JP2016166766A - 形状測定装置の調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
紙面の左から右方向にX軸をとり、紙面の手前から奥方向にY軸をとり、下から上方向にZ軸をとる。
回転駆動部221は基台210上に設置され、円板状の載物台223を回転させる。回転駆動部221の側面には調整用つまみ222が周方向に90度間隔で配置されている。調整用つまみ222を操作することにより載物台223をX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向にそれぞれ調整できるようになっており、これにより、載物台223の心出しおよび水平出しができるようになっている。被測定物をこの載物台223の上にセットすると、載物台223とともに被測定物が回転する。
また、ヘッドホルダ340が水平姿勢(図3)のとき、ヘッドホルダ340の端面に設けられた調整ネジ342を回すことでプローブヘッド350をY方向に微小移動させることができる。
形状測定装置の軸ずれ判定方法あって、
前記形状測定装置は、
被測定物を載置するとともにZ軸を回転中心として回転可能な回転テーブルと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸のうちのX軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、を備えており、
前記測定子の中心を通り、前記X軸に平行な仮想線を測定軸とするとき、
当該形状測定装置の調整方法は、
面対称性を有する校正用ゲージを前記回転テーブルの回転中心以外の位置にセットし、
前記回転テーブルを回転駆動させながら前記校正用ゲージを測定し、
前記測定子が前記校正用ゲージを検出したときの前記回転テーブルの位相のパターンに基づいて、前記回転テーブルの回転軸に対して前記測定軸がズレているか否かを判定する
ことを特徴とする。
前記校正用ゲージの測定結果に基づいて、
前記測定子が前記校正用ゲージの検出を開始した時の前記回転テーブルの位相である検出開始位相θiと、
前記測定子が前記校正用ゲージの検出を終了した時の前記回転テーブルの位相である検出終了位相θfと、
測定値がピーク値を示すときの前記回転テーブルの位相であるピーク時位相θpと、を求め、
軸ずれ指標値MをM={(θp−θi)−(θf−θp)}とするとき、
前記軸ずれ指標値Mの正負によって前記測定軸のずれの方向を判定する
ことが好ましい。
前記校正用ゲージは、前記回転テーブルの側面に予めセットされている
ことが好ましい。
前記校正用ゲージは、真球の全体または真球の一部分である
ことが好ましい。
Y軸に沿った方向で前記測定子と前記回転テーブルとの位置を相対的に微調整可能となっており、
前記形状測定装置の軸ずれ判定方法を実行した後、
前記測定軸のズレ方向の判定結果をモニタに表示し、
ユーザは、前記モニタの表示を参考にして前記測定子の位置を微調整する
ことを特徴とする。
形状測定装置の軸ずれ判定プログラムであって、
前記形状測定装置は、
被測定物を載置するとともにZ軸を回転中心として回転可能な回転テーブルと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸のうちのX軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、
モーションコントローラを介して前記回転テーブルおよび前記座標測定部の動作制御を行うホストコンピュータと、を備えており、
面対称性を有する校正用ゲージが前記回転テーブルの回転中心以外の位置にセットされており、
前記測定子の中心を通り、前記X軸に平行な仮想線を測定軸とするとき、
当該形状測定装置の軸ずれ判定プログラムは、前記コンピュータに、
回転テーブルを回転駆動させながら前記校正用ゲージ測定するステップと、
前記測定子が前記校正用ゲージを検出したときの前記回転テーブルの位相のパターンに基づいて、前記回転テーブルの回転軸に対して前記測定軸がズレているか否かを判定するステップと、を実行させる
ことを特徴とする。
被測定物を載置するとともにZ軸を回転中心として回転可能な回転テーブルと、
前記回転テーブルの回転中心以外の位置にセットされた面対称性を有する校正用ゲージと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸のうちのX軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、を具備する
ことを特徴とする。
(第1実施形態)
形状測定装置(真円度測定装置100)の調整方法に係る第1実施形態を説明する。
図4、図5、図6は、本実施形態の調整方法の手順を示すフローチャートである。
このフローチャートに沿って順に説明していく。
「この校正用ゲージ500を"測定"する(ST200)」といっても校正用ゲージ500の正確な形状データそのものを取得したいわけではない。校正用ゲージ500の正しい形状データそのものを得たければ、図2や図3のように、校正用ゲージ500を回転テーブル220の中心にセットしなければならない。ここでは、校正用ゲージ500を回転テーブル220の中心以外にセットしているわけであるから、校正用ゲージ500の形状データそのものが得られるわけではない。
このようにして、測定子361の座標値(具体的にはX座標値)と回転テーブル220の位相とを対にした測定データが取得される。
主要点とは、前述のθi、θpおよびθfのことである。
θiは、測定子361と校正用ゲージ500とが接触を開始した時の回転テーブル220の位相である。
θiを接触開始位相(検出開始位相)と称することにする。
θpは、ピーク値を示すときの回転テーブル220の位相である。
θpをピーク時位相と称することにする。
θfは、測定子361と校正用ゲージ500との接触が終了する時の回転テーブル220の位相である。
θfを接触終了位相(検出終了位相)と称することにする。
軸ずれ指標値Mとは、接触開始位相θiからピーク時位相θpまでの回転角と、ピーク時位相θpから接触終了位相θfまでの回転角と、の差に相当する値である。
ここでは、42°−32°=10°である。
続いて、ピーク時位相θpから接触終了位相θfまでの回転角、すなわち、(θf−θp)を求める(ST380)。
ここでは、52°−42°=10°である。
そして、{(θp−θi)−(θf−θp)}=Mとする(ST390)。
ここでは、M=10°−10°=0°である。
軸ずれ指標値Mが求まったところでデータ解析は終了である。
ユーザに伝える方法としては、音や音声で伝えても良いし、紙に印刷してもよいが、ここではモニタ112にガイダンス表示するとする(ST500)。
図14は、ガイダンス表示の一例である。
モニタ画面上に、回転テーブル220の画像に測定軸Lを重ねて表示し、本例では、測定軸合わせが正しく行われていることを"OK"のサインで示している。
次に、測定軸Lがずれている場合を説明する。
図15から図19は、測定軸Lが回転テーブル220の回転軸線に対してプラスY方向にずれている場合である。これを第2パターンとする。上記例と同じく、図15に示すように、校正用ゲージ500を回転テーブル220にセットして校正用ゲージ500を測定する(ST100、ST200)。回転テーブル220が回転すると、測定子361が校正用ゲージ500に接触を開始し(図15)、さらに、回転テーブル220の回転に伴って測定子361が校正用ゲージ500の外側面に押されてX軸のプラス方向に変位する(図16)。そして、回転テーブル220の回転が進むと最終的には測定子361が校正用ゲージ500から離れる(図17)。このようにして取得した測定データをXY面にマッピングすると例えば図18のようになる。
データ解析(ST300)によって、接触開始位相θi、ピーク時位相θpおよび接触終了位相θfを特定する(ST310−ST360)。
いま、一例として、接触開始位相θiを18°とし、接触終了位相θfを40°とし、ピーク時位相θp=27°とする。
接触開始位相θiからピーク時位相θpまでの回転角、すなわち、(θp−θi)を求める(ST370)。
ここでは、27°−18°=9°である。
ピーク時位相θpから接触終了位相θfまでの回転角、すなわち、(θf−θp)を求める(ST380)。
ここでは、40°−27°=13°である。
そして、{(θp−θi)−(θf−θp)}=Mを求める(ST390)。
ここでは、M=9°−13°=−4°である。
つまり、ピーク時位相θpを間にして接触開始位相θiと接触終了位相θfとは対称にはならない。
測定軸LがマイナスY方向にズレている場合、接触開始位相θiからピーク時位相θpまでの回転角(θp−θi)の方がピーク時位相θpから接触終了位相θfまでの回転角(θf−θp)よりも小さくなるわけである。
したがって、軸ずれ指標値Mは負の数となる。
モニタ画面上に、回転テーブル220の画像に測定軸Lを重ねて表示し、本例では、測定軸LがプラスY方向にずれていることを示し、合わせて、調整で移動させるべき向きを矢印(602)で示している。
図20から図24は、測定軸Lが回転テーブル220の回転軸線に対してマイナスY方向にずれている場合を説明するための図である。これを第3パターンとする。上記例と同じく、図20に示すように、校正用ゲージ500を回転テーブル220にセットして校正用ゲージ500を測定する(ST100、ST200)。回転テーブル220が回転すると、測定子361が校正用ゲージ500に接触を開始し(図20)、さらに、回転テーブル220の回転に伴って測定子361が校正用ゲージ500の外側面に押されてX軸のプラス方向に変位する(図21)。そして、回転テーブル220の回転が進むと最終的には測定子361が校正用ゲージ500から離れる(図22)。
接触開始位相θiからピーク時位相θpまでの回転角、すなわち、(θp−θi)を求める(ST370)。
ここでは、58°−46°=12°である。
ピーク時位相θpから接触終了位相θfまでの回転角、すなわち、(θf−θp)を求める(ST380)。
ここでは、68°−58°=10°である。
そして、{(θp−θi)−(θf−θp)}=Mを求める(ST390)。
ここでは、M=12°−10°=2°である。
ここでは、測定軸LがマイナスY方向にズレている場合、接触開始位相θiからピーク時位相θpまでの回転角(θp−θi)の方がピーク時位相θpから接触終了位相θfまでの回転角(θf−θp)よりも大きくなるわけである。
したがって、軸ずれ指標値Mは正の数となる。
軸ずれ指標値Mの値が正であれば(ST430:NO)、測定軸LがマイナスY方向にずれていると判定する(ST450)。
したがって、測定軸LをプラスY方向に移動させる調整が必要である(ST450)。
測定軸LをプラスY方向に移動させる調整が必要なパターンを第3パターンとする。
モニタ画面上に、回転テーブル220の画像に測定軸Lを重ねて表示し、本例では、測定軸LがマイナスY方向にずれていることを示し、合わせて、調整で移動させるべき向きを矢印(603)で示している。
調整後、再度、ST200からST600を実行し、測定軸Lの調整がOKであることを確認する(ST600:YES)。
その後、校正用ゲージ500を回転テーブル220から外し(ST700)、被測定物の測定に取り掛かる。
(1)本実施形態では、校正用ゲージ500を回転テーブル220の中心から外れた位置にセットする。被測定物を測定している最中であれば、被測定物Wはそのままの状態にして回転テーブル220の空いたスペースに校正用ゲージ500をセットすればよい。したがって、被測定物Wの測定中にスタイラス360を交換したり、ヘッドホルダ340の姿勢を変更したりするようなことがあったとしても、測定軸合わせの後で回転テーブル220および被測定物Wの心出しを再度行う必要は無い。これにより測定効率の向上を図れることはもちろんである。さらに、スタイラス360交換やヘッドホルダ340の姿勢変更を簡便に行えるようになるわけであるから、被測定物Wの測定箇所に応じて積極的にスタイラス360交換やヘッドホルダ340の姿勢変更を行っても良い。
したがって、測定作業の便宜向上はもちろん測定精度の向上にも繋がる。
従って、本実施形態を実施するにあたって追加のコストはそれほど必要ではなく、既存の真円度測定装置100に対して本実施形態を低価格で追加することができる。
本実施形態の変形例をいくつか例示しておく。校正用ゲージ500は回転テーブル220の中心以外にセットすればよいのであるから、例えば、図25に示すように、回転テーブル220の側面に校正用ゲージ500をセットしてもよい。この場合、校正用ゲージ500が回転テーブル220に付いたままでも被測定物Wの測定には何ら影響しない。したがって、校正用ゲージ500を常時回転テーブル220の側面に付けたままにしておいてもよい。
校正用ゲージ500は、真球に限定されない。ピーク値に関して対称性をもつ、いわゆる面対称な図形であればよい。例えば、図26に示すような三角柱や三角錐(底面が正三角形あるいは二等辺三角形)などの面対称性を有する角柱あるいは角錐といった多角形であってもよい。凸形の図形に限らず、例えば、図27に示すような凹形状であっても面対称性があれば校正用ゲージ500として利用できる。この場合、凹部の一番凹んだところがピーク値に対応する。ちなみに、真球であれば、中心を通る総ての面に関して面対称性を有することは明らかであろう。これに対し、真球ではない校正用ゲージ500を回転テーブル220にセットするに当たっては、回転テーブルの回転軸と回転テーブル220の直径とがこの校正用ゲージ500の対称面に乗るように校正用ゲージ500を回転テーブル220にセットする必要がある。
上記実施形態において、ホストコンピュータ110は、校正用ゲージ500の測定結果に基づいて測定軸Lがどちらにズレているかを求め、その結果をモニタ表示でユーザに示した。従って、測定軸合わせの作業はユーザのマニュアル操作によって行われていた。これに対し、校正用ゲージ500の測定結果に基づいて測定軸Lがどちらにどれだけズレているかを定量的に算出し、調整量を具体的に算出するようにしてもよい。
調整方向に加えて、調整量をモニタ表示でユーザに示してもよい。ユーザは、指示された調整量の分だけ測定軸Lをずらすように操作すればよい。
あるいは、算出された調整量に従ってホストコンピュータ110による自動制御で自動的に測定軸合わせが行われるようにしてもよい。
校正用ゲージ500の径や校正用ゲージ500の設置位置(回転中心からの距離)、さらには、スタイラス360の傾斜角度やヘッドホルダ340の傾斜角度が分かっていれば、調整量を具体的に算出することは(幾何学的な計算であるので)理論的には可能である。
上記実施形態においては、ヘッドホルダ340に設けられた調整ねじ341、342で測定軸Lを動かす構成を例示したが、測定軸合わせというのは回転テーブル220の回転軸と測定子361の測定軸Lとの軸合わせであるから、回転テーブルがY軸に沿って移動するようになっていてもよい。
Claims (7)
- 形状測定装置の軸ずれ判定方法あって、
前記形状測定装置は、
被測定物を載置するとともにZ軸を回転中心として回転可能な回転テーブルと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸のうちのX軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、を備えており、
前記測定子の中心を通り、前記X軸に平行な仮想線を測定軸とするとき、
当該形状測定装置の調整方法は、
面対称性を有する校正用ゲージを前記回転テーブルの回転中心以外の位置にセットし、
前記回転テーブルを回転駆動させながら前記校正用ゲージを測定し、
前記測定子が前記校正用ゲージを検出したときの前記回転テーブルの位相のパターンに基づいて、前記回転テーブルの回転軸に対して前記測定軸がズレているか否かを判定する
ことを特徴とする形状測定装置の軸ずれ判定方法。 - 請求項1に記載の形状測定装置の軸ずれ判定方法において、
前記校正用ゲージの測定結果に基づいて、
前記測定子が前記校正用ゲージの検出を開始した時の前記回転テーブルの位相である検出開始位相θiと、
前記測定子が前記校正用ゲージの検出を終了した時の前記回転テーブルの位相である検出終了位相θfと、
測定値がピーク値を示すときの前記回転テーブルの位相であるピーク時位相θpと、を求め、
軸ずれ指標値MをM={(θp−θi)−(θf−θp)}とするとき、
前記軸ずれ指標値Mの正負によって前記測定軸のずれの方向を判定する
ことを特徴とする形状測定装置の軸ずれ判定方法。 - 請求項1または請求項2に記載の形状測定装置の軸ずれ判定方法において、
前記校正用ゲージは、前記回転テーブルの側面に予めセットされている
ことを特徴とする形状測定装置の軸ずれ判定方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の形状測定装置の調整方法において、
前記校正用ゲージは、真球の全体または真球の一部分である
ことを特徴とする形状測定装置の軸ずれ判定方法。 - 前記形状測定装置は、Y軸に沿った方向で前記測定子と前記回転テーブルとの位置を相対的に微調整可能となっており、
請求項1から請求項4のいずれかに記載の形状測定装置の軸ずれ判定方法を実行した後、
前記測定軸のズレ方向の判定結果をモニタに表示し、
ユーザは、前記モニタの表示を参考にして前記測定子の位置を微調整する
ことを特徴とする形状測定装置の調整方法。 - 形状測定装置の軸ずれ判定プログラムであって、
前記形状測定装置は、
被測定物を載置するとともにZ軸を回転中心として回転可能な回転テーブルと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸のうちのX軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、
モーションコントローラを介して前記回転テーブルおよび前記座標測定部の動作制御を行うホストコンピュータと、を備えており、
面対称性を有する校正用ゲージが前記回転テーブルの回転中心以外の位置にセットされており、
前記測定子の中心を通り、前記X軸に平行な仮想線を測定軸とするとき、
当該形状測定装置の軸ずれ判定プログラムは、前記コンピュータに、
回転テーブルを回転駆動させながら前記校正用ゲージ測定するステップと、
前記測定子が前記校正用ゲージを検出したときの前記回転テーブルの位相のパターンに基づいて、前記回転テーブルの回転軸に対して前記測定軸がズレているか否かを判定するステップと、を実行させる
ことを特徴とする形状測定装置の軸ずれ判定プログラム。 - 被測定物を載置するとともにZ軸を回転中心として回転可能な回転テーブルと、
前記回転テーブルの回転中心以外の位置にセットされた面対称性を有する校正用ゲージと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸のうちのX軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、を具備する
ことを特徴とする形状測定装置。
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