JP5008639B2 - 光学ガラス、精密プレス成形用プリフォームとその製造方法および光学素子とその製造方法 - Google Patents
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Description
とその製造方法に関する。さらに詳しくは、本発明は、表面にクモリやヤケなどの変質層
の発生による品質低下を起こしにくい精密プレス成形用の光学ガラス、前記ガラスからな
る精密プレス成形用プリフォームとその製造方法、および前記ガラスからなる光学素子と
その製造方法に関するものである。
スを使用した非球面レンズなどの光学素子を低コストで大量に安定供給する方法として精
密プレス成形法(モールドオプティクス成形法とも言う。)が注目されている。
減するとともに高価なプレス成形型の寿命を延ばすため、比較的低いプレス温度で成形が
可能な低温軟化性を有する光学ガラスが使用される。このようなガラスは、特許文献1に
開示されているようにガラス転移温度や屈伏点を低下させるためにLi2Oがガラス成分
として導入されている。
表面にクモリやヤケと呼ばれる変質層が発生しやすい。このようなクモリやヤケがレンズ
面などに存在すると不良品となるため、クモリやヤケが生じた面は研磨などによって除去
しなければならない。しかし、クモリやヤケを除去するために精密プレス成形品のレンズ
面などに研磨を施すようでは、精密プレス成形法の特徴が全く活かされなくなってしまう
。
質低下を起こしにくい精密プレス成形用の光学ガラス、前記ガラスからなる精密プレス成
形用プリフォームとその製造方法、および前記ガラスからなる光学素子とその製造方法を
提供することを第1の目的とする。
精密プレス成形用プリフォーム、ならびに前記プリフォームを使用した光学素子の製造方
法を提供することを第2の目的とする。
通常、精密プレス成形用の光学ガラスには、特許文献1で示されるようにガラス転移温
度を低下させるために比較的多量のLi2Oが含まれている。しかしながら、ガラスがプ
レス成形温度またはプレス成形前後の高温の環境に曝される時間が長いような場合には、
Liイオンの拡散係数が大きいため、Liに由来する表面でのクモリ・ヤケが発生しやす
くなる。高温のガラス表面においてLiイオンが雰囲気中に含まれる炭素化合物や離型膜
としてガラス表面に被覆されている炭素含有膜と反応するとLiの炭酸塩が生成される。
炭酸塩が生成されることによりガラス表面近傍のLiイオン濃度が一時的に低下するが、
Liイオンはガラス中で移動しやすいため、表面付近のLiイオン濃度低下を補うように
ガラス内部のLiイオンがガラス表面へと移動し、ガラス表面における炭酸塩の生成が進
むことになる。
え、プリフォームを構成するガラスからガラス成分としてLiを実質的に除くことにより
、本発明を完成するに至った。
(1) ガラス製の精密プレス成形用プリフォームを加熱し、プレス成形型を使用して精密プレス成形する光学素子の製造方法において、
前記プリフォームが、B 2 O 3 、La 2 O 3 およびZnOを含み、モル%表示で、B 2 O 3 20〜42.26%、SiO 2 0〜20%、ZnO 22〜42%、La 2 O 3 5〜24%、Gd 2 O 3 0〜20%(ただし、La 2 O 3 とGd 2 O 3 の合計量が12〜24%)、ZrO 2 0〜10%、Ta 2 O 5 0〜10%、WO 3 0〜10%、Nb 2 O 5 0〜10%、TiO 2 0〜10%、Bi 2 O 3 0〜10%、GeO 2 0〜10%、Ga 2 O 3 0〜10%、Al 2 O 3 0〜10%、BaO 0〜10%、Y 2 O 3 0〜10%およびYb 2 O 3 0〜10%、を含み、
かつアッベ数(νd)が40以上45未満、さらに屈折率ndとアッベ数νdが下記(1)式
νd≧−125×nd+268.75 ・・・(1)
を満たし、
ガラス転移温度が540℃以上である光学ガラスからなり、
前記光学ガラスは、そのLi 2 Oの導入量がガラス表面にクモリやヤケが発生しないレベルのリチウム含有量に抑えられている
ことを特徴とする光学素子の製造方法、
(2) 前記光学ガラスのリチウム含有量がLi 2 O換算で0.5モル%未満である上記(1)項に記載の光学素子の製造方法、
(3) 表面に炭素含有膜が被覆されているプリフォームを用いる上記(1)または(2)項に記載の光学素子の製造方法、および
(4) 精密プレス成形後、精密プレス成形品の表面に残存する炭素含有膜を酸化して除去する上記(3)項に記載の光学素子の製造方法、
を提供するものである。
い精密プレス成形用の光学ガラス、前記ガラスからなる精密プレス成形用プリフォームと
その製造方法、および前記ガラスからなる光学素子とその製造方法を提供することができ
る。
その上、精密プレス成形時に使用するプレス成形型との離型性に優れた精密プレス成形
用プリフォーム、ならびに前記プリフォームを使用した光学素子の製造方法を提供するこ
ともできる。
光学素子とその製造方法の順に説明する。
本発明の光学ガラスは、B2O3、La2O3およびZnOを含み、精密プレス成形の
ガラス素材として使用される光学ガラスにおいて、モル%表示で、
B2O3 20〜60%、SiO2 0〜20%、ZnO 22〜42%、La2O3
5〜24%、Gd2O3 0〜20%(ただし、La2O3とGd2O3の合計量が1
0〜24%)、ZrO2 0〜10%、Ta2O5 0〜10%、WO3 0〜10%、
Nb2O5 0〜10%、TiO2 0〜10%、Bi2O3 0〜10%、GeO2
0〜10%、Ga2O3 0〜10%、Al2O3 0〜10%、BaO 0〜10%、
Y2O3 0〜10%およびYb2O3 0〜10%、
を含み、かつアッベ数(νd)が40以上で、実質的にリチウムを含まないことを特徴と
する。
が生じるクモリやヤケが発生しないレベルの含有量にLi2Oの導入量を抑えることを意
味するものであるが、具体的には、Li2Oの量に換算して0.5モル%未満の含有量に
抑えることを意味する。リチウムの量を少なくするほどクモリ、ヤケ発生のリスクを低減
することができるので、Li2Oの量で0.4モル%以下に抑えることが好ましく、0.
1モル%以下に抑えることがより好ましく、導入しないことがさらに好ましい。
有量や合計量はモル%で表示し、成分の含有量の比もモル比で表わすものとする。
率成分を多く導入する場合、ガラスの形成のためにB2O3を20%以上導入して主なネ
ットワーク構成成分とし、失透に対する十分な安定性を付与するとともに、ガラスの熔融
性を維持する必要があるが、60%を超えて導入すると、ガラスの屈折率が低下し、高屈
折率ガラスを得るという目的に適さなくなる。したがって、その導入量20〜60%とす
る。B2O3導入の上記効果を高める上から22〜58%の導入が好ましく、24〜56
%の導入がより好ましい。
、ガラスの液相温度を低下させ、高温粘性を向上させ、さらにガラスの安定性を大きく向
上させるが、過剰の導入により、ガラスの屈折率が下がることに加え、ガラス転移温度が
高くなり精密プレス成形が困難になる。そのため、SiO2の導入量を0〜20%とし、
好ましくは0〜18%とする。
率の調整にも欠かせないが、本発明のガラスはLi2Oを実質的に含まないため、Li2
Oを含有するガラスよりもZnOの導入量を多くする必要がある。一方、42%を超えて
導入すると、分散も大きくなり、失透に対する安定性も悪化し、化学的耐久性も低下する
ので、その導入量を22〜42%の範囲とする。好ましい範囲は23〜41%である。
散を高めずに、屈折率を高くし、化学的耐久性を向上させる。しかし、5%未満では十分
の効果が得られず、一方、24%を超えると失透に対する安定性が著しく悪化するため、
その導入量は5〜24%とする。上記効果をより高める上からLa2O3の含有量を6〜
23%とすることが好ましく、7〜22%とすることがより好ましい。
にガラスの屈折率や化学的耐久性を向上させる成分である。Gd2O3は、20%を超え
て導入すると失透に対する安定性が悪化し、ガラス転移温度が上昇して精密プレス成形性
が悪化する傾向があるため、0〜20%導入する。高屈折率を付与しつつ、化学的耐久性
を高めるため、Gd2O3を1〜19%導入することが好ましい。より好ましい範囲は2
〜18%である。なお、ガラス安定性を高めるためには、La2O3とGd2O3とがガ
ラス成分として共存する組成が好ましい。特に後述するように熔融ガラスから、ガラスが
冷却する過程でガラスを成形して、精密プレス成形用プリフォームを作製するような用途
への適用を考える場合には、成形過程でガラスが失透しないようにするため、上記のよう
にガラスの安定性をより高めることは重要である。
O3とGd2O3の合計含有量を10〜24%とし、好ましくは12〜23%とするのが
よい。
ることにより、ガラスの屈折率を低下させずに、高温粘性や失透に対する安定性を改善す
る効果が得られるが、10%を超えて導入すると液相温度が急激に上昇し、失透に対する
安定性も悪化するので、その導入量を0〜10%とし、好ましくは0〜8%とする。
5を導入することにより、ガラスの屈折率を低下させずに、高温粘性や失透に対する安定
性を改善する効果があるが、10%を超えて導入すると液相温度が急激に上昇し、分散が
増大するので、その導入量を0〜10%とし、好ましくは0〜8%とする。
る成分であるが、その導入量が10%を超えると、分散が大きくなり、必要な低分散特性
が得られなくなるため、その導入量を0〜10%とし、好ましくは0〜8%とする。
入により分散が増大するため、その導入量を0〜10%、好ましくは0〜8%とする。
分散が大きくなり、目的とする光学恒数を得ることができなくなるため、その導入量を0
〜10%とし、好ましくは0〜8%、より好ましくは導入しない。
りガラスの安定性が低下し、液相温度が上昇する。そのため、その導入量を0〜10%と
し、好ましくは0〜6%とする。
分であり、その導入量は0〜10%、好ましくは0〜8%とする。ただし、他の成分に比
べて桁違いに高価であるため導入しないことがより好ましい。
成分であり、その導入量は0〜10%、好ましくは0〜8%とする。ただし、他の成分に
比べて桁違いに高価であるため導入しないことがより好ましい。
を向上する働きをし、化学的耐久性を向上させる働きもする。しかし過剰導入により屈折
率が低下し、失透に対する安定性も低下するので、その導入量を0〜10%とし、好まし
くは0〜8%とする。
、ガラスの安定性を高め、化学的耐久性を向上させるが、10%より多く導入するとガラ
スの失透に対する安定性を大きく損ない、転移温度や屈伏点温度を上昇させるため、その
導入量を0〜10%とし、好ましく、0〜8%とする。
量導入する場合、ガラスの安定性を高め、化学的耐久性を向上させるが、過剰の導入によ
りガラスの失透に対する安定性を大きく損ない、ガラス転移温度や屈伏点温度を上昇させ
る。そのため、Y2O3の含有量は0〜10%、好ましくは0〜8%とする。Yb2O3
の含有量は0〜10%、好ましくは0〜8%とする。
%にすることが好ましい。
対してSb2O3の添加量が1重量%を超えると、精密プレス成形時にプレス成形型の成
形面が損傷を受けるおそれが生じるため、Sb2O3は全ガラス成分の合計含有量に対し
て0〜1重量%添加することが好ましく、0〜0.5重量%添加することがより好ましい
。
PbOは有害であるとともに、PbOを含むガラスからなるプリフォームを非酸化性雰囲
気中で精密プレス成形すると成形品の表面に鉛が析出して光学素子としての透明性が損な
われたり、析出した金属鉛がプレス成形型に付着するといった問題が生じる。
、また、希少価値が高く光学ガラス原料としては高価であるため、コスト面から導入しな
いことが好ましい。上記組成からなる光学ガラスは、Lu2O3を導入しなくても精密プ
レス成形に好適なプリフォームを実現できる。
どの有毒な元素も含まないことが望ましい。また、ガラス熔融時の揮発などの問題からフ
ッ素も含まないことが望ましい。
、40以上であり、プリフォームの成形に適した極めて優れたガラス安定性を付与する上
から、上限を50とすることが好ましい。また上記ガラスは屈折率(nd)が1.79以
上の高屈折率特性を備えることがより好ましい。ガラスの屈折率を高めるということは、
ガラスを光学素子の材料として考えた場合、ガラスのもつ自由度を広げることに相当する
。屈折率を高めることは、前記自由度を広げるという観点から好ましいが、分散を維持し
つつ屈折率を高めると、ガラス安定性が低下するという傾向が発生する。したがって、ガ
ラスの安定性を維持しつつ屈折率を高めるには、ガラスの分散も考慮に入れる必要がある
。このような点を考慮すると、上記ガラスは、下記(1)式および(2)式で示される範
囲の特性を実現するものとして、より優れたものということができる。
νd≧−125×nd+268.75 (ただし、40≦νd<45) …(1)
nd≧1.79 (ただし、45≦νd≦50) …(2)
したがって、本発明のガラスとして、上記(1)式および(2)式にて示される範囲の
光学特性を示すものがさらに好ましい。
折率(nd)を高めることができるが、優れた安定性をガラスに付与する上から屈折率(
nd)を1.90以下にすることがより一層好ましい。
形用に供するものであるから、プレス成形型の消耗や前記型の成形面に形成する離型膜の
損傷を防止する上から、転移温度(Tg)が低いことが好ましく、転移温度(Tg)を6
30℃以下とすることが好ましく、620℃以下とすることがより好ましい。一方、ガラ
ス表面のクモリやヤケを防ぐ上から、ガラス中のリチウム量を上記のように制限するため
、転移温度(Tg)を過剰に低下させようとすると、屈折率が低下したり、ガラスの安定
性が低下するなどの問題が発生しやすくなる。そのため、転移温度(Tg)を530℃以
上とすることがさらに好ましく、540℃以上とすることがより一層好ましい。
酸塩、硫酸塩、硝酸塩、水酸化物などを秤量、調合し、十分に混合して混合バッチとし、
熔融容器内で加熱、熔融し、脱泡、攪拌を行い均質かつ泡を含まない熔融ガラスを作り、
これを成形することによって得ることができる。具体的には公知の熔融法を用いて作るこ
とができる。
次に本発明の精密プレス成形用プリフォーム(以下、単にプリフォームをいうことがあ
る。)について説明する。本発明のプリフォームは、加熱して精密プレス成形に供される
ガラス予備成形体を意味するが、ここで精密プレス成形とは、周知のようにモールドオプ
ティクス成形とも呼ばれ、光学素子の光学機能面をプレス成形型の成形面を転写すること
により形成する方法である。なお、光学機能面とは光学素子において、制御対象の光を屈
折したり、反射したり、回折したり、入出射させる面を意味し、レンズにおけるレンズ面
などがこの光学機能面に相当する。
第1の態様(プリフォームIという)は、上記本発明の光学ガラスからなるものである
。
しては、炭素を主成分とするもの(膜中の元素含有量を原子%で表したとき、炭素の含有
量が他の元素の含有量よりも多い)が望ましい。具体的には、炭素膜や炭化水素膜などを
例示することができる。プリフォーム表面を炭素含有膜により被覆することにより、精密
プレス成形時にガラスと型成形面の融着を防止することができる。また、プレス成形時に
ガラスを型によって構成されるキャビティ内に十分広げる作用を高めることもできる。こ
のような観点から好ましい炭素含有膜として、グラファイト状の炭素膜を例示することが
できる。炭素含有膜の成膜法としては、炭素原料を使用した真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレーティング法等の公知の方法や、炭化水素などの材料ガスを使用した熱分
解などの公知の方法を用いればよい。
形時に優れた機能を発揮するものの、従来、ガラス表面におけるクモリやヤケの原因の一
つになっていた。これは、高温状態でガラス中のLiイオンと膜中の炭素が反応すること
により、上述のようにガラス表面に炭酸塩が発生することによるが、プリフォームIによ
れば表面に炭素が豊富に存在するにもかかわらず、炭酸塩発生のもう一つの原因であるガ
ラス中のLiが抑制あるいは排除されているため、クモリやヤケの発生を防止することが
できる。
密プレス成形用プリフォームにおいて、前記ガラスが、転移温度(Tg)530℃以上で
あり、実質的にLiを含まないものであることを特徴とする。
たものと同じものである。また、実質的にLiを含まないとの表現が意味するものは、本
発明の光学ガラスの形態において説明したことと同様である。
ガラスとしては比較的高いガラスにより構成されている。ガラス転移温度が高いと、精密
プレス成形時の温度や、ガラスの歪点も高くなる。歪点は周知のとおり、ガラス中の歪を
低減する際の処理温度の目安になる。したがって、プリフォームIIは表面に炭素含有膜が
存在する状態で、プレス成形温度としては比較的高い温度下に置かれるし、精密プレス成
形後においては同じく表面に炭素含有膜が存在する状態で比較的高い温度でアニール処理
される。プレス成形温度やアニール温度が高くなるほど、ガラス中のLiイオンとガラス
表面に膜として存在する炭素の反応は促進されるが、プリフォームIIによれば、ガラス中
のリチウム量が上記のように抑制されているので、表面に炭素が豊富に存在していてもク
モリやヤケのない光学素子を精密プレス成形によって得ることができる。
って被覆され、ガラス転移温度(Tg)が530℃以上のガラスによって構成される形態
についても当てはまる。
iイオンの反応だけでなく、Liイオンを含むガラスからなるプリフォームや精密プレス
成形品を炭素含有雰囲気中で高温状態にすることによっても発生する。例えば、プリフォ
ームの表面に成膜する際、炭素含有の雰囲気中においてプリフォームを加熱したり、炭素
含有の雰囲気、例えば大気中にて精密プレス成形品をアニールする際にも発生し得る。し
かし、このような処理を行ってもプリフォームIおよびIIはともにそのガラス中に実質的
にLiが含まれないため、クモリやヤケの上記問題を解決することもできる。
えば、有機物からなる液体原料や気体原料にプリフォームIを接触させることにより、自
己組織化膜によってプリフォーム表面を被覆するなどの方法を用いてもよい。
3およびZnOを含有するものであることが好ましく、ガラス成分としてB2O3、La
2O3、ZnOおよびGd2O3を含有するものであることがより好ましい。そして、B
2O3、La2O3、ZnOおよびGd2O3の好ましい含有量は、B2O3 25〜6
0モル%、La2O3 5〜24モル%、Gd2O3 0〜20モル%、ZnO 22〜
42モル%であり、ガラスの安定性を特に重視する場合はLa2O3 7〜22モル%、
Gd2O3 2〜18モル%、ZnO 23〜41モル%とするのがよい。上記組成系は
、屈折率(nd)が1.75以上かつアッベ数(νd)が30以上の高屈折率低分散ガラ
スを実現するものとして好ましいが、特に、本発明の光学ガラスの形態において説明した
光学特性を有することがより好ましい。なお、プリフォームIIを構成するガラスのより一
層好ましい組成は、本発明の光学ガラスの形態において説明した各形態である。
本発明のプリフォームの製造方法は、流出する熔融ガラスを分離して、冷却する過程で
プリフォームに成形するガラス製の精密プレス成形用プリフォームの製造方法において、
前記ガラスが、上記本発明の光学ガラスであることを特徴とする製造方法であり、プ
リフ
ォームIやプリフォームIIの製造に好適なものである。
ラスから所定重量の熔融ガラス塊を分離、冷却して、該熔融ガラス塊と等しい重量を有す
る精密プレス成形用ガラスプリフォームを製造することを特徴とする。
流出ノズルあるいは流出パイプから排出することにより、上記プリフォームを製造する。
。流出ノズル、流出パイプの材質としては白金または白金合金が望ましい。具体的な製造
方法としては、(イ)熔融ガラスを流出ノズルから所望重量の熔融ガラス滴として滴下し
、それを受け部材によって受けてガラスプリフォームを製造する方法、(ロ)同じく所望
重量の熔融ガラス滴を前記流出ノズルより液体窒素などに滴下してプリフォームを製造す
る方法、(ハ)白金または白金合金製の流出パイプより熔融ガラス流を流下させ、熔融ガ
ラス流の先端部を受け部材で受け、熔融ガラス流のノズルと受け部材の間にくびれ部を形
成した後、くびれ部にて熔融ガラス流を分離して受け部材に所望重量の熔融ガラス塊を受
けてガラスプリフォームに成形する方法などがある。
ムを製造するためには、成形型などの上で熔融ガラス塊に風圧を加えて浮上させながらプ
リフォームに成形したり、液体窒素などの常温、常圧下では気体の物質を冷却して液体に
した媒体中に熔融ガラス滴を入れてプリフォームに成形する方法などが用いられる。
浮上ガスという)が吹きつけられ上向きの風圧が加えられることになる。この際、熔融ガ
ラス塊の粘度が低すぎると浮上ガスがガラス中に入り込み、プリフォーム中に泡となって
残ってしまう。しかし、熔融ガラス塊の粘度を3〜60dPa・sにすることにより、浮
上ガスがガラス中に入り込むことなく、ガラス塊を浮上させることができる。
ス、O2ガス、Arガス、Heガス、水蒸気等が挙げられる。また、風圧は、プリフォー
ムが成形型表面等の固体と接することなく浮上できれば特に制限はない。
に精密に一致するように定められる。本発明のプリフォームを精密プレス成形することに
より各種の精密プレス成形体が得られるが、目的とする精密プレス成形体の重量を基準に
した場合、プリフォームの重量が小さすぎると精密プレス成形時にガラスがプレス成形型
の成形面に充分充填されず、所望の面精度が得られなかったり、精密プレス成形体の厚み
が所望の厚みよりも薄くなるなどの問題が生じる。また、プリフォームの重量が大きすぎ
ると、余分なガラスがプレス成形型間の隙間に入り込んで成形バリを生じたり、成形体の
厚みが所望の厚みより厚くなるなどの問題が生じる。このため、プリフォームの重量は、
一般的なプレス成形用のプリフォームよりも精密に管理する必要があり、かかる理由によ
り、プリフォームの重量と熔融ガラス塊の重量も精密に一致するように定められる。
表面が熔融状態のガラスが固化して形成されたものであって、機械加工されていないプリ
フォームや、全表面が自由表面からなるプリフォームを得ることができるが、このような
プリフォームを形成することにより、滑らかな面(研削痕、研磨痕のない面)を得ること
ができる。上記プリフォームは本発明のプリフォームとして好ましいものである。なお、
ここで言う自由表面とは、熔融状態や軟化状態にあるガラスが冷却する過程で、固体と接
して前記固体の表面が転写されずに形成された表面のことである。具体的には熔融状態ま
たは軟化状態のガラスを風圧を加えて浮上させたまま冷却することによって全表面が熔融
状態のガラスが固化して形成されたプリフォームや全表面が自由表面であるプリフォーム
を製造することができる。
に回転対称軸を有するものが多いため、プリフォームの形状も回転対称軸を有する形状が
望ましい。具体例としては、球あるいは回転対称軸を一つ備えるものを示すことができる
。回転対称軸を一つ備える形状としては、前記回転対称軸を含む断面において角や窪みが
ない滑らかな輪郭線をもつもの、例えば上記断面において短軸が回転対称軸に一致する楕
円を輪郭線とするものなどがあり、球を扁平にした形状(球の中心を通る軸を一つ定め、
前記軸方向に寸法を縮めた形状)を挙げることもできる。
造に好適なものであるが、プリフォームIやプリフォームIIの製造方法は上記方法に限定
されない。例えば、清澄、均質化した熔融ガラスを鋳型に鋳込んで成形した後、成形体の
歪をアニールによって除去し、切断、割断などの方法により、所定の寸法、形状に分割し
、研磨して表面を滑らかにするとともに、所定の重量のガラスからなるプリフォームとす
ることもできる。なお、プリフォームIIの場合は、表面を炭素含有膜により被覆する。
本発明の光学素子は、上記本発明の光学ガラスからなることを特徴とする。具体的には
、非球面レンズ、球面レンズ、あるいは平凹レンズ、平凸レンズ、両凹レンズ、両凸レン
ズ、凸メニスカスレンズ、凹メニスカスレンズなどのレンズ、マイクロレンズ、レンズア
レイ、回折格子付きレンズ、プリズム、レンズ機能付きプリズムなどを例示することがで
きる。表面には必要に応じて反射防止膜や波長選択性のある部分反射膜などを設けてもよ
い。
ことができ、特に高屈折率低分散性を有し、表面状態が良好な精密プレス成形による光学
素子を提供することができる。
第1の態様(光学素子の製法Iという)は、ガラス製の精密プレス成形用プリフォーム
を加熱し、プレス成形型を使用して精密プレス成形する光学素子の製造方法において、前
記のプリフォームIまたはプリフォームIIを使用することを特徴とする。光学素子の製法
Iは、プリフォームを構成するガラスが実質的にLiを含まないので、ガラス外部の炭素
とガラス中のLiイオンが反応してガラス表面にクモリやヤケが発生するのを防止するこ
とができ、表面状態が良好な光学素子を精密プレス成形により製造することができる。特
にプリフォーム表面に炭素含有膜が存在していても、クモリやヤケの原因となる炭酸塩が
生成されないため、炭素含有膜の被覆によって精密プレス成形時の離型性を高めるととも
に、プレス成形時のガラスの伸びを良好にすることができる。
成形型の成形面あるいは前記成形面に設けられた離型膜の酸化を防止するため、窒素ガス
、あるいは窒素ガスと水素ガスの混合ガスなどのような非酸化性ガス雰囲気中で行うこと
が好ましい。非酸化性ガス雰囲気中ではプリフォーム表面を被覆する炭素含有膜も酸化さ
れずに、精密プレス成形された成形品の表面に前記膜が残存することになる。この膜は、
最終的には除去するべきものであるが、炭素含有膜を比較的容易にしかも完全に除去する
には、精密プレス成形品を酸化性雰囲気、例えば大気中において加熱すればよい。本発明
によれば、精密プレス成形品を構成するガラスが実質的にLiを含まないので、炭素含有
膜中の炭素や大気中の二酸化炭素とガラス中のLiイオンが反応してガラス表面に炭酸塩
が生成することがないため、クモリやヤケを防止しつつ、炭素含有膜を除去することがで
きる。
度以下で行うべきである。具体的には、ガラスの転移温度未満の温度範囲において行うこ
とが好ましい。
を加熱し、プレス成形型を使用して精密プレス成形して精密プレス成形品を作製する工程
を含む光学素子の製造方法において、前記ガラスが実質的にリチウムを含まないものであ
ること、前記プリフォームおよび/または精密プレス成形品を炭素化合物を含む雰囲気中
で熱処理すること、および前記熱処理温度が前記ガラスの転移温度(Tg)より50℃低
い温度よりも高いことを特徴とする。
気中に存在する炭素によってガラス表面にクモリやヤケが発生するのを防止する方法であ
る。
ル処理して歪を低減あるいは除去する場合や、プリフォーム表面に炭素含有膜を形成する
際に炭素化合物を含むガス雰囲気中でプリフォームを加熱する場合において、アニール処
理や成膜時の熱処理温度がガラス転移温度(Tg)より50℃低い温度よりも高い(熱処
理温度が(Tg−50℃)よりも高い)と、Liを含むガラスでは表面に炭酸塩が生成し
、クモリやヤケが発生してしまう。熱処理温度を低下させて炭酸塩の生成を抑制すること
も考えられるが、熱処理に要する時間と熱処理温度はおおよそ下記(3)式で示される関
係を有する(ただし、式中のA、Bは定数)ので、熱処理温度を低下すると熱処理に要す
る時間が大幅に長くなり、実用的な熱処理は困難になってしまう。
しかし、本発明によれば、炭酸塩生成のもう一つの原因であるガラス中のLiを抑制あ
るいは除去することにより、実用的な時間内での熱処理を可能にしつつ、ガラス表面のク
モリやヤケを防止することができる。なお、光学素子の製法2において、好ましいプリフ
ォームは上記プリフォームIあるいはプリフォームIIである。
いるが、成形面には、プレス時のガラスの融着を防止するため、離型膜を形成してもよい
。離型膜としては、炭素含有膜や窒化物膜、貴金属膜が挙げられ、炭素含有膜としては水
素化カーボン膜、炭素膜などが好ましい。精密プレス成形では、成形面が精密に形状加工
された対向した一対の上型と下型との間にプリフォームを供給した後、光学ガラスの粘度
で105〜109dPa・s相当の温度まで成形型とプリフォームの両者を昇温加熱して
プリフォームを軟化し、これを加圧成形することによって、成形型の成形面をプリフォー
ムに転写することができる。
粘度で104〜108dPa・s相当の温度に昇温したガラスプリフォームを供給してこ
れを加圧成形することによって、成形型の成形面をガラスプリフォームに転写することが
できる。
、非酸化性とすることが好ましい。非酸化性雰囲気としては、アルゴン、窒素等の不活性
ガス、水素等の還元性ガス又は不活性ガスと還元性ガスの混合ガスを使用することができ
、好ましくは窒素ガスまたは少量の水素ガスが混合された窒素ガスを使用することができ
る。加圧時の圧力及び時間は、光学ガラスの粘度などを考慮して適宜決定することができ
、例えば、プレス圧力は約5〜15MPa、プレス時間は10〜300秒とすることがで
きる。プレス時間、プレス圧力などのプレス条件は成形品の形状、寸法に合わせて周知の
範囲で適宜設定すればよい。
、離型し、成形されたガラス成形体を取出す。なお、光学特性を精密に所望の値に合わせ
るため、冷却時におけるガラス成形体のアニール処理条件、例えばアニール速度等を適宜
調整してもよい。
定されるものではない。
(1)屈折率(nd)およびアッベ数(νd)
日本光学硝子工業会規格の屈折率測定法により、ガラス転移温度(Tg)―屈伏点(Ts
)間の温度で保持し、降温速度−30℃/時間で降温して得られた光学ガラスについて、
屈折率(nd)とアッベ数(νd)を測定した〔(株)島津デバイス製造(旧社名:カル
ニュー光学社)より販売されている「GMR−1」使用〕。
理学電機株式会社製の熱機械分析装置「TMA8510」により昇温速度を4℃/分、荷
重98mNとして測定した。
表1および表2に示すガラス組成になるように、各成分を導入するための原料としてそ
れぞれ相当する酸化物、炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩、水酸化物など、例えば、H3BO3、
La2O3、ZnO、ZnCO3、Gd2O3、ZrO2などを用いて250〜300g
秤量し、十分に混合して調合バッチと成し、これを白金るつぼに入れ、1200〜145
0℃に保持した電気炉中において、攪拌しながら空気中で2〜4時間ガラスの熔融を行っ
た。熔融後、熔融ガラスを40×70×15mmのカーボン製の金型に流し、ガラスの転
移温度まで放冷してから直ちにアニール炉に入れ、ガラスの転移温度範囲で約1時間アニ
ール処理した後、炉内で室温まで放冷し光学ガラスを得た。得られた光学ガラス中には、
顕微鏡で観察できる結晶は析出しなかった。
このようにして得られた光学ガラスの特性を表3および表4に示す。
度まで昇温することにより、精密プレス成形における環境を作り出し、ガラス表面の変化
を調べるテストを行った。このテストでは、まず、自由表面を有し、ガラス組成が各々上
記ガラスに相当する51種類の試料を作製し、加熱分解により、二酸化炭素を発生する化
合物と共にステンレス容器中に入れた。この状態で、ガラス転移温度より10℃低い温度
に加熱し、3時間保持した後、室温まで冷却し、ステンレス容器から試料を取り出して、
試料の表面を目視ならびに光学顕微鏡を使用して拡大観察した。その結果、いずれの試料
にもクモリは認められず、光学顕微鏡による拡大観察でも試料表面は滑らかであった。
表2に示すLi2Oを含むガラス組成を有する光学ガラスを、実施例1〜51と同様に
して作製した。この光学ガラスの特性を表4に示す。
、ガラス表面の変化を調べるテストを行った。その結果、目視により明らかなクモリが認
められ、光学顕微鏡による拡大観察によっても粒子状の生成物が一面に発生しているのが
認められた。
実施例1〜51の各ガラスを用いて、以下のようにしてプリフォームを作製した。
まず、電気炉内で1050〜1450℃に保持された熔融ガラス(ガラス粘度で4〜0
.05dPa・sに相当する)を、1050℃(ガラス粘度で4dPa・sに相当する)
に温度調節した白金合金製パイプから一定流速で連続して流下し、ガラスプリフォーム成
形型で熔融ガラス流の先端を受け、所定重量の熔融ガラス塊が前記先端から分離するタイ
ミングで成形型を熔融ガラス流の流下速度よりも十分大きな速度で降下し、熔融ガラス塊
を分離した。なお、熔融ガラス滴下時のガラス粘度は、7dPa・sであった。
フォームに成形し、アニール処理した。ガラスプリフォームの重量は0.01〜5gの範
囲で設定したが、各熔融ガラス塊とそれに対応する各ガラスプリフォームの重量は等しく
、また、設定重量に対する得られたガラスプリフォームの重量精度は±1%以内であった
。
により形成されたものであり、自由表面であった。また表面、内部に脈理、失透、割れ、
泡などの欠陥は認められなかった。
実施例52で作製した各ガラスプリフォームを、図1に示す、成形面に炭素含有膜(ダ
イヤモンド様カーボン膜)が設けられたSiC製の上型1及び下型2の間に配置した後、
石英管11内を窒素雰囲気としてヒーター12に通電して石英管11内を加熱した。成形
型内の温度を、被成形ガラスプリフォーム4の粘度が約105〜109dPa・sとなる
温度とした後、この温度を維持しつつ、押し棒13を降下させて上型1を上方から押して
成形型内の被成形ガラスプリフォーム4をプレスした。プレスの圧力は5〜15MPa、
プレス時間は10〜300秒間とした。プレスの後、プレスの圧力を解除し、非球面プレ
ス成形されたガラス成形体を上型1及び下型2と接触させたままの状態でガラス転移温度
まで徐冷し、次いで室温付近まで急冷して非球面に成形されたガラスを成形型から取り出
した。なお、図1において、符号3は案内型、10は支持台、9は支持棒、14は熱電対
である。
て非球面レンズを得た。得られたレンズの表面には目視によりクモリは認められず、光学
顕微鏡による拡大観察でも表面は滑らかであった。なお、上記各レンズの屈折率(nd)
ならびにアッベ数(νd)は上記各ガラスプリフォームを形成する各光学ガラスにおける
値と一致するものであった。
することにより、球面レンズ、マイクロレンズ、レンズアレイ、回折格子、回折格子付き
レンズ、プリズム、レンズ機能付きプリズムなどの各種光学素子を作製することもできる
し、各種光学素子の表面に反射防止膜などの光学多層膜を形成することもできる。
比較例1で使用したガラスを用い、上記実施例52と同じ工程、同じ条件で非球面レン
ズを作製した。得られたレンズの表面を観察したところ、目視でクモリが認められ、光学
顕微鏡による拡大観察によって粒子状の生成物が一面に発生しているのが認められた。
こしにくい精密プレス成形用の光学ガラスであって、精密プレス成形用プリフォームを経
て、品質に優れる光学素子を作製するのに好適に用いられる。
2 下型
3 案内型(胴型)
4 プリフォーム
9 支持棒
10 支持台
11 石英管
12 ヒーター
13 押し棒
14 熱電対
Claims (4)
- ガラス製の精密プレス成形用プリフォームを加熱し、プレス成形型を使用して精密プレ
ス成形する光学素子の製造方法において、
前記プリフォームが、B 2 O 3 、La 2 O 3 およびZnOを含み、モル%表示で、B 2 O 3 20〜42.26%、SiO 2 0〜20%、ZnO 22〜42%、La 2 O 3 5〜24%、Gd 2 O 3 0〜20%(ただし、La 2 O 3 とGd 2 O 3 の合計量が12〜24%)、ZrO 2 0〜10%、Ta 2 O 5 0〜10%、WO 3 0〜10%、Nb 2 O 5 0〜10%、TiO 2 0〜10%、Bi 2 O 3 0〜10%、GeO 2 0〜10%、Ga 2 O 3 0〜10%、Al 2 O 3 0〜10%、BaO 0〜10%、Y 2 O 3 0〜10%およびYb 2 O 3 0〜10%、を含み、
かつアッベ数(νd)が40以上45未満、さらに屈折率ndとアッベ数νdが下記(1)式
νd≧−125×nd+268.75 ・・・(1)
を満たし、
ガラス転移温度が540℃以上である光学ガラスからなり、
前記光学ガラスは、そのLi 2 Oの導入量がガラス表面にクモリやヤケが発生しないレベルのリチウム含有量に抑えられている
ことを特徴とする光学素子の製造方法。 - 前記光学ガラスのリチウム含有量がLi 2 O換算で0.5モル%未満である請求項1に記載の光学素子の製造方法。
- 表面に炭素含有膜が被覆されているプリフォームを用いる請求項1または2に記載の光学素子の製造方法。
- 精密プレス成形後、精密プレス成形品の表面に残存する炭素含有膜を酸化して除去する
請求項3に記載の光学素子の製造方法。
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