JP4995150B2 - インクジェット記録ヘッド基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 - Google Patents

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Description

本発明はインクジェット記録ヘッド基板及びその基板を用いた記録ヘッドと記録装置に関する。特にインクを吐出するために必要な熱エネルギを発生する電気熱変換素子とそれを駆動するための駆動回路を同一の基板上に形成したインクジェット記録ヘッド基板及びその基板を用いた記録ヘッド、記録装置に関するものである。
一般に、インクジェット方式に従う記録装置に搭載される記録ヘッドの電気熱変換素子(ヒータ)とその駆動回路は、例えば特許文献1に示されているように半導体プロセス技術を用いて同一基板上に形成されている。この一形態として、インク供給口が基板の中央付近にあり、これを挟んだ位置にヒータが相対する記録ヘッドの構成が提案されている。
図1はこの種のインクジェット記録ヘッド用基板(素子基板)110の回路ブロックとインク供給口を模式的に示す図である。
図1は、半導体で構成されるこの素子基板110にインク供給口111を6個形成したものである。ここでは便宜上、左側のインク供給口の1つについてのみ回路ブロックを図示し、他の5個のインク供給口に対応する回路ブロック図は省略している。インク供給口に対応した回路ブロック内には、インク供給口を挟んで対向する位置にヒータ112をアレイ状に配置している。このヒータを選択駆動する回路ブロックが、ヒータに対応して配置されている。またこれらのヒータや回路ブロックへの電源や信号の印加を行うパッド114が半導体基板の端部に配置されている。
図2に図1の駆動回路113の回路構成と信号の流れを模式的に示す。
パッド201に印加される画像データなどを含んだデータは、入力回路201を介して内部回路を構成するシフトレジスタ204やデコーダ205へと接続される。ここで示した例では、入力されるデータはシリアルデータとして印加され、そのシリアルデータをシフトレジスタ204でパラレル変換しているものである。パラレル変換されたデータの中の画像データはラッチ(不図示)を介して複数配置されたヒータ駆動ブロック206へと入力される。そして前記シフトレジスタ204はヒータ駆動ブロックの有効・無効を選択するブロック選択回路としての機能を持つ。また、画像データを受取るヒータ駆動ブロックを8個配置している。またパラレル変換されたデータの別の一部は、隣接配置されたデコーダ205へと供給される。デコーダ205は、ヒータ駆動ブロック内で駆動するヒータを順次切替える時分割選択信号を出力する時分割選択回路202としての機能を持つ。
図3にヒータ駆動ブロック内の回路図を示す。
ヒータ駆動ブロック300はアレイ状に配置されたヒータ306に対応して配置される、ヒータ駆動用MOSトランジスタ305、レベル変換回路304、ヒータ選択回路305からなる。ヒータ電源配線には外部から供給されるヒータ電源電圧(第1電源電圧)が印加されている。ここでヒータ駆動用MOSトランジスタ305はヒータに電流を通電するかどうかのスイッチとしての機能を果たす。ブロック選択信号302および時分割信号303はヒータ選択回路であるANDゲートへと入力され、これら2つの信号が共にアクティブとなった場合にそのANDゲートの出力がアクティブとなる。このANDゲートの出力信号は、レベル変換回路304によりその信号の電圧振幅を、入力回路からヒータ選択回路305までの論理回路レベルの駆動電圧(第3電源電圧)よりも高い電源電圧(第2の電源電圧)にレベル変換される。レベル変換された信号は、ヒータ駆動用MOSトランジスタ305のゲートに印加され、ゲートに電圧が印加されたMOSトランジスタに接続されたヒータ306に電流が流れて対応するヒータが駆動されることとなる。
ここでより高い第2電圧にレベル変換を行うのは、ヒータ駆動MOSトランジスタ305のゲートに印加する電圧を高くすることで、そのオン抵抗を低下させ、高い効率でヒータに電流を流すことを可能とするためである。
この第2電源電圧の電圧値は、回路のブレイクダウン耐圧及びMOSのゲート耐圧を越えることなく、可能な限り高く設定することが望ましく、可能であればヒータの電源ラインの電圧値(第1の電源電圧)と共通としてもよい。しかしながら、通常のヒータへの駆動電圧は、20V以上の比較的高い値に設定される場合が多く、またCMOSインバータのブレイクダウン耐圧は15V程度までのプロセスで作られることが多い。また、MOSのゲート耐圧はゲート酸化膜に依存すため、ゲート酸化膜の絶縁耐圧より十分低い電圧とする必要があり、電圧変換回路の最適な電圧とヒータの駆動電圧とを一致させることが難しい場合が多い。特許文献3には、記録ヘッド基板のロジック回路の膜厚をヒータ駆動部の膜厚よりも薄くすることによって、基板外部から入力される電圧を調整する例が開示されている。
ここでヒータ電源電圧(第1の電源電圧)と異なる電圧値である第2電源電圧の電源ラインを別に設けることは、システム全体のコストの増大にも繋がる。
そのため記録基板内部にヒータ電源電圧(第1の電源電圧)から所望の第2電源電圧を発生させる電源発生回路を設けることが行われている。(特許文献2)。また、ロジック回路への入力電圧VDDが、ヒータ駆動スイッチング素子に入力される回路の構成が知られているが、ヒータ電源電圧VHとVDDの回路の関係については述べられていない。
図9に電源発生回路の一例を示す。
本例で示す回路は、nMOSのソースフォロアを構成するnMOSトランジスタ803と抵抗804、および分圧抵抗801、802で構成される。ヒータ電源電圧(第1の電源電圧)を、分圧抵抗801、802で分圧した電圧をnMOSトランジスタ803のゲートへ印加し、ソースフォロアの出力を第2電源電圧とするものである。分圧抵抗によりnMOSトランジスタのゲートに印加する電圧を所望の値に設定することで、第2電源電圧をヒータ電源電圧(第1電源電圧)よりも低い電圧値に変換することが可能となる。
図5にレベル変換回路とその周辺回路の内部回路を示す。
ヒータ選択回路からの信号は、第3電源電圧で動作するインバータで反転論理の信号を生成し、第2電源電圧で動作するNMOSトランジスタおよびPMOSトランジスタのゲートへ印加する構成となっている。ここで第2電源電圧で駆動されるトランジスタは第2電源電圧に対して耐圧を有する素子とする必要がある。
一方、別の回路構成としてレベル変換を、シフトレジスタないしデコーダの出力直後に行う構成が提案されている。
図4にレベル変換をシフトレジスタないしデコーダの直後に行う構成の回路ブロック図を示す。
図4において、前述の回路構成と異なる点は、シフトレジスタ404およびデコーダ405の出力信号をレベル変換回路411および412でレベル変換している点である。入力信号の電圧振幅と同電位である第3電圧で駆動される回路は415の線で囲った回路ブロック、レベル変換された第1電圧よりも高い第2電圧で駆動される回路ブロックは416の線で囲った回路ブロックとなる。
このような構成をとることで、各ヒータ選択回路毎にレベル変換回路を配置する必要がなくなり、ヒータ近傍の回路の高密度化やレイアウト面積の縮小といった効果を得ることができる。
特開平5−185594号公報 特開平11−129479号公報 特開2002−370363号公報 特開2002−370348号公報
以上述べてきたように、インクジェット記録ヘッド用の半導体基板の回路においては、入力信号の電圧振幅であり論理回路ブロックを動作させる第3電源電圧を用いている。また、ヒータ電流を制御するスイッチング素子であるMOSトランジスタのゲートに印加するためのより高い第2電源電圧を用いている。そしてこれらの2種類の電源電圧により回路は制御駆動される。さらに第3の電源電圧の駆動回路の出力信号をレベル変換回路にて第2の電源電圧の信号振幅に変換する構成をとっている。
ここで第1および第3の電源電圧は、それぞれ記録ヘッド用半導体基板へ、プリンタ本体から供給されるものである。第2の電源電圧は基板内部に設けられた電源電圧発生回路を経由して第1の電源電圧より低い電圧に変換する場合が多い。
これらの各電圧の記録ヘッド用半導体基板への供給順序は第3の電源電圧を印加した後にヒータ電源電圧(第1の電源電圧)を印加するという順序で電圧を印加している。これは第3の電源電圧が印加されない状態で、ヒータ電圧(第1電源電圧)が印加されると、ヘッドが予期せず動作してしまう可能性があるためである。
すなわち第1電源電圧が印加されている状態では、第2電源電圧も基板内部で印加されることとなるため、レベル変換回路を含むヒータ駆動回路は動作可能となっている。一方、レベル変換回路への入力信号は第3電源電圧により動作する回路から出力されるが、第3電源電圧が印加されていない状態ではその論理は不定となっている。この状態でレベル変換回路の出力も論理不定となり、予期しないヒータを通電する論理となる可能性があるためである。
この論理不定状態を避けるため、第3電源電圧投入後に第1電源電圧を投入、基板内部で第2電源電圧を発生させる必要がある。このような電源投入順序を実現するためにプリンタ本体では対策を講じる必要があり、コスト上昇要因となっている。
本発明の目的は、この電源投入順序として、第2の電源電圧やヒータ電源電圧(第1の電源電圧)が第3の電源電圧よりも先に印加された場合においても、論理不定によるヒータ電流が流れを防止することである。そして、このようなインクジェット記録ヘッド基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供するものである。
上記の目的を達成するための本発明によるインクジェット記録ヘッド基板は以下の構成を備える。
第1電源電圧が印加されることにより、液体を吐出するための熱エネルギを発生する電気熱変換素子と、第1電源電圧を降圧して、第2電源電圧を生成する電源電圧発生回路と、第2電源電圧より低い第3電源電圧で動作され、電気熱変換素子を駆動するための、第3電源電圧の第1の振幅の駆動信号を生成するための論理回路と、駆動信号に基づいて電気熱変換素子に電流を通電するかを制御するスイッチング素子と、第3電源電圧と第2電源電圧とで動作され、論理回路から出力される駆動信号を第1の振幅から、スイッチング素子が動作させるために必要な第2電源電圧の第2の振幅にまで増幅する変換回路と、を備えるインクジェット記録ヘッド基板であって、
電源電圧発生回路は、第3電源電圧が印加されていないときは、第1電源電圧から、第2電源電圧を生成しないことを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド基板。
入力信号の電圧振幅である第3電源電圧の供給が何らかの理由により遮断された場合においても、論理不定の状態でヒータに異常電流がながれることはない。
以下添付図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
なお、説明に用いる「素子基板」とは、シリコン半導体からなる単なる基体を指し示すものではなく、各素子や配線等が設けられた基体を示すものである。
「素子基板上」とは、単に素子基板の表面上を指し示すだけでなく、素子基板の表面上、表面近傍の素子基板内部側をも示すものである。また、本発明でいう「作り込み」とは、別体の各素子を単に基体上に配置することを示すものではなく、各素子を半導体回路の製造工程等によって素子基板上に一体的に形成、製造することを示すものである。
「記録素子」とは、インクジェット記録方式の場合ではインクなどの液体を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子と吐出口や流路などを含む構成である。
<第1の実施例>
図6は、素子基板内の回路構成のうち、ヒータ電源電圧である第1の電源電圧から第2の電源電圧を発生するための、本発明第1の実施例を説明するための第2の電源電圧発生回路図である。
図13は、本発明の記録ヘッド基板33の模式図である。記録ヘッド基板には、電気熱変換素子であるヒータ31と、ヒータに与える第1電源ラインであるVH、ヒータを駆動するためのスイッチング素子32、ヒータ駆動を制御する論理回路が設けられている。この論理回路は、図13に示されているようにシフトレジスタやラッチ回路などで構成された回路であり、この論理回路を動作させるために第3電源VDDが入力される。ここで、スイッチング素子を動作させるための第2電源電圧とは、図13のスイッチング素子32に入力される電源電圧のことを意味する。第2電源の位置は、例えば図13の記録ヘッド基板33において、レベルコンバータから出力され、スイッチング素子に入力される電圧であっても良い。また、図13においてスイッチング素子を駆動するための電源ラインVHT上にあっても良い。
図6において、801〜803は従来例にて示した電圧発生回路と同様の分圧抵抗およびnMOSソースフォロア回路である。101から104が本発明において付加された回路を構成する素子であり、この付加回路により電圧供給回路のオン、オフが制御されることとなる。
抵抗101、nMOS102はヒータ電源電圧で動作する第1のインバータ回路を構成しており、この第1のインバータの入力であるnMOS102のゲートには第3電源電圧が印加されている。また第1のインバータの出力はnMOS104のゲートに接続されている。
ヒータ電源電圧は前述のように電気熱変換素子(ヒータ)に印加される電圧である。この電圧は近年24V程度であり、素子基板内においては他の電圧に比べ高い電圧となっている。
また第3の電源電圧は、電気熱変換素子の駆動を制御するための図2を用いて説明したシフトレジスタ204やデコーダ205などの論理回路を駆動するための電源電圧であり、3.3V程度の電圧が用いられている。なお、シフトレジスタの後段にラッチ回路を設けても良くこのラッチ回路も第3の電源電圧で駆動する。
抵抗103は第1のインバータがオフ状態のとき、nMOSのゲートに印加される電圧がゲート耐圧を超えることのないように接続された分圧抵抗である。抵抗103の値は、nMOS102がオフ状態のとき、抵抗101との間で得られる分圧値がnMOS104の閾値電圧以上かつゲート耐圧未満の値となる抵抗値とする必要がある。
抵抗103はnMOS104のゲート耐圧がヒータ電源電圧以上の場合には必要のないものとなる。
nMOS104は、電圧供給回路の分圧抵抗である801とともに第2のインバータ回路を構成している。すなわち分圧抵抗801は電圧供給回路の分圧回路としての機能と、第2のインバータ回路の機能とを兼ねているものである。
第2のインバータの出力はnMOSソースフォロア回路を構成するnMOS803のゲートへと接続されている。
以下で本実施例の電源電圧発生回路の動作について説明する。
第3電源電圧がnMOS102の閾値である電圧値以上印加されている場合、この第1のインバータ回路の出力はほぼ0Vとなる。そのため第2のインバータを構成するnMOS104はオフ状態となり、電源電圧発生回路は従来例に示した回路と同様の動作状態となる。
一方、第3電源電圧がnMOS102の閾値である電圧値未満となっている場合、第1のインバータ回路の出力は抵抗101と抵抗103の分圧値となる。ここで抵抗101と抵抗103の分圧抵抗により得られる電圧はnMOS104の閾値以上となるように設定しているので、nMOS104はオン状態となる。このとき第2のインバータの出力であるnMOS803のゲート電圧はほぼ0Vとなり、nMOS803はオフ状態となる。803がオフとなるために第2電源電圧の出力は0Vに固定される。
第2の電源電圧は電気熱変換素子に電流を流すかどうかのスイッチであるヒータ駆動用のMOSトランジスタ(スイッチング素子)に与える電圧である(図3や図5、図12)。
すなわち、第3電源電圧が正常に印加されている場合は第2電源電圧が供給される、第3電源電圧が正常に印加されていない場合は第2電源電圧が供給されず0Vとなる。
第2電源電圧が0Vとなれば、ヒータ駆動回路の出力は0Vとなる。すなわち第2電源電圧が0Vであれば、ヒータには論理不定による異常電流が流れることはない。
なお、この第2電源電圧が出力されるか否かは、第3電源電圧値がnMOS102の閾値以上か未満かによっている。ここでnMOS102は、図5に示したレベル変換回路の第2電源電圧により駆動されるnMOSトランジスタと同じ構造を有するものとすれば、電源供給回路の閾値はレベル変換回路の閾値とほぼ同等とすることができる。これによりレベル変換回路の閾値未満の第3電源電圧が印加されたときの論理不定状態を防ぐことが可能となる。
<第2の実施例>
図7は本発明第2の実施例を説明するための第2の電源電圧発生回路図である。本実施例においては、第1の実施例で示した第2の電源電圧発生回路に対し、第2電源電圧ノードにnMOSトランジスタ105を付加したことを特徴としている。
このnMOSトランジスタ105は、第2電源電圧の出力が有効の時にはオフ、無効の時にはオンとなるようにそのゲートがnMOSトランジスタ104のゲートと並列に接続されている。
nMOSトランジスタ105は、第2電源電圧発生回路がオン状態からオフ状態になった時に、第2電源電圧を速やかに0Vに収束させるための電流パスとして機能させる目的で配置されている。
第2電源電圧には多くのレベル変換回路などを構成する回路が接続されることとなるが、これら回路を構成する素子には容量成分が含まれている。この容量成分には第2電源電圧の出力が有効なときに電荷が蓄えられることとなる。ここで第3電源電圧が正常に印加されていた状態から、なんらかの理由で予期せず供給されなくなった状態に遷移したときを想定する。
nMOSトランジスタ105がない場合では、ソースフォロアnMOS803がオフ状態となり、第2電源電圧への電荷の供給は行われず、第2電源電圧ラインの電荷は抵抗804を介してGNDへと放電することとなる。
ここで抵抗804は、nMOSソースフォロア回路を構成する抵抗であり、数十kΩ〜数百kΩ程度の比較的高い抵抗値に設定されることが多い。第2電源電圧に多くの素子が接続され、第2電源ラインの容量が大きい場合、その容量と抵抗804とによる時定数が大きいものとなる。電源供給回路がオン状態からオフ状態に遷移するとき、第3電源電圧が論理確定できない値となっているにもかかわらず第2電源電圧ラインに残留している電荷により論理不定状態のまま第2電源電圧に接続された回路が動作する場合が考えられる。
本実施例においてはこの過渡的な論理不定状態が保持されることを回避することを目的とした構成である。
nMOSトランジスタ105をソースフォロア抵抗804をバイパスするように配置する。このことで、電源供給回路がオン状態からオフ状態に遷移するとき、第2電源ラインに残留している電荷を速やかに放電し、第2電源電圧により動作する回路の遮断を行うことが可能となる。
第3電源電圧が低下しnMOS102の閾値電圧未満となった場合、第1のインバータ回路の出力は抵抗101と抵抗103の分圧値となる。ここで抵抗101と抵抗103の分圧抵抗により得られる電圧はnMOS104およびnMOS105の閾値以上となるように設定している。nMOS104はオン状態とり、第2のインバータの出力であるnMOS803のゲート電圧はほぼ0Vとなり、nMOS803はオフ状態となる。またnMOS105はオン状態となるため、第2電源電圧ラインに蓄えられている電荷がGNDへと放電され速やかに0Vへ収束することとなる。
第2の電源電圧により動作する回路はその電源が速やかに0Vへ収束し、ヒータ駆動回路の出力は0Vとなるため、ヒータに論理不定による異常電流が長時間流れることはない。
なお上記実施例においては第1電源電圧を外部より記録基板へ印加することを前提に記述してきたが、この第3の電源電圧についてもヒータ電源電圧から記録基板上に電源発生回路を設け、基板内部に供給する構成としてもよい。
基板内部に第3電源発生回路を設けることにより、プリンタ本体から電源電圧を供給する必要がなくなるため、接続端子数の削減やプリンタ本体の電源回路の更なる簡略化などが可能となる。この場合においては記録基板内部の電源電圧発生回路の出力電圧(第3電源電圧)が安定した後に第2電源電圧発生回路の出力が有効となる構成とすることで、論理不定による異常電流が流れることをなくすことができる。
また上記実施例においては第2電源電圧のオン、オフの可否を第3電源電圧の値により判断する構成としていたが、これをヘッドやプリンタ本体の状態を表す信号としてもよい。またこの判断を行う電源、ないし信号を電流として印加する構成としてもよい。
実施例1および2においては、出力用nMOSトランジスタ803のゲートをGND電位にプルダウンするか否かで電源電圧発生回路の出力のオン、オフを切り替えているが、これは回路構成を限定するものではない。たとえば抵抗801と802の間に直列にnMOSトランジスタ904を挿入し、挿入したnMOSトランジスタ904と抵抗802の間のノードをnMOSトランジスタ803のゲートへ接続する図9のような構成でもよい。図8の構成においては、出力が有効なときはnMOSトランジスタ904がオン状態となり、抵抗801およびnMOSトランジスタ904の合計電圧と、抵抗802の電圧との分圧値がnMOSトランジスタ803のゲートへと印加され、第2電源電圧が出力される。一方、出力が向こうなときはnMOSトランジスタ904のゲート電圧はGND電位となり、nMOSトランジスタ904はオフ状態となる。そのためnMOSトランジスタ804のゲート電圧はGND電位となり、第2電源電圧は0Vとなる。
ここで示した回路例以外にも様々な回路構成により本発明を実現することができるが、それらに共通する特徴は第3電源電圧の状態により第2電源電圧発生回路の出力制御を行うことにある。すなわち第3電源電圧により動作する回路の出力が、第2電源電圧で動作するレベル変換回路を制御できるか否かに応じて第2電源電圧発生回路の出力をオン(有効)、オフ(無効)制御するものである。
レベル変換回路が制御できないと判断された場合、第2電源電圧発生回路の出力が0Vに固定されるため、予期しないヒータが選択駆動されることがなくなるものである。
<その他の実施例>
以下に図10を用いて本発明を適用した記録ヘッドの概略構成を説明する。図10は3色のカラーインクを吐出する記録ヘッドの立体的な構造を示す斜視図である。
記録ヘッドには、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロ(Y)のインクをそれぞれ供給するインク供給口2C、2M、2Yがある。
インク流路301C、301M、301Yが電気熱変換素子(ヒータ)121に対応して設けられており、これらのインク流路を経てCインク、Mインク、Yインクは夫々、素子基板上に設けられた電気熱変換素子(ヒータ)121まで導かれる。そして、電気熱変換素子(ヒータ)121が駆動されると、インクが沸騰し、生じた泡によって電気熱変換素子に対応して設けられた吐出口302C、302M、302Yからインク液滴900C、900M、900Yが吐出される。
なお、図10において、電気熱変換素子と上述の駆動回路やパッドが形成された素子基板110である。
図10では3つのインク供給口を有するカラータイプの記録ヘッドIJHCの立体的な構造を示したが、ブラックインクを吐出する記録ヘッドIJHKも同様な構造をしている。ただし、その構造は図3に示す構成の3分の1である。即ち、インク供給口は1つであり、配置する記録素子数が同じであれば素子基板の規模も約3分の1程度となる。
次に、このような記録ヘッドを搭載して記録を行う記録装置の概略構成について説明する。
<インクジェット記録装置の説明>
図11は本発明の代表的な実施例であるインクジェット記録装置IJRAの概観図である。キャリッジHCは、リードスクリュー5004の螺旋溝5005に対して係合するピン(不図示)を有し、リードスクリュー5004の回転に伴って、ガイドレール5003に支持されて矢印a,b方向に往復移動される。このキャリッジHCには、インクジェットカートリッジIJCが搭載されている。インクジェットカートリッジIJCは、インクジェット記録ヘッドIJH(以下、記録ヘッドという)及び記録用のインクを貯蔵するインクタンクITを具備する。
インクジェットカートリッジIJCは記録ヘッドIJHとインクタンクITとを一体化した構成となっている。プラテン5000は不図示の搬送モータにより回転し記録紙Pを搬送する。
図12は記録装置の制御回路の構成を示すブロック図である。図14において、1700は記録信号を入力するインタフェース、1701はMPU、1702はMPU1701が実行する制御プログラムを格納するROM、1703は各種データ(上記記録ヘッドに供給される記録データ等)を保存しておくDRAMである。1704は記録ヘッドIJHに対する記録データの供給制御を行うゲートアレイ(G.A.)であり、インタフェース1700、MPU1701、RAM1703間のデータ転送制御も行う。
さらに、1709は記録紙Pを搬送するための搬送モータ(図13では不図示)、1706は搬送モータ1709を駆動するためのモータドライバである。1707はキャリッジモータ1710を駆動するためのモータドライバ、1705は記録ヘッドIJHを駆動するためのヘッドドライバ(ドライバ回路)である。このヘッドドライバは画像データや時分割データや識別データなどのデータや、上述した第1第3の電源電圧をもヘッドに対して出力する。
上記制御構成の動作を説明すると、インタフェース1700に記録信号が入るとゲートアレイ1704とMPU1701との間で記録信号がプリント用の記録データに変換される。そして、モータドライバ1706、1707が駆動されると共に、キャリッジHCに送られた記録データに従って記録ヘッドIJHが駆動され、記録紙P上への画像記録が行われる。
なお上述した各実施例においては、記録素子を構成する吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子(ヒータ)を用いたインクジェット記録ヘッドを例にして説明した。しかし、本発明は吐出エネルギー発生素子としてピエゾ素子を用いたインクジェット記録ヘッドや昇華型などに利用可能なサーマルヘッドなどでも適用可能である。
ただし、上述のインク供給口を有するインクジェット記録ヘッドの場合には、インク供給口によって回路構成が分断される点でヒータ列は駆動回路を各列単位で設ける必要があるため、本発明の構成を適用する効果が大きい。
インクジェット記録ヘッド用半導体基板の回路ブロックとインク供給口を模式的に示す図である。 図1の駆動回路113の回路構成と信号の流れを模式的に示す図である。 従来例のヒータ駆動ブロック内の回路を示す図である。 従来例におけるレベル変換をシフトレジスタないしデコーダの直後に行う構成の回路ブロック図である。 レベル変換回路とその周辺回路の内部回路を示す図である。 本発明第1の実施例を説明するための第2の電源電圧発生回路図である。 本発明第2の実施例を説明するための第2の電源電圧発生回路図である。 本発明の回路構成のその他の一例を説明するための第2の電源電圧発生回路図である。 電源発生回路の一例を示す回路図である。 3色のカラーインクを吐出する記録ヘッドIJHCの立体的な構造を示す斜視図である。 本発明に適用可能な記録装置の概略構成図である。 記録装置の制御構成を示すブロック図である。 本発明のインクジェット記録ヘッド基板模式図である。

Claims (7)

  1. 第1電源電圧が印加されることにより、液体を吐出するための熱エネルギを発生する電気熱変換素子と、
    前記第1電源電圧を降圧して、第2電源電圧を生成する電源電圧発生回路と、
    前記第2電源電圧より低い第3電源電圧で動作され、前記電気熱変換素子を駆動するための、前記第3電源電圧の第1の振幅の駆動信号を生成するための論理回路と、
    前記駆動信号に基づいて前記電気熱変換素子に電流を通電するかを制御するスイッチング素子と、
    前記第3電源電圧と前記第2電源電圧とで動作され、前記論理回路から出力される駆動信号を前記第1の振幅から、前記スイッチング素子が動作させるために必要な前記第2電源電圧の第2の振幅にまで増幅する変換回路と、
    を備えるインクジェット記録ヘッド基板であって、
    前記電源電圧発生回路は、前記第3電源電圧が印加されていないときは、前記第1電源電圧から、前記第2電源電圧を生成しないことを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド基板。
  2. 前記電源電圧発生回路は、前記第3電源電圧の印加が停止されたときに出力電圧をGND電位へと収束する接地回路を有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
  3. 前記接地回路には、接地用nMOSトランジスタが設けられていることを特徴とする請求項2に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
  4. 前記電源電圧発生回路は、ソースフォロア回路として用いられるソースフォロアnMOSトランジスタを有していることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド基板。
  5. 前記ソースフォロアnMOSトランジスタのゲート端子は、前記第3電源電圧が印加されているタイミングのみ、電圧が印加されることを特徴とする請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド基板。
  6. 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド基板と、前記電気熱変換素子に対応して設けられた吐出口とを有するインクジェット記録ヘッド。
  7. 請求項6に記載のインクジェット記録ヘッドと、インクジェット記録ヘッドに前記第1電源電圧と前記第3電源電圧とを出力する出力回路とを有するインクジェット記録装置。
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