JP5000894B2 - 表面性状測定機 - Google Patents
表面性状測定機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5000894B2 JP5000894B2 JP2006015110A JP2006015110A JP5000894B2 JP 5000894 B2 JP5000894 B2 JP 5000894B2 JP 2006015110 A JP2006015110 A JP 2006015110A JP 2006015110 A JP2006015110 A JP 2006015110A JP 5000894 B2 JP5000894 B2 JP 5000894B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- moving mechanism
- surface texture
- moving
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
従来の形状測定機は、図9に示すように、被測定物Wを載置するベース1と、このベース1の上面に垂直に立設されたZ軸コラム3と、このZ軸コラム3に上下方向(Z軸方向)へ昇降可能に設けられたZスライダ4と、このZスライダ4にY軸を中心として旋回可能に設けられた旋回プレート5と、この旋回プレート5に取り付けられたX軸移動機構6と、このX軸移動機構6に連結された検出器8とから構成されている。
検出器8は、X軸移動機構6に連結された検出器本体8Aと、この検出器本体8AにY軸を中心として回動可能に支持されたスタイラス8Bと、このスタイラス8Bの先端に直角に設けられた触針8Cと、この触針8Cの上下方向変位(スタイラス8Bの揺動量)を検出する検出部(図示省略)とから構成されている。
(a)Zスライダ4をZ軸コラム3の上方へ移動させる。
(b)ベース1に被測定物Wを載置する。
(c)Zスライダ4をZ軸コラム3の下方へ移動させて、検出器8の触針8Cを被測定物Wの測定面近傍に位置決めする(触針8Cは被測定物Wに接触させない)。
(d)測定スタートボタンを押す。
(e)Zスライダ4がZ軸コラム3に沿って下降する。
(f)検出器8の触針8Cが被測定物Wに接触し始める。
(g)検出器8の検出値が所定値(例えば、0点)を超えたら、Zスライダ4の下降を停止させる。
(h)Zスライダ4をZ軸コラム3に沿って微速で上昇させ、検出器8の検出値が所定値(例えば、0点)に達した時点で、Zスライダ4の上昇を停止させる。(なお、このステップは省略させる場合がある)
(i)X軸移動機構6を駆動させ、検出器8をX軸方向へ走査させて測定を開始する。
ところが、このオートセット動作は、Zスライダ4をZ軸コラム3に沿って昇降させるのみであるため、例えば、図10のように、被測定物Wの測定面W1と平行になるように、X軸移動機構6を傾斜させた場合、Zスライダ4が触針8Cの軸方向とは異なる方向へ移動することになる。つまり、図11に示すように、Zスライダ4が触針8Cの軸方向とは異なるZ軸コラム3に沿って昇降するため、測定者に対して違和感を与えると同時に、検出器8の検出値とZスライダ4の昇降量が等しくないため、停止したときの誤差量が大きくなるという課題がある。
従って、オートセット動作では、第2移動機構および第3移動機構の駆動制御により、検出器が被測定物の測定面に対して垂直方向から接近するから、違和感がなく、しかも、検出器の向きと、被測定物と検出器との相対距離変化方向とが一致しているから、誤差量が少なく、高精度なオートセット動作を実現できる。
従って、オートセット動作では、第1移動機構および第2移動機構の駆動制御により、検出器が被測定物の測定面に対して垂直方向から接近するから、違和感がなく、しかも、検出器の向き(変位量)と、被測定物と検出器との相対距離変化方向とが一致しているから、誤差量が少なく、高精度なオートセット動作を実現できる。
この発明によれば、上述した効果を同時に期待できる。
この発明によれば、オートセット動作において、検出器が被測定物の測定面に対して垂直方向から接近するように、いずれかの移動機構が駆動される。やがて、検出器からの検出値が予め設定した所定値を超えると、移動機構の駆動が停止されるから、オートセット動作のスタート指令を与えるだけでオートセット動作を実行できる。
この発明によれば、オートセット動作において、移動機構の駆動を停止させたのち、移動機構を前記とは逆方向へかつ前記速度より低速で駆動させ、検出器からの検出値が予め設定した所定値に達した際に移動機構の駆動が停止されるから、検出器を所定位置に高精度に位置決めできる。
この発明によれば、接触式の表面性状測定機において、高精度な測定を保障できる。
図1は、本発明の一実施形態を示す表面粗さ測定機の正面図である。この表面粗さ測定機は、被測定物Wを載置するベース1と、このベース1上に前後方向(Y軸方向)へ移動可能に設けられたYスライダ2と、このYスライダ2の上面に垂直に立設されたZ軸コラム3と、このZ軸コラム3に上下方向(Z軸方向)へ昇降可能に設けられたZスライダ4と、このZスライダ4にY軸を中心として旋回可能に設けられた旋回プレート5と、この旋回プレート5に取り付けられたX軸移動機構6と、このX軸移動機構6によってZ軸コラム3に対して直交する方向(X軸方向)へ移動される回転機構としての検出器回転機構7と、この検出器回転機構7によってX軸を中心として回転される粗さ検出器8とから構成されている。
図2は、検出器回転機構7を示す概略図である。検出器回転機構7は、X軸駆動装置6によってX軸方向へ移動される筐体10と、この筐体10内に固定されたモータ11と、筐体10内に軸受12を介してモータ11の出力軸11Aと同軸上で回転可能に支持され先端に粗さ検出器8を保持した回転軸14と、この回転軸14とモータ11の出力軸11Aとを連結する軸継手15とから構成されている。
回転軸14(粗さ検出器8)の回転角を検出する回転角検出器16は、回転軸14に固定された外周縁に沿って一定ピッチで透孔を有する回転円盤17と、この回転円盤17を挟んで対向配置された発光素子および受光素子からなる検出ヘッド18とから構成されている。
なお、粗さ検出器8は、X軸移動機構6によって移動される検出器本体8Aと、この検出器本体8Aに揺動可能に支持されたスタイラス8Bと、このスタイラス8Bの先端に直角に突設された触針8Cと、このスタイラス8Bの揺動を検出する検出部8Dとから構成されている。
図3は、制御装置のブロック図である。制御装置30には、Y軸移動機構32およびY軸位置検出器33と、Z軸移動機構34およびZ軸位置検出器35と、傾斜機構36および傾斜角検出器37と、X軸移動機構6およびX軸位置検出器38と、検出器回転機構7および回転角検出器16と、粗さ検出器8と、入力装置39と、表示装置41と、記憶装置42とがそれぞれ接続されている。
Y軸移動機構32は、Yスライダ2をY軸方向へ移動させる機構、Y軸位置検出器33は、Yスライダ2のY軸位置を検出する。Z軸移動機構34は、Zスライダ4をZ軸方向へ移動させる機構、Z軸位置検出器35は、Zスライダ4のZ軸位置を検出する。傾斜機構36は、旋回プレート5をY軸を中心として傾斜させる機構、傾斜角検出器37は、旋回プレート5の傾斜角を検出する。X軸移動機構6は、粗さ検出器8をX軸方向へ移動させる機構、X軸位置検出器38は、粗さ検出器8のX軸位置を検出する。
表示装置41には、測定項目や測定結果などが表示される。
記憶装置42には、測定項目に対応した動作指令プログラムや、測定結果が記憶されるようになっているとともに、Yスライダ2のY軸位置を記憶するY軸メモリ43、Zスライダ4のZ軸位置を記憶するZ軸メモリ44、旋回プレート5の傾斜角θを記憶する傾斜角記憶手段としての傾斜角メモリ45、粗さ検出器8のX軸位置を記憶するX軸メモリ46、粗さ検出器8の回転角γを記憶する回転角記憶手段としての回転角メモリ47、粗さ検出器8の検出値δを記憶する検出値メモリ48などが設けられている。
この際、粗さ検出器8からの検出値が予め設定した所定値を超えた際に各移動機構の駆動を停止させたのち、各移動機構を前記とは逆方向へかつ前記速度より低速で駆動させ、粗さ検出器8からの検出値が予め設定した所定値に達した際に各移動機構の駆動を停止させる。
被測定物Wの表面性状を測定するにあたっては、まず、ベース1上にテーブルなどを使って被測定物Wを載置し、粗さ検出器8の触針8Cを被測定物Wの測定面に当接させる。これには、まず、粗さ検出器8の触針8Cが被測定物Wの測定面に対して垂直になるように、粗さ検出器8の姿勢を変化させる。
例えば、図4に示すように、被測定物Wの測定面W1がX軸に対して傾斜していた場合には、旋回プレート5の旋回動作によりX軸移動機構6を傾斜させ、粗さ検出器8の触針8Cを被測定物Wの測定面W1に対して垂直になるように調整するとともに、走査方向(X軸移動機構6の移動方向)が被測定物Wの測定面W1に対して平行になるように調整する。すると、旋回プレート5の傾斜角度が傾斜角検出器37によって検出されたのち、記憶装置42の傾斜角メモリ45に記憶される。
これにより、粗さ検出器8が触針8Cの軸方向へ移動されていく。やがて、粗さ検出器8からの検出値が予め設定した所定値を超えた時点で、Z軸移動機構34およびX軸移動機構6の駆動を停止させる。続いて、各移動機構を前記とは逆方向へかつ前記速度より低速で駆動させ、粗さ検出器8からの検出値が予め設定した所定値に達した際に各移動機構の駆動を停止させる。
この状態において、X軸移動機構6を駆動させると、粗さ検出器8が被測定物Wの測定面W1に沿って移動される。すると、そのときの触針8C(スタイラス8B)の上下方向の変位が検出されるから、この粗さ検出器8からの検出値を基に測定面W1の表面粗さ等を検出することができる。
具体的には、スタイラス8Bの触針8Cの向きを変える場合、入力装置39から触針8Cの向きを指令する。すると、検出器回転機構7のモータ11が回転される。モータ11が回転すると、回転軸14も回転される結果、粗さ検出器8が回転される。粗さ検出器8の回転角は、回転角検出器16によって検出されたのち、記憶装置42の回転角メモリ47に記憶される。
これにより、粗さ検出器8が触針8Cの軸方向へ移動していくが、以後の動作は上記と同じである。
しかも、粗さ検出器8の触針8Cの向きが、従来のように90°間隔に制限されないので、被測定物のどのような角度の測定面に対しても粗さ検出器8の触針8Cを当接させることができる。そのため、測定部位が制限されることが少ない。
本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は、本発明に含まれる。
図7に示す検出器回転機構7は、図2に示す検出器回転機構7に対して、モータ11からの回転を2つの伝達ギア13A,13Bを介して回転軸14に伝達している点が異なるのみである。
図8に示す検出器回転機構7は、図7に示す検出器回転機構7において、モータ11に代わって手動つまみ19が設けられた点が異なるのみである。
7…検出器回転機構
8…粗さ検出器
8A…検出器本体
8B…スタイラス
8C…触針
8D…検出部
30…制御装置(制御手段)
32…Y軸移動機構(第1移動機構)
34…Z軸移動機構(第2移動機構)
36…傾斜機構
45…傾斜角メモリ(傾斜角記憶手段)
47…回転角メモリ(回転角記憶手段)
W…被測定物
W1,W2…測定面。
Claims (6)
- 検出器を被測定物の測定面に沿って移動させ、このときの検出器からの検出値を基に測定面の表面性状を測定する表面性状測定機において、
前記検出器を互いに直交する2軸方向へ移動させる第2移動機構および第3移動機構と、
前記検出器の移動方向が前記被測定物の測定面と平行になるように前記第3移動機構を前記第2移動機構に対して傾斜させる傾斜機構と、
この傾斜機構の傾斜角を記憶する傾斜角記憶手段と、
オートセット動作において、前記傾斜機構によって傾斜された前記第3移動機構の傾斜角を維持したまま、前記傾斜角記憶手段に記憶された傾斜角に基づいて、前記検出器が前記被測定物の測定面に対して垂直方向から接近するように、前記第2移動機構および第3移動機構の駆動を同時に制御する制御手段とを備えたことを特徴とする表面性状測定機。 - 検出器を被測定物の測定面に沿って移動させ、このときの検出器からの検出値を基に測定面の表面性状を測定する表面性状測定機において、
前記検出器を互いに直交する3軸方向へ移動させる第1移動機構、第2移動機構および第3移動機構と、
前記検出器の向きを前記第3移動機構の移動方向軸線を中心として回転させる回転機構と、
この回転機構の回転角を記憶する回転角記憶手段と、
オートセット動作において、前記回転機構によって回転された前記検出器の回転角を維持したまま、前記回転角記憶手段に記憶された回転角に基づいて、前記検出器が前記被測定物の測定面に対して垂直方向から接近するように、前記第1移動機構および第2移動機構の駆動を同時に制御する制御手段とを備えたことを特徴とする表面性状測定機。 - 検出器を被測定物の測定面に沿って移動させ、このときの検出器からの検出値を基に測定面の表面性状を測定する表面性状測定機において、
前記検出器を互いに直交する3軸方向へ移動させる第1移動機構、第2移動機構および第3移動機構と、
前記検出器の移動方向が前記被測定物の測定面と平行になるように前記第3移動機構を前記第2移動機構に対して傾斜させる傾斜機構と、
この傾斜機構の傾斜角を記憶する傾斜角記憶手段と、
前記検出器の向きを前記第3移動機構の移動方向軸線を中心として回転させる回転機構と、
この回転機構の回転角を記憶する回転角記憶手段と、
オートセット動作において、前記傾斜機構によって傾斜された前記第3移動機構の傾斜角を維持したまま、前記傾斜角記憶手段に記憶された傾斜角に基づいて、前記検出器が前記被測定物の測定面に対して垂直方向から接近するように、前記第2移動機構および第3移動機構の駆動を同時に制御するとともに、前記回転機構によって回転された前記検出器の回転角を維持したまま、前記回転角記憶手段に記憶された回転角に基づいて、前記検出器が前記被測定物の測定面に対して垂直方向から接近するように、前記第1移動機構および第2移動機構の駆動を同時に制御する制御手段とを備えたことを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の表面性状測定機において、
前記制御手段は、前記検出器が被測定物の測定面に対して垂直方向から接近するように、いずれかの移動機構を駆動させたのち、前記検出器からの検出値が予め設定した所定値を超えた際に移動機構の駆動を停止させることを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項4に記載の表面性状測定機において、
前記制御手段は、前記移動機構の駆動を停止させたのち、前記移動機構を前記とは逆方向へかつ前記速度より低速で駆動させ、前記検出器からの検出値が予め設定した所定値に達した際に移動機構の駆動を停止させることを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項1〜請求項5のいずれかに記載の表面性状測定機において、
前記検出器は、前記移動機構によって移動される検出器本体と、この検出器本体に揺動可能に支持されたスタイラスと、このスタイラスの先端に設けられた触針と、前記スタイラスの揺動量を検出する検出部とから構成されていることを特徴とする表面性状測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006015110A JP5000894B2 (ja) | 2006-01-24 | 2006-01-24 | 表面性状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006015110A JP5000894B2 (ja) | 2006-01-24 | 2006-01-24 | 表面性状測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007198791A JP2007198791A (ja) | 2007-08-09 |
JP5000894B2 true JP5000894B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=38453546
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006015110A Active JP5000894B2 (ja) | 2006-01-24 | 2006-01-24 | 表面性状測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5000894B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106017288A (zh) * | 2015-03-31 | 2016-10-12 | 株式会社三丰 | 用于形状测量装置的倾斜角度调节器 |
KR20210147565A (ko) * | 2020-05-29 | 2021-12-07 | 한국전력공사 | 케이블 접속용 측정장치 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8650939B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
JP5350170B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
KR101553384B1 (ko) | 2009-12-23 | 2015-09-17 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 차량 내장재용 촉감 측정장치 |
KR101198779B1 (ko) * | 2010-10-29 | 2012-11-09 | 정준오 | 정밀가공물 표면 측정장치 |
CN103028617B (zh) * | 2011-09-30 | 2014-11-05 | 鞍钢股份有限公司 | 一种热轧带钢浪形缺陷在线检测方法及其测量装置 |
JP6726566B2 (ja) * | 2016-08-12 | 2020-07-22 | 株式会社ミツトヨ | 駆動部傾斜調整方法、及び駆動部傾斜調整プログラム |
JP7073211B2 (ja) * | 2018-06-30 | 2022-05-23 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置の制御方法 |
JP7412607B2 (ja) * | 2021-01-13 | 2024-01-12 | 三菱電機株式会社 | 直径測定装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6310481Y2 (ja) * | 1981-01-23 | 1988-03-29 | ||
JPS59190607A (ja) * | 1983-04-13 | 1984-10-29 | Hitachi Ltd | 物体形状の非接触測定装置 |
JP2902163B2 (ja) * | 1991-06-17 | 1999-06-07 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
JP2758810B2 (ja) * | 1992-10-15 | 1998-05-28 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定方法 |
JPH08304065A (ja) * | 1995-05-02 | 1996-11-22 | Nikon Corp | 回転ヘッドを用いた三次元座標測定装置 |
JP3992853B2 (ja) * | 1998-09-30 | 2007-10-17 | 株式会社ミツトヨ | 表面追従型測定機 |
JP2001165629A (ja) * | 1999-12-03 | 2001-06-22 | Ricoh Co Ltd | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP2002340503A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機における被測定物の相対姿勢調整方法 |
US7140119B2 (en) * | 2004-04-23 | 2006-11-28 | Corning Incorporated | Measurement of form of spherical and near-spherical optical surfaces |
-
2006
- 2006-01-24 JP JP2006015110A patent/JP5000894B2/ja active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106017288A (zh) * | 2015-03-31 | 2016-10-12 | 株式会社三丰 | 用于形状测量装置的倾斜角度调节器 |
US9891033B2 (en) | 2015-03-31 | 2018-02-13 | Mitutoyo Corporation | Tilt angle adjuster for form measuring device |
CN106017288B (zh) * | 2015-03-31 | 2019-05-21 | 株式会社三丰 | 用于形状测量装置的倾斜角度调节器 |
KR20210147565A (ko) * | 2020-05-29 | 2021-12-07 | 한국전력공사 | 케이블 접속용 측정장치 |
KR102375430B1 (ko) | 2020-05-29 | 2022-03-18 | 한국전력공사 | 케이블 접속용 측정장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007198791A (ja) | 2007-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5000894B2 (ja) | 表面性状測定機 | |
EP1659363B1 (en) | Probe Supporting Mechanism | |
JP4568621B2 (ja) | 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機 | |
JP6518421B2 (ja) | 真円度測定機およびその制御方法 | |
JP5324510B2 (ja) | 真円度測定機 | |
EP2253928B1 (en) | Roundness measuring apparatus | |
JP5292564B2 (ja) | 形状測定装置、その校正方法、及び校正プログラム | |
CN102042813B (zh) | 表面性质和形状测定机和表面性质和形状测定方法 | |
JP5060915B2 (ja) | スタイラス、形状測定機及びパートプログラム | |
JP2018179849A (ja) | 駆動ステージ装置の駆動制御方法 | |
JP2011122898A (ja) | 眼鏡枠形状測定装置 | |
JP2016166766A (ja) | 形状測定装置の調整方法 | |
JP6784539B2 (ja) | 真円度測定機 | |
JP2020125937A (ja) | 眼鏡レンズ形状測定装置 | |
JP4566372B2 (ja) | レンズ枠形状測定装置 | |
JP2000266534A (ja) | 表面性状測定機、表面性状測定機用の傾斜調整装置および表面性状測定機における測定対象物の姿勢調整方法 | |
JP2019035639A (ja) | ねじ軸測定装置、ねじ軸測定方法および調整用治具 | |
JP2009050992A (ja) | ラッピング装置及びラッピング方法 | |
JP2001201340A (ja) | 真円度測定装置 | |
KR100492424B1 (ko) | 렌즈가공장치 | |
US20230032119A1 (en) | Roundness measuring machine | |
JP3929568B2 (ja) | 眼鏡フレームの玉型形状測定装置 | |
JP2003302218A (ja) | 真円度測定装置 | |
JP6726566B2 (ja) | 駆動部傾斜調整方法、及び駆動部傾斜調整プログラム | |
JP2004212147A (ja) | 溝測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070703 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070809 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110704 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120515 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120517 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5000894 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |