JP5002331B2 - プラズマ発生装置 - Google Patents
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Description
該ケースの一方の端部には該ケースに碍子20を介してリング状の第1アノード21Aが設けられている。この第1アノード21Aは、例えばステンレスなど環状に形成されており、該第1アノードを含めケース15の他の部品の熱に依る損傷を防止するため、該第1アノード内には冷却水が流されている。また、この第1アノード21Aの反カソード側には高融点材料(例えばモリブデン)製でリング状の第2アノード21Bが接続されている。この第1アノード21Aと第2アノード21Bの接続は、互いの間の熱抵抗が大きくなるように、互いの一部同士が繋がれることにより行われる。また、各アノード21A、21Bの内側には前記カソード16からの電子が該各アノード21A、21Bに直接照射されないようにシールド電極22が配置されている。尚、該シールド電極の先端部は電子ビームを通過させるオリフィスを成している。
以上
図3に示すように、絶縁部材Cを高電位部材Aと低電位部材Bで挟み、これらの三部材の中心孔に水Wが流れていると(尚、高電位部材Aが絶縁部材Cと接触する面、及び、低電位部材Bが絶縁部材Cと接触する面にはそれぞれ溝Ma,Mbが形成されており、該各溝内にはシール部材としてOリングOa,Obが嵌入されており、図中、Ta,Tbは高電位部材側の配管、低電位部材側の流路を表す。)、高電位部材Aの絶縁部材Cとの境目部分から腐食が起こり、且つ、該境目部分の内側から外側へと広がっていく現象を本発明者はつきとめた。
2…被蒸発材料
3…坩堝
4…電子銃
5…基板電源
6…基板
7…プラズマ発生装置
8…支持台
9…真空ポンプ
10…反応ガスボンベ
11…放電ガスボンベ
12、13、14…バルブ
15…ケース
16…カソード
17…加熱電源
18…放電電源
19…放電ガス供給管
20、20´…碍子
21A…第1アノード
21B…第2アノード
22…シールド電極
23…コイル
25A、25B、25A´、25B´、25E´…絶縁碍子
M1、M2、M3、M4、M5、M6、M7、M8…溝
26A、26B、26C、26D、26E、26F…フランジ
27、29´、30´、31、31´…配管
30A、30B、30C、30D、30E…交換フランジ部材
Claims (5)
- 放電室、該放電室内に配置されたカソード、該放電室の一方の端部にアノード用絶縁体を介して配置された筒状のアノード、前記カソードと前記アノードとの間に放電電圧を印加するための放電電源、及び、前記放電室に放電用ガスを供給するための手段を備え、前記放電室内で形成されたプラズマ中の電子を前記放電室外の真空容器中に照射させる様に成したプラズマ発生装置であって、前記放電室の他方の端部にフランジ用絶縁体を介して固定フランジが取り付けられ、該固定フランジに接続された流路,前記フランジ用絶縁体を貫通する流路,前記放電室壁に設けられた流路,前記アノード用絶縁体を貫通する流路,前記アノード内部に設けられた流路が、この順で空間的に繋がる様に成し、これらの流路中に水が流れる様に成したプラズマ発生装置において、前記アノード用絶縁体側に同心状の複数の溝が形成された交換可能な交換フランジを前記アノードと前記アノード用絶縁体との間に設け、前記フランジ用絶縁体側に同心状の複数の溝が形成された交換可能な交換フランジを前記固定フランジと前記フランジ用絶縁体との間に設け、前記各溝内にシール部材を入れた事を特徴とするプラズマ発生装置。
- 放電室、該放電室内に配置されたカソード、該放電室の一方の端部にアノード用絶縁体を介して配置された筒状のアノード、前記カソードと前記アノードとの間に放電電圧を印加するための放電電源、及び、前記放電室に放電用ガスを供給するための手段を備え、前記放電室内で形成されたプラズマ中の電子を前記放電室外の真空容器中に照射させる様に成したプラズマ発生装置であって、前記放電室の他方の端部に第1フランジ用絶縁体を介して第1固定フランジが取り付けられ、及び前記放電室の外側に第2フランジ用絶縁体を介して第2固定フランジが取り付けられ、前記第1固定フランジに接続された流路,前記第1フランジ用絶縁体を貫通する流路,前記放電室壁に設けられた流路,前記アノード用絶縁体を貫通する流路,前記アノード内部に設けられた流路,前記第2固定フランジに一端が接続され、前記アノード用絶縁体中に他端が接続された流路,前記第2フランジ用絶縁体を貫通する流路が、この順で空間的に繋がる様に成し、これらの流路中に水が流れる様に成したプラズマ発生装置において、前記アノード用絶縁体と前記アノードとの間にアノード側フランジを設け、前記第1フランジ用絶縁体側に同心状の複数の溝が形成された交換可能な交換フランジを前記第1固定フランジと前記第1フランジ用絶縁体との間に設け、前記第2フランジ用絶縁体側に同心状の複数の溝が形成された交換可能な交換フランジを前記第2固定フランジと前記第2フランジ用絶縁体との間に設け、前記各溝内にシール部材を入れた事を特徴とするプラズマ発生装置。
- 前記シール部材はOリングである請求項1又は2記載のプラズマ発生装置。
- 前記シール部材はガスケットである請求項1又は2記載のプラズマ発生装置。
- 前記全てのフランジは導電性材料から成る請求項1又は2記載のプラズマ発生装置。
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JP2007138895A JP5002331B2 (ja) | 2007-05-25 | 2007-05-25 | プラズマ発生装置 |
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Family Applications (1)
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- 2007-05-25 JP JP2007138895A patent/JP5002331B2/ja active Active
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