JP6518146B2

JP6518146B2 - 形状測定装置の原点ゲージ

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Publication number: JP6518146B2
Application number: JP2015129738A
Authority: JP
Inventors: 樹中山
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2015-06-29
Filing date: 2015-06-29
Publication date: 2019-05-22
Anticipated expiration: 2035-06-29
Also published as: JP2017015437A

Description

本発明は形状測定装置の原点ゲージに関する。

形状測定装置として真円度測定装置が知られている。真円度測定装置では、測定が正確に行われるように、測定開始の前に原点校正を行う必要がある（例えば特許文献１）。

特許文献１に開示される原点ゲージと、その原点ゲージを用いた原点校正の様子と、を図１に示す。
まず、プローブ１４の向きを外径測定姿勢とし、プローブ１４で原点ボール２３をＺ方向（高さ方向）にスキャンする。このようにして求めた原点ボール２３の中心座標が外径測定姿勢での基準原点である。

外径測定姿勢の原点校正に続き、内径測定姿勢の原点校正を行う。すなわち、プローブ１４の向きを１８０度回転させて姿勢を内径測定姿勢に変更し、内径測定姿勢で原点ボール２３をＺ方向（高さ方向）にスキャンする。このようにして求めた原点ボール２３の中心座標が内径測定姿勢での基準原点である。

特許４１６３５４５号

内径測定姿勢で原点校正を行う様子を図２に再掲する。
図２では、プローブ１４だけでなく、真円度測定装置１の全体を描いている。真円度測定装置１は、回転テーブル４の脇に座標測定部を有し、座標測定部がアーム１０をＸ軸に沿って進退させるようになっている。そして、アーム１０の先端にプローブ１４が保持されている。
図２を見てわかるように、内径測定姿勢で原点ボール２３を測定しようとすると、アーム１０をかなり伸ばさなければならない。ところが、アーム１０はＺコラム８で片持ち梁のように支持されているので、アーム１０を伸ばしすぎるとたわんだり、傾いたりする虞がある（図２中の矢印Ａ）。

実際のところ、真円度測定装置１の測定範囲は、回転テーブル４の回転軸よりも手前側（Ｘ軸方向でプラス側）だけに設定されている。例えば図３は円筒形のワークＷの内径を測定する様子を示す図である。図３に示すように、回転テーブル４が回転するわけであるから、回転テーブル４の回転軸を超えてアーム１０を伸ばす必要はない。原点校正時（図２）と実際のワークＷを測定するとき（図３）とでアーム１０の長さが違いすぎると、アーム１０のたわみの分が誤差になる虞がある。

本発明の目的は、形状測定装置の原点校正をより高精度にできる原点ゲージを提供することにある。

本発明の原点ゲージは、
形状測定装置の原点を校正するための原点ゲージであって、
円板形状の台座部と、
この台座部の上方に配設され、原点を校正するための基準球と、有し、
前記基準球は、前記台座部の中心軸線からずれた位置に配設されており、
前記基準球を前記台座部の中心軸線に直交する仮想面に投影したとき、前記中心軸線から前記基準球の中心までの距離Ｌ０が既知であり、
前記基準球を前記台座部の中心軸線上に投影したとき、前記台座部の上面から前記基準球の中心までの高さｈ２が既知であり、
前記基準球の半径ｒ２が既知である
ことを特徴とする。

本発明の形状測定装置の原点校正方法は、
形状測定装置の原点校正方法であって、
前記形状測定装置は、
被測定物を載置するとともにＺ軸に平行な軸を回転軸として回転可能な回転テーブルと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸のうちのＸ軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、を備え、前記測定子は、外側測定姿勢と内側測定姿勢とを変更可能であって、
当該原点校正方法は、
円板形状の台座部と、前記台座部の上方且つ前記台座部の中心軸線からずれた位置に配設された基準球とを備えた原点ゲージを前記回転テーブル上に載置し、
前記原点ゲージの心出しおよび水平出しを行い、
前記測定子を前記内側測定姿勢とし、
前記Ｘ軸線上であって前記回転テーブルの回転軸よりも前記座標測定部に近い側に前記基準球がくるように前記回転テーブルを回転させ、
前記測定子で前記基準球をＺ方向に走査し、
前記測定子のＸ方向変位が最大になるときのＺ座標値Ｚ２を取得し、
このＺ座標値Ｚ２を参照してＺ軸原点を校正する
ことを特徴とする。

本発明では、
前記測定子のＸ方向変位が最大になる前記Ｚ座標値Ｚ２の高さで前記測定子を一定として前記回転テーブルを回転させながら前記基準球の表面を検出し、
前記測定子のＸ方向変位が最大になるときの前記回転テーブルの角度θｐを特定し、
前記回転テーブルの角度がθｐのときの前記基準球の表面のＸ座標値Ｘ２を取得し、
このＸ座標値Ｘ２を参照してＸ軸原点を校正する
ことが好ましい。

本発明の原点ゲージは、
形状測定装置の原点を校正するための原点ゲージであって、
台座部と、
前記台座部の上方に配設された第１基準球と、
前記台座部の上方に配設された第２基準球と、有し、
前記台座部は円板形状であって、この台座部の中心軸上に前記第１基準球の中心があり、
前記第２基準球の中心は、前記台座部の中心軸からずれた位置にあり、かつ、前記第１基準球の中心点と前記第２基準球の中心点との相対位置関係が既知である
ことを特徴とする。

本発明では、
前記第１基準球と前記第２基準球とを前記台座部の中心軸線に直交する仮想面に投影したとき、第１基準球と第２基準球とは中心間距離Ｌ０が既知である
ことが好ましい。

本発明では、
前記第１基準球と前記第２基準球とを前記台座部の中心軸線上に投影したとき、前記第１基準球の中心と前記第２基準球の中心との高さの差Δｈは既知である
ことが好ましい。

本発明では、
前記第２基準球は、前記台座部の外縁寄りに配設されている
ことが好ましい。

本発明では、
前記第２基準球の高さは、前記第１基準球の高さよりも低い
ことが好ましい。

本発明では、
校正対象となる前記形状測定装置は、
被測定物を載置するとともにＺ軸に平行な軸を回転軸として回転可能な回転テーブルと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸のうちのＸ軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、を備え、前記測定子は、外側測定姿勢と内側測定姿勢とを変更可能であって、
前記第１基準球は、前記外側測定姿勢の校正用であり、
前記第２基準球は、前記内側測定姿勢の校正用である
ことが好ましい。

本発明の形状測定装置の原点校正方法は、
前記原点ゲージを用いて形状測定装置の原点を校正する原点校正方法であって、
前記測定子を外径測定姿勢にして前記第１基準球を測定した結果に基づいて外径測定姿勢の原点を校正し、
前記測定子を内径測定姿勢にして前記第２基準球を測定した結果に基づいて内径測定姿勢の原点を校正する
ことを特徴とする。

本発明では、
前記内径測定姿勢の原点は、
前記測定子を内径測定姿勢にして前記第２基準球を測定した結果と、前記第１基準球の中心点と前記第２基準球の中心点との前記相対位置関係と、を用いて校正される
ことが好ましい。

本発明の原点校正プログラムは、
前記原点ゲージのパラメータとして、
前記第１基準球の半径ｒ１、
前記第２基準球の半径ｒ２、
前記第１基準球と前記第２基準球とを前記台座部の中心軸線に直交する仮想面に投影したときの第１基準球と第２基準球との中心間距離Ｌ０、および、
前記第１基準球の中心と前記第２基準球の中心との高さの差Δｈ、を格納したメモリを有するコンピュータに、
前記形状測定装置の原点校正方法を実行させる
ことを特徴とする。

背景技術を説明するための図である。背景技術を説明するための図である。円筒形のワークＷの内径を測定する様子を示す図である。原点ゲージの斜視図である。原点ゲージの平面図である。原点ゲージの側面図である。原点校正の全体の手順を示すフローチャートである。内径測定姿勢の原点校正の手順を示すフローチャートである。内径測定姿勢の原点校正を行っている様子を示す図である。内径測定姿勢の原点校正を行っている様子を示す図である。

本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
第１実施形態に係る原点ゲージ３００を図４から図６に示す。
原点ゲージ３００は、台座部３１０と、第１基準球１００と、第２基準球２００と、を有する。

台座部３１０および第１基準球１００は、基本的には先行技術（例えば特許文献１：特許第４１６３５４５号）に開示されたものと等価であるので、詳しい説明は割愛する。
簡単にだけ説明しておく。
台座部３１０は、真円度測定装置１の回転テーブル４上に取り外し自在に設置されるものである。台座部３１０は、円板状であり、その真円度および円筒度は精密に仕上げられている。さらには、上面および下面も平坦面に仕上げられており、側面３１１に対して、上面および下面は垂直である。すなわち、この側面３１１を基準に原点ゲージ３００の心出しおよび水平出しを行えるようになっている。

台座部３１０の上部には第１基準球１００が配設されている。
第１基準球１００は、その中心点が台座部３１０の中心軸上に位置するように配置されている。すなわち、回転テーブル４上で台座部３１０の心出しを行うと、第１基準球１００の中心点は回転テーブル４の回転軸線上に位置するようになる。

なお、第１基準球１００の半径ｒ１は、既知であり、高い精度で保証されている。さらに、台座部３１０の上面３１２と第１基準球１００の中心点との間の距離ｈ１は既知であり、高い精度で保証されている。

台座部３１０の上面３１２に脚部１１０が立設され、脚部１１０から首部１２０が傾斜をもって突き出ている。すなわち、首部１２０は、台座部３１０の中心軸線に対して傾斜を有する。首部１２０の先端に第１基準球１００が取り付けられている。

ちなみに、傾斜を有する首部１２０で第１基準球１００を支持するのは、第１基準球１００の下面を開放し、第１基準球１００の下面も原点校正に利用するためである。

さて、本実施形態の特徴は、第２基準球２００を設けている点にある。
第２基準球２００は、台座部３１０の上部に配設されている。すなわち、台座部３１０の上面３１２において、外縁寄りに支柱２１０が立設され、支柱２１０の先端に第２基準球２００が配設されている。
第２基準球２００の半径ｒ２は、既知であり、高い精度で保証されている。さらに、第２基準球２００の中心点と第１基準球１００の中心点との相対位置関係は既知であり、高い精度で保証されている。

具体的には、台座部３１０の中心軸に沿う方向から見たとき（つまり図５の様に平面視したとき）、第２基準球２００の中心点と第１基準球１００の中心点との距離Ｌ０は既知であり、高い精度で保証されている。
言い換えると、水平方向において、第２基準球２００と第１基準球１００とは中心間距離Ｌ０が保証されている。

また、台座部３１０の上面３１２と第２基準球２００の中心点との間の距離ｈ２は既知であり、高い精度で保証されている。
台座部３１０の上面と第１基準球１００の中心点との間の距離ｈ１は既知であるので、結果として、第１基準球１００の中心点と第２基準球２００の中心点との間の高さ（Ｚ方向）の差Δｈ（＝ｈ１−ｈ２）は既知となる。

なお、第２基準球２００の高さＨ２はできる限り低くすることが好ましい。
図６に示すように、第１基準球１００の高さＨ１よりも第２基準球２００の高さＨ２を低くすることが好ましい。第２基準球２００の中心点の高さｈ２を正確に保証しなければならない都合上、第２基準球２００の高さＨ２を低くした方が管理しやすい。加えて、支柱２１０が短い方が線膨張も小さいというメリットもある。

また、先述のように、第１基準球１００の下面も原点校正に利用するので、第１基準球１００の下にプローブ１４が進入できるように、第１基準球１００はある程度の高さＨ１が必要である。その一方、第２基準球２００による校正は第２基準球２００の側面のみを用いるので、第２基準球２００の高さを高くする必要はない。むしろ、プローブ１４が第２基準球２００の頭を越えて第１基準球１００にアプローチする場合のことを考えると（図６中の矢印Ｂ）、第２基準球２００の高さはなるべく低い方がよい。

（校正手順）
原点ゲージ３００を用いた原点校正の手順を説明する。
図７は、原点校正の全体の手順を示すフローチャートである。
まず、原点ゲージ３００を回転テーブル４上に設置する（ＳＴ１００）。このとき、できる限り、台座部３１０の中心（すなわち第１基準球１００）が回転テーブル４の回転軸上にくるようにする。
そして、原点ゲージ３００の心出しおよび水平出しを行う（ＳＴ１２０）。すなわち、プローブ１４を外径測定姿勢にし（ＳＴ１１０）、台座部３１０の側面３１１を測定する。
これにより、原点ゲージ３００の偏心および傾斜がわかる。調整つまみ６Ａ、６Ｂを回してずれを直し、原点ゲージ３００の心出しおよび水平出しを正確に行っておく（ＳＴ１２０）。

そして、第１基準球１００により、外径測定姿勢の原点校正を行う（ＳＴ２００）。外径測定姿勢の原点校正（ＳＴ２００）そのものは先行技術（例えば特許文献１：特許第４１６３５４５号）に開示されたものと等価である。
簡単にだけ説明しておく。
外径測定姿勢のプローブ１４で第１基準球１００をＺ軸方向に走査する（例えば図１を参照されたい）。このとき、Ｘ方向変位が最大になる点（Ｚ２）が外径測定姿勢のＺ軸基準原点（Ｚ_０Ｏ）である。
そして、Ｚ軸基準原点（Ｚ_０Ｏ）の高さで第１基準球１００の表面を検出し、そのときのＸ座標値（Ｘ_ｒ１Ｏ）を取得する。このＸ座標値（Ｘ_ｒ１Ｏ）から第１基準球１００の半径（ｒ１）を減じると、外径測定姿勢のＸ軸基準原点（Ｘ_０Ｏ）となる。

外径測定姿勢の校正が終わったら、続いて、内径測定姿勢の校正である（ＳＴ４００）。
まずは、プローブ１４を１８０度回転させて内径測定姿勢にする（ＳＴ３００）。そして、第２基準球２００が測定範囲内にくるようにする。より具体的には、必要であれば回転テーブル４を回転させ、第２基準球２００がＸ軸線上（のプラス側）にくるようにする（図９参照）。

そして、第２基準球２００を用いて内径測定姿勢の原点校正を行う。図８は、内径測定姿勢の原点校正の手順を示すフローチャートである。

まず、第２基準球２００をＺ軸方向に走査する（ＳＴ４１０）（図９参照）。

ちなみに、水平方向での第２基準球２００と第１基準球１００との中心間距離Ｌ０も既知であるし、第１基準球１００の中心点と第２基準球２００の中心点との間の高さ（Ｚ方向）の差Δｈ（＝ｈ１−ｈ２）も既知である。したがって、第１基準球１００の位置が分かっていれば第２基準球２００の位置もほぼわかる。そこで、第２基準球２００の測定開始点は予めセットしておき、外径測定姿勢の原点校正の後、プローブ１４を第２基準球２００の測定開始点に自動的に移動させるようにすればよい。測定開始点までプローブ１４を移動させた後、第２基準球２００を自動サーチするようにすれば（Ｘ軸に沿ってプローブ１４を移動させれば）、プローブ１４は第２基準球２００を確実に探知することができる。

第２基準球２００をＺ軸方向に走査し、このとき、Ｘ方向変位が最大になる点（Ｚ２）をサーチする（ＳＴ４２０）。そして、内径測定姿勢のＺ軸原点（Ｚ_０Ｉ）を校正する（ＳＴ４３０）。
内径測定姿勢のＺ軸原点（Ｚ_０Ｉ）は、Ｚ_０Ｉ＝Ｚ２−ｈ２＋ｈ１、で校正される。

次は、内径測定姿勢のＸ軸原点を校正する。
先ほど取得したＸ方向変位が最大になる点（Ｚ２）に戻り、Ｚ＝Ｚ２で第２基準球２００を部分円測定する（図１０参照）。すなわち、回転テーブル４を回転させながら、Ｘ方向変位がピークになるテーブル角度θｐをサーチする（ＳＴ４５０）。

θｐを特定できたら、Ｚ＝Ｚ２を維持したまま、角度θｐで第２基準球２００の表面を検出し、Ｘ座標値Ｘ２を取得する（ＳＴ４６０）。そして、内径測定姿勢のＸ軸原点（Ｘ_０Ｉ）を校正する（ＳＴ４７０）。
内径測定姿勢のＸ軸原点（Ｘ_０Ｉ）は、Ｘ_０Ｉ＝Ｘ２＋ｒ２−Ｌ０、で校正される。

このような本実施形態によれば次の効果を奏する。
原点ゲージ３００は、第１基準球１００とは別に第２基準球２００を有している。第２基準球２００は真円度測定装置１の測定範囲内にあるので、第２基準球を用いて正確に内径測定姿勢の原点校正を行うことができる。つまり、回転テーブル４の回転軸を超えて無理にアーム１０を伸ばす必要はなくなるため、アーム１０のたわみなどの誤差要因を排除することができる。

（変形例１）
上記実施形態では、原点ゲージ３００は第１基準球１００と第２基準球２００との両方を有していたが、内径測定姿勢の校正を専用とする原点ゲージとするのであれば、第１基準球１００は無しにして、台座部３１０に第２基準球２００が設けられているだけのシンプルな構成であってもよい。
すでに従来タイプ（例えば図１）の原点ゲージを保有しているユーザにとっては、第１基準球１００と第２基準球２００との両方が付いた原点ゲージは、第１基準球の部分が冗長であるとも考えられる。
従来タイプ（例えば図１）の原点ゲージを外径測定姿勢および横姿勢の校正用とし、第２基準球２００だけを有するタイプの原点ゲージを内径測定姿勢の校正用とし、ワークに応じて使い分けてもよい。
第１実施形態のように第１基準球１００と第２基準球２００との両方があると、第１基準球の下面を用いた横姿勢の校正時に第２基準球をうまく避けなければならないという手間が少し生じる。この点、それぞれの専用ゲージとしておけば、前記のような手間は生じなくなる。

なお、第２基準球だけを有する原点ゲージを用いる場合、上記実施形態の説明を適宜読み替えて頂き、例えば、原点校正に必要な既知の値として、中心軸線から第２基準球２００の中心までの距離Ｌ０、台座部３１０の上面から第２基準球２００の中心までの高さｈ２、および、第２基準球２００の半径ｒ２、が分かっていればよい。

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
上記実施形態では、真円度測定装置の原点校正を例示したが、本発明は、回転テーブルを有する形状測定装置（例えば、輪郭測定機、表面粗さ測定機（表面性状測定機）など）の原点校正に広く適用できる。したがって、形状測定装置の測定対象は、外径／内径に限らず、ワークの外側面／内側面である。

原点ゲージの心出し／水平出し（ＳＴ１２０）もオートでできるのであるから、原点ゲージを回転テーブルにセット（ＳＴ１００）した後の校正手順はすべて校正プログラムとして自動化してしまってもよい。
ＳＴ１２０以降の校正手順を校正プログラムとし、原点ゲージのパラメータ（ｒ１、ｒ２、Δｈ、Ｌ０）をメモリに格納しておけば、コンピュータ（ホストコンピュータ）による自動制御で形状測定装置の原点校正を自動化できる。

この場合、校正プログラムの供給方法は限定されない。校正プログラムを記録した（不揮発性）記録媒体をコンピュータに直接差し込んでプログラムをインストールしてもよく、記録媒体の情報を読み取る読取装置をコンピュータに外付けし、この読取装置からコンピュータにプログラムをインストールしてもよく、インターネット、ＬＡＮケーブル、電話回線等の通信回線や無線によってコンピュータに供給されてもよい。

１…真円度測定装置、４…回転テーブル、８…Ｚコラム、１０…アーム、１４…プローブ、２３…原点ボール、
１００…第１基準球、１１０…脚部、１２０…首部、
２００…第２基準球、２１０…支柱、
３００…原点ゲージ、
３１０…台座部、３１１…側面、３１２…上面。

Claims

形状測定装置の原点校正方法であって、
前記形状測定装置は、
被測定物を載置するとともにＺ軸に平行な軸を回転軸として回転可能な回転テーブルと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸のうちのＸ軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、を備え、前記測定子は、外側測定姿勢と内側測定姿勢とを変更可能であって、
当該原点校正方法は、
円板形状の台座部と、前記台座部の上方且つ前記台座部の中心軸線からずれた位置に配設された基準球とを備えた原点ゲージを前記回転テーブル上に載置し、
前記原点ゲージの心出しおよび水平出しを行い、
前記測定子を前記内側測定姿勢とし、
前記Ｘ軸線上であって前記回転テーブルの回転軸よりも前記座標測定部に近い側に前記基準球がくるように前記回転テーブルを回転させ、
前記測定子で前記基準球をＺ方向に走査し、
前記測定子のＸ方向変位が最大になるときのＺ座標値Ｚ２を取得し、
このＺ座標値Ｚ２を参照してＺ軸原点を校正する
ことを特徴とする形状測定装置の原点校正方法。
請求項１に記載の形状測定装置の原点校正方法において、
前記測定子のＸ方向変位が最大になる前記Ｚ座標値Ｚ２の高さで前記測定子を一定として前記回転テーブルを回転させながら前記基準球の表面を検出し、
前記測定子のＸ方向変位が最大になるときの前記回転テーブルの角度θｐを特定し、
前記回転テーブルの角度がθｐのときの前記基準球の表面のＸ座標値Ｘ２を取得し、
このＸ座標値Ｘ２を参照してＸ軸原点を校正する
ことを特徴とする形状測定装置の原点校正方法。
形状測定装置の原点を校正するための原点ゲージであって、
台座部と、
前記台座部の上方に配設された第１基準球と、
前記台座部の上方に配設された第２基準球と、有し、
前記台座部は円板形状であって、この台座部の中心軸上に前記第１基準球の中心があり、
前記第２基準球の中心は、前記台座部の中心軸からずれた位置にあり、かつ、前記第１基準球の中心点と前記第２基準球の中心点との相対位置関係が既知である
ことを特徴とする原点ゲージ。
請求項３に記載の原点ゲージにおいて、
前記第１基準球と前記第２基準球とを前記台座部の中心軸線に直交する仮想面に投影したとき、第１基準球と第２基準球とは中心間距離Ｌ０が既知である
ことを特徴とする原点ゲージ。
請求項３または請求項４に記載の原点ゲージにおいて、
前記第１基準球と前記第２基準球とを前記台座部の中心軸線上に投影したとき、前記第１基準球の中心と前記第２基準球の中心との高さの差Δｈは既知である
ことを特徴とする原点ゲージ。
請求項３から請求項５のいずれかに記載の原点ゲージにおいて、
前記第２基準球は、前記台座部の外縁寄りに配設されている
ことを特徴とする原点ゲージ。
請求項３から請求項６のいずれかに記載の原点ゲージにおいて、
前記第２基準球の高さは、前記第１基準球の高さよりも低い
ことを特徴とする原点ゲージ。
請求項３から請求項７のいずれかに記載の原点ゲージにおいて、
校正対象となる前記形状測定装置は、
被測定物を載置するとともにＺ軸に平行な軸を回転軸として回転可能な回転テーブルと、
被測定物を検出する測定子を有し、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸のうちのＸ軸に平行な方向に前記測定子を進退させて、前記測定子により前記被測定物表面に沿った倣い測定を実行する座標測定部と、を備え、前記測定子は、外側測定姿勢と内側測定姿勢とを変更可能であって、
前記第１基準球は、前記外側測定姿勢の校正用であり、
前記第２基準球は、前記内側測定姿勢の校正用である
ことを特徴とする原点ゲージ。
請求項３から請求項８のいずれかに記載の原点ゲージを用いて形状測定装置の原点を校正する形状測定装置の原点校正方法であって、
前記測定子を外径測定姿勢にして前記第１基準球を測定した結果に基づいて外径測定姿勢の原点を校正し、
前記測定子を内径測定姿勢にして前記第２基準球を測定した結果に基づいて内径測定姿勢の原点を校正する
ことを特徴とする形状測定装置の原点校正方法。
請求項９に記載の形状測定装置の原点校正方法において、
前記内径測定姿勢の原点は、
前記測定子を内径測定姿勢にして前記第２基準球を測定した結果と、前記第１基準球の中心点と前記第２基準球の中心点との前記相対位置関係と、を用いて校正される
ことを特徴とする形状測定装置の原点校正方法。
前記原点ゲージのパラメータとして、
前記第１基準球の半径ｒ１、
前記第２基準球の半径ｒ２、
前記第１基準球と前記第２基準球とを前記台座部の中心軸線に直交する仮想面に投影したときの第１基準球と第２基準球との中心間距離Ｌ０、および、
前記第１基準球の中心と前記第２基準球の中心との高さの差Δｈ、を格納したメモリを有するコンピュータに、
請求項９または請求項１０に記載の形状測定装置の原点校正方法を実行させる原点校正プログラム。