JP5003600B2 - 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、導電性積層体 - Google Patents
酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、導電性積層体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5003600B2 JP5003600B2 JP2008154976A JP2008154976A JP5003600B2 JP 5003600 B2 JP5003600 B2 JP 5003600B2 JP 2008154976 A JP2008154976 A JP 2008154976A JP 2008154976 A JP2008154976 A JP 2008154976A JP 5003600 B2 JP5003600 B2 JP 5003600B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- sintered body
- phase
- film
- titanium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 280
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 161
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 139
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 135
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 120
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 83
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 70
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 68
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 55
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims description 47
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 46
- 239000011029 spinel Substances 0.000 claims description 44
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 claims description 44
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 37
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 33
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 32
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 32
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 32
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 31
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 22
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 claims description 17
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 17
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 15
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 4
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 4
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims description 3
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 245
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 183
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 69
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 58
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 53
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 description 35
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 27
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 12
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 11
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 10
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 9
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010021143 Hypoxia Diseases 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- 206010048259 Zinc deficiency Diseases 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010296 bead milling Methods 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010027146 Melanoderma Diseases 0.000 description 1
- 229910019092 Mg-O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019395 Mg—O Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008570 general process Effects 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000752 ionisation method Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 238000000634 powder X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000391 spectroscopic ellipsometry Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000010189 synthetic method Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
透明導電膜には、酸化錫(SnO2)系、酸化亜鉛(ZnO)系、酸化インジウム(In2O3)系の薄膜が知られている。酸化スズ系には、アンチモンをドーパントとして含むもの(ATO)や、フッ素をドーパントとして含むもの(FTO)が利用されている。また、酸化亜鉛系には、アルミニウムをドーパントとして含むもの(AZO)や、ガリウムをドーパントとして含むもの(GZO)が利用されている。最も工業的に利用されている透明導電膜は、酸化インジウム系である。その中でも錫をドーパントとして含む酸化インジウムは、ITO(Indium−Tin−Oxide)膜と称され、特に低抵抗の膜が容易に得られることから、これまで幅広く利用されてきた。
また、この導電性積層体は、プラズマディスプレイ(PDP)用電磁波遮蔽フィルムとしても用いられている。PDPの前面からは電磁波が放出されているため、その電磁波を遮蔽することを目的として、PDPの利用者側(前面)に、プラスチックフィルム等の基体上に上記導電性積層体が形成された電磁波遮蔽フィルムが配置されている。
電磁波遮蔽フィルムにおいては、可視光領域全体にわたって透過率が高く、かつ反射率が低いこと、すなわち透過・反射バンドが広いこと、また、近赤外領域においては遮蔽性が高いことが求められる。透過・反射バンドを広くするためには、酸化物層と金属層との積層数を増やすことが有効であるが、積層数を増やすと可視光透過性が低下してしまう。
したがって、上記の導電性積層体の電磁波遮蔽性能すなわち導電性を確保するためには、それを構成する透明導電性を有する酸化物層が、最低限必要な電気抵抗と可視光領域全体における高い屈折率を併せ持つよう制御する必要がある。特に、可視光領域の長波長側である波長750nm付近の屈折率が低下しないように制御する必要がある。
しかしながら、酸化物焼結体の原料粉末として、粒径が2μmというような市販のZnO粉末およびTiO2粉末を使用し、原料粉末を特に調整することなく、そのまま用いて一般的なホットプレス法によって形成しているために、酸化亜鉛および酸化チタンからなる酸化物焼結体を製造した場合には、これをスパッタリングターゲットとすると、キャリア電子が比較的多く発生した低抵抗の透明導電膜が形成される。すなわち、可視光領域全体で高屈折率の透明導電膜を形成するという目的においては、上記の透明導電膜は、キャリア電子の影響を受けて、特に可視域の長波長側では、屈折率が低下してしまう。
したがって、酸化物焼結体の組織を特に制御することなく、一般的なプロセスで作製した酸化物焼結体を原料としたスパッタリングターゲットを用いて透明導電膜を形成した場合には、可視光領域全体にわたって屈折率が低下しない、特に長波長側においても屈折率が低下しない透明導電膜を形成することは困難であるとされていた。
I[Zn2TiO4(311)]/{I[ZnO(101)]+I[Zn2TiO4(311)]}×100 (%)… (A)
(式中、I[ZnO(101)]は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相の(101)ピーク強度であり、I[Zn2TiO4(311)]は、立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相の(311)ピーク強度を示す)
I[Zn2TiO4(311)]/{I[ZnO(101)]+I[Zn2TiO4(311)]}×100 (%)… (A)
(式中、I[ZnO(101)]は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相の(101)ピーク強度であり、I[Zn2TiO4(311)]は、立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相の(311)ピーク強度を示す)
また、本発明の第4の発明によれば、第1〜3のいずれかの発明において、比抵抗が5kΩcm以下であることを特徴とする酸化物焼結体が提供される。
また、本発明の第6の発明によれば、第5の発明において、さらに、前記酸化亜鉛粉末に対して、酸化ガリウム粉末、または酸化アルミニウム粉末から選ばれる1種以上の粉末が、(Ga+Al)/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.03以下、かつ、チタンの含有量が、Ti/(Zn+Ti)原子数比で0.05〜0.25となる割合で配合されることを特徴とする酸化物焼結体の製造方法が提供される。
また、本発明の第7の発明によれば、第5または6の発明において、原料粉末の平均粒径が、いずれも1.5μm以下であることを特徴とする酸化物焼結体の製造方法が提供される。
また、本発明の第9の発明によれば、第1〜4のいずれかの発明に係り、酸化物焼結体を加工して得られるタブレットが提供される。
また、本発明の第11の発明によれば、第8又は9の発明のターゲット又はタブレットを用いて、スパッタリング法又はイオンプレーティング法で基板上に形成された、酸化亜鉛を主成分とし、チタンと、ガリウム又はアルミニウムから選ばれる1種以上とを含有し、かつ、ガリウム又はアルミニウムの含有量が、(Ga+Al)/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.03以下であり、かつチタンの含有量が、Ti/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.05〜0.25の実質的に非晶質である透明導電膜であって、膜の、波長750nmにおける屈折率が1.95以上であることを特徴とする透明導電膜によって提供される。
また、本発明の第12の発明によれば、第10又は11の発明において、比抵抗が1×10−2Ω・cm以上1×10+3Ω・cm以下であることを特徴とする透明導電膜によって提供される。
また、本発明の第14の発明によれば、第13の発明において、金属層が2〜8層設けられていることを特徴とする導電性積層体によって提供される。
また、本発明の第15の発明によれば、第13または14の発明において、金属層が、金、ビスマス、またはネオジウムから選ばれる1種以上を含有する銀合金であるか、若しくは純銀であることを特徴とする導電性積層体によって提供される。
また、酸化亜鉛を主成分とし、チタンを含有して、さらにガリウム、アルミニウムから選ばれる1種以上を特定量含有する酸化物焼結体とすることで、上記酸化物焼結体の導電性を向上させることができ、その結果、スパッタリング時の成膜レートを向上させることが可能になる。
上記本発明の酸化物焼結体を用いて得られる透明導電膜と、例えば銀を主成分とする金属膜とを積層した場合、可視光領域全体にわたって透過率が高く、反射率の低い導電性積層体を形成することが可能となることから、電磁波遮蔽窓ガラス、PDP用電磁波遮蔽体等に適用することができ、工業的に極めて有用である。
本発明の酸化物焼結体は、酸化亜鉛を主成分とし、チタンのみを含有し、その含有量がTi/(Zn+Ti)原子数比として0.05〜0.25であり、スパッタリング用ターゲットやイオンプレーティング用タブレットとして使用される酸化物焼結体であって、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相から構成され、かつX線回折により測定され下記の式(A)で求められるピークの強度比が、15〜70%であること、及び酸化チタン相が実質的に含有されないことを特徴とする(以下、これを第一の酸化物焼結体ともいう)。
I[Zn2TiO4(311)]/{I[ZnO(101)]+I[Zn2TiO4(311)]}×100 (%)… (A)
(式中、I[ZnO(101)]は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相の(101)ピーク強度であり、I[Zn2TiO4(311)]は、立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相の(311)ピーク強度を示す)
本発明の第一の酸化物焼結体は、酸化亜鉛を主成分とし、さらにチタンのみを特定量含有する酸化物である。
I[Zn2TiO4(311)]/{I[ZnO(101)]+I[Zn2TiO4(311)]}×100 (%)… (A)
(式中、I[ZnO(101)]は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相の(101)ピーク強度であり、I[Zn2TiO4(311)]は、立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相の(311)ピーク強度を示す)
上記の六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相は結晶膜になりやすく、導電性が高い。すなわち、この相を一定量以上含む酸化物焼結体を原料として形成された薄膜では多量のキャリア電子が生成しやすく、前記したように屈折率が低下しやすい。これに対して、酸化物焼結体中の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相の比率を一定範囲に制御することによって、前記導電性積層体に適した比抵抗と、可視光領域全体で高い屈折率を有する酸化物層を形成することが可能となる。
本発明の第二の酸化物焼結体は、酸化亜鉛と、チタンと、ガリウム、アルミニウムから選ばれる1種以上とを含有し、かつ、ガリウム、アルミニウムの含有量が、(Ga+Al)/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0を超え0.03以下、また、チタンの含有量が、Ti/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.05〜0.25であることを特徴とする。
よって、ガリウム、アルミニウムから選ばれる1種以上が影響を及ぼす特徴についてのみ、以下に述べる。
なお、上記組成範囲のガリウム、アルミニウムを添加しても、形成される膜は非晶質であるため、結晶膜でみられるようなキャリア電子量の著しい増大、すなわち低抵抗化に寄与するようなドーピング効果は発現しない。
また、チタンの含有量は、第一の酸化物焼結体とほぼ同様であり、Ti/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比で0.10〜0.20がより好ましい。
以上から、本発明の第一あるいは第二の酸化物焼結体には、上記組成範囲のチタンが含まれており、かつ式(A)で表される相構成を有するため、この酸化物焼結体をターゲットなどの成膜原料として用いると、スパッタリング法やイオンプレーティング法などによって、非晶質であり、かつ可視光領域全体にわたって高い屈折率を示す透明導電膜を形成することが可能となる。
一方、イオンプレーティング法で用いる場合は、焼結体密度が高すぎると電子ビーム照射した時の熱衝撃によって割れが起こりやすいため、3.5〜4.5g/cm3の範囲の比較的低い密度が好ましい。
本発明において酸化物焼結体は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物相α−Zn2TiO4相によって構成され、これらが前記した特定の範囲の比率となれば、その製造方法によって特に制限されない。例えば、下記のような原料粉末から成形体を形成する工程と、該成形体を焼結炉に入れて焼結させる工程を含む方法によることができる。この相構成は、製造条件のうち、例えば、原料粉末の粒径、混合条件および焼成条件に大きく依存する。
原料粉末から成形体を形成する工程では、第一の酸化物焼結体であれば、原料粉末として酸化亜鉛粉末に酸化チタン粉末を添加し、第二の酸化物焼結体であれば、さらに、酸化ガリウム粉末、酸化アルミニウム粉末から選ばれる1種以上を添加して混合する。ガリウム、アルミニウム元素の添加は、高密度かつ高導電性の焼結体とするのに大きく寄与する。
ビーズミル法とは、ベッセルと呼ばれる容器の中に、ビーズ(粉砕メディア、ビーズ径0.005〜3mm)を70〜90%充填しておき、ベッセル中央の回転軸を周速7〜15m/秒で回転させることによりビーズに運動を与える。ここに原料粉末などの被粉砕物を液体に混ぜたスラリーをポンプで送り込み、ビーズを衝突させることによって微粉砕・分散させる。ビーズミルの場合、被粉砕物に合わせてビーズ径を小さくすれば効率が上がる。一般的に、ビーズミルは、ボールミルの1千倍近い加速度で微粉砕と混合を実現することができる。このような仕組みのビーズミルは、様々な名称で呼ばれており、例えば、サンドグラインダー、アクアマイザイー、アトライター、パールミル、アベックスミル、ウルトラビスコミル、ダイノーミル、アジテーターミル、コボールミル、スパイクミル、SCミル、などが知られており、本発明において、いずれも使用できる。
また、ジェットミル法とは、原料粉末などの被粉砕物を、ノズルから音速前後で噴射される高圧の空気あるいは蒸気を超高速ジェットとして粒子に衝突させて粒子同士の衝撃によって微粒子に粉砕する方法である。
成形工程に続く焼結工程は、該成形体を焼結炉に入れて焼結させる工程であり、焼結法は、酸素存在雰囲気下、高温で焼結させる常圧焼結法が好ましい。常圧焼結法では、酸素が体積比で20%以上、1350℃以上の高温で焼結させることが必要である。高温かつ酸素存在雰囲気中で焼結させることで、酸化亜鉛を主成分とし、チタンを含有し、かつ、チタンの含有量が、Ti/(Zn+Ti)原子数比として0.05〜0.25である時、前記した特定範囲の比率の六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相によって構成された本発明の酸化物焼結体を得ることが可能となる。
上記範囲外の条件を採用した常圧焼結法で得られた焼結体では、スパッタリグ成膜の際に、成膜速度が遅くなる、あるいは、アーキングなどの異常放電がスパッタリング時に生じる、等の場合があり好ましくない。これらスパッタリング時の問題を解消するため、また、焼結体の割れを防ぎ、脱バインダーを進行させるためには、焼結温度まで昇温する時の昇温速度を0.2〜5℃/分の範囲とすることが好ましい。さらに、前記した特定比率の相構成が形成され、さらに、焼結体中に酸化チタン相が形成されないようにするためには、0.2℃/分以上1℃/分未満の範囲とすることがなお一層好ましい。昇温速度を0.2℃/分未満とした場合には、実操業に適さないばかりか、焼結体の結晶成長が著しくなるといった問題が生じる場合がある。また、上記課題解消のため、必要に応じて、異なる昇温速度を組み合わせて、焼結温度まで昇温してもよい。さらに、昇温過程において、脱バインダーや焼結を進行させる目的で、特定温度で一定時間保持してもよい。
上記焼結温度で焼結後冷却する際は、酸素導入を止め、1000℃までを0.2〜5℃/分、特に、0.2℃/分以上1℃/分未満の範囲の降温速度で降温することが好ましい。
これに対して、特許文献3など従来技術にみられるホットプレス法では、このような高温において、還元雰囲気とする必要があるが、酸化物焼結体中に前記の複合酸化物α−Zn2TiO4相が生成しにくくなるため好ましくない。
上記の方法で製造された酸化物焼結体は、平面研削等により加工し、所定の寸法にしてから、無酸素銅からなるバッキングプレートに、インジウムはんだなどを用いて接着することにより、スパッタリングターゲット(単にターゲットともいう)とすることができる。必要により数枚の焼結体を分割形状でならべて、1枚の大面積のターゲット(複合ターゲットともいう)として使用しても良い。イオンプレーティング用の場合も同様である。
そして、これらは、実質的に六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相によって構成されている。その相構成は、下記の式(A)で表されるX線回折測定によるピークの強度比が、15%以上70%以下となるよう制御されている。
I[Zn2TiO4(311)]/{I[ZnO(101)]+I[Zn2TiO4(311)]}×100 (%)… (A)
(式中、I[ZnO(101)]は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相の(101)ピーク強度であり、I[Zn2TiO4(311)]は、立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相の(311)ピーク強度を示す)
本発明のターゲットは、酸化亜鉛を主成分とし、酸化チタンを特定量含有し、さらには比抵抗および可視光領域における屈折率が制御された透明導電膜をスパッタリングなどで代表される物理的気相合成法で製造するときに使用される。上記の六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相は導電性が高く、立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相も酸化亜鉛相ほどではないが一定の導電性を示す。したがって、これらの相からなる酸化物焼結体ターゲットを用いた場合には、高い導電性を有していることから、高い成膜速度で薄膜を形成することが可能となる。
このターゲットを用いれば、投入電力密度を高めて高速で直流スパッタリング成膜を行ってもアーキングなどの異常放電が全く発生せず、連続で長時間成膜したときでもターゲット表面に付着した膜の剥離によるパーティクルが発生しにくい。
本発明の透明導電膜は、上記の本発明のターゲットを用いて、成膜装置中で基板上にスパッタリング法により形成される。特に、直流(DC)スパッタリング法は、成膜時の熱影響が少なく、高速成膜が可能であるため工業的に有利であり好ましい。また、交流(AC)スパッタリング法などでは、パルス電源を用いて成膜時の熱影響を低減させた方法も有用である。
本発明により透明導電膜を形成するには、スパッタリングガスとしてアルゴンなどの不活性ガスと酸素ガスからなる混合ガスを用い、直流スパッタリング法を用いることが好ましい。また、スパッタリング装置内は、スパッタリング装置の種類、構造によって好適な範囲は異なるが、例えば、全ガス圧を0.1〜1Pa、特に0.3〜0.8Paの圧力としてスパッタリングすることができる。
本発明においては、例えば、1×10−4Pa程度まで真空排気後、アルゴンと酸素からなる混合ガスを導入し、ガス圧を0.2〜0.6Pa程度、酸素/アルゴン流量比を0.5〜1.5%程度の範囲とし、直流電力100〜300Wを印加して直流プラズマを発生させ、プリスパッタリングを実施することができる。このプリスパッタリングを5〜30分間行った後、必要により基板位置を修正したうえでスパッタリングすることが好ましい。
上記本発明の酸化物焼結体から作製したスパッタリングターゲットを用いれば、高い屈折率を有し、導電性に優れた透明導電膜を、直流スパッタリング法によって基板上に製造することができる。よって製造コストを大幅に削減できる。
本発明の透明導電膜は、上記ターゲット、あるいはタブレットを用いて、スパッタリング法あるいはイオンプレーティング法で基板上に形成される。
形成された透明導電膜の組成は、ターゲットあるいはタブレットの組成に対して若干ずれる場合があるが、一般的な成膜プロセスを採用すれば、ターゲットあるいはタブレットの組成が概ね再現される。ターゲットあるいはタブレットの組成が透明導電膜で再現されたほうが、膜の特性が発揮されるため好ましい。
また、逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相は、一定の導電性を示すが結晶構造が複雑なため、この相を一定量以上含む酸化物焼結体を原料として薄膜を形成した場合得られる薄膜は非晶質となりやすく、原料となる酸化物焼結体の構成相の比率を上記式(A)の強度比の範囲に制御すれば、高い屈折率を示す非晶質膜とすることが可能である。したがって、酸化亜鉛系薄膜においては、結晶膜のキャリア電子濃度は高くなるが、非晶質膜のキャリア電子濃度は高くならないため、薄膜の比抵抗は高くなり、屈折率は低下しにくい。
また、本発明の透明導電膜の可視域(400〜800nm)での平均透過率は80%以上、好ましくは85%以上、さらに好ましくは90%以上である。平均透過率が80%未満であると電磁波遮蔽フィルムなどへの適用が困難となる。
本発明の導電性積層体は、基体と、基体上に形成された導電膜とを有する導電性積層体であって、導電膜が、基体側から、上記した本発明の透明導電膜からなる透明導電膜層と金属層とが交互に計(2n+1)層(nは1以上の整数)積層された多層構造体であり、波長750nmにおける屈折率が1.95以上であり、金属層が、銀を主成分として含有する層である。
本発明の導電性積層体においては、導電膜は、上記の透明導電膜からなる透明導電膜層と金属層とが交互に積層された多層構造体であるが、金属層が2〜8層設けられていることが好ましい。
また、金属層は、金、ビスマス、またはネオジウムから選ばれる1種以上を含有する銀合金、あるいは純銀であることが好ましい。
基体としては、光透過性の支持体を兼ねることから、一定の強度と透明性を有する必要がある。樹脂板もしくは樹脂フィルムを構成する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリアリレート(PAR)、ポリカーボネート(PC)などが挙げられ、これらの表面にアクリル樹脂が被覆された構造の樹脂板もしくは樹脂フィルムでもよい。
基体の厚さは、特に限定されるわけではないが、ガラス板や石英板であれば、0.1〜10mm、好ましくは0.5〜5mmであり、樹脂板または樹脂フィルムの場合は、0.1〜5mm、好ましくは0.15〜3mmとされる。この範囲よりも薄いと強度が弱く、取り扱いも難しい。一方、この範囲よりも厚いと透明性が悪いだけでなく重量が大きくなり、好ましくない。
得られた酸化物焼結体に含まれる各金属元素の原子比は、ICP発光分光分析法(セイコーインスツルメンツ社製SPS4000)で求めた各金属元素の重量から算出した。得られた酸化物焼結体の比抵抗は、研磨面に対し、抵抗率計(ロレスタEP、ダイアインスツルメンツ社製MCP−T360型)による四探針法で測定した。また、得られた酸化物焼結体の生成相は、端材を粉砕し、粉末X線回折測定(PANalytical社製)を実施して同定を行った。
膜厚40nm或いは200nmの透明導電膜を形成し、特性評価を行った。得られた透明導電膜に含まれる各金属元素の原子比は、ICP発光分光分析法(セイコーインスツルメンツ社製SPS4000)で求めた各金属元素の重量から算出した。透明導電膜の膜厚は、表面粗さ計(テンコール社製Alpha−StepIQ)で測定した。膜の表面抵抗は、抵抗率計(ロレスタEP、ダイアインスツルメンツ社製MCP−T360型、あるいはハイレスタIP、三菱油化製MCP−HT260)による四探針法、あるいは渦電流型抵抗測定器(Nagy社製SRM12)のいずれかを用いて測定した。膜の比抵抗は、四探針法によって測定した表面抵抗と膜厚の積から算出した。膜の屈折率は、分光エリプソメトリ(J.A.Woollam製VASE)で測定した。膜の生成相は、X線回折測定(PANalytical社製)によって同定した。
酸化亜鉛を主成分とし、チタンを含む酸化物焼結体を次のようにして作製した。
出発原料として平均粒径が1μm以下の酸化亜鉛粉末と平均粒径が1μm以下の酸化チタン粉末を用い、酸化チタンは、チタンとしての含有量がTi/(Zn+Ti)原子数比で0.102となるように配合した。原料粉末を水とともに樹脂製ポットに入れ、湿式ボールミルで混合した。この際、硬質ZrO2ボールを用い、混合時間を36時間とした。混合後、スラリーを取り出し、濾過、乾燥、造粒した。該造粒物を、冷間静水圧プレスで3ton/cm2の圧力をかけて成形した。
次に、成形体を次のように焼結した。焼結炉内の雰囲気を大気として、昇温速度0.5℃/分にて1000℃まで昇温した。1000℃に到達後、炉内容積0.1m3当たり5リットル/分の割合で、焼結炉内の大気に酸素を導入し、1000℃のまま3時間保持した。続いて、再び昇温速度0.5℃/分にて焼結温度1500℃まで昇温し、到達後、15時間保持して焼結した。焼結後の冷却の際は酸素導入を止め、1000℃までを0.5℃/分で降温し、酸化亜鉛およびチタンからなる酸化物焼結体を作製した。得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.3g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、図3に示すように、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、30%であった。
このような酸化物焼結体を、無酸素銅製のバッキングプレートに金属インジウムを用いてボンディングして、スパッタリングターゲットとした。直径152mm、厚み5mmの大きさに加工し、スパッタリング面をカップ砥石で最大高さRzが3.0μm以下となるように磨いた。
これをスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリング法による成膜を行った。アーキング抑制機能のない直流電源を装備した直流マグネトロンスパッタリング装置(アネルバ製)の非磁性体ターゲット用カソードに、スパッタリングターゲットを取り付けた。基板には、無アルカリのガラス基板(コーニング♯7059)を用い、ターゲット−基板間距離を60mmに固定した。1×10−4Pa以下まで真空排気後、酸素流量比を0.7%としたアルゴンと酸素からなる混合ガスを導入し、全ガス圧を0.5Paとし、直流電力300Wを印加して直流プラズマを発生させ、プリスパッタリングを実施した。十分なプリスパッタリング後、スパッタリングターゲットの直上、すなわち静止対向位置に基板を配置し、加熱せずにスパッタリングを実施して、透明導電膜を形成した。このときアーク放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。
得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、7.2×10±0Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、1.99であった。
酸化亜鉛を主成分とし、チタンとガリウムを含む酸化物焼結体を作製した。出発原料として平均粒径が1μm以下の酸化亜鉛粉末、平均粒径が1μm以下の酸化チタン粉末、および平均粒径が1μm以下の酸化ガリウム粉末を用い、酸化チタンは、チタンとしての含有量がTi/(Zn+Ti+Ga)原子数比で0.051となるように、酸化ガリウムは、ガリウムとしての含有量がGa/(Zn+Ti+Ga)原子数比で0.0087となるように配合した。
実施例1と同様にして焼結し、得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また、密度は5.6g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、15%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーク放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、1.0×10−1Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、1.95であった。
Ti/(Zn+Ti+Ga)原子数比を0.102に変更した以外は、実施例2と同様の作製方法で、酸化亜鉛を主成分とし、チタンとガリウムを含む酸化物焼結体を作製した。
得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.7g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、図3に示すように、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、32%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーキングなどの異常放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、1.4×10±0Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、1.99であった。
なお、酸化物焼結体のガリウムの含有量のみを変更し、Ga/(Zn+Ti+Ga)原子数比で0.0043、0.0130、あるいは0.0261とした場合についても、上記とほぼ同様の結果が得られることを確認した。
Ti/(Zn+Ti+Ga)原子数比を0.200に変更した以外は、実施例2と同様の作製方法で、酸化亜鉛を主成分とし、チタンとガリウムを含む酸化物焼結体を作製した。
得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.4g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、56%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーキングなどの異常放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、6.1×10+1Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、2.06であった。
Ti/(Zn+Ti+Ga)原子数比を0.250に変更した以外は、実施例2と同様の作製方法で、酸化亜鉛を主成分とし、チタンとガリウムを含む酸化物焼結体を作製した。
得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.3g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、69%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーキングなどの異常放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、9.4×10+2Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、2.07であった。
酸化ガリウム粉末の代わりに平均粒径が1μm以下の酸化アルミニウム粉末を使用し、Al/(Zn+Ti+Al)原子数比で0.0087に変更したこと以外は、実施例3と同じ原子比および同様の作製方法で、酸化亜鉛を主成分とし、チタンとアルミニウムを含む酸化物焼結体を作製した。
得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.6g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、図3に示すように、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、31%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーキングなどの異常放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、1.3×10±0Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、1.98であった。
平均粒径が1μm以下の酸化ガリウム粉末の半分を平均粒径が1μm以下の酸化アルミニウム粉末に置き換えて、(Ga+Al)/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比で0.0087、Ga/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比で0.0043に変更したこと以外は、実施例3と同じ原子比および同様の作製方法で、酸化亜鉛を主成分とし、チタンとアルミニウムを含む酸化物焼結体を作製した。
得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.5g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、32%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーキングなどの異常放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、1.5×10±0Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、1.99であった。
Ti/(Zn+Ti+Ga)原子数比を0.031に変更した以外は、実施例2と同様の作製方法で、酸化亜鉛を主成分とし、チタンとガリウムを含む酸化物焼結体を作製した。
得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.7g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、12%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーキングなどの異常放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、8.6×10±0Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、1.90であった。
Ti/(Zn+Ti+Ga)原子数比を0.304に変更した以外は、実施例2と同様の作製方法で、酸化亜鉛を主成分とし、チタンとガリウムを含む酸化物焼結体を作製した。
得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.3g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、81%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーキングなどの異常放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は非晶質であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、2.1×10+3Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、2.11であった。
Ga/(Zn+Ti+Ga)原子数比を0.050に変更した以外は、実施例4と同様の作製方法で、酸化亜鉛を主成分とし、チタンとガリウムを含む酸化物焼結体を作製した。得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.3g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、48%であった。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行ったところ、アーキングが頻発し安定した成膜ができなかったため、透明導電膜の形成は断念した。
酸化亜鉛を主成分とし、ガリウムのみを含む酸化物焼結体をスパッタリングターゲットとし、このターゲット上に金属Tiチップを配置して成膜する方法、いわゆるオンチップ法で成膜を実施した。用いたスパッタリングターゲットの組成は、Ga/(Zn+Ga)原子数比が0.0087とした。得られた膜の組成を分析したところ、Ti/(Zn+Ti+Ga)原子数比は0.105、Ga/(Zn+Ti+Ga)原子数比は0.0079であり、実施例3とほぼ同等の組成の膜が得られた。
得られた透明導電膜の構造をX線回折測定で調べた結果、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相からなる結晶膜であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、8.9×10−4Ω・cmであった。この膜の波長750nmにおける屈折率を測定したところ、1.78と低かった。
実施例2と同組成、すなわち、Ga/(Zn+Ti+Ga)原子数比で0.0087、Ti/(Zn+Ti+Ga)原子数比で0.051の組成の酸化物焼結体を、常圧焼結法からホットプレス法に変更して作製した。
ホットプレス法の条件は、特許文献3を参考にして、アルゴン雰囲気中、温度1300℃、圧力19.60MPa(200kgf/cm2)、加圧時間1時間とした。得られた酸化物焼結体の組成を分析したところ、ほぼ配合組成と同じであることを確認した。酸化物焼結体の比抵抗値を測定したところ、比抵抗が5kΩcm以下であることが確認された。また密度は5.7g/cm3であった。
X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、酸化亜鉛相に対する複合酸化物α−Zn2TiO4相のピーク強度は微弱であり、10%未満であることが確認された。
このような酸化物焼結体をボンディングしてスパッタリングターゲットとし、直流スパッタリングによる成膜を行った。アーキングなどの異常放電は起こらず、安定した成膜が可能であった。得られた透明導電膜の組成は、ターゲットとほぼ同じであることが確認された。X線回折測定の結果、得られた膜は六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相からなる結晶膜であることが確認された。膜の比抵抗を測定したところ、9.6×10−4Ω・cmであった。波長750nmにおける膜の屈折率を測定したところ、1.82であった。
なお、酸化ガリウム粉末を配合せず、酸化亜鉛粉末と酸化チタン粉末のみを配合した点を除いて、上記と全く同様にして実験した。X線回折測定による酸化物焼結体の相同定を行ったところ、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相が確認されたが、正方晶のルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造をとる酸化チタン相による回折ピークは確認されなかった。酸化物焼結体中の酸化亜鉛相と複合酸化物α−Zn2TiO4相の相比率を見積もるため、前記式(A)で定義される、X線回折測定におけるピークの強度比を調べたところ、酸化亜鉛相に対する複合酸化物α−Zn2TiO4相のピーク強度は微弱であり、10%未満であることが確認された。同様に、ターゲットとほぼ同組成の透明導電膜が得られ、この膜は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相からなる結晶膜であり、比抵抗は1.1×10−3Ω・cm、波長750nmにおける膜の屈折率は1.86であった。
実施例3と同組成、すなわち、Ga/(Zn+Ti+Ga)原子数比で0.0087、Ti/(Zn+Ti+Ga)原子数比で0.102の組成の酸化物焼結体をスパッタリングターゲットとして成膜した透明導電膜からなる酸化物層と、銀をスパッタリングターゲットとして成膜した銀膜からなる金属層を積層して、導電性積層体を作製した。酸化物層40nm/金属層10nm/酸化物層40nmを基本単位構造とし、コーニング7059ガラス基板上に3単位繰り返し形成した。
得られた導電性積層体の表面抵抗は、2.052Ω/□であった。また、図2には、導電性積層体の透過および反射スペクトルを示した。図2より、波長750nmの透過率は65.9%、反射率は2.1%であった。
実施例1より、本発明の酸化亜鉛を主成分とし、特定量のチタンを含有する酸化物焼結体は、ルチル構造あるいはアナターゼ構造や斜方晶のブルッカイト構造の酸化チタン相を含まず、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相のみにより構成され、その比率は上式(A)で表されるX線回折測定によるピークの強度比が15%以上70%以下であることが明らかとなった。また、この酸化物焼結体をスパッタリングターゲットとして成膜して得られた透明導電膜は、比抵抗が1×10−2Ω・cm以上1×10+3Ω・cm以下の範囲の値を示し、波長750nmの屈折率が1.95以上の値を示すことが確認された。
実施例2〜5より、本発明の酸化亜鉛を主成分とし、特定量のチタンおよびガリウムを含有する酸化物焼結体、あるいは得られた透明導電膜についても、実施例1と同様の特性が得られることが判明した。また、実施例6、7より、本発明の酸化亜鉛を主成分とし、特定量のチタンおよびアルミニウム、あるいは特定量のチタン、ガリウムおよびアルミニウムを含有する酸化物焼結体、あるいは得られた透明導電膜についても、実施例1と同様の特性が得られることが判明した。
比較例1〜3より、酸化物焼結体中のチタンあるいはガリウムが特定量を超える、あるいは特定量未満である場合には、酸化物焼結体、あるいは得られた透明導電膜が、実施例1〜5と同様の特性を実現することが不可能であることが明らかとなった。また、比較例4では、チタンを金属Tiチップとして用いたので実施例3と同じ組成の膜が形成されたものの、屈折率が低かった。
また、特許文献2にあるように、PDPフィルターに積層体を適用する場合には、可視光領域長波長側で満足すべき光学的な条件があり、例えば、波長850nmでは、透過率は5%以下が好ましく、2%以下がさらに好ましいとされている。実施例8はこのままでは上記条件を満足しないが、膜厚の調整、特に銀膜厚を厚膜化することで容易に対応できる。銀膜厚の厚膜化は、導電性の向上、すなわち、電磁波遮蔽特性の向上を意味し、光学的な特性向上と合わせると、PDPフィルターの総合的な特性向上を可能にする。
Claims (15)
- 酸化亜鉛を主成分とし、チタンのみを含有し、その含有量がTi/(Zn+Ti)原子数比として0.05〜0.25であり、スパッタリング用ターゲットやイオンプレーティング用タブレットとして使用される酸化物焼結体であって、
六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相から構成され、かつX線回折により測定され下記の式(A)で求められるピークの強度比が、15〜70%であること、及び酸化チタン相が実質的に含有されないことを特徴とする酸化物焼結体。
I[Zn2TiO4(311)]/{I[ZnO(101)]+I[Zn2TiO4(311)]}×100 (%)… (A)
(式中、I[ZnO(101)]は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相の(101)ピーク強度であり、I[Zn2TiO4(311)]は、立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相の(311)ピーク強度を示す) - 酸化亜鉛を主成分とし、チタンと、ガリウム又はアルミニウムから選ばれる1種以上とを含有し、そのガリウム又はアルミニウムの含有量が、(Ga+Al)/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.03以下、かつ、チタンの含有量が、Ti/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.05〜0.25であり、スパッタリング用ターゲットやイオンプレーティング用タブレットとして使用される酸化物焼結体であって、
六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相と立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相から構成され、かつX線回折により測定され下記の式(A)で求められるピークの強度比が、15〜70%であること、及び酸化チタン相が実質的に含有されないことを特徴とする酸化物焼結体。
I[Zn2TiO4(311)]/{I[ZnO(101)]+I[Zn2TiO4(311)]}×100 (%)… (A)
(式中、I[ZnO(101)]は、六方晶のウルツ鉱構造をとる酸化亜鉛相の(101)ピーク強度であり、I[Zn2TiO4(311)]は、立方晶の逆スピネル構造をとる複合酸化物α−Zn2TiO4相の(311)ピーク強度を示す) - 密度が5.0g/cm3以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の酸化物焼結体。
- 比抵抗が5kΩcm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の酸化物焼結体。
- 酸化亜鉛粉末に対して、酸化チタン粉末をTi/(Zn+Ti)で示される原子数比として0.05〜0.25となる割合で配合し、この原料粉末に、水系溶媒を配合し、得られたスラリーを混合した後、固液分離し、乾燥し、造粒して得られた造粒物を型枠に入れ、1000kg/cm2以上の圧力で成形し、得られた成形体を酸素が体積比で20%以上含まれる雰囲気中、1350〜1650℃で10〜30時間常圧焼結して酸化物焼結体を得ることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の酸化物焼結体の製造方法。
- さらに、前記酸化亜鉛粉末に対して、酸化ガリウム粉末、または酸化アルミニウム粉末から選ばれる1種以上の粉末が、(Ga+Al)/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.03以下、かつ、チタンの含有量が、Ti/(Zn+Ti)原子数比で0.05〜0.25となる割合で配合されることを特徴とする請求項5に記載の酸化物焼結体の製造方法。
- 原料粉末の平均粒径が、いずれも1.5μm以下であることを特徴とする請求項5又は6に記載の酸化物焼結体の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の酸化物焼結体を加工して得られるスパッタリング用ターゲット。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の酸化物焼結体を加工して得られるイオンプレーティング用タブレット。
- 請求項8又は9に記載のターゲット又はタブレットを用いて、基板上に形成された、酸化亜鉛を主成分とし、チタンを含有し、かつ、チタンの含有量が、Ti/(Zn+Ti)原子数比で0.05〜0.25の実質的に非晶質である透明導電膜であって、
膜の、波長750nmにおける屈折率が1.95以上であることを特徴とする透明導電膜。 - 請求項8又は9に記載のターゲット又はタブレットを用いて、基板上に形成された、酸化亜鉛を主成分とし、チタンと、ガリウム又はアルミニウムから選ばれる1種以上とを含有し、かつ、ガリウム又はアルミニウムの含有量が、(Ga+Al)/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.03以下であり、かつチタンの含有量が、Ti/(Zn+Ti+Ga+Al)原子数比として0.05〜0.25の実質的に非晶質である透明導電膜であって、
膜の、波長750nmにおける屈折率が1.95以上であることを特徴とする透明導電膜。 - 比抵抗が1×10−2Ω・cm以上1×10+3Ω・cm以下であることを特徴とする請求項10又は11に記載の透明導電膜。
- 基体と、基体上に形成された導電膜とを有する導電性積層体であって、導電膜が、基体側から、透明導電膜層と銀を主成分として含有する金属層とが交互に計(2n+1)層(nは1以上の整数)積層され、透明導電膜層が、請求項10〜12のいずれかに記載の透明導電膜からなることを特徴とする導電性積層体。
- 金属層が2〜8層設けられていることを特徴とする請求項13に記載の導電性積層体。
- 金属層が、金、ビスマス、またはネオジウムから選ばれる1種以上を含有する銀合金であるか、若しくは純銀であることを特徴とする請求項13または14に記載の導電性積層体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008154976A JP5003600B2 (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、導電性積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008154976A JP5003600B2 (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、導電性積層体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009298649A JP2009298649A (ja) | 2009-12-24 |
JP5003600B2 true JP5003600B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=41545953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008154976A Expired - Fee Related JP5003600B2 (ja) | 2008-06-13 | 2008-06-13 | 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、導電性積層体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5003600B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5418105B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2014-02-19 | 東ソー株式会社 | 複合酸化物焼結体、酸化物透明導電膜、及びその製造方法 |
WO2011102425A1 (ja) * | 2010-02-18 | 2011-08-25 | 住友化学株式会社 | 酸化物焼結体、酸化物混合体、それらの製造方法およびそれらを用いたターゲット |
JP2012132086A (ja) * | 2010-03-04 | 2012-07-12 | Mitsubishi Materials Corp | 薄膜形成用の蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シート |
JP4649536B1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-03-09 | 三井金属鉱業株式会社 | 酸化ガリウム粉末 |
JP5830882B2 (ja) * | 2010-04-08 | 2015-12-09 | 東ソー株式会社 | 酸化亜鉛系透明導電膜、その製造方法及びその用途 |
CN103140454B (zh) * | 2010-09-29 | 2014-11-12 | 东曹株式会社 | 复合氧化物烧结体及其制造方法、溅射靶材、以及氧化物透明导电膜及其制造方法 |
JP5952031B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2016-07-13 | 住友化学株式会社 | 酸化物焼結体の製造方法およびターゲットの製造方法 |
JP6520523B2 (ja) * | 2014-07-31 | 2019-05-29 | 東ソー株式会社 | 酸化物焼結体、その製造方法及びスパッタリングターゲット |
JP6582698B2 (ja) * | 2014-08-12 | 2019-10-02 | 東ソー株式会社 | 酸化物焼結体及びスパッタリングターゲット |
JP2016130010A (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 積層膜 |
WO2016111202A1 (ja) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | 三菱マテリアル株式会社 | 積層膜 |
JP6409588B2 (ja) * | 2015-01-21 | 2018-10-24 | Tdk株式会社 | 透明導電体及びタッチパネル |
JP6885038B2 (ja) | 2016-01-08 | 2021-06-09 | 東ソー株式会社 | 酸化物焼結体、その製造方法及びスパッタリングターゲット |
WO2017164209A1 (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 積層透明導電膜、積層配線膜及び積層配線膜の製造方法 |
JP6776931B2 (ja) * | 2016-03-23 | 2020-10-28 | 三菱マテリアル株式会社 | 積層反射電極膜、積層反射電極パターン、積層反射電極パターンの製造方法 |
JP6888318B2 (ja) * | 2016-03-23 | 2021-06-16 | 三菱マテリアル株式会社 | 積層透明導電膜、積層配線膜及び積層配線膜の製造方法 |
JP2019163494A (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 住友金属鉱山株式会社 | 透明酸化物膜、透明酸化物膜の製造方法、酸化物焼結体及び透明樹脂基板 |
CN114132957B (zh) * | 2021-11-29 | 2023-09-29 | 东北大学秦皇岛分校 | 一种双相偏钛酸锌负极材料的制备方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62154411A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-09 | 三井金属鉱業株式会社 | 透明導電膜 |
JPH10306367A (ja) * | 1997-05-06 | 1998-11-17 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | スパッタリングターゲット用ZnO−Ga2O3系焼結体およびその製造方法 |
JPH11256320A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-21 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ZnO系焼結体 |
JP2006186309A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-07-13 | Asahi Glass Co Ltd | 導電性積層体、プラズマディスプレイ用電磁波遮蔽フィルムおよびプラズマディスプレイ用保護板 |
JP5167575B2 (ja) * | 2005-04-22 | 2013-03-21 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物焼結体、スパッタリングターゲットおよび透明導電膜 |
JP2007280756A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Tosoh Corp | 酸化亜鉛系透明導電膜及びそれを用いた液晶ディスプレイ並びに酸化亜鉛系スパッタリングターゲット |
JP2007314812A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Asahi Glass Co Ltd | スパッタリングターゲットおよび成膜方法 |
CN101460425B (zh) * | 2006-06-08 | 2012-10-24 | 住友金属矿山株式会社 | 氧化物烧结体、靶、用它制得的透明导电膜以及透明导电性基材 |
JP4231967B2 (ja) * | 2006-10-06 | 2009-03-04 | 住友金属鉱山株式会社 | 酸化物焼結体、その製造方法、透明導電膜、およびそれを用いて得られる太陽電池 |
WO2009131206A1 (ja) * | 2008-04-24 | 2009-10-29 | 旭硝子株式会社 | 低反射ガラスおよびディスプレイ用保護板 |
JP4295811B1 (ja) * | 2008-09-17 | 2009-07-15 | 三井金属鉱業株式会社 | 酸化亜鉛系ターゲット |
-
2008
- 2008-06-13 JP JP2008154976A patent/JP5003600B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009298649A (ja) | 2009-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5003600B2 (ja) | 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、導電性積層体 | |
TWI402862B (zh) | 氧化物燒結體、其製法、使用它之透明導電膜之製法與所得到的透明導電膜 | |
JP6015801B2 (ja) | 酸化物焼結体とその製造方法、ターゲット、および透明導電膜 | |
JP5716768B2 (ja) | 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜、並びに透明導電性基材 | |
JP5880667B2 (ja) | ターゲット及びその製造方法 | |
JP5561358B2 (ja) | 透明導電膜 | |
JP5170009B2 (ja) | 酸化インジウム系スパッタリングターゲットおよびその製造方法 | |
JP5333144B2 (ja) | 薄膜製造用焼結体ターゲットとその製造方法 | |
JP4779798B2 (ja) | 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜 | |
JP6064895B2 (ja) | 酸化インジウム系酸化物焼結体およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110614 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110811 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120424 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120507 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5003600 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |