JP5017958B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、第1の実施の形態について説明する。
まず、通常のプロセスに従い、図1に例示するような、nMOSFET10とpMOSFET20を有する基本のCMOS構造を形成する。このCMOS構造は、例えば、p型のSi基板1を用いて形成され、そのnMOSFET10とpMOSFET20は、STI(Shallow Trench Isolation)2によって素子分離される。
nMOSFET10およびpMOSFET20の形成後は、その基板全面に、SiNからなる膜厚約70nmの引っ張り応力膜3を堆積する。
なお、流量単位sccmは、0℃,101.3kPaでの流量mL/minの換算値である。また、1Torrは、約133.322Paである。
図3は酸化膜堆積工程の要部断面模式図である。
SiO2膜4は、例えば、プラズマCVD法を用い、膜厚約25nmで堆積する。その際は、例えば、SiH4と酸素(O2)の混合ガスを用いて、基板温度を400℃程度に設定して行う。
図4は酸化膜エッチング工程の要部断面模式図である。
SiO2膜4のエッチング後は、同じレジストマスク5を用い、pMOSFET20側に堆積されている引っ張り応力膜3をエッチングにより除去する。この引っ張り応力膜3のエッチングは、例えば、CHF3/Ar/O2ガスを用いたRIE法により行う。
図4に示したSiO2膜4のエッチングと、この図5に示した引っ張り応力膜3のエッチングにより、nMOSFET10上にのみ引っ張り応力膜3およびSiO2膜4が残った状態になる。nMOSFET10のチャネル部分には、この引っ張り応力膜3によって引っ張り応力が加えられるようになる。
図5に示したレジストマスク5の除去後は、nMOSFET10上に残る引っ張り応力膜3に対してUV照射を行う。UV照射は、チャンバ内を所定環境に制御してUV照射を行うことのできるUV照射装置を用い、例えば、照射温度約450℃、照射時間約20分の条件で行う。
なお、引っ張り応力膜3に対するUV照射は、引っ張り応力の向上のためには、図2に示した全面への引っ張り応力膜3の堆積後、その引っ張り応力膜3の全面に対して行うことも可能である。
nMOSFET10上の引っ張り応力膜3に対するUV照射後は、その引っ張り応力膜3とSiO2膜4が残る基板全面に、SiNからなる膜厚約70nmの圧縮応力膜6を堆積する。
堆積の際、SiH4ガスの流量は、100sccm〜1000sccmの範囲とし、NH3ガスの流量は、500sccm〜10000sccmの範囲とする。さらに、キャリアガスとしてN2ガスまたはArガスを用い、その流量は、500sccm〜10000sccmの範囲とする。各ガスを導入するチャンバは、その内圧を0.1Torr〜400Torr、温度を400℃〜450℃に制御する。RFパワーは100W〜1000W程度である。
図8は圧縮応力膜エッチング工程の要部断面模式図である。
全面に圧縮応力膜6を堆積した後は、pMOSFET20側にレジストマスク7を形成し、SiO2膜4をエッチングストッパにして、nMOSFET10側に堆積されている圧縮応力膜6をエッチングにより除去する。圧縮応力膜6のエッチングは、例えば、CHF3/Ar/O2ガスを用いたRIE法により行う。
図9は層間絶縁膜堆積工程の要部断面模式図である。
レジストマスク7の除去後、全面に層間絶縁膜としてTEOS酸化膜8を堆積する。TEOS酸化膜8は、TEOS(tetra-ethoxysilane,Si(OC2H5OH)4)を原料に用い、プラズマCVD法を用いて堆積される。TEOS酸化膜8は、全面にまず膜厚約600nmで堆積した後、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法を用いて平坦化し、最終的に約350nmの膜厚とする。
なお、第2の実施の形態において、第1の実施の形態で述べた要素と同一の要素については同一の符号を付し、その説明の詳細は省略する。
図8に示した圧縮応力膜6のエッチング後にレジストマスク7を除去すると、図10に示すように、nMOSFET10上にUV照射前の引っ張り応力膜3が形成され、pMOSFET20上にUV照射前の圧縮応力膜6が形成された状態が得られる。
2 STI
3 引っ張り応力膜
4 SiO2膜
5,7 レジストマスク
6 圧縮応力膜
8 TEOS酸化膜
10 nMOSFET
11,21 ウェル領域
12,22 ゲート絶縁膜
13,23 ゲート電極
14,24 サイドウォール
15,25 ソース・ドレイン・エクステンション領域
16,26 ソース・ドレイン領域
17,27 シリサイド層
20 pMOSFET
Claims (6)
- 半導体基板に第1トランジスタ及び第2トランジスタを形成する工程と、
前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタを覆う第1応力膜を形成する工程と、
形成された前記第1応力膜を前記第1トランジスタ上に残して除去する工程と、
前記第1トランジスタ上に残る前記第1応力膜に対して紫外線を照射する工程と、
前記紫外線を照射する工程後に、前記第1応力膜が残る前記半導体基板上に第2応力膜を形成する工程と、
形成された前記第2応力膜を前記第2トランジスタ上に残して除去する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1トランジスタは、nチャネル型電界効果トランジスタであり、
前記第1応力膜は、引っ張り応力を有する膜であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2トランジスタは、pチャネル型電界効果トランジスタであり、
前記第2応力膜は、圧縮応力を有する膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体基板に前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタを形成する工程は、前記第1トランジスタの第1ゲート電極上、第1ソース領域上及び第1ドレイン領域上、並びに、前記第2トランジスタの第2ゲート電極上、第2ソース領域上及び第2ドレイン領域上に、シリサイド層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1応力膜を形成する工程の後であって、前記第1応力膜を前記第1トランジスタ上に残して除去する工程の前に、前記第1応力膜上に第1絶縁膜を形成する工程を更に有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1応力膜は窒化シリコン膜であり、前記第2応力膜は窒化シリコン膜であり、前記第1絶縁膜は酸化シリコン膜であることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
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