプ生成手段が、レーザーおよび可動ミラーを備える、請求項9に記載の走査プローブ。
- 前記画像センサが、ロールシャッターを備えたCMOSまたはCCDである、請求項7〜10のいずれかに記載の走査プローブ。
- 前記光の強度を調節するための手段が、各一部の画素について投影されたストライプ内でスポットの強度を、以下に応じて設定する、請求項7〜11のいずれかに記載の走査プローブであって:
−前記ストライプにおける少なくとも1つ前の時間で投影されたスポットについて、前記一部における前記画素(単数または複数)によって検出された光、および
−前記ストライプにおける少なくとも1つ前に投影されたスポットにおいて、前記一部について発した光の強度。 - 前記画像センサがロールシャッターを備えたCMOSの場合において、前記画像センサの画素を決定する手段によって設定された画素から検出された光強度に応じて、前記画像センサの一部の画素についての露光時間を調節するための手段をさらに備える、請求項1〜12のいずれかに記載の走査プローブ。
- 光ストライプで対象物を照射し、前記対象物表面から反射した光を検出することで、前記対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉する方法が、以下の工程を含む方法であって:
(a)光ストライプを生成および発する工程;
(b)画素が2次元配列されている画像センサを使用して、前記対象物表面から反射した前記光ストライプを検出する工程、
(c)前記画素によって検出された光の強度に応じて、単一フレームの取得中に前記光の強度を調節する工程、
それによって:
−異なる一部の画像センサ画素が、前記単一のフレームの取得中に異なる時間において前記ストライプから反射した光を検出し、前記異なる一部の各々が前記検出された光ストライプ上の異なる位置に対応し、各一部における前記画素(単数または複数)によって検出された前記光を決定し;および
−前記光ストライプの強度が、前記一部の画素による検出の後でおよび検出に応じて調節され、少なくとも一つの調節は前記単一フレームの取得中に起こる、データを捕捉する方法。 - 異なる時間において異なる一部のセンサ画素が、前記単一フレームの取得中に前記光ストライプから反射した光を検出可能とするロールシャッターを備えたCMOS画像センサを使用し、かつ前記ストライプが検出されることにより、前記異なる一部のセンサ画素が前記検出された光ストライプ上の異なる位置に対応し、
−前記光ストライプを生成及び発する工程では、前記光ストライプの長手方向に亘って一定強度のストライプを生成し、かつ前記光ストライプの全体の強度が単一のフレームの取得中に調節される、請求項14に記載の方法。 - 前記光ストライプを生成する工程では、静止光学系を用いて前記光ストライプを生成する、請求項15に記載の方法。
- 前記ストライプ生成手段が、レーザーおよび中実円筒光学系を備える、請求項15または16に記載の方法。
- 前記光ストライプを生成及び発する工程では、レーザーおよびマイクロミラーアレイにより前記光ストライプを生成する、請求項15または16に記載の方法。
- 各一部の画素について前記強度を、以下に応じて設定することにより、前記光の強度がさらに調節される、請求項15〜18のいずれかに記載の方法:
−少なくとも1つ前に投影された光ストライプについて前記一部における画素(単数または複数)によって検出された光、および
−少なくとも1つ前に投影された光ストライプにおいて前記一部について発した前記光の強度。 - −単一のフレームの取得中にその個別の強度が調節可能である複数のスポットを備えるストライプを、前記ストライプ生成手段が生成し、および
−異なる時間において異なる一部のセンサ画素が、前記フレームの取得中に前記ストライプから反射した光を検出するように、前記スポットが別々に投影され、前記異なる一部が、前記検出された光ストライプ上の異なる位置に対応し、
−前記個別のスポット強度が、前記一部の画素によって検出された強度に応じて調節される、請求項14に記載の方法。 - 前記ストライプ生成手段が、レーザーおよびマイクロミラーアレイを備える、請求項20に記載の方法。
- 前記ストライプ生成手段が、可動光学系を備える、請求項20に記載の方法。
- 前記ストライプ生成手段が、レーザーおよび可動ミラーを備える、請求項22に記載の方法。
- 前記画像センサが、ロールシャッターを備えたCMOSカメラまたはCCDである、請求項20〜23のいずれかに記載の方法。
- 各一部の画素について投影されたストライプ内で前記光の強度を、以下に応じて設定することにより、前記光の強度がさらに調節される、請求項20〜24に記載の方法:
−前記ストライプにおいて少なくとも1つ前に投影されたスポットについて前記一部において前記画素(単数または複数)によって検出された光、および
−前記ストライプにおいて少なくとも1つ前に投影されたスポットにおいて前記一部について発した光の出力。 - 前記画像センサがロールシャッターを備えたCMOSの場合において、前記一部の画素で検出された前記光ストライプの強度を基に、前記一部の画素について前記露光時間を調節することをさらに備える、請求項14〜25のいずれかに記載の方法。
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