JP4996116B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
L1・・・・測定光
L2・・・・検出光
M・・・・・迷光
M1・・・・回折光
M2・・・・散乱光
S・・・・・測定対象(サンプル)
Sa・・・・測定表面(ガラス面)
Sb・・・・測定表面(ペリクル面)
Sc・・・・パターン面
4・・・・・遮光筒
21・・・・光源(レーザ光源)
23・・・・光走査部
32・・・・光検出器
41・・・・遮光筒本体
42・・・・遮光板
410・・・遮光側壁
Claims (5)
- 測定表面及びこの測定表面に平行なパターン面を有する測定対象に対して測定光を照射する光源と、
前記測定光を前記測定対象に対して走査する光走査部と、
前記光走査部で走査された測定光を前記測定対象に照射した際に、前記測定表面から回折及び/または散乱する光を検出光として集光する集光レンズ系と、
前記集光レンズによって集光された前記検出光を検出し且つ前記パターン面からの回折光及び/または散乱光が焦点を結ばない位置に配して成る光検出器と、
前記測定対象と前記光検出器との間に配され、遮光側壁で囲まれた内部空間を有する中空の遮光筒本体と、前記遮光側壁から前記遮光筒本体の中心に向けて突出させた1又は複数の遮光板とを備えた遮光筒とを具備し、
前記測定表面から入射した前記測定光が前記パターン面に到達するときに発生する回折光及び/または散乱光のうち、前記測定光が前記パターン面に到達した点と前記遮光筒の入口とで規定される空間を通り、前記遮光筒内に進入する光が、前記集光レンズ系に到達することを少なくとも防止するように前記遮光板が設けられていることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記遮光筒の少なくとも一部が、前記測定対象近傍に位置付けられていることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
- 前記遮光筒が、前記測定対象近傍から前記光検出器にかけて連続的に伸びるものであることを特徴とする請求項2記載の欠陥検査装置。
- 前記遮光筒が、前記測定対象側で先窄み形状を有していることを特徴とする請求項1乃至3いずれか記載の欠陥検査装置。
- 前記遮光筒が、遮光側壁で囲まれた内部空間を有する中空の遮光筒本体と、前記遮光側壁から前記遮光筒本体の中心に向けて前記検出光の進行を遮らない位置まで突出させた1または複数の遮光板とを具備して成ることを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の欠陥検査装置。
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