JP2007024783A - 粒度分布測定装置 - Google Patents
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Abstract
空間的に粒度分布が異なるサンプルに対してレーザ光進行方向と直交する1次元あるいは2次元方向内で複数の測定を行う必要がある場合のサンプル照射領域の移動または走査のための構造を簡易化することにより、高速走査を可能とし、製造コスト、測定時間、保守管理工数を改善する。
【解決手段】
Xミラー11およびYミラー12の両者をX方向に移動または走査させるためのX走査駆動台および、X走査駆動台上のYミラー12のみをY方向に移動または走査させるためのY走査駆動台を内蔵した照射領域移動ユニットMにレーザ光源部1Nからレーザ光を入射し、サンプル5のX、Y平面領域内の照射位置を移動または走査させる。
【選択図】 図1
Description
1N、1R レーザ光源部
2 集光レンズ
3 空間フィルタ
4 コリメータレンズ
5 サンプル
6 集光レンズ
7 前方集光センサ
8 側方センサ
9 後方センサ
11 Xミラー
12 Yミラー
13 ガルバノミラー
14 コリメータレンズ
M 照射領域移動ユニット
Q 照射領域移動ユニット
R 照射領域移動ユニット
Claims (5)
- 被測定粒子群を含む試料にレーザ光を照射することによって得られる回折・散乱光の空間強度分布を検出部で検出し、その検出結果を用いて被測定粒子群の粒度分布を演算する粒度分布測定装置であって、前記試料および検出部を固定した状態で、前記試料に対するレーザ光の照射領域をレーザ光の進行方向と直交する方向に1次元的あるいは2次元的に移動させる照射領域移動手段を備えることを特徴とする粒度分布測定装置。
- 請求項1に記載の粒度分布測定装置であって、前記照射領域移動手段は前記レーザ光を反射して光路を変更するミラーを移動させる移動手段であることを特徴とする粒度分布測定装置。
- 請求項1に記載の粒度分布測定装置であって、前記照射領域移動手段は前記レーザ光を発生するレーザ光源を移動させる移動手段であることを特徴とする粒度分布測定装置。
- 請求項1から3に記載の粒度分布測定装置であって、前記照射領域移動手段によってレーザ光の照射領域を移動させて得られたそれぞれの散乱光の空間強度分布から、照射領域ごとの被測定粒子群の粒度分布を演算することを特徴とする粒度分布測定装置。
- 請求項1から3に記載の粒度分布測定装置であって、前記照射領域移動手段によってレーザ光の照射領域を移動させて得られたそれぞれの散乱光の空間強度分布を積算または平均した空間強度分布から照射領域全体の被測定粒子群の粒度分布を演算することを特徴とする粒度分布測定装置。
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