JPH07229789A - 赤外線検出装置 - Google Patents
赤外線検出装置Info
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- JPH07229789A JPH07229789A JP6020191A JP2019194A JPH07229789A JP H07229789 A JPH07229789 A JP H07229789A JP 6020191 A JP6020191 A JP 6020191A JP 2019194 A JP2019194 A JP 2019194A JP H07229789 A JPH07229789 A JP H07229789A
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- NMFHJNAPXOMSRX-PUPDPRJKSA-N [(1r)-3-(3,4-dimethoxyphenyl)-1-[3-(2-morpholin-4-ylethoxy)phenyl]propyl] (2s)-1-[(2s)-2-(3,4,5-trimethoxyphenyl)butanoyl]piperidine-2-carboxylate Chemical compound C([C@@H](OC(=O)[C@@H]1CCCCN1C(=O)[C@@H](CC)C=1C=C(OC)C(OC)=C(OC)C=1)C=1C=C(OCCN2CCOCC2)C=CC=1)CC1=CC=C(OC)C(OC)=C1 NMFHJNAPXOMSRX-PUPDPRJKSA-N 0.000 description 2
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Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コールドシールド内壁での反射により生じる
有害光の低減。 【構成】 赤外線検出装置は、物体からの赤外線を集光
し物体の赤外像を形成する対物光学系（１４）と、赤外
像形成位置に配置され赤外像を光電変換する撮像素子
（１１）とを有する。そして、対物光学系と光電変換素
子との間の光路中には、光電変換素子側に底を持つ部分
錐体形状の内壁を持つコールドシールド（１６）が配置
される。
有害光の低減。 【構成】 赤外線検出装置は、物体からの赤外線を集光
し物体の赤外像を形成する対物光学系（１４）と、赤外
像形成位置に配置され赤外像を光電変換する撮像素子
（１１）とを有する。そして、対物光学系と光電変換素
子との間の光路中には、光電変換素子側に底を持つ部分
錐体形状の内壁を持つコールドシールド（１６）が配置
される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物体の赤外像を検出す
るための赤外線検出装置に関する。
るための赤外線検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の赤外線検出装置としては、例えば
図６に示すものが知られている。図６において、赤外線
透過材料で構成される対物レンズ２４は、図示なき物体
からの赤外線を集光して、物体の赤外像を形成する。こ
の赤外像形成位置には、例えば２次元ＣＣＤなどから構
成される撮像素子２１が配置されており、物体の赤外像
を光電変換する。この撮像素子２１は、内部がほぼ真空
状態に維持されたデュワ２２内に設けられており、対物
レンズ２４を介した赤外光は、デュワ窓２３を介して撮
像素子２１へ達する。
図６に示すものが知られている。図６において、赤外線
透過材料で構成される対物レンズ２４は、図示なき物体
からの赤外線を集光して、物体の赤外像を形成する。こ
の赤外像形成位置には、例えば２次元ＣＣＤなどから構
成される撮像素子２１が配置されており、物体の赤外像
を光電変換する。この撮像素子２１は、内部がほぼ真空
状態に維持されたデュワ２２内に設けられており、対物
レンズ２４を介した赤外光は、デュワ窓２３を介して撮
像素子２１へ達する。
【０００３】また、デュワ２２の内部には、鏡筒２５の
側壁などの物体以外からの構造物からの熱放射（赤外
線）を撮像素子２１へ入射させないため、コールドシー
ルド２６が設けられている。ここで、撮像素子２１とコ
ールドシールド２６とは、共に図示なき冷却器によって
冷却されている。そして、従来の赤外線検出装置におけ
るコールドシールド２６は、柱体形状の内壁、すなわち
対物レンズ２４の光軸を法線とする面に沿った開口と光
軸と平行な方向に延びた内壁とを持つように構成されて
いる。
側壁などの物体以外からの構造物からの熱放射（赤外
線）を撮像素子２１へ入射させないため、コールドシー
ルド２６が設けられている。ここで、撮像素子２１とコ
ールドシールド２６とは、共に図示なき冷却器によって
冷却されている。そして、従来の赤外線検出装置におけ
るコールドシールド２６は、柱体形状の内壁、すなわち
対物レンズ２４の光軸を法線とする面に沿った開口と光
軸と平行な方向に延びた内壁とを持つように構成されて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
示す如き従来の赤外線検出装置においては、図中破線で
示す如く、鏡筒２５からの熱（赤外線）がコールドシー
ルド２６の内壁にて反射され、撮像素子２１上に達し、
有害光となる問題点が生じる。このとき、撮像素子２１
上では、対物レンズ２４により形成される物体像に有害
光が混入するため、良好な像を得ることができない。
示す如き従来の赤外線検出装置においては、図中破線で
示す如く、鏡筒２５からの熱（赤外線）がコールドシー
ルド２６の内壁にて反射され、撮像素子２１上に達し、
有害光となる問題点が生じる。このとき、撮像素子２１
上では、対物レンズ２４により形成される物体像に有害
光が混入するため、良好な像を得ることができない。
【０００５】そこで、本発明は、コールドシールド内壁
での反射により生じる有害光を低減させることを目的と
する。
での反射により生じる有害光を低減させることを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明による赤外線検出装置は、例えば図１に示
す如く、物体側から順に、物体からの赤外線を集光し物
体の赤外像を形成する対物光学系（１４）と、赤外像の
形成位置に配置され赤外像を光電変換する撮像素子（１
１）とを有する赤外線検出装置であって、対物光学系と
撮像素子との間の光路中には、撮像素子側に底を持つ部
分錐体形状の内壁を持つコールドシールド（１６）が配
置されるように構成される。
めに、本発明による赤外線検出装置は、例えば図１に示
す如く、物体側から順に、物体からの赤外線を集光し物
体の赤外像を形成する対物光学系（１４）と、赤外像の
形成位置に配置され赤外像を光電変換する撮像素子（１
１）とを有する赤外線検出装置であって、対物光学系と
撮像素子との間の光路中には、撮像素子側に底を持つ部
分錐体形状の内壁を持つコールドシールド（１６）が配
置されるように構成される。
【０００７】尚、本発明でいう部分錐体とは、錐体（例
えば円錐、角錐など）の一部分を指す。
えば円錐、角錐など）の一部分を指す。
【０００８】
【作用】上述の構成の如き本発明においては、鏡筒から
放射される赤外線または鏡筒にて反射される赤外線がコ
ールドシールドの内壁にて反射された場合、この内壁に
て反射される赤外線は、撮像素子の撮像面の領域外へ向
けられる。従って、撮像素子上に達する有害光が減少
し、良好な状態のもとで物体の赤外像を得ることが可能
となる。
放射される赤外線または鏡筒にて反射される赤外線がコ
ールドシールドの内壁にて反射された場合、この内壁に
て反射される赤外線は、撮像素子の撮像面の領域外へ向
けられる。従って、撮像素子上に達する有害光が減少
し、良好な状態のもとで物体の赤外像を得ることが可能
となる。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して本発明による実施例を
説明する。図１は、本実施例による赤外線検出装置を模
式的に示す図である。図１において、図示なき物体から
の赤外光は、レンズ鏡筒１５により保持された対物レン
ズ１４を介して、例えば２次元ＣＣＤなどの光電変換素
子で構成された撮像素子１１に入射する。この撮像素子
１１を冷却するために、撮像素子１１の周囲には、内部
がほぼ真空に維持されたデュワ１２が設けられている。
デュワ１２の対物レンズ１４側には、赤外光を透過させ
るデュワ窓１３が設けられている。また、撮像素子１１
の後側には、図示なき冷却器が設けられており、撮像素
子１１とデュワ１２内とを例えば７７Ｋ程度の低温状態
に保つ。なお、この冷却器としては、例えばジュールト
ムソン冷却器などを適用することができる。
説明する。図１は、本実施例による赤外線検出装置を模
式的に示す図である。図１において、図示なき物体から
の赤外光は、レンズ鏡筒１５により保持された対物レン
ズ１４を介して、例えば２次元ＣＣＤなどの光電変換素
子で構成された撮像素子１１に入射する。この撮像素子
１１を冷却するために、撮像素子１１の周囲には、内部
がほぼ真空に維持されたデュワ１２が設けられている。
デュワ１２の対物レンズ１４側には、赤外光を透過させ
るデュワ窓１３が設けられている。また、撮像素子１１
の後側には、図示なき冷却器が設けられており、撮像素
子１１とデュワ１２内とを例えば７７Ｋ程度の低温状態
に保つ。なお、この冷却器としては、例えばジュールト
ムソン冷却器などを適用することができる。
【００１０】また、デュワ１２の内部には、撮像素子１
１側に底を持つ部分錐体（錐体の一部分）形状の内壁１
６ａを持つコールドシールド１６が設けられている。こ
こで、部分錐体形状の内壁１６ａにおける錐体の頂点
は、光軸と一致するように設けられる。このコールドシ
ールド１６は、所定の口径を有する開口部を有してお
り、この開口部は、対物レンズ１４の射出瞳と合致す
る。これにより、レンズ鏡筒１５の内壁１５ａが撮像素
子１１の視野外となるため、レンズ鏡筒１５の内壁１５
ａから放射される赤外線は、直接に撮像素子１１へ達す
ることはない。尚、コールドシールド１６も上記の冷却
器によって低温状態に維持されている。
１側に底を持つ部分錐体（錐体の一部分）形状の内壁１
６ａを持つコールドシールド１６が設けられている。こ
こで、部分錐体形状の内壁１６ａにおける錐体の頂点
は、光軸と一致するように設けられる。このコールドシ
ールド１６は、所定の口径を有する開口部を有してお
り、この開口部は、対物レンズ１４の射出瞳と合致す
る。これにより、レンズ鏡筒１５の内壁１５ａが撮像素
子１１の視野外となるため、レンズ鏡筒１５の内壁１５
ａから放射される赤外線は、直接に撮像素子１１へ達す
ることはない。尚、コールドシールド１６も上記の冷却
器によって低温状態に維持されている。
【００１１】ここで、レンズ鏡筒１５の内壁１５ａから
放射される赤外線１７を考える。ここで、赤外線１７
は、デュワ窓１３の最も外側の位置とコールドシールド
１６の開口部の端部とを結ぶ直線上に沿って入射する赤
外線のうち、内壁１５ａの最もコールドシールド１６側
から放射される赤外線である。図中実線にて示す如く、
赤外線１７は、デュワ窓１３を透過した後、コールドシ
ールド１６の内壁１６ａにて反射され、撮像素子１１側
に向かう。本実施例においては、内壁１６ａが撮像素子
１１側に底を持つ部分錐体形状であるため、この内壁１
６ａにて反射される赤外線は、コールドシールド１６に
おける撮像素子１１が設けられている底面内の撮像素子
１１の領域外へ向かう。尚、本実施例におけるコールド
シールド１６は、部分錐体の頂点が光軸と一致するよう
に設けられる。
放射される赤外線１７を考える。ここで、赤外線１７
は、デュワ窓１３の最も外側の位置とコールドシールド
１６の開口部の端部とを結ぶ直線上に沿って入射する赤
外線のうち、内壁１５ａの最もコールドシールド１６側
から放射される赤外線である。図中実線にて示す如く、
赤外線１７は、デュワ窓１３を透過した後、コールドシ
ールド１６の内壁１６ａにて反射され、撮像素子１１側
に向かう。本実施例においては、内壁１６ａが撮像素子
１１側に底を持つ部分錐体形状であるため、この内壁１
６ａにて反射される赤外線は、コールドシールド１６に
おける撮像素子１１が設けられている底面内の撮像素子
１１の領域外へ向かう。尚、本実施例におけるコールド
シールド１６は、部分錐体の頂点が光軸と一致するよう
に設けられる。
【００１２】以下、図２を参照して詳述する。図２は、
図１の赤外線検出装置におけるコールドシールド１６近
傍を拡大して示す図である。図２において、デュワ窓１
３の有効径をａ0 、コールドシールド１６の開口部の径
をａ、デュワ窓１３の物体側面とコールドシールド１６
の開口部との間隔をＩ0 とするとき、光軸を法線とする
面と赤外線１７とのなす角θは、
図１の赤外線検出装置におけるコールドシールド１６近
傍を拡大して示す図である。図２において、デュワ窓１
３の有効径をａ0 、コールドシールド１６の開口部の径
をａ、デュワ窓１３の物体側面とコールドシールド１６
の開口部との間隔をＩ0 とするとき、光軸を法線とする
面と赤外線１７とのなす角θは、
【００１３】
【数１】
【００１４】で表される。ここで、コールドシールド１
６の内壁１６ａと光軸とのなす角度β、すなわち内壁１
６ａのテーパー角βと仮定すると、赤外線１７が内壁１
６ａに入射する入射角は、θ＋βとなる。このとき、内
壁１６ａにて反射された赤外線の反射角をαとすると、
６の内壁１６ａと光軸とのなす角度β、すなわち内壁１
６ａのテーパー角βと仮定すると、赤外線１７が内壁１
６ａに入射する入射角は、θ＋βとなる。このとき、内
壁１６ａにて反射された赤外線の反射角をαとすると、
【００１５】
【数２】
【００１６】となる。また、内壁１６ａにおける赤外線
１７が達する点と撮像素子１１における物体像形成位置
との間隔をｄ、コールドシールド１６の開口部と撮像素
子１１における物体像形成位置との間隔をＩ、内壁１６
ａにおける赤外線１７が達する点とコールドシールド１
６の開口部の端部との光軸垂直方向における距離をｈと
するとき、
１７が達する点と撮像素子１１における物体像形成位置
との間隔をｄ、コールドシールド１６の開口部と撮像素
子１１における物体像形成位置との間隔をＩ、内壁１６
ａにおける赤外線１７が達する点とコールドシールド１
６の開口部の端部との光軸垂直方向における距離をｈと
するとき、
【００１７】
【数３】
【００１８】の関係がある。次に、内壁１６ａにおける
赤外線１７が達する点と撮像素子１１の端部との光軸垂
直方向における距離ｈ0 は、
赤外線１７が達する点と撮像素子１１の端部との光軸垂
直方向における距離ｈ0 は、
【００１９】
【数４】
【００２０】で示される。上述の（１）式〜（４）式よ
り、コールドシールド１６の開口部の端部とコールドシ
ールド１６の物体側の外径との距離をｃ、コールドシー
ルド１６の底面の径をＨとするとき、テーパー角βは、
り、コールドシールド１６の開口部の端部とコールドシ
ールド１６の物体側の外径との距離をｃ、コールドシー
ルド１６の底面の径をＨとするとき、テーパー角βは、
【００２１】
【数５】
【００２２】で表される。すなわち、テーパー角βが上
記（５）式で表される場合には、デュワ窓１３の最も外
側の位置とコールドシールド１６の開口部の端部とを結
ぶ直線上に沿って入射する赤外線１７は、コールドシー
ルド１６の内壁１６ａにて反射され、撮像素子１１の端
部に入射する。コールドシールド１６の内壁１６ａのテ
ーパー角が上記（５）式で規定される角度よりも大きく
なる場合には、内壁１６ａにて反射される赤外線１７
は、コールドシールド１６の底面における撮像素子１１
の外へ達し、有害光とはならない。
記（５）式で表される場合には、デュワ窓１３の最も外
側の位置とコールドシールド１６の開口部の端部とを結
ぶ直線上に沿って入射する赤外線１７は、コールドシー
ルド１６の内壁１６ａにて反射され、撮像素子１１の端
部に入射する。コールドシールド１６の内壁１６ａのテ
ーパー角が上記（５）式で規定される角度よりも大きく
なる場合には、内壁１６ａにて反射される赤外線１７
は、コールドシールド１６の底面における撮像素子１１
の外へ達し、有害光とはならない。
【００２３】ここで、コールドシールド１６の内壁１６
ａと光軸とのなす角度β’は、
ａと光軸とのなす角度β’は、
【００２４】
【数６】
【００２５】を満足することが望ましい。テーパー角
β’が上記（６）式の上限を越える場合には、（５）式
にて規定される角度βよりもテーパー角β’が小さくな
り、内壁１６ａにて反射される赤外線１７が撮像素子１
１の検出面上に達するため好ましくない。また、テーパ
ー角β’が上記（６）式の下限を越える場合には、有害
光を良好に除去できないため好ましくない。
β’が上記（６）式の上限を越える場合には、（５）式
にて規定される角度βよりもテーパー角β’が小さくな
り、内壁１６ａにて反射される赤外線１７が撮像素子１
１の検出面上に達するため好ましくない。また、テーパ
ー角β’が上記（６）式の下限を越える場合には、有害
光を良好に除去できないため好ましくない。
【００２６】なお、デュワ窓１３と撮像素子１１の検出
面との距離が短くなればなるほど、有害光除去の効果が
増す。次に、図３を参照して具体的な数値例を示す。図
３に示す如く、デュワ窓１３の有効径ａ0 ＝３０mm、コ
ールドシールド１６の開口部の径ａ＝１５mm、デュワ窓
１３の物体側面とコールドシールド１６の開口部との間
隔Ｉ0 ＝３mm、コールドシールド１６の開口部と撮像素
子１１における物体像形成位置との間隔Ｉ＝２０mmであ
る場合には、上記（１）式より、θ＝２２°が求められ
る。このとき、コールドシールド１６の開口部の端部と
コールドシールド１６の物体側の外径との距離ｃ＝１．
６mm、コールドシールド１６の底面の径Ｈ＝２５．９mm
であれば、上記（５）式より、β＝１４°となる。従っ
て、コールドシールド１６の諸元が上述の値で示される
場合には、コールドシールドのテーパー角β’は、９０
°＞β’＞１４°を満足すれば有害光の影響を低減する
ことができる。
面との距離が短くなればなるほど、有害光除去の効果が
増す。次に、図３を参照して具体的な数値例を示す。図
３に示す如く、デュワ窓１３の有効径ａ0 ＝３０mm、コ
ールドシールド１６の開口部の径ａ＝１５mm、デュワ窓
１３の物体側面とコールドシールド１６の開口部との間
隔Ｉ0 ＝３mm、コールドシールド１６の開口部と撮像素
子１１における物体像形成位置との間隔Ｉ＝２０mmであ
る場合には、上記（１）式より、θ＝２２°が求められ
る。このとき、コールドシールド１６の開口部の端部と
コールドシールド１６の物体側の外径との距離ｃ＝１．
６mm、コールドシールド１６の底面の径Ｈ＝２５．９mm
であれば、上記（５）式より、β＝１４°となる。従っ
て、コールドシールド１６の諸元が上述の値で示される
場合には、コールドシールドのテーパー角β’は、９０
°＞β’＞１４°を満足すれば有害光の影響を低減する
ことができる。
【００２７】なお、コールドシールド１６の開口部が円
形でない場合、コールドシールド１６の内壁のテーパー
角β’は、光軸を通る複数の断面ごとに算出すれば良
い。また、図４に示す如く、コールドシールド３６の内
部に、光軸を法線とする面に沿って、遮光壁３６ｂを設
けても良い。この構成によれば、有害光を低減させる効
果がさらに増す利点がある。尚、この場合にも、コール
ドシールド３６の内壁３６ａのテーパー角β’は、上記
（５）及び（６）式を満足することが望ましい。
形でない場合、コールドシールド１６の内壁のテーパー
角β’は、光軸を通る複数の断面ごとに算出すれば良
い。また、図４に示す如く、コールドシールド３６の内
部に、光軸を法線とする面に沿って、遮光壁３６ｂを設
けても良い。この構成によれば、有害光を低減させる効
果がさらに増す利点がある。尚、この場合にも、コール
ドシールド３６の内壁３６ａのテーパー角β’は、上記
（５）及び（６）式を満足することが望ましい。
【００２８】なお、図５に示す如く、コールドシールド
４６は、撮像素子１１側に底を持つ部分錐体形状の内壁
４６ａを複数設ける構成であっても良い。図５に示す構
成によれば、図１に示すコールドシールド１６よりも小
型化を図ることができる。このように複数の内壁１６ｃ
を設ける場合でも、内壁１６ｃのテーパー角β’は、上
記（５）及び（６）式を満足することが望ましい。
４６は、撮像素子１１側に底を持つ部分錐体形状の内壁
４６ａを複数設ける構成であっても良い。図５に示す構
成によれば、図１に示すコールドシールド１６よりも小
型化を図ることができる。このように複数の内壁１６ｃ
を設ける場合でも、内壁１６ｃのテーパー角β’は、上
記（５）及び（６）式を満足することが望ましい。
【００２９】また、上述の実施例における撮像素子１１
は、２次元ＣＣＤに限られず、１次元ラインセンサなど
の適用が可能である。また、冷却器としては、ジュール
トムソン型のものに限られず、液体窒素を用いる冷却器
でも良い。このように本発明は、上述の実施例に限定さ
れず種々の構成を取り得る。
は、２次元ＣＣＤに限られず、１次元ラインセンサなど
の適用が可能である。また、冷却器としては、ジュール
トムソン型のものに限られず、液体窒素を用いる冷却器
でも良い。このように本発明は、上述の実施例に限定さ
れず種々の構成を取り得る。
【００３０】
【発明の効果】このように本発明によれば、コールドシ
ールド内壁での反射により生じる有害光を低減させるこ
とができる。
ールド内壁での反射により生じる有害光を低減させるこ
とができる。
【図１】本発明による実施例の構成を示す模式図であ
る。
る。
【図２】実施例の要部拡大図である。
【図３】実施例における数値例の図である。
【図４】実施例の変形例を示す模式図である。
【図５】実施例の変形例を示す模式図である。
【図６】従来の赤外線撮像装置を示す図である。
１１ … 撮像素子 １２ … デュワ １３ … デュワ窓 １４ … 対物レンズ １５ … 鏡筒 １６ … コールドシールド
Claims (4)
- 【請求項１】物体側から順に、該物体からの赤外線を集
光し前記物体の赤外像を形成する対物光学系と、前記赤
外像の形成位置に配置され前記赤外像を光電変換する撮
像素子とを有する赤外線検出装置において、 前記対物光学系と前記撮像素子との間の光路中には、前
記撮像素子側に底を持つ部分錐体形状の内壁を持つコー
ルドシールドが配置されることを特徴とする赤外線検出
装置。 - 【請求項２】前記部分錐体形状の内壁は、前記コールド
シールドの内壁に連続的に形成されることを特徴とする
請求項１に記載の赤外線検出装置。 - 【請求項３】前記コールドシールドは、複数の前記部分
錐体形状の内壁を有することを特徴とする請求項１に記
載の赤外線検出装置。 - 【請求項４】前記対物光学系の光軸と前記内壁との傾き
角をβ’とするとき、以下の条件式を満足することを特
徴とする請求項２または３に記載の赤外線検出装置。 π／２ ＞ β’ ＞ β ただし、βは、前記コールドシールドの前記撮像素子側
の径をＨ、前記コールドシールドの開口部の内径をａ、
前記コールドシールドの前記対物光学系側の径をＣ、前
記対物光学系と前記コールドシールドの開口部との間隔
をＩとするとき、以下の式にて示される。 β＝ｔａｎ-1｛Ｈ−（ａ＋２Ｃ）｝／２Ｉ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6020191A JPH07229789A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 赤外線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6020191A JPH07229789A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 赤外線検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07229789A true JPH07229789A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=12020292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6020191A Pending JPH07229789A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 赤外線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07229789A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007255949A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Horiba Ltd | 欠陥検査装置 |
| CN105486411A (zh) * | 2015-11-20 | 2016-04-13 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种红外探测器用一体冷屏成型方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06273225A (ja) * | 1993-03-17 | 1994-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | コールドシールド |
| JPH06347321A (ja) * | 1993-06-11 | 1994-12-22 | Fujitsu Ltd | 赤外線センサ用コールドシールド |
-
1994
- 1994-02-17 JP JP6020191A patent/JPH07229789A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06273225A (ja) * | 1993-03-17 | 1994-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | コールドシールド |
| JPH06347321A (ja) * | 1993-06-11 | 1994-12-22 | Fujitsu Ltd | 赤外線センサ用コールドシールド |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007255949A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Horiba Ltd | 欠陥検査装置 |
| CN105486411A (zh) * | 2015-11-20 | 2016-04-13 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种红外探测器用一体冷屏成型方法 |
| CN105486411B (zh) * | 2015-11-20 | 2018-07-17 | 中国电子科技集团公司第十一研究所 | 一种红外探测器用一体冷屏成型方法 |
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