JP5019258B2 - 表面被覆切削工具 - Google Patents
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この発明は、大きな発熱を伴うとともに、切刃部に大きな衝撃的・機械的負荷がかかる鋼や鋳鉄などの高速断続切削加工で、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具（以下、被覆工具という）に関するものである。
炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットで構成された基体（以下、これらを総称して工具基体という）の表面に、
（ａ）いずれも化学蒸着形成された、ＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＣＯ層、およびＴｉＣＮＯ層のうちの１層以上からなり、かつ０．１〜１５μｍの合計平均層厚を有する密着性Ｔｉ化合物層と、２．５〜１５μｍの合計平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ１−αＣｒα）ＣＮで表した場合、原子比で、α：０．００５〜０．０５を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物層からなる下部層、
（ｂ）化学蒸着形成され１〜１５μｍの平均層厚を有するα型のＡｌ2Ｏ3層からなる上部層、
以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を備える被覆工具において、
上記（ａ）のＴｉ化合物層のうちのＴｉとＣｒの炭窒化物層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すＴｉとＣｒの炭窒化物（以下、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮで示す）層、
で構成することにより、高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を示すことが知られている。
（ａ）いずれも化学蒸着形成された、ＴｉＣ層、ＴｉＮ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＣＯ層、およびＴｉＣＮＯ層のうちの１層以上からなり、かつ０．１〜１５μｍの合計平均層厚を有する密着性Ｔｉ化合物層と、２．５〜１５μｍの合計平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ１−αＣｒα）ＣＮで表した場合、原子比で、α：０．００５〜０．０５を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物層からなる下部層、
（ｂ）化学蒸着形成され１〜１５μｍの平均層厚を有するα型のＡｌ2Ｏ3層からなる上部層、
以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を備える被覆工具において、
上記（ａ）のＴｉ化合物層のうちのＴｉとＣｒの炭窒化物層を、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すＴｉとＣｒの炭窒化物（以下、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮで示す）層、
で構成することにより、高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を示すことが知られている。
そして、上記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮは、
反応ガス組成（容量％）：ＴｉＣｌ４：２〜１０％、ＣｒＣｌ３：０．０１〜０．５％、ＣＨ３ＣＮ：０．５〜３％、Ｎ2：３０〜４５％、Ａｒ：残り、
反応雰囲気温度：９００〜１０２０℃、
反応雰囲気圧力：６〜２０ｋＰａ、
の条件で化学蒸着することにより形成されることが知られている。
特開２００６−３３４７１０号公報
反応ガス組成（容量％）：ＴｉＣｌ４：２〜１０％、ＣｒＣｌ３：０．０１〜０．５％、ＣＨ３ＣＮ：０．５〜３％、Ｎ2：３０〜４５％、Ａｒ：残り、
反応雰囲気温度：９００〜１０２０℃、
反応雰囲気圧力：６〜２０ｋＰａ、
の条件で化学蒸着することにより形成されることが知られている。
近年の切削装置の高性能化はめざましく、一方で切削加工における省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、上記の従来被覆工具においては、下部層として前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層、上部層としてＡｌ2Ｏ3層が設けられ、そして、下部層である従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層が所定の高温強度を有し、上部層のＡｌ2Ｏ3層がすぐれた高温硬さを有することから、これを鋼や鋳鉄などの通常の条件での連続切削や断続切削に用いた場合には問題はないが、特にこれを、大きな発熱を伴うとともに、切刃部に大きな衝撃的・機械的負荷がかかる鋼や鋳鉄などの高速断続切削加工で用いた場合には、下部層として設けられた前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の高温強度が十分であるとはいえないため、機械的衝撃に対して満足に対応することができず、切削加工時の機械的な衝撃力によってチッピングを発生しやすく、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、被覆工具の硬質被覆層の耐チッピング性と耐摩耗性の向上を図るべく、Ｔｉ化合物層のうちの特に従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層について研究を行った結果、以下の知見を得た。
（ａ）従来被覆工具の硬質被覆層において、下部層を構成するＴｉ化合物層のうちの従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、既に述べたように、例えば、通常の化学蒸着装置にて、
反応ガス組成（容量％）：ＴｉＣｌ４：２〜１０％、ＣｒＣｌ３：０．０１〜０．５％、ＣＨ３ＣＮ：０．５〜３％、Ｎ2：３０〜４５％、Ａｒ：残り、
反応雰囲気温度：９００〜１０２０℃、
反応雰囲気圧力：６〜２０ｋＰａ、
の条件で化学蒸着することにより、
組成式：（Ｔｉ１−ＹＣｒＹ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｙ：０．００５〜０．０５、を満足する（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を形成することができ、この結果の（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層（従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層）は、格子点にＴｉ、Ｃｒ、炭素（Ｃ）、および窒素（Ｎ）からなる構成原子がそれぞれ存在するＮａＣｌ型面心立方晶の結晶構造を有し、すぐれた高温強度を有すること。
（ａ）従来被覆工具の硬質被覆層において、下部層を構成するＴｉ化合物層のうちの従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、既に述べたように、例えば、通常の化学蒸着装置にて、
反応ガス組成（容量％）：ＴｉＣｌ４：２〜１０％、ＣｒＣｌ３：０．０１〜０．５％、ＣＨ３ＣＮ：０．５〜３％、Ｎ2：３０〜４５％、Ａｒ：残り、
反応雰囲気温度：９００〜１０２０℃、
反応雰囲気圧力：６〜２０ｋＰａ、
の条件で化学蒸着することにより、
組成式：（Ｔｉ１−ＹＣｒＹ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｙ：０．００５〜０．０５、を満足する（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を形成することができ、この結果の（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層（従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層）は、格子点にＴｉ、Ｃｒ、炭素（Ｃ）、および窒素（Ｎ）からなる構成原子がそれぞれ存在するＮａＣｌ型面心立方晶の結晶構造を有し、すぐれた高温強度を有すること。
（ｂ）そして、上記（ａ）の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、図１（ａ），（ｂ）に概略説明図で示されるように、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すこと。
（ｃ）上記の従来ＴｉＣＮ層の形成に際して、層中のＣｒ含有割合を、上記の通りＴｉとの合量に占める原子比で０．００５〜０．０５とすることによって、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占めるようになるのであり、したがって、前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層中のＣｒ含有割合が前記の範囲から低い方に外れても、あるいは高い方に外れても、０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計は４５％未満となってしまい、この場合は高温強度の向上を図ることができないこと。
（ｄ）また、通常の蒸着装置にて、
反応ガス組成（容量％）：ＴｉＣｌ４：１〜５％、ＣｒＣｌ３：０．７〜２．５％、ＣＨ３ＣＮ：３〜６％、Ｎ2：２０〜４０％、ＨＣｌ：０．５〜２％、Ｈ2：残り、
反応雰囲気温度：８００〜９００℃、
反応雰囲気圧力：５〜２０ｋＰａ、
の条件で化学蒸着を行うと、ＴｉとＣｒの炭窒化物層が蒸着形成されるが、このＴｉとＣｒの炭窒化物層を、
組成式：（Ｔｉ１−ＸＣｒＸ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｘ：０．１２〜０．２を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物（以下、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮで示す）層として表すことができ、そして、この改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、格子点にＴｉ、Ｃｒ、炭素（Ｃ）、および窒素（Ｎ）からなる構成原子がそれぞれ存在するＮａＣｌ型面心立方晶の結晶構造であり、上記の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層と同様の結晶構造を有し、そして、前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層に比して一段とすぐれた高温強度、高温硬さおよび耐熱性を有すること。
反応ガス組成（容量％）：ＴｉＣｌ４：１〜５％、ＣｒＣｌ３：０．７〜２．５％、ＣＨ３ＣＮ：３〜６％、Ｎ2：２０〜４０％、ＨＣｌ：０．５〜２％、Ｈ2：残り、
反応雰囲気温度：８００〜９００℃、
反応雰囲気圧力：５〜２０ｋＰａ、
の条件で化学蒸着を行うと、ＴｉとＣｒの炭窒化物層が蒸着形成されるが、このＴｉとＣｒの炭窒化物層を、
組成式：（Ｔｉ１−ＸＣｒＸ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｘ：０．１２〜０．２を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物（以下、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮで示す）層として表すことができ、そして、この改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、格子点にＴｉ、Ｃｒ、炭素（Ｃ）、および窒素（Ｎ）からなる構成原子がそれぞれ存在するＮａＣｌ型面心立方晶の結晶構造であり、上記の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層と同様の結晶構造を有し、そして、前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層に比して一段とすぐれた高温強度、高温硬さおよび耐熱性を有すること。
（ｅ）改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層について、
電界放出型走査電子顕微鏡を用い、図２（ａ），（ｂ）に概略説明図で例示される通り、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフを作成した場合、前記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、図４に例示される通り、傾斜角区分の特定位置にシャープな最高ピークが現れ、そしてこのような場合に、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層にはクーリングクラックが均一に分散し、これによって、Ｃｒ含有量を増加したことによる改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の高温強度の低下を抑えることができると同時にすぐれた高温硬さを保持するようになり、さらに、結晶粒界の安定性が増し、切削加工時に発生した層内クラックの伝播進展が抑制され、切刃部に断続的に衝撃的な負荷が加わった場合にも、耐チッピング性が大幅に改善され、また、耐摩耗性も大幅に向上する。
電界放出型走査電子顕微鏡を用い、図２（ａ），（ｂ）に概略説明図で例示される通り、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフを作成した場合、前記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、図４に例示される通り、傾斜角区分の特定位置にシャープな最高ピークが現れ、そしてこのような場合に、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層にはクーリングクラックが均一に分散し、これによって、Ｃｒ含有量を増加したことによる改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の高温強度の低下を抑えることができると同時にすぐれた高温硬さを保持するようになり、さらに、結晶粒界の安定性が増し、切削加工時に発生した層内クラックの伝播進展が抑制され、切刃部に断続的に衝撃的な負荷が加わった場合にも、耐チッピング性が大幅に改善され、また、耐摩耗性も大幅に向上する。
（ｆ）上記の通り、上記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の形成に際して、層中のＣｒ含有割合を、Ｔｉとの合量に占める割合（原子比）で０．１２〜０．２０とすることによって、前記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の傾斜角度数分布グラフで、｛１１１｝面のシャープな最高ピークが傾斜角区分の０〜１０度の範囲内に現れ、かつ、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数割合が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すようになるのであり、したがって、前記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層中のＣｒ含有割合が前記の範囲から低い方に外れても、あるいは高い方に外れても、傾斜角度数分布グラフにおけるシャープな最高ピークが傾斜角区分の０〜１０度の範囲から外れ、かつ、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数数割合も４５％未満になってしまい、この場合は一段の耐熱性向上効果を期待できないばかりか、Ｃｒ含有割合を増加したことによる高温強度の低下をクーリングクラックの均一分散によって抑制することはできないこと。
つまり、上記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層のＣｒ成分は、Ｔｉとの合量に占める割合（原子比）で０．１２（１２原子％）以上で所望の耐熱性向上効果が現れるが、その含有割合が０．２０（２０原子％）を越えると、高熱発生を伴う高速断続切削加工では、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は急激に軟化し、熱塑性変形、偏摩耗を生じやすくなることから、その含有割合は、Ｔｉとの合量に占める割合（原子比）で０．１２〜０．２０とする必要がある。
つまり、上記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層のＣｒ成分は、Ｔｉとの合量に占める割合（原子比）で０．１２（１２原子％）以上で所望の耐熱性向上効果が現れるが、その含有割合が０．２０（２０原子％）を越えると、高熱発生を伴う高速断続切削加工では、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は急激に軟化し、熱塑性変形、偏摩耗を生じやすくなることから、その含有割合は、Ｔｉとの合量に占める割合（原子比）で０．１２〜０．２０とする必要がある。
（ｇ）硬質被覆層の層構造
硬質被覆層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなるＴｉ化合物層と、（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成し、しかも、（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層のうちの少なくとも1層は前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層であり、また、さらに少なくとも1層は前記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成しなければならない。
既に述べたように、前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は高温強度にすぐれるものの、高速断続切削加工において必要とされる十分な耐衝撃性は備えていないが、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層に比して、高温強度、高温硬さおよび耐熱性が優れると同時に、一段とすぐれた耐衝撃性を備えた改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を、硬質被覆層の構成層として設けることによって、硬質被覆層全体としての高温強度を高めると同時に高温硬さを維持することができるので、上記硬質被覆層を蒸着形成した被覆工具は、高速断続切削加工時の耐衝撃性が改善され、その結果として、すぐれた耐チッピング性を示すとともに、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するようになる。
以上（ａ）〜（ｇ）に示される研究結果を得たのである。
硬質被覆層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなるＴｉ化合物層と、（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成し、しかも、（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層のうちの少なくとも1層は前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層であり、また、さらに少なくとも1層は前記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成しなければならない。
既に述べたように、前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は高温強度にすぐれるものの、高速断続切削加工において必要とされる十分な耐衝撃性は備えていないが、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層に比して、高温強度、高温硬さおよび耐熱性が優れると同時に、一段とすぐれた耐衝撃性を備えた改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を、硬質被覆層の構成層として設けることによって、硬質被覆層全体としての高温強度を高めると同時に高温硬さを維持することができるので、上記硬質被覆層を蒸着形成した被覆工具は、高速断続切削加工時の耐衝撃性が改善され、その結果として、すぐれた耐チッピング性を示すとともに、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するようになる。
以上（ａ）〜（ｇ）に示される研究結果を得たのである。
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、
「（１） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、４〜２０μｍの合計平均層厚を有する硬質被覆層として、少なくとも、Ｔｉ化合物層とＴｉとＣｒの炭窒化物層とを蒸着形成した表面被覆切削工具において、
（ａ）Ｔｉ化合物層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなり、
（ｂ）上記ＴｉとＣｒの炭窒化物層のうちの少なくとも１層は、２〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｔｉ１−ＸＣｒＸ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｘ：０．１２〜０．２を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物層であり、
さらに、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すＴｉとＣｒの炭窒化物層で形成され、
（ｃ）また、上記ＴｉとＣｒの炭窒化物層のうちのさらに少なくとも１層は、２〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｔｉ１−ＹＣｒＹ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｙ：０．００５〜０．０５を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物層であり、
さらに、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すＴｉとＣｒの炭窒化物層で形成されている、
ことを特徴とする表面被覆切削工具（被覆工具）。
（２） 前記４〜２０μｍの合計平均層厚を有する硬質被覆層の表面に、さらに、１〜１５μｍの平均層厚の酸化アルミニウム層を蒸着形成したことを特徴とする、前記（１）記載の表面被覆切削工具（被覆工具）。」
に特徴を有するものである。
「（１） 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、４〜２０μｍの合計平均層厚を有する硬質被覆層として、少なくとも、Ｔｉ化合物層とＴｉとＣｒの炭窒化物層とを蒸着形成した表面被覆切削工具において、
（ａ）Ｔｉ化合物層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなり、
（ｂ）上記ＴｉとＣｒの炭窒化物層のうちの少なくとも１層は、２〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｔｉ１−ＸＣｒＸ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｘ：０．１２〜０．２を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物層であり、
さらに、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すＴｉとＣｒの炭窒化物層で形成され、
（ｃ）また、上記ＴｉとＣｒの炭窒化物層のうちのさらに少なくとも１層は、２〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｔｉ１−ＹＣｒＹ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｙ：０．００５〜０．０５を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物層であり、
さらに、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すＴｉとＣｒの炭窒化物層で形成されている、
ことを特徴とする表面被覆切削工具（被覆工具）。
（２） 前記４〜２０μｍの合計平均層厚を有する硬質被覆層の表面に、さらに、１〜１５μｍの平均層厚の酸化アルミニウム層を蒸着形成したことを特徴とする、前記（１）記載の表面被覆切削工具（被覆工具）。」
に特徴を有するものである。
つぎに、この発明の被覆工具の硬質被覆層の構成層について、上記の通りに数値限定した理由を以下に説明する。
（ａ）Ｔｉ化合物層
Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層からなる硬質被覆層としてのＴｉ化合物層は、それ自体が所定の高温強度を有し、これの存在によって硬質被覆層が高温強度を具備するようになるほか、工具基体と従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層あるいは改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層のいずれとも強固に密着し、硬質被覆層の工具基体に対する密着性向上に寄与する作用をもつが、その合計平均層厚が４μｍ未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方その合計平均層厚が２０μｍを越えると、断続切削加工で熱塑性変形を起し易くなり、これが偏摩耗の原因となることから、Ｔｉ化合物層の合計平均層厚を４〜２０μｍと定めた。
Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層からなる硬質被覆層としてのＴｉ化合物層は、それ自体が所定の高温強度を有し、これの存在によって硬質被覆層が高温強度を具備するようになるほか、工具基体と従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層あるいは改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層のいずれとも強固に密着し、硬質被覆層の工具基体に対する密着性向上に寄与する作用をもつが、その合計平均層厚が４μｍ未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方その合計平均層厚が２０μｍを越えると、断続切削加工で熱塑性変形を起し易くなり、これが偏摩耗の原因となることから、Ｔｉ化合物層の合計平均層厚を４〜２０μｍと定めた。
（ｂ）従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層
従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層については、上記の通り、層中のＣｒ含有割合（Ｙ値）をＴｉとの合量に占める原子比で、０．００５〜０．０５とすることによって、｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占め、かつ、すぐれた高温強度を具備する従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を蒸着形成することができるが、その平均層厚が２μｍ未満では所望のすぐれた高温強度向上効果を発揮することができず、一方その平均層厚が１５μｍを越えると、偏摩耗の原因となる熱塑性変形が発生し易くなり、摩耗が加速するようになることから、その平均層厚を２〜１５μｍと定めた。
従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層については、上記の通り、層中のＣｒ含有割合（Ｙ値）をＴｉとの合量に占める原子比で、０．００５〜０．０５とすることによって、｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占め、かつ、すぐれた高温強度を具備する従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を蒸着形成することができるが、その平均層厚が２μｍ未満では所望のすぐれた高温強度向上効果を発揮することができず、一方その平均層厚が１５μｍを越えると、偏摩耗の原因となる熱塑性変形が発生し易くなり、摩耗が加速するようになることから、その平均層厚を２〜１５μｍと定めた。
（ｃ）改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層
Ｔｉ化合物層のうちの改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層については、層中のＣｒ含有割合（Ｘ値）をＴｉとの合量に占める原子比で、０．１２〜０．２とすることによって、｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を形成することができ、そして、このような改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、クーリングクラックが均一に分散し、これによって、Ｃｒ含有量を増加したことによる改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の高温強度の低下を抑えることができると同時にすぐれた高温硬さを保持するようになり、さらに、結晶粒界の安定性が増し、切削加工時に発生した層内クラックの伝播進展が抑制され、切刃部に断続的に衝撃的な負荷が加わった場合にも、耐チッピング性が大幅に改善され、また、耐摩耗性の向上も図れる。
したがって、その含有割合が０．１２未満でも、０．２を越えても、高温硬さと耐熱性の向上効果を期待することができないばかりか、高温強度の低下をクーリングクラックの均一分散により抑えることができなくなるため、断続的な繰り返しの衝撃的負荷がかかる断続切削加工においては、熱塑性変形あるいは偏摩耗の発生等によって耐摩耗性の劣ったものとなる。
そして、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮの場合と同様に、その平均層厚が２μｍ未満では所望のすぐれた高温強度向上効果を発揮することができず、一方その平均層厚が１５μｍを越えると、偏摩耗の原因となる熱塑性変形が発生し易くなり、摩耗が加速するようになることから、その平均層厚を２〜１５μｍと定めた。
Ｔｉ化合物層のうちの改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層については、層中のＣｒ含有割合（Ｘ値）をＴｉとの合量に占める原子比で、０．１２〜０．２とすることによって、｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を形成することができ、そして、このような改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、クーリングクラックが均一に分散し、これによって、Ｃｒ含有量を増加したことによる改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の高温強度の低下を抑えることができると同時にすぐれた高温硬さを保持するようになり、さらに、結晶粒界の安定性が増し、切削加工時に発生した層内クラックの伝播進展が抑制され、切刃部に断続的に衝撃的な負荷が加わった場合にも、耐チッピング性が大幅に改善され、また、耐摩耗性の向上も図れる。
したがって、その含有割合が０．１２未満でも、０．２を越えても、高温硬さと耐熱性の向上効果を期待することができないばかりか、高温強度の低下をクーリングクラックの均一分散により抑えることができなくなるため、断続的な繰り返しの衝撃的負荷がかかる断続切削加工においては、熱塑性変形あるいは偏摩耗の発生等によって耐摩耗性の劣ったものとなる。
そして、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮの場合と同様に、その平均層厚が２μｍ未満では所望のすぐれた高温強度向上効果を発揮することができず、一方その平均層厚が１５μｍを越えると、偏摩耗の原因となる熱塑性変形が発生し易くなり、摩耗が加速するようになることから、その平均層厚を２〜１５μｍと定めた。
なお、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層および改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層におけるＴｉ、Ｃｒ以外の構成成分であるＣとＮについて言えば、Ｃ成分には層の硬さを向上させ、また、Ｎ成分には高温強度を向上させる作用があり、これら両成分を共存含有することにより高い硬さとすぐれた強度を具備する炭窒化物層となるのであり、したがって、層中のＮ成分の含有割合がＣ成分との合量に占める割合（＝Ｎ／（Ｃ＋Ｎ））で０．３５未満（但し、原子比）では所望の強度を確保することができず、一方、その含有割合が０．５５を越えると、相対的にＣ成分の含有割合が少なくなり過ぎて、所望の高硬度が得られなくなることから、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層および改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層におけるＣ成分との合量に対するＮ成分の含有割合（＝Ｎ／（Ｃ＋Ｎ））は、原子比で０．３５〜０．５５とすることが望ましい。
（ｄ）硬質被覆層の層構造
硬質被覆層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの少なくとも２層以上からなるＴｉ化合物層と、（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成し、しかも、（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層のうちの少なくとも1層は前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層であり、また、さらに少なくとも1層は前記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成しなければならない。
既に述べたように、前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は高温強度にすぐれるものの、高速断続切削加工において必要とされる十分な耐衝撃性を備えているとはいえないので、高温強度、高温硬さおよび耐熱性に優れると同時に、一段とすぐれた耐衝撃性を備えた改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を、硬質被覆層の構成層として設けることによって、硬質被覆層の高温強度を高めると同時に高温硬さを維持することができ、さらに、Ｔｉ化合物層、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、相互に層間の密着強度も高いため、硬質被覆層全体としての高温強度がさらに一層高まり、その結果、本発明の被覆工具は、各種の鋼や鋳鉄の高速断続切削加工時の耐衝撃性が改善され、その結果として、すぐれた耐チッピング性を示すとともに、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するようになる。
硬質被覆層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの少なくとも２層以上からなるＴｉ化合物層と、（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成し、しかも、（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層のうちの少なくとも1層は前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層であり、また、さらに少なくとも1層は前記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成しなければならない。
既に述べたように、前記従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は高温強度にすぐれるものの、高速断続切削加工において必要とされる十分な耐衝撃性を備えているとはいえないので、高温強度、高温硬さおよび耐熱性に優れると同時に、一段とすぐれた耐衝撃性を備えた改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を、硬質被覆層の構成層として設けることによって、硬質被覆層の高温強度を高めると同時に高温硬さを維持することができ、さらに、Ｔｉ化合物層、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層は、相互に層間の密着強度も高いため、硬質被覆層全体としての高温強度がさらに一層高まり、その結果、本発明の被覆工具は、各種の鋼や鋳鉄の高速断続切削加工時の耐衝撃性が改善され、その結果として、すぐれた耐チッピング性を示すとともに、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するようになる。
なお、硬質被覆層としてＡｌ2Ｏ3層を設けることによって、被覆工具の耐摩耗性を改善することは良く知られているが、本発明においても、硬質被覆層の最表面に、さらに、Ａｌ2Ｏ3層を蒸着被覆することにより、被覆工具の耐摩耗性のより一層の改善を図ることもできる。その際、Ａｌ2Ｏ3層としては、α型Ａｌ2Ｏ3層、κ型Ａｌ2Ｏ3層等種々の結晶構造のＡｌ2Ｏ3層が知られているが、これらの結晶構造のいずのＡｌ2Ｏ3層を被覆しても良く、その結晶構造が特に限定されるものではない。
ただ、Ａｌ2Ｏ3層を蒸着被覆する場合に、その平均層厚が１μｍ未満では、硬質被覆層のさらなる耐摩耗性向上を期待することはできず、一方、その平均層厚が１５μｍを越えて厚くなりすぎると、チッピングが発生し易くなることから、その平均層厚は１〜１５μｍとすることが望ましい。
ただ、Ａｌ2Ｏ3層を蒸着被覆する場合に、その平均層厚が１μｍ未満では、硬質被覆層のさらなる耐摩耗性向上を期待することはできず、一方、その平均層厚が１５μｍを越えて厚くなりすぎると、チッピングが発生し易くなることから、その平均層厚は１〜１５μｍとすることが望ましい。
また、例えば、切削工具の使用前後の識別を目的として、必要に応じ、黄金色の色調を有するＴｉＮ層を最表面層として蒸着形成することもできるが、識別効果という点から、ＴｉＮ層の平均層厚は０．１〜１μｍで十分である。
この発明の被覆工具は、高熱発生を伴うとともに、断続的に大きな衝撃的・機械的な負荷が繰り返しかかる各種の鋼や鋳鉄などの高速断続切削でも、硬質被覆層の少なくとも１層が従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成されているためすぐれた高温強度を有し、また、さらに少なくとも1層が改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層で構成されているため、一段とすぐれた高温強度、耐熱性と高温硬さを発揮し、その結果として、硬質被覆層は長期に亘ってすぐれた耐チッピング性とすぐれた耐摩耗性を示すようになる。
つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
原料粉末として、いずれも０．３〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ3Ｃ2粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で３２時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、９８ＭＰａの圧力で所定形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を５Ｐａの真空中、１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に１時間保持の条件で真空焼結し、焼結後、切刃部にＲ：０．０７ｍｍのホーニング加工を施すことによりＩＳＯ・ＣＮＭＧ１２０４１２に規定するスローアウエイチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体Ａ〜Ｆをそれぞれ製造した。
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（質量比で、ＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ2Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで３２時間湿式混合し、乾燥した後、９８ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を１．３ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５４０℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０９ｍｍのホーニング加工を施すことによりＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４１２のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製の工具基体ａ〜ｆを形成した。
つぎに、これらの工具基体Ａ〜Ｆおよび工具基体ａ〜ｆの表面に、通常の化学蒸着装置を用い、硬質被覆層としてＴｉ化合物層、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層）を表３、表４、表５に示される条件で、表６に示される組み合わせおよび目標層厚で蒸着形成し、さらに、その表面に、表３に示される条件かつ表６に示される目標層厚でＡｌ2Ｏ3層を蒸着形成することにより本発明被覆工具１〜１３を製造した。
また、比較の目的で、硬質被覆層としてＴｉ化合物層、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を表３、表４に示される条件で、表７に示される組み合わせおよび目標層厚で蒸着形成し、さらに、その表面に、表３に示される条件かつ表７に示される目標層厚でＡｌ2Ｏ3層を蒸着形成することにより比較被覆工具１〜１３を製造した。
ついで、上記の本発明被覆工具および比較被覆工具の硬質被覆層を構成する従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層について、電界放出型走査電子顕微鏡を用いて、傾斜角度数分布グラフをそれぞれ作成した。
すなわち、上記傾斜角度数分布グラフは、上記の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の表面を研磨面とした状態で、電界放出型走査電子顕微鏡の鏡筒内にセットし、前記研磨面に７０度の入射角度で１５ｋＶの加速電圧の電子線を１ｎＡの照射電流で、前記表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に照射して、電子後方散乱回折像装置を用い、３０×５０μｍの領域を０．１μｍ／ｓｔｅｐの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定結果に基づいて、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計することにより作成した。
次に、本発明被覆工具の硬質被覆層を構成する改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層について、前記と同様に、電界放出型走査電子顕微鏡を用いて、傾斜角度数分布グラフをそれぞれ作成した。
すなわち、上記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の表面を研磨面とした状態で、電界放出型走査電子顕微鏡の鏡筒内にセットし、前記研磨面に７０度の入射角度で１５ｋＶの加速電圧の電子線を１ｎＡの照射電流で、前記表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に照射して、電子後方散乱回折像装置を用い、３０×５０μｍの領域を０．１μｍ／ｓｔｅｐの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定結果に基づいて、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計することにより作成した。
さらに、比較被覆工具の硬質被覆層を構成する従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層については、参考のために、その｛１１１｝面の０〜１０度の範囲内にある最高ピークの度数割合を上記と同様に測定した。
すなわち、上記傾斜角度数分布グラフは、上記の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の表面を研磨面とした状態で、電界放出型走査電子顕微鏡の鏡筒内にセットし、前記研磨面に７０度の入射角度で１５ｋＶの加速電圧の電子線を１ｎＡの照射電流で、前記表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に照射して、電子後方散乱回折像装置を用い、３０×５０μｍの領域を０．１μｍ／ｓｔｅｐの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定結果に基づいて、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計することにより作成した。
次に、本発明被覆工具の硬質被覆層を構成する改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層について、前記と同様に、電界放出型走査電子顕微鏡を用いて、傾斜角度数分布グラフをそれぞれ作成した。
すなわち、上記改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の表面を研磨面とした状態で、電界放出型走査電子顕微鏡の鏡筒内にセットし、前記研磨面に７０度の入射角度で１５ｋＶの加速電圧の電子線を１ｎＡの照射電流で、前記表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に照射して、電子後方散乱回折像装置を用い、３０×５０μｍの領域を０．１μｍ／ｓｔｅｐの間隔で、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、この測定結果に基づいて、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計することにより作成した。
さらに、比較被覆工具の硬質被覆層を構成する従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層については、参考のために、その｛１１１｝面の０〜１０度の範囲内にある最高ピークの度数割合を上記と同様に測定した。
上記により求めた従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１２｝面の最高ピークの度数割合、および、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１１｝面の最高ピークの度数割合を、表６，７にそれぞれ示した（なお、参考のため、表７には、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１１｝面の最高ピークの度数割合も示す）。
表６に示されるとおり、本発明被覆工具１〜１３の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１２｝面の最高ピークの度数割合、また、本発明被覆工具１〜１３の改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１１｝面の最高ピークの度数割合はいずれも４５％以上を示している。
これに対して、表７に示されるように、比較被覆工具１〜１３の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１２｝面の最高ピークの度数割合は４５％以上を示しているものの、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１１｝面の最高ピークの度数割合はいずれも４５％未満の値となっている。
これに対して、表７に示されるように、比較被覆工具１〜１３の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１２｝面の最高ピークの度数割合は４５％以上を示しているものの、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１１｝面の最高ピークの度数割合はいずれも４５％未満の値となっている。
さらに、上記の本発明被覆工具１〜１３および比較被覆工具１〜１３について、これの硬質被覆層の構成層を電子線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）およびオージェ分光分析装置を用いて観察（層の縦断面を観察）したところ、前者は目標組成と実質的に同じ組成を有するＴｉ化合物層と、従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層および改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層からなり、後者についても目標組成と実質的に同じ組成を有するＴｉ化合物層と従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層とからなることが確認された。また、これらの被覆工具の硬質被覆層の構成層の厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて測定（同じく縦断面測定）したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均層厚（５点測定の平均値）を示した。なお、硬質被覆層として、さらにＡｌ2Ｏ3層を被覆した被覆工具においても、Ａｌ2Ｏ3層は目標層厚と実質的に同じ平均層厚（５点測定の平均値）を示した。
つぎに、上記の各種の被覆工具をいずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、本発明被覆工具１〜１３および比較被覆工具１〜１３について、
被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度： ４００ ｍ／ｍｉｎ、
切り込み： １．５ ｍｍ、
送り： ０．３ ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間： ８ 分、
の条件（切削条件Ａという）での合金鋼の湿式断続高速切削試験（通常の切削速度は、２５０ｍ／ｍｉｎ）、
被削材：ＪＩＳ・Ｓ４５Ｃの長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度： ４００ ｍ／ｍｉｎ、
切り込み： １．５ ｍｍ、
送り： ０．３５ ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間： １０ 分、
の条件（切削条件Ｂという）での炭素鋼の湿式断続高速切削試験（通常の切削速度は、３００ｍ／ｍｉｎ）、
被削材：ＪＩＳ・ＦＣＤ４５０の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度： ４００ ｍ／ｍｉｎ、
切り込み： １．５ ｍｍ、
送り： ０．２５ ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間： ８ 分、
の条件（切削条件Ｃという）でのダクタイル鋳鉄の湿式断続高速切削試験（通常の切削速度は、２５０ｍ／ｍｉｎ）、
を行い、
いずれの切削試験（水溶性切削油使用）でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表８に示した。
被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度： ４００ ｍ／ｍｉｎ、
切り込み： １．５ ｍｍ、
送り： ０．３ ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間： ８ 分、
の条件（切削条件Ａという）での合金鋼の湿式断続高速切削試験（通常の切削速度は、２５０ｍ／ｍｉｎ）、
被削材：ＪＩＳ・Ｓ４５Ｃの長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度： ４００ ｍ／ｍｉｎ、
切り込み： １．５ ｍｍ、
送り： ０．３５ ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間： １０ 分、
の条件（切削条件Ｂという）での炭素鋼の湿式断続高速切削試験（通常の切削速度は、３００ｍ／ｍｉｎ）、
被削材：ＪＩＳ・ＦＣＤ４５０の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度： ４００ ｍ／ｍｉｎ、
切り込み： １．５ ｍｍ、
送り： ０．２５ ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間： ８ 分、
の条件（切削条件Ｃという）でのダクタイル鋳鉄の湿式断続高速切削試験（通常の切削速度は、２５０ｍ／ｍｉｎ）、
を行い、
いずれの切削試験（水溶性切削油使用）でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表８に示した。
表６〜８に示される結果から、本発明被覆工具１〜１３は、いずれも硬質被覆層の従来（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１２｝面の最高ピークの度数割合が４５％以上であり、これが一段とすぐれた高温強度を有し、さらに、改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層の｛１１１｝面の最高ピークの度数割合が４５％以上を示し、これがすぐれた高温強度、高温硬さおよび耐熱性を有することから、大きな発熱を伴うとともに、繰り返し大きな衝撃的・機械的負荷がかかる各種の鋼や鋳鉄の高速断続切削加工でも、硬質被覆層が一段とすぐれた高温強度と高温硬さおよび耐熱性を具備し、その結果として、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が改質（Ｔｉ，Ｃｒ）ＣＮ層を備えない従来被覆工具１〜１３は、高速断続切削加工において、硬質被覆層の高温強度、耐熱性が不足し、硬質被覆層にチッピングが発生したり、あるいは、熱塑性変形の発生、偏摩耗の発生等により、硬質被覆層の耐摩耗性は非常に劣ったものとなり、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の被覆工具は、各種鋼や鋳鉄などの通常の条件での連続切削や断続切削は勿論のこと、大きな発熱を伴うとともに、切刃部に大きな衝撃的・機械的負荷がかかる高速断続切削加工でも硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を示し、長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮するものであるから、切削装置の高性能化並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
Claims (2)
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、４〜２０μｍの合計平均層厚を有する硬質被覆層として、少なくとも、Ｔｉ化合物層と、ＴｉとＣｒの炭窒化物層とを蒸着形成した表面被覆切削工具において、
（ａ）Ｔｉ化合物層は、Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなり、
（ｂ）上記ＴｉとＣｒの炭窒化物層のうちの少なくとも１層は、２〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｔｉ１−ＸＣｒＸ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｘ：０．１２〜０．２を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物層であり、
さらに、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１１｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すＴｉとＣｒの炭窒化物層で形成され、
（ｃ）また、上記ＴｉとＣｒの炭窒化物層のうちのさらに少なくとも１層は、２〜１５μｍの平均層厚を有し、かつ、
組成式：（Ｔｉ１−ＹＣｒＹ）ＣＮで表した場合、原子比で、Ｙ：０．００５〜０．０５を満足するＴｉとＣｒの炭窒化物層であり、
さらに、電界放出型走査電子顕微鏡を用い、表面研磨面の測定範囲内に存在する立方晶結晶格子を有する結晶粒個々に電子線を照射して、前記表面研磨面の法線に対して、前記結晶粒の結晶面である｛１１２｝面の法線がなす傾斜角を測定し、前記測定傾斜角のうち、０〜４５度の範囲内にある測定傾斜角を０．２５度のピッチ毎に区分すると共に、各区分内に存在する度数を集計してなる傾斜角度数分布グラフにおいて、０〜１０度の範囲内の傾斜角区分に最高ピークが存在すると共に、前記０〜１０度の範囲内に存在する度数の合計が、傾斜角度数分布グラフにおける度数全体の４５％以上の割合を占める傾斜角度数分布グラフを示すＴｉとＣｒの炭窒化物層で形成されている、
ことを特徴とする表面被覆切削工具。 - 前記４〜２０μｍの合計平均層厚を有する硬質被覆層の表面に、さらに、１〜１５μｍの平均層厚の酸化アルミニウム層を蒸着形成したことを特徴とする、請求項１記載の表面被覆切削工具。
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